專利名稱：用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)及反應(yīng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)及反應(yīng)裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及一種半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及用于反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)和反應(yīng)裝置。
背景技術(shù)：
[0002]目前，在用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的反應(yīng)裝置中，經(jīng)常采用光譜儀檢測反應(yīng)腔室中的變化。 例如，在蝕刻工藝中，將光譜儀密封連接到反應(yīng)腔室的檢測口中，用于檢測反應(yīng)腔室中的元素變化，以確定蝕刻反應(yīng)是否已經(jīng)完成。[0003]請參閱圖1，通常，現(xiàn)有的光譜儀120通過螺栓組件130直接連接到反應(yīng)腔室110 的檢測口 111上，光譜儀120的檢測窗121緊貼所述反應(yīng)腔室110的檢測口 111，在反應(yīng)腔室110的腔壁上所述檢測口的四周與光譜儀120的檢測窗121的四周對應(yīng)設(shè)置若干螺紋孔。[0004]由于檢測窗121直接對著反應(yīng)腔室110的檢測口 111，反應(yīng)腔室110進行蝕刻反應(yīng)時，反應(yīng)腔室110內(nèi)的等離子體氣體會從上向下運動，此時反應(yīng)氣體會接觸并腐蝕檢測窗121，使得檢測窗121的表面變粗糙。粗糙的檢測窗121會影響檢測結(jié)果，所以需要經(jīng)常更換檢測窗121。每次更換檢測窗121都必須拆卸螺栓組件130。多次反復(fù)拆卸螺栓組件 130后，會使得反應(yīng)腔室110的腔壁上的螺紋孔出現(xiàn)磨損的現(xiàn)象，使得反應(yīng)腔室110出現(xiàn)經(jīng)螺紋孔發(fā)生泄漏事故。從反應(yīng)腔室110內(nèi)泄漏的氣體不但會腐蝕反應(yīng)腔室110外的環(huán)境， 而且會對操作人員的身體造成危害。[0005]另外，經(jīng)常更換檢測窗121，也容易發(fā)生螺栓組件130斷落于螺紋孔中的現(xiàn)象。當反應(yīng)腔室Iio的腔壁上的螺紋孔磨損過大或者發(fā)生螺栓組件130斷落于螺紋孔時，就必須更換反應(yīng)腔室110的腔壁上，而更換反應(yīng)腔室110的腔壁的成本將非常高昂。[0006]因此，如何提供一種可以防止反應(yīng)腔室泄漏的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)及反應(yīng)裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個技術(shù)問題。實用新型內(nèi)容[0007]本實用新型的目的在于提供一種用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)及反應(yīng)裝置，可以防止反應(yīng)腔室內(nèi)的反應(yīng)氣體大量接觸光譜儀的檢測窗，同時可以避免反應(yīng)腔室的腔壁上的螺紋組件經(jīng)常拆卸，從而有效延長反應(yīng)腔室和光譜儀的檢測窗的使用壽命。[0008]為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案[0009]一種用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，所述反應(yīng)腔室的腔壁上設(shè)有檢測口，所述光譜儀包括檢測窗，包括直角彎管、轉(zhuǎn)接頭和45度反射鏡，所述轉(zhuǎn)接頭安裝于所述反應(yīng)腔室的檢測口上，所述直角彎管的一端與所述轉(zhuǎn)接頭密封連接，所述直角彎管的另一端與所述光譜儀的檢測窗密封連接，所述45度反射鏡設(shè)置于所述直角彎管內(nèi)的轉(zhuǎn)彎處。[0010]優(yōu)先地，在上述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)中，所述直角彎管的一端通過快速接頭與所述轉(zhuǎn)接頭密封連接，所述直角彎管的另一端通過另一快速接頭與光譜儀的檢測窗密封連接。[0011]優(yōu)先地，在上述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)中，所述快速接頭內(nèi)設(shè)置有密封圈。[0012]優(yōu)先地，在上述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)中，所述轉(zhuǎn)接頭相對反應(yīng)腔室的端面和所述反應(yīng)腔室的腔壁上檢測口的四周設(shè)有對應(yīng)的螺紋孔。[0013]優(yōu)先地，在上述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)中，所述45度反射鏡采用鉻面板。