可變波長干涉濾波器、光模塊以及光分析裝置的制作方法

專利名稱：可變波長干涉濾波器、光模塊以及光分析裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可變波長干涉濾波器、具備該可變波長干涉濾波器的光模塊以及具備該光模塊的光分析裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，已知一種在一對基板的彼此相對的面上分別相對配置有反射鏡的光濾波器(可變波長干涉濾波器)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在這種可變波長干涉濾波器中， 使入射光在一對反射鏡之間進(jìn)行光的多重干涉，并使由于多重干涉而互相增強(qiáng)的特定波長的光透過。
在專利文獻(xiàn)1的可變波長干涉濾波器中，第一基板和第二基板對置配置。并且，在第一基板的未與第二基板相對的面上，形成有圓環(huán)狀的槽部，通過形成該槽部而在第一基板的基板中心部上形成圓柱狀的可動部和與可動部同軸且形成為圓環(huán)狀的隔膜。而且，在一對基板間，在隔膜的與第二基板相對的面和第二基板上對置配置環(huán)狀的電極，并且，在可動部的與第二基板相對的面和第二基板上對置配置有反射鏡。
利用這種構(gòu)成，通過向從一對電極分別延伸至基板的外周邊緣的各電極線施加電壓，在一對電極間就會產(chǎn)生靜電引力。由于該靜電引力，隔膜彎曲，形成有反射鏡的可動部就會沿基板厚度方向移動，進(jìn)而能夠變更一對反射鏡間的間隙。由此，可變波長干涉濾波器便能夠使對應(yīng)于間隙的特定波長的光透過。
在專利文獻(xiàn)1的可變波長干涉濾波器中，在第一基板上，在隔膜的與第二基板相對一側(cè)的面上，設(shè)有從電極延伸出至基板的外周邊緣的電極線。電極線由于在第一基板上僅形成一條，因而僅對隔膜中成膜有該電極線的一部分施加電極線的膜應(yīng)力。因此，隔膜的應(yīng)力平衡性不均勻，隔膜可能撓曲。由此使第一基板的可動部傾斜，進(jìn)而一對反射鏡有可能變得不互相平行。
于是，為了提高第一基板上的隔膜的應(yīng)力平衡性，考慮在以基板中心點為對稱中心點與所述電極線呈點對稱的位置上，形成相同構(gòu)成的電極線(撓曲防止膜用電極線)。
然而，例如，由于用于組裝可變波長干涉濾波器的模塊的布線狀態(tài)等結(jié)構(gòu)上的制約等，也有時必須在第二基板中的、與撓曲防止用電極線相對的位置上設(shè)置電極線。在這種情況下，由于在撓曲防止用電極線與第二基板的電極線之間會產(chǎn)生靜電引力，因而一對反射鏡有可能變得不彼此平行。由此，存在有不能夠?qū)⒁粚Ψ瓷溏R間的間隙準(zhǔn)確地設(shè)定為所期望的間隙這樣的課題。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1 日本專利特開2010-204457號公報發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明擬解決的課題
本發(fā)明的目的在于提供能夠準(zhǔn)確地設(shè)定為所期望的間隙的可變波長干涉濾波器、 光模塊以及光分析裝置。
解決課題的手段
