專利名稱：面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法
技術領域：
本發明涉及計算機應用技術領域和集成電路裝備制造技術領域，特別涉及一種面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法。
背景技術：
電子信息產業已發展成為國民經濟和社會發展的第一大支柱產業。電子信息產業的基礎產業是半導體制造設備產業。如今，我國半導體制造設備業正處于高速發展階段，集成電路芯片的集成度和芯片功能不斷提高，對工藝的要求也越來越高。為保證研發的半導體制造設備達到技術要求，需要對研發出的半導體制造設備及由多個半導體制造設備組成的系統進行測試，特別是半導體制造設備及由多個半導體制造設備組成的系統內部的邏輯耦合關系測試。例如，刻蝕工藝中反應腔內有多種工藝參數，包括溫度、壓力、真空度、射頻功率源狀態以及阻抗匹配等，這些工藝參數間相互作用，存在復雜的耦合關系。因此，在半導體制造設備及系統在投入使用之前，需要對這種復雜的邏輯耦合關系進行測試，從而判斷出半導體制造設備及系統是否滿足要求，但是不同類型的半導體制造設備及系統其耦合關系不同，導致對半導體制造設備及系統的測試難度加大。
發明內容
本發明的目的旨在至少解決上述技術缺陷之一。為此，本發明的目的在于提出一種面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法，該方法滿足多任務的測試需求，可以連續自動對不同類型的半導體制造設備及系統的不同耦合關系進行測試，并實時反饋測試結果，從而能夠預測出設備可能出現的故障以及檢測出設備是否符合標準的優點。為達到上述目的，本發明實施例提出了一種面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法，包括以下步驟根據半導體制造設備的邏輯耦合關系和預設的測試需求生成邏輯測試序列；將所述邏輯測試序列序列化為XML文件并進行存儲；讀取所述XML文件并對所述 XML文件進行反序列化以得到運行對象；加載所述運行對象并對所述運行對象進行解析； 以及根據解析結果依次執行相應的測試行為以對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，其中測試行為包括命令執行、延遲等待、條件判斷、邏輯序列和終止命令。根據本發明實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法，具有多任務的優點，從而可以連續自動對不同類型的半導體制造設備的不同耦合關系進行測試，并實時反饋測試結果，即將測試行為分為多種類型，分別為命令執行、延遲等待、條件判斷、邏輯序列、終止命令。將五種測試行為配置成需要的邏輯測試序列后運行，從而對半導體制造設備的耦合關系進行自動測試，由此能夠預測出設備可能出現的故障以及檢測出設備是否符合標準的優點。另外，本發明的實施例具有通用性的優點，不僅可應用于半導體硬件設備的邏輯耦合關系的測試，也可應用于其他硬件設備、仿真設備的邏輯耦合關系的測試。另外，根據本發明上述實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法還可以具有如下附加的技術特征根據本發明的一個實施例，所述根據半導體制造設備的邏輯耦合關系和預設的測試需求生成邏輯測試序列，進一步包括根據所述半導體制造設備的邏輯耦合關系對測試行為進行分類以得到多種不同類型的測試行為；根據所述預設的測試需求將所述多種不同類型的測試行為進行組合以得到所述邏輯測試序列。根據本發明的一個實施例，所述邏輯測試序列包括序列名稱、測試行為的步驟數量以及每個步驟中相應的測試行為。根據本發明的一個實施例，按照所述邏輯測試序列的步驟依次執行相應的測試行為。根據本發明的一個實施例，當執行的測試行為為命令執行時，對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，包括以下步驟發送命令執行的指令；判斷是否有反饋響應，如果有，則等待接收時間，否則將執行下一個步驟對應的測試行為；判斷所述反饋響應是否正確，如果正確，則執行下一個步驟對應的測試行為，否則退出對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系的測試。根據本發明的一個實施例，當執行的測試行為為邏輯序列時，對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，包括將所述邏輯測試序列作為一種測試行為，可嵌套在其它的邏輯測試序列中。