[0014]優(yōu)先地，在上述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)中，所述直角彎管內(nèi)靠近45度反射鏡處設(shè)置有加熱器。[0015]優(yōu)先地，在上述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)中，所述直角彎管采用招合金菅ο[0016]本實用新型還公開了一種反應(yīng)裝置，包括反應(yīng)腔室和光譜儀，所述反應(yīng)腔室和所述光譜儀之間設(shè)置有如上所述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)。[0017]本實用新型提供的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)及反應(yīng)裝置，通過在反應(yīng)腔室和光譜儀之間設(shè)置轉(zhuǎn)接頭和直角彎管，一方面，可以有效減少反應(yīng)腔室的高溫、腐蝕性的反應(yīng)氣體在從上至下的運動過程中接觸光譜儀的檢測窗，從而保護檢測窗不受反應(yīng)氣體腐蝕，有效延長檢測窗的使用壽命；另外，由于所述直角彎管的一端通過快速接頭與所述轉(zhuǎn)接頭密封連接，另一端通過另一快速接頭與光譜儀的檢測窗密封連接，因此，在更換檢測窗時，不需要將轉(zhuǎn)接頭從反應(yīng)腔室的腔壁上不拆卸，而是僅僅將檢測窗和直角彎管從轉(zhuǎn)接頭下拆下來，從而可以避免反應(yīng)腔室的腔壁上的螺紋孔出現(xiàn)磨損現(xiàn)象，進而有效避免了反應(yīng)腔室出現(xiàn)泄漏事故；再者，快速接頭具有拆裝方便的優(yōu)點。
[0018]本實用新型的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)及反應(yīng)裝置由以下的實施例及附圖給出。[0019]圖1為現(xiàn)有的反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)示意圖。[0020]圖2為本實用新型一實施例的反應(yīng)裝置及用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0021]以下將對本實用新型的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)及反應(yīng)裝置作進一步的詳細描述。[0022]下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。[0023]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商4業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當認為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。[0024]為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。[0025]請參閱圖2，這反應(yīng)裝置，用于進行蝕刻反應(yīng)，包括反應(yīng)腔室210和光譜儀220，所述反應(yīng)腔室210和所述光譜儀220之間設(shè)置有用于連接反應(yīng)腔室210和光譜儀220的連接結(jié)構(gòu)。[0026]該用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，包括直角彎管M0、轉(zhuǎn)接頭250和45度反射鏡260 ；所述反應(yīng)腔室210的腔壁上設(shè)有檢測口 211，所述光譜儀220包括檢測窗221 ； 所述轉(zhuǎn)接頭250通過螺栓組件230安裝于所述反應(yīng)腔室210的檢測口 211上，所述轉(zhuǎn)接頭 250相對反應(yīng)腔室210的端面和所述反應(yīng)腔室210的腔壁上檢測口 211的四周設(shè)有對應(yīng)的螺紋孔；所述直角彎管240的一端與所述轉(zhuǎn)接頭250密封連接，所述直角彎管240的另一端與所述光譜儀220的檢測窗221密封連接；所述45度反射鏡260設(shè)置于所述直角彎管240 內(nèi)的轉(zhuǎn)彎處。由于在反應(yīng)腔室210和光譜儀220之間設(shè)置轉(zhuǎn)接頭250和直角彎管M0，反應(yīng)腔室210內(nèi)的高溫、腐蝕性的反應(yīng)氣體在從上至下的運動過程中，不容易經(jīng)檢測口 211、轉(zhuǎn)接頭250和直角彎管240后再接觸光譜儀220的檢測窗221，因此，可以有效減少反應(yīng)腔室 210的反應(yīng)氣體接觸光譜儀220的檢測窗221，從而保護檢測窗221不受反應(yīng)氣體腐蝕，進而有效延長檢測窗221的使用壽命。[0027]較佳地，在本實施例中，所述直角彎管240的一端通過快速接頭270與所述轉(zhuǎn)接頭密封連接，所述直角彎管240的另一端通過另一快速接頭270與光譜儀220的檢測窗221 密封連接。通過設(shè)置快速接頭270，可以方便直角彎管與轉(zhuǎn)接頭和光譜儀的檢測窗之間進行拆裝。因此，在更換檢測窗221時，不需要將轉(zhuǎn)接頭250從反應(yīng)腔室210的腔壁上拆卸，而是僅僅將檢測窗221和直角彎管240拆下來，從而可以避免反應(yīng)腔室210的腔壁上的螺紋孔因反復(fù)拆卸而出現(xiàn)磨損現(xiàn)象，進而可以避免反應(yīng)腔室經(jīng)腔壁的螺栓孔泄漏。