專利名稱：自動清理探針卡的探針臺的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體集成電路領域的探針臺。
背景技術：
測試儀、探針臺、探針卡是半導體行業中常用的測試設備。如圖1所示，對硅片上的待測芯片3進行測試時，首先需要在探針臺4上安裝探針卡2。通過探針卡2，測試儀1 與待測芯片3接觸，并且給待測芯片3加以各種電學參數和測試向量。探針卡2與待測芯片3接觸狀況的好壞直接影響著測試結果的正確與否。探針卡2上具有多根探針21，為了與待測芯片3達到良好的接觸性，首先探針21 與芯片3上的接觸點31接觸，如圖2中的虛線所示。然后探針21滑動一定的距離來劃破接觸點31表面的氧化膜并與下面的金屬完全接觸，如圖2中的實線所示。當一張探針卡用的次數多了后，接觸點31上劃破的氧化膜和探針卡2本身的磨損物都有可能沾附在探針21 上而造成接觸不良，更嚴重的可能造成探針21和探針21間短路。隨著半導體技術的不斷發展，大規模量產硅片的尺寸從6寸、8寸發展到12寸，同時由于線寬縮小等因素，每枚硅片上所載的芯片個數也越來越多。硅片尺寸的增大和每枚硅片上芯片數的增多直接導致測試時間和成本的增加。為了降低成本、提高測試效率，最常用的方法就是增大同測數，減少測試步進數。同測數的增加就意味著每張探針卡上探針數的增加。探針卡上探針數量M與同測數N成正比關系。如每個芯片需要探針數為K，則M = K*N。而探針卡上任何一根探卡的接觸不良，都可能造成芯片最終測試結果的異常。因此，探針數越多，發生測試異常的幾率也越高。請參閱圖3，探針臺4中專門有一個托架41，該托架41的頂部放置有清針片42。 在芯片測試過程中，清針片42依靠真空吸附固定在該托架41上。目前，為了減少或預防接觸問題的發生，當探針達到一定的扎針次數后，探針臺4會用清針片42對探針卡2上的探針進行清針處理，具體過程類似于用砂紙對探針的針頭進行打磨。該清針過程無需將探針卡2從探針臺4上拆下，托架41會自動移動到探針卡2下方，根據設定的參數對探針卡2 進行清理。但是該方法并不能完全去除探針上的附著物。為了更有效地去掉雜物，操作人員必須將探針卡從探針臺上取下，并用刷子等特殊工具來清理探針卡。這樣既浪費人力，又可能導致探針卡、探針臺在拆卸過程中損壞。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種可自動清理探針卡的探針臺，比現有探針臺采用清洗片清理探針更進一步。為解決上述技術問題，本實用新型自動清理探針卡的探針臺包括一個托架，在該托架的頂端放置有清針片，在該托架的頂端且在清針片以外的區域設有一個或多個吸孔， 這些吸孔通過管道與吸氣閥連接，并最終連接到容器。優選地，所述容器在所述管道的另一端。[0009]本實用新型利用吸塵器的原理對探針上的附著物進行清理，減少了操作人員將探針卡從探針臺上取下并手動清理探針的次數，并且可以降低由于氧化膜和探針卡本身的磨損物附著而導致的接觸不良問題發生的幾率。
圖1是現有的探針臺的立體示意圖；圖2是探針與接觸點的接觸示意圖；圖3是現有的探針臺的俯視圖；圖4是本實用新型探針臺的俯視圖；圖5是本實用新型探針臺的立體示意圖。圖中附圖標記說明1為測試儀；2為探針卡；21為探針；3為待測芯片；31為接觸點；4為探針臺；41 為托架；42為清針片；43為細孔；44為管道；45為容器。
具體實施方式
請參閱圖4，本實用新型所述的探針臺4包括一個托架41，在該托架41的頂端放置有清針片42，在該托架41的頂端且在清針片42以外的區域設有一個或多個吸孔43。請參閱圖5，這些吸孔43通過一條或多條管道44與吸氣閥(未圖示)連接，并最終連接到容器45。容器45可為一個或多個，例如可位于每條管道44的另一端。當需要對探針卡2進行清針處理或者其他任何需要的時刻，托架41與放置在它上面的清針片42—起移動到探針卡2的下方。移動的同時，打開吸氣閥，托架41頂部的的吸孔43開始吸氣，當經過探針卡2下方時，利用吸塵器的原理將探針上的附著物吸入吸孔 43內，并收納在管道44另一端的容器45中。當清針操作完成，托架41返回原位的過程中，吸孔43再次經過探針，再次打開吸氣閥，這些吸孔43再次開始吸氣，對探針上的附著物進一步地吸凈。本發明雖可減少操作人員將探針卡從探針臺上取下并手動清理探針的次數，但并不能完全避免探針的接觸不良問題。必要時，仍需要將探針卡從探針臺取下并手動清理。以上僅為本實用新型的優選實施例，并不用于限定本實用新型。對于本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種自動清理探針卡的探針臺，包括一個托架，在該托架的頂端放置有清針片，其特征是，在該托架的頂端且在清針片以外的區域設有一個或多個吸孔，這些吸孔通過管道與吸氣閥連接，并最終連接到容器。
2.根據權利要求1所述的自動清理探針卡的探針臺，其特征是，所述容器在所述管道的另一端。
專利摘要本實用新型公開了一種自動清理探針卡的探針臺，包括一個托架，在該托架的頂端放置有清針片，在該托架的頂端且在清針片以外的區域設有一個或多個吸孔，這些吸孔通過管道與吸氣閥連接，并最終連接到一個容器。本實用新型利用吸塵器的原理對探針上的附著物進行清理，減少了操作人員將探針卡從探針臺上取下并手動清理探針的次數，并且可以降低由于氧化膜和探針卡本身的磨損物附著而導致的接觸不良問題發生的幾率。
文檔編號G01R1/04GK202305579SQ20112039765
公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月18日 優先權日2011年10月18日
發明者陳婷 申請人:上海華虹Nec電子有限公司