本發(fā)明的可變波長干涉濾波器具備第一基板；第二基板，其與所述第一基板相對，并具有能夠向所述第一基板進(jìn)退移動的可動部；第一反射膜，其設(shè)在所述第一基板的、 與所述第二基板相對的面上；第二反射膜，其設(shè)在所述可動部的與所述第一基板相對的面上，并隔著規(guī)定的第一間隙與所述第一反射膜相對；第一電極，其設(shè)在所述第一基板的與所述第二基板相對的面上；第二電極，其設(shè)在所述第二基板的與所述第一基板相對的面上，并隔著規(guī)定的第二間隙與所述第一電極相對；第一電極線，其設(shè)在所述第一基板上，并被設(shè)置成從所述第一電極向所述第一基板的外周邊緣延伸出；第二電極線，其設(shè)在所述第二基板上，并被設(shè)置成從所述第二電極向所述第二基板的外周邊緣延伸出；第一對置電極線，其設(shè)在所述第二基板上，并被設(shè)置成與所述第一電極線相對且與所述第二電極絕緣；以及第一導(dǎo)通部，其導(dǎo)通所述第一電極線和所述第一對置電極線，其中，在從第二基板的厚度方向看的俯視圖中，所述第二電極線和所述第一對置電極線被形成為沿通過以所述可動部的中心點為中心的假想圓的所述中心點、并以等角度間隔分割所述假想圓的方向延伸出。
依照本發(fā)明，具有能夠向第一基板進(jìn)退移動的可動部的第二基板具備第二電極線，其被設(shè)置成從第二電極向第二基板的外周邊緣延伸出；以及第一對置電極線，其被設(shè)置成與第一電極線相對并與第二電極絕緣。而且，在俯視圖中，第二電極線和第一對置電極線被形成為沿通過以可動部的中心點為中心的假想圓的中心點、并以等角度間隔分割假想圓的方向延伸出。
例如，當(dāng)?shù)诙姌O線和第一對置電極線形成為180度間隔時，第二電極線和第一對置電極線就會被設(shè)置為以可動部的中心點為中心而點對稱；當(dāng)?shù)诙姌O線和第一對置電極線形成為90度間隔時，第二電極線和第一對置電極線就會被設(shè)置為以通過可動部的中心點的對稱軸為中心而線對稱。
由此，利用第二電極線和第一對置電極線，均勻地保持第二基板的應(yīng)力均衡性，如上所述，能夠防止由于在第二基板上僅有第二電極線被成膜時的膜應(yīng)力而使第二基板的可動部傾斜，進(jìn)而能夠?qū)⒁粚Ψ瓷淠ぞS持為互相平行。
并且，彼此相對的第一電極線和第一對置電極線由第一導(dǎo)通部導(dǎo)通。由此使第一電極線和第一對置電極線的電位差為零，因而能夠防止在第一電極線和第一對置電極線之間產(chǎn)生靜電引力，進(jìn)而能夠使靜電引力僅在第一電極與第二電極之間產(chǎn)生。
所以，能夠?qū)⒁粚Ψ瓷淠ぞS持為互相平行，進(jìn)而能夠精確地設(shè)定為所期望的間隙。
在本發(fā)明的可變波長干涉濾波器中，所述第二基板具有在所述第二基板的厚度方向能夠移動地保持所述可動部的連結(jié)保持部，在所述連結(jié)保持部上，形成所述第二電極線和所述第一對置電極線，所述第二電極線和所述第一對置電極線形成在所述連結(jié)保持部上的形成區(qū)域的形狀被形成為相同形狀。
可是，連結(jié)保持部由于是在所述第二基板的厚度方向能夠移動地保持可動部的部分，因而以易于發(fā)生撓曲的方式形成。
依照本發(fā)明，第二電極線和第一對置電極線形成在連結(jié)保持部上的形成區(qū)域的形狀被形成為相同的形狀。由此，在第二基板上，連結(jié)保持部的應(yīng)力平衡性被均勻地保持，因而能夠可靠地防止例如由于在連結(jié)保持部上僅有第二電極線被成膜時的膜應(yīng)力而使可動部傾斜，進(jìn)而能夠?qū)⒁粚Ψ瓷淠ぞS持為互相平行。
在本發(fā)明的可變波長干涉濾波器中，具備第二對置電極線，其設(shè)在所述第一基板上，并被設(shè)置成與所述第二電極線相對且與所述第一電極絕緣；以及第二導(dǎo)通部，其導(dǎo)通所述第二電極線和所述第二對置電極線，其中，在從第一基板的厚度方向看的俯視圖中，所述第一電極線和所述第二對置電極線被形成為沿通過以所述第一反射膜的中心點為中心的假想圓的所述中心點、并以等角度間隔分割所述假想圓的方向延伸出。
