專利名稱：單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及單晶爐檢測設備技術領域，特別是一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結構。
背景技術：
現有的單晶爐在排氣管路中設置壓力檢測口，壓力檢測口通過手閥開閉，在壓力檢測口上連接真空探頭，真空探頭檢測絕對壓力2700 以下壓力值，用于爐內拉晶工藝壓力控制。僅有該真空探頭，壓力檢測范圍小，無法對單晶爐在各個工作狀態時的壓力進行檢測，在單晶爐故障時及時報警。而且真空探頭之間安裝在壓力檢測口上，容易受粉塵污染， 造成真空探頭損壞。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結構，方便連接真空壓力傳感器，完善壓力檢測范圍，同時減少粉塵污染檢測元件。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結構，包括三通裝置，三通裝置包括直通主管和直通主管側面的支管，直通主管的一端與壓力檢測口連接，另一端與真空探頭連接，支管上具有用于與真空壓力傳感器連接的快拆法蘭裝置。在快拆法蘭裝置的法蘭對接處安裝粉塵過濾裝置。粉塵過濾裝置為帶濾網的金屬密封圈。本實用新型的有益效果是通過加裝的三通結構，增加了壓力檢測途徑，可方便的與真空壓力傳感器連接，擴大壓力檢測范圍，當設備故障時可以及時發出警報。同時加裝的三通結構增加了檢測元件距離壓力檢測口的距離，減少了粉塵污染，粉塵過濾裝置更是進一步保護了真空壓力傳感器。
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明；
圖1是本實用新型的結構示意圖；圖中，1.真空探頭，2.真空壓力傳感器，3.三通裝置，4.單晶爐報警輸出回路， 5.快拆法蘭裝置。
具體實施方式
如圖1所示，一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結構，包括三通裝置3，三通裝置3包括直通主管和直通主管側面的支管，直通主管的一端與壓力檢測口連接，另一端與真空探頭1連接，支管上具有用于與真空壓力傳感器2連接的快拆法蘭裝置5。真空壓力傳感器2與單晶爐報警輸出回路4連接，當真空壓力傳感器2檢測到的壓力信號超過設定的高壓閥值-95. OKpa時單晶爐報警輸出回路4發出報警。真空探頭1檢測絕對壓力2700 以下壓力值，用于爐內拉晶工藝壓力控制。真空壓力傳感器2檢測標準大氣壓IOlKPa 至-IOlKI^壓力值，是在真空探頭1的壓力檢測區間外增加的檢測部件。在快拆法蘭裝置5的法蘭對接處安裝粉塵過濾裝置。粉塵過濾裝置為帶濾網的金屬密封圈。
權利要求1.一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結構，其特征是包括三通裝置(3)，所述的三通裝置C3)包括直通主管和直通主管側面的支管，直通主管的一端與壓力檢測口連接，另一端與真空探頭(1)連接，支管上具有用于與真空壓力傳感器( 連接的快拆法蘭裝置 ⑶。
2.根據權利要求1所述的單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結構，其特征是在所述的快拆法蘭裝置(5)的法蘭對接處安裝粉塵過濾裝置。
3.根據權利要求2所述的單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結構，其特征是所述的粉塵過濾裝置為帶濾網的金屬密封圈。
專利摘要本實用新型涉及單晶爐檢測設備技術領域，特別是一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結構，包括三通裝置，三通裝置包括直通主管和直通主管側面的支管，直通主管的一端與壓力檢測口連接，另一端與真空探頭連接，支管上具有用于與真空壓力傳感器連接的快拆法蘭裝置。在快拆法蘭裝置的法蘭對接處安裝粉塵過濾裝置。粉塵過濾裝置為帶濾網的金屬密封圈。本實用新型的有益效果是通過加裝的三通結構，增加了壓力檢測途徑，可方便的與真空壓力傳感器連接，擴大壓力檢測范圍，當設備故障時可以及時發出警報。同時加裝的三通結構增加了檢測元件距離壓力檢測口的距離，減少了粉塵污染，粉塵過濾裝置更是進一步保護了真空壓力傳感器。
文檔編號G01L19/06GK202133501SQ201120232510
公開日2012年2月1日 申請日期2011年7月4日 優先權日2011年7月4日
發明者戴建中 申請人:常州天合光能有限公司