[0028]在本實施例中，所述45度反射鏡260采用鉻面板。所述直角彎管240采用鋁合金管。[0029]較佳地，在本實施例中，所述快速接頭270內(nèi)設(shè)置有密封圈觀0。通過設(shè)置密封圈 280可以增強快速接頭270的密封性能，防止反應(yīng)氣體經(jīng)快速接頭270泄漏。[0030]較佳地，在本實施例中，所述直角彎管MO內(nèi)靠近45度反射鏡260處設(shè)置有加熱器四0。加熱器290可以對45度反射鏡260進行加熱，從而防止反應(yīng)氣體沉積到45度反射鏡260上，使得45度反射鏡260保持良好的反射效果，以確保光譜儀210的檢測效果。另外，加熱器290也可以提高所述直角彎管240的溫度，從也可以防止反應(yīng)氣體沉積到直角彎管240上。[0031]綜上所述，本實用新型提供的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)及反應(yīng)裝置，通過在反應(yīng)腔室和光譜儀之間設(shè)置轉(zhuǎn)接頭和直角彎管，一方面，可以有效減少反應(yīng)腔室的高溫、腐蝕性的反應(yīng)氣體在從上至下的運動過程中接觸光譜儀的檢測窗，從而保護檢測窗不受反應(yīng)氣體腐蝕，有效延長檢測窗的使用壽命；另外，由于所述直角彎管的一端通過快速接頭與所述轉(zhuǎn)接頭密封連接，另一端通過另一快速接頭與光譜儀的檢測窗密封連接，因此，在更換檢測窗時，不需要將轉(zhuǎn)接頭從反應(yīng)腔室的腔壁上不拆卸，而是僅僅將檢測窗和直角彎管從轉(zhuǎn)接頭下拆下來，從而可以避免反應(yīng)腔室的腔壁上的螺紋孔出現(xiàn)磨損現(xiàn)象，進而有效避免了反應(yīng)腔室出現(xiàn)泄漏事故；再者，快速接頭具有拆裝方便的優(yōu)點。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，所述反應(yīng)腔室的腔壁上設(shè)有檢測口， 所述光譜儀包括檢測窗，其特征在于，包括直角彎管、轉(zhuǎn)接頭和45度反射鏡，所述轉(zhuǎn)接頭安裝于所述反應(yīng)腔室的檢測口上，所述直角彎管的一端與所述轉(zhuǎn)接頭密封連接，所述直角彎管的另一端與所述光譜儀的檢測窗密封連接，所述45度反射鏡設(shè)置于所述直角彎管內(nèi)的轉(zhuǎn)彎處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述直角彎管的一端通過快速接頭與所述轉(zhuǎn)接頭密封連接，所述直角彎管的另一端通過另一快速接頭與光譜儀的檢測窗密封連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述快速接頭內(nèi)設(shè)置有密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)接頭相對反應(yīng)腔室的端面和所述反應(yīng)腔室的腔壁上檢測口的四周設(shè)有對應(yīng)的螺紋孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 45度反射鏡采用鉻面板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述直角彎管內(nèi)靠近45度反射鏡處設(shè)置有加熱器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述直角彎管采用鋁合金管。
8.一種反應(yīng)裝置，包括反應(yīng)腔室和光譜儀，其特征在于，所述反應(yīng)腔室和所述光譜儀之間設(shè)置有如權(quán)利要求1 7中任意一項所述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實用新型公開了一種用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)，所述反應(yīng)腔室的腔壁上設(shè)有檢測口，所述光譜儀包括檢測窗，包括直角彎管和轉(zhuǎn)接頭和45度反射鏡，所述轉(zhuǎn)接頭安裝于所述反應(yīng)腔室的檢測口上，所述直角彎管的一端與所述轉(zhuǎn)接頭密封連接，另一端與所述光譜儀的檢測窗密封連接，所述45度反射鏡設(shè)置于所述直角彎管內(nèi)的轉(zhuǎn)彎處。本實用新型還公開了一種反應(yīng)裝置，包括反應(yīng)腔室和光譜儀，所述反應(yīng)腔室和所述光譜儀之間設(shè)置有如上所述的用于連接反應(yīng)腔室和光譜儀的連接結(jié)構(gòu)。本實用新型可以防止反應(yīng)腔室內(nèi)的反應(yīng)氣體大量接觸光譜儀的檢測窗，同時可以避免反應(yīng)腔室的腔壁上的螺紋組件經(jīng)常拆卸，從而有效延長反應(yīng)腔室和光譜儀的檢測窗的使用壽命。
文檔編號G01N21/25GK202332808SQ201120466509
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月21日
發(fā)明者劉志攀, 李文, 林東榕, 陸飛 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司