在第一基板的厚度尺寸小時，由于第一電極線的膜應(yīng)力，第一基板撓曲，第一反射膜的形成面就會變得不水平，可能無法將一對反射膜維持為彼此平行。
于是，依照本發(fā)明，在第一基板上，第一電極線和與第二電極線相對的第二對置電極線被形成為在俯視圖中沿通過以第一反射膜的中心點為中心的假想圓的中心點、并以等角度間隔分割假想圓的方向延伸出。由此，能夠防止由于僅有第一電極線被成膜時的膜應(yīng)力而在第一基板上所產(chǎn)生的撓曲，進(jìn)而能夠?qū)⒁粚Ψ瓷淠みM(jìn)一步維持為平行。
并且，彼此相對的第二電極線和第二對置電極線由第二導(dǎo)通部導(dǎo)通。由此使第二電極線和第二對置電極線的電位差為零，因而能夠防止在第二電極線和第二對置電極線之間產(chǎn)生靜電引力，進(jìn)而能夠使靜電引力僅在第一電極與第二電極之間產(chǎn)生。所以，能夠?qū)⒁粚Ψ瓷淠みM(jìn)一步維持為平行，進(jìn)而能夠準(zhǔn)確地設(shè)定為所期望的間隙。
本發(fā)明的光模塊的特征在于具備上述的可變波長干涉濾波器和接收透過所述可變波長干涉濾波器的檢查對象光的光接收部。
依照本發(fā)明，與上述的發(fā)明同樣，由于能夠?qū)⒁粚Ψ瓷淠みM(jìn)一步維持為平行，因而能夠?qū)⒖勺儾ㄩL干涉濾波器準(zhǔn)確地設(shè)定為對應(yīng)于施加電壓的所期望的間隙。所以，光模塊能夠利用光接收部進(jìn)行精度高的測定。
本發(fā)明的光分析裝置的特征在于具備上述的光模塊和根據(jù)由所述光模塊的所述光接收部接收到的光來分析所述檢查對象光的光特性的分析處理部。
依照本發(fā)明，由于具備具有上述的可變波長干涉濾波器的光模塊，因而能夠?qū)嵤┚雀叩臏y定，進(jìn)而通過根據(jù)該測定結(jié)果來實施光分析處理，能夠?qū)崿F(xiàn)可以測定準(zhǔn)確的分光特性的光分析裝置。


圖1是示出本發(fā)明所涉及的一種實施方式的測色裝置的簡要構(gòu)成的框圖。
圖2是上述實施方式的標(biāo)準(zhǔn)具的第一基板的俯視圖。
圖3是上述實施方式的標(biāo)準(zhǔn)具的第二基板的俯視圖。
圖4是上述實施方式的標(biāo)準(zhǔn)具的截面圖。
圖5是上述實施方式的標(biāo)準(zhǔn)具的部分截面圖。
圖6是上述實施方式的標(biāo)準(zhǔn)具的部分截面圖。
圖7是本發(fā)明涉及的變形例的標(biāo)準(zhǔn)具的第二基板的俯視圖。
具體實施方式
下面，將根據(jù)

本發(fā)明所涉及的一種實施方式。6
[1.測色裝置的簡要構(gòu)成]
圖1是示出本實施方式的測色裝置1(光分析裝置)的簡要構(gòu)成的框圖。如圖1所示，測色裝置1具備向檢查對象A射出光的光源裝置2、測色傳感器3 (光模塊)以及控制測色裝置1的全部動作的控制裝置4。并且，該測色裝置1是一種如下這樣的裝置使由光源裝置2射出的光在檢查對象A上反射，由測色傳感器3接收被反射過來的檢查對象光，根據(jù)從測色傳感器3輸出的檢測信號來分析并測定檢查對象光的色度即檢查對象A的顏色。
[2.光源裝置的構(gòu)成]
光源裝置2具備光源21和多個透鏡22 (在圖1中僅記載一個)，用于對檢查對象 A射出白色光。并且，在多個透鏡22中，可以包括準(zhǔn)直透鏡，在這種情況下，光源裝置2通過準(zhǔn)直透鏡將從光源21射出的白色光變?yōu)槠叫泄?，再從圖中未示出的投射透鏡向檢查對象A 射出。在本實施方式中，雖然例示具備光源裝置2的測色裝置1，但是，例如在檢查對象A為液晶面板等發(fā)光部件的情況下，可以形成為不設(shè)置光源裝置2的構(gòu)成。