根據本發明的一個實施例，當執行的測試行為為條件判斷時，對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，包括產生一個執行步驟序號和排除步驟號，并執行所述執行步驟序號所對應的測試行為，跳過所述排除步驟序號。根據本發明的一個實施例通過多線程分類管理方式對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試。根據本發明的一個實施例，通過多線程分類管理方式對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，進一步包括依據通訊協議的板卡和通信端口把所有查詢命令分類； 以所述通訊協議的板卡和所述通信端口為標識開放多個預設子線程；在每一個預設的子線程中將對應的查詢命令建立一個隊列以使所有查詢命令根據所述通訊協議的板卡和所述通信端口分配到不同的預設子線程中。根據本發明的一個實施例，采用端口獨占的方式實現對所述通信端口的讀寫操作。本發明附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。
本發明上述的和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖I為本發明實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法的流程圖；圖2為本發明實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法的對于多條判斷條件的邏輯組合的配置示意圖；圖3為本發明實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法的根據一個預設的測試需求配置邏輯測試序列的示意圖；圖4為圖3所示的配置邏輯測試序列完成時的信息顯示示意圖；圖5為本發明實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法的采用邏輯測試序列對邏輯耦合關系進行測試的詳細流程圖；圖6為本發明實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法的邏輯耦合關系測試界面的示意圖；以及圖7為本發明實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法的采用多線程分類管理方式的分配示意圖。
具體實施例方式下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發明，而不能解釋為對本發明的限制。下文的公開提供了許多不同的實施例或例子用來實現本發明的不同結構。為了簡化本發明的公開，下文中對特定例子的部件和設置進行描述。當然，它們僅僅為示例，并且目的不在于限制本發明。此外，本發明可以在不同例子中重復參考數字和/或字母。這種重復是為了簡化和清楚的目的，其本身不指示所討論各種實施例和/或設置之間的關系。此外，本發明提供了的各種特定的工藝和材料的例子，但是本領域普通技術人員可以意識到其他工藝的可應用于性和/或其他材料的使用。另外，以下描述的第一特征在第二特征之 “上”的結構可以包括第一和第二特征形成為直接接觸的實施例，也可以包括另外的特征形成在第一和第二特征之間的實施例，這樣第一和第二特征可能不是直接接觸。在本發明的描述中，需要說明的是，除非另有規定和限定，術語“安裝”、“相連”、 “連接”應做廣義理解，例如，可以是機械連接或電連接，也可以是兩個元件內部的連通，可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領域的普通技術人員而言，可以根據具體情況理解上述術語的具體含義。參照下面的描述和附圖，將清楚本發明的實施例的這些和其他方面。在這些描述和附圖中，具體公開了本發明的實施例中的一些特定實施方式，來表示實施本發明的實施例的原理的一些方式，但是應當理解，本發明的實施例的范圍不受此限制。相反，本發明的實施例包括落入所附加權利要求書的精神和內涵范圍內的所有變化、修改和等同物。以下結合附圖描述根據本發明實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法。參考圖1，根據本發明實施例的面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法，包括以下步驟步驟S101，根據半導體制造設備的邏輯耦合關系和預設的測試需求生成邏輯測試序列。