[3.測色傳感器的構(gòu)成]
如圖1所示，測色傳感器3具備標(biāo)準(zhǔn)具5 (可變波長干涉濾波器)、接收透過標(biāo)準(zhǔn)具5的光的光接收元件31 (光接收部)以及能夠改變標(biāo)準(zhǔn)具5透過的光的波長的電壓控制部6。并且，測色傳感器3在與標(biāo)準(zhǔn)具5相對的位置上具備將在檢查對象A上反射過來的反射光(檢查對象光)導(dǎo)入至內(nèi)部的、圖中未示出的入射光學(xué)透鏡。于是，該測色傳感器3通過標(biāo)準(zhǔn)具5，將從入射光學(xué)透鏡射入的檢查對象光中的規(guī)定波長的光分光，再由光接收元件 31接收分光后的光。
光接收元件31由多個光電轉(zhuǎn)換元件構(gòu)成，生成對應(yīng)于光接收量的電信號。而且， 光接收元件31與控制裝置4連接，將生成的電信號作為光接收信號而輸出至控制裝置4。
(3-1.標(biāo)準(zhǔn)具的構(gòu)成)
圖2是標(biāo)準(zhǔn)具5的第一基板51的俯視圖，圖3是標(biāo)準(zhǔn)具5的第二基板52的俯視圖。圖4是在由圖2和圖3的標(biāo)有箭頭的IV-IV線所示的位置處的標(biāo)準(zhǔn)具5的截面圖。在圖1中，檢查對象光從圖中下側(cè)射入到標(biāo)準(zhǔn)具5，而在圖4中，檢查對象光從圖中上側(cè)射入。
如圖2和圖3所示，第一基板51和第二基板52在俯視圖中是正方形的板狀光學(xué)部件，一邊形成為例如10mm。如圖4所示，該標(biāo)準(zhǔn)具5從檢查對象光的入射一側(cè)起具備第二基板52和第一基板51，這些基板51、52通過使用了等離子體聚合膜的硅氧烷接合等經(jīng)由接合層53而互相接合進(jìn)而一體地構(gòu)成。這些兩張基板51、52分別由例如純堿玻璃、水晶玻璃、石英玻璃、鉛玻璃、鉀玻璃、硼硅玻璃、無堿玻璃等各種玻璃或者水晶等形成。
并且，如圖4所示，在第一基板51與第二基板52之間，設(shè)置有固定反射鏡M (第一反射膜)和可動反射鏡55 (第二反射膜)。在這里，固定反射鏡M形成在第一基板51的、 與第二基板52相對的面上，可動反射鏡55形成在第二基板52的、與第一基板51相對的面上。并且，這些固定反射鏡M和可動反射鏡55隔著反射鏡間間隙Gl (第一間隙)而對置配置。
并且，在第一基板51和第二基板52之間，設(shè)置有用于調(diào)整各反射鏡M、55間的反射鏡間間隙Gl的尺寸的靜電致動器56。
(3-1-1.第一基板的構(gòu)成)
第一基板51通過利用蝕刻法加工厚度為例如500 μ m的玻璃基材而形成。如圖2和圖4所示，在該第一基板51上，通過蝕刻法形成有電極形成槽511和反射鏡固定部512。
在電極形成槽511中，在從反射鏡固定部512的外周邊緣到電極形成槽511的內(nèi)周壁面之間，形成環(huán)狀的電極固定面511A，在該電極固定面511A上形成第一電極561。以本發(fā)明所涉及的固定反射鏡討的中心點C為中心的假想圓相當(dāng)于環(huán)狀的第一電極561。
第一電極561只要是具有導(dǎo)電性，且通過在第一電極561與第二基板52的后述的第二電極562之間施加電壓，能夠在第一電極561和第二電極562之間產(chǎn)生靜電引力的就可以，沒有特別限定，而在本實施方式中，使用ITOandium Tin Oxide 氧化銦錫)，但也可以使用Au/Cr等金屬層疊體。并且，在第一電極561的上面，雖然省略了圖示，但為了防止由第一電極561和第二電極562之間的放電等引起的泄漏而形成有絕緣膜。作為該絕緣膜， 能夠使用SiO2或者TEOSCTetraEthoxySilane)等，尤其是優(yōu)選具有與形成第一基板51的玻璃基板相同的光學(xué)特性的Si02。作為絕緣膜，在使用S^2時，由于在第一基板51和絕緣膜之間沒有光的反射等，因而可以在第一基板51上形成了第一電極561之后，在第一基板51 的、與第二基板52相對一側(cè)的面的整個面上形成絕緣膜。
如圖2所示，反射鏡固定部512與電極形成槽511同軸并形成為直徑尺寸比電極形成槽511小的大致圓柱狀，在與第二基板52相對一側(cè)的面上具備反射鏡固定面512A。
而且，在反射鏡固定面512A上，固定有由直徑大約3mm、圓形的TiO2-SiO2類電介質(zhì)多層膜形成的固定反射鏡M。在本實施方式中，作為固定反射鏡M，雖然示出了使用 TiO2-SiO2類電介質(zhì)多層膜的反射鏡的例子，但也可以形成為使用Ag合金單層反射鏡的構(gòu)成，作為可分光的波長區(qū)域其能夠覆蓋整個可見光范圍。
在圖2所示的俯視圖中，三條第一電極線561A被形成為從第一電極561的外周邊緣的一部分沿第一基板51的對角線向左上方、右上方以及右下方延伸出。
并且，一條第二對置電極線561B與第一電極561絕緣，在圖2所示的俯視圖中，被形成為從與第一電極561的外周邊緣離開的位置沿第一基板51的對角線向左下方延伸出。
并且，在第一電極線561A和第二對置電極線561B的頂端，形成第一電極襯墊 561P，第一電極襯墊561P與電壓控制部6(參照圖1)連接。于是，在驅(qū)動靜電致動器56時， 通過電壓控制部6 (參照圖1)，在第一電極襯墊56IP上施加電壓。
如上所述，三條第一電極線561A和一條第二對置電極線561B由于沿第一基板51 的對角線形成，因而在第一電極561的周向上以等角度間隔(90度間隔)形成。S卩，三條第一電極線561A和一條第二對置電極線561B以如下方式形成在沿第一基板51的厚度方向看的俯視圖(以下，標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖)中，以固定反射鏡M的中心點C(第一基板51的基板中心點)為中心而呈點對稱。由此，通過在第一基板51上成膜形成第一電極線561A和第二對置電極線561B而使在第一基板51上所產(chǎn)生的膜應(yīng)力在第一基板51的面內(nèi)均勻化，進(jìn)而使反射鏡固定面512A的傾斜受到抑制。
在這里，在第一基板51中，未形成有電極形成槽511和反射鏡固定部512的部分成為第一基板51的接合面513。如圖3所示，在該接合面513上，形成有接合用的接合層 53。在該接合層53上，能夠使用有機(jī)聚硅氧烷被用作主材料的等離子體聚合膜等。
(3-1-2.第二基板的構(gòu)成)
第二基板52通過利用蝕刻法加工厚度為例如200 μ m的玻璃基材而形成。在該第二基板52上，形成有例如在俯視圖中以基板中心點為中心的圓形的位移部521。如圖3和圖4所示，該位移部521與能夠向第一基板51進(jìn)退移動的圓柱狀的可動部522同軸，并具備在標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖中被形成為圓環(huán)狀且沿第二基板52的厚度方向能夠移動地保持可動部 522的連結(jié)保持部523。
位移部521通過在作為第二基板52的形成材料的平板狀玻璃基材上利用蝕刻法形成槽而形成。即，位移部521通過在第二基板52的、未與第一基板51相對的入射一側(cè)的面上蝕刻形成用于形成連結(jié)保持部523的圓環(huán)狀的圓環(huán)槽部523A而形成。