具體而言S11，根據所述半導體制造設備的邏輯耦合關系對測試行為進行分類以得到多種不同類型的測試行為，即根據半導體制造設備及系統間的邏輯耦合關系，將測試行為分為五種類型，測試行為包括命令執行、延遲等待、條件判斷、邏輯序列、終止命令的五種類型。更為具體地，五種測試行為(命令執行、延遲等待、條件判斷、邏輯序列、終止命令)的具體定義如下I)命令執行(Co_and):實現單條指令的發送與接收，是邏輯測試序列的基本組成步驟。包括對指令的名稱、參數、發送后期望的返回值(Feedback)等的配置與修改等功能。其中，指令指邏輯測試序列中每一個步驟的行為。2)延遲等待(Delay):延時等待下一條指令發送。由于半導體制造設備在收到一條指令后，進行動作執行或狀態改變會需要一段反應時間，通過提供該類型測試行為的步驟，可以控制測試進度。3)條件判斷(Condition):可以實現if-then-else的邏輯控制功能,是邏輯測試序列的核心步驟。通過條件判斷，可以確保在上一條指令已經正確執行的前提下進行下一步的測試行為的動作，由于半導體制造設備(集成電路裝備中設備)的狀態值可分為數值類型、字符類型、位類型三種。針對數值類型，需要提供數值大小判斷；針對字符類型，提供字符串匹配判斷；針對位類型，提供位提取操作及數值判斷。該條件判斷(Condition)的測試行為的步驟中包括對多條判斷條件的邏輯組合 (與、或、異或)，如圖2所示為對于多條判斷條件的邏輯組合的配置示意的一個具體示例， 如果判斷結果為TRUE執行then指示的步驟的測試行為，否則執行else指示的步驟的測試行為。4)邏輯序列(LogicSequence):包括對邏輯測試序列的嵌套。LogicSequence的嵌套以及Condition的判斷兩者組合起來可以支持設備(或有多個半導體制造設備組成的系統)基于規劃的指令控制，即可以在Condition的一條判斷分支里加入LogicSequence, 通過循環調用，從而實現通過設定的狀態觸發某一特定動作。5)執行終止(stop):終止指令序列的發送。用戶可以在Condition的一條判斷分支中加入該步驟，從而實現在設定情況下自動終止序列的發送。S12，根據所述預設的測試需求將所述多種不同類型的測試行為進行組合以得到所述邏輯測試序列。具體地，通過組合五種測試行為，從而形成一種具有邏輯關系的邏輯測試序列，達到半導體制造設備(或有多個半導體制造設備組成的系統)中邏輯耦合關系的測試的目的。五種測試行為按步驟配置，即可以根據預設的測試需求定義步驟數，然后為每個步驟選擇測試行為類型，在本發明的一個示例中，如圖3所示，為根據一個預設的測試需求配置邏輯測試序列的示意圖。進一步地，邏輯測試序列包括序列名稱、測試行為的步驟數量以及每個步驟中相應的測試行為，即每一條邏輯測試序列配置內容主要包括定義序列名稱、步驟數，定義每個步驟的測試行為類型，在如圖3所示的配置界面中點擊不同的測試行為則彈出相應的測試行為配置對話框。配置完成后，配置信息的顯示界面如圖4所示。更近一步地，當配置完成邏輯測試序列后，在后續的測試過程中便可以按照所述邏輯測試序列的步驟依次執行相應的測試行為，進而達到測試的目的。步驟S102，將所述邏輯測試序列序列化為XML文件并進行存儲，這樣可以實現邏輯測試序列的重用。在本發明的一個示例中，采用序列化的方法保存配置的邏輯測試序列的數據，具有簡潔、便于存儲與復用的優點，采用XML文件格式具有易維護的的優點，有助于簡化開發。如表I所示，為根據本發明實施例的對一個邏輯測試序列進行序列化后得到的XML文件。
<LogicSequence>
<logicSequenceName>LoadPort</logicSequenceName>
<note>for robot</note>
<createdTime>2011-09-20T09:48:10.96875+08:00</createdTime>
<stepCount>7</stepCount>
<steps>
<step>
<stepNo> I </stepNo>
<stepType>
<TypeName>Command</TypeName>
<Command>
<CommandName>HLLO</CommandName> <CommandParameter>HLLO</ CommandParameter > <PinName>Robot_RS232</PinName>
<ReceiveWaitTime> 120</ ReceiveWaitTime > <WithFeedback>True<AVithFeedback>