可動部522的厚度尺寸形成得比連結(jié)保持部523大，例如，在本實施方式中，形成為與第二基板52的厚度尺寸相同尺寸的200 μ m。該可動部522的直徑尺寸形成得比第一基板51的反射鏡固定部512的直徑尺寸大。
在可動部522的與第一基板51相對的面上，具備平行于第一基板51的反射鏡固定面512A的可動面522A，在該可動面522A上，具備與固定反射鏡M相同構(gòu)成的可動反射鏡陽；以及第二電極562，其形成為環(huán)狀，隔著規(guī)定的第二間隙G2與第一電極561相對并與第一電極561構(gòu)成相同。以本發(fā)明所涉及的可動部522的中心點C為中心的假想圓相當(dāng)于環(huán)狀的第二電極562。
連結(jié)保持部523是包圍可動部522的周圍的隔膜，厚度尺寸形成為例如50 μ m。
在圖3所示的標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖中，一條第二電極線562A被形成為從第二電極562的外周邊緣的一部分沿第二基板52的對角線向左下方跨過連結(jié)保持部523延伸出。S卩，本發(fā)明所涉及的形成區(qū)域Ar是第二電極線562A形成在連結(jié)保持部523上的區(qū)域(圖3所示的斜線部分)。
并且，三條第一對置電極線562B與第二電極562絕緣，在圖4所示的標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖中，被形成為從與第二電極562的外周邊緣離開的位置沿第二基板52的對角線向左上方、右上方以及右下方跨過連結(jié)保持部523呈放射狀向三個方向延伸出。即，本發(fā)明所涉及的形成區(qū)域Ar是第一對置電極線562B形成在連結(jié)保持部523上的區(qū)域(圖3所示的斜線部分)。
在該形成區(qū)域Ar中，第一對置電極線562B和第二電極線562A形成為長度尺寸、 寬度尺寸以及厚度尺寸都相等的相同形狀。
于是，一條第二電極線562A和三條第一對置電極線562B由于沿第二基板51的對角線形成，因而在第二電極562的周向上，以等角度間隔(90度間隔)形成。S卩，一條第二電極線562A和三條第一對置電極線562B以如下方式形成在標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖中以可動部522 的中心點(第二基板52的基板中心點)為中心而呈點對稱。
如上所述，通過使第二電極線562A和第一對置電極線562B在連結(jié)保持部523的形成區(qū)域Ar中形成為相同的形狀，由于第二電極線562A和第一對置電極線562B的膜應(yīng)力而產(chǎn)生的連結(jié)保持部523的應(yīng)力平衡就會均勻化。由此便不會使可動部522由于在連結(jié)保持部523上所產(chǎn)生的膜應(yīng)力而傾斜，可動面522A和反射鏡固定面512A就會彼此平行。
在第二電極線562A和第一對置電極線562B的頂端，形成第二電極襯墊562P，第二電極襯墊562P與電壓控制部6(參照圖1)連接。于是，在驅(qū)動靜電致動器56時，通過電壓控制部6 (參照圖1)在第二電極襯墊562P上施加電壓。
在這里，在第二基板52的與第一基板51相對的面上，與第一基板51的接合面513 相對的區(qū)域成為第二基板52上的接合面524。在該接合面5M上，與第一基板51的接合面513同樣，設(shè)有使用有機(jī)聚硅氧烷作為主材料的接合層53。
(3-1-3.電極線和對置電極線的導(dǎo)通結(jié)構(gòu))
圖5是圖2和圖3的V-C線截面圖，是標(biāo)準(zhǔn)具5的部分截面圖。
如圖5所示，第一對置電極線562B與第一電極線56IA相對配置，通過第一導(dǎo)通部 61與第一電極線561A導(dǎo)通連接。