<expFeedbacks>
<expfeedback>Hello</expfeedback>
</expFeedbacks>
</Command>
</stepType>
</step>
<step>
<stepNo>2</stepNo>
權利要求
1.一種面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法，其特征在于，包括如下步驟根據半導體制造設備的邏輯耦合關系和預設的測試需求生成邏輯測試序列；將所述邏輯測試序列序列化為XML文件并進行存儲；讀取所述XML文件并對所述XML文件進行反序列化以得到運行對象；加載所述運行對象并對所述運行對象進行解析；以及根據解析結果依次執行相應的測試行為以對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，其中測試行為包括命令執行、延遲等待、條件判斷、邏輯序列和終止命令。
2.根據權利要求I所述的邏輯耦合測試方法，其特征在于，所述根據半導體制造設備的邏輯耦合關系和預設的測試需求生成邏輯測試序列，進一步包括根據所述半導體制造設備的邏輯耦合關系對測試行為進行分類以得到多種不同類型的測試行為；根據所述預設的測試需求將所述多種不同類型的測試行為進行組合以得到所述邏輯測試序列。
3.根據權利要求I所述的邏輯耦合測試方法，其特征在于，所述邏輯測試序列包括序列名稱、測試行為的步驟數量以及每個步驟中相應的測試行為。
4.根據權利要求3所述的邏輯耦合測試方法，其特征在于，按照所述邏輯測試序列的步驟依次執行相應的測試行為。
5.根據權利要求4所述的邏輯耦合測試方法，其特征在于，當執行的測試行為為命令執行時，對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，包括以下步驟發送命令執行的指令；判斷是否有反饋響應，如果有，則等待接收時間，否則將執行下一個步驟對應的測試行為；判斷所述反饋響應是否正確，如果正確，則執行下一個步驟對應的測試行為，否則退出對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系的測試。
6.根據權利要求4所述的邏輯耦合測試方法，其特征在于，當執行的測試行為為邏輯序列時，對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，包括將所述邏輯測試序列作為一種測試行為，可嵌套在其它的邏輯測試序列中。
7.根據權利要求4所述的邏輯耦合測試方法，其特征在于，當執行的測試行為為條件判斷時，對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，包括產生一個執行步驟序號和排除步驟號，并執行所述執行步驟序號所對應的測試行為，跳過所述排除步驟序號。
8.根據權利要求I所述的邏輯耦合測試方法，其特征在于，通過多線程分類管理方式對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試。
9.根據權利要求8所述的邏輯耦合測試方法，其特征在于，通過多線程分類管理方式對所述半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，進一步包括依據通訊協議的板卡和通信端口把所有查詢命令分類；以所述通訊協議的板卡和所述通信端口為標識開放多個預設子線程；在每一個預設的子線程中將對應的查詢命令建立一個隊列以使所有查詢命令根據所述通訊協議的板卡和所述通信端口分配到不同的預設子線程中。
10.根據權利要求9所述的邏輯耦合測試方法，其特征在于，采用端口獨占的方式實現對所述通信端口的讀寫操作。
全文摘要
本發明提出一種面向半導體制造設備的邏輯耦合測試方法，包括如下步驟根據半導體制造設備的邏輯耦合關系和預設的測試需求生成邏輯測試序列；將邏輯測試序列序列化為XML文件并進行存儲；讀取XML文件并對XML文件進行反序列化以得到運行對象；加載運行對象并對運行對象進行解析；以及根據解析結果依次執行相應的測試行為以對半導體制造設備的邏輯耦合關系進行測試，其中測試行為包括命令執行、延遲等待、條件判斷、邏輯序列和終止命令。本發明的實施例可以連續自動測試設備內的邏輯耦合關系，從而預測出設備可能出現的故障以及檢測出設備是否符合標準。
文檔編號G01M99/00GK102607870SQ201210006779
公開日2012年7月25日 申請日期2012年1月11日 優先權日2012年1月11日
發明者李春光, 許霞, 黃利平 申請人:清華大學