第一導(dǎo)通部61與第一對置電極線562B和第一電極線56IA粘結(jié)，使第一對置電極線562B與第一電極線561A導(dǎo)通。該第一導(dǎo)通部61由具有導(dǎo)電性的材料形成，例如，由Ag 漿料形成。
圖6是圖2和圖3的VI-C線截面圖，是標(biāo)準(zhǔn)具5的部分截面圖。
如圖6所示，第二對置電極線56IB與第二電極線562A相對配置，通過第二導(dǎo)通部 62與第二電極線562A導(dǎo)通連接。
第二導(dǎo)通部62與第二對置電極線561B和第二電極線562A結(jié)合，使第二對置電極線561B與第二電極線562A導(dǎo)通。
此外，第二導(dǎo)通部62由與第一導(dǎo)通部61相同的材料形成。
如上所述，由于第二對置電極線561B與第二電極線562A導(dǎo)通連接，并且，第一對置電極線562B與第一電極線561A導(dǎo)通連接，因而第二對置電極線561B與第二電極線562A 的電位差以及第一對置電極線562B與第一電極線561A的電位差都為0。S卩，能夠防止在第一電極561與第一對置電極線562B之間產(chǎn)生靜電引力，而僅在第一電極561與第二電極 562之間產(chǎn)生靜電引力。并且，能夠防止在第二電極562與第二對置電極線561B之間產(chǎn)生靜電引力，而僅在第二電極562與第一電極561之間產(chǎn)生靜電引力。
并且，第一對置電極線562B最接近于第二電極562的一端部562B1與第二電極 562之間的距離L以及第二對置電極線561B最接近于第一電極561的一端部561B1與第一電極561之間的距離分別為大約Imm左右。與其相對，電極間的第二間隙G2的尺寸為大約 1 μ m至大約2 μ m,因而即使在電極間產(chǎn)生了靜電引力的情況下，也不會在第一對置電極線 562B與第二電極562之間以及第二對置電極線561B與第一電極561之間產(chǎn)生靜電引力。 此外，在圖5和圖6中，為了圖示上的方便，上述的距離L以及第二間隙G2的尺寸變?yōu)榱伺c上述的尺寸不同。
(3-2.電壓控制部的構(gòu)成)
電壓控制部6根據(jù)由控制裝置4輸入的控制信號來控制施加在靜電致動器56的第一電極561和第二電極562上的電壓。
[4.控制裝置的構(gòu)成]
控制裝置4控制測色裝置1的全部動作。作為該控制裝置4，能夠使用例如通用個人電腦或者便攜式信息終端，其他還能夠使用測色專用電腦等。
而且，如圖1所示，控制裝置4具備如下部分而構(gòu)成光源控制部41、測色傳感器控制部42以及測色處理部43 (分析處理部)等。
光源控制部41與光源裝置2連接。于是，光源控制部41根據(jù)例如用戶的設(shè)定輸入，向光源裝置2輸出規(guī)定的控制信號，進(jìn)而使規(guī)定亮度的白色光從光源裝置2射出。
測色傳感器控制部42與測色傳感器3連接。于是，測色傳感器控制部42根據(jù)例如用戶的設(shè)定輸入，設(shè)定將由測色傳感器3所接收到的光的波長，并將旨在檢測該波長的光的光接收量的控制信號輸出至測色傳感器3。由此，測色傳感器3的電壓控制部6根據(jù)控制信號，以使用戶所希望的光的波長透過的方式來設(shè)定向靜電致動器56所施加的電壓。
測色處理部43通過控制測色傳感器控制部42來使標(biāo)準(zhǔn)具5的反射鏡間間隙變化，進(jìn)而使透過標(biāo)準(zhǔn)具5的光的波長變化。并且，測色處理部43根據(jù)由光接收元件31所輸入的光接收信號，獲取透過了標(biāo)準(zhǔn)具5的光的光量。然后，測色處理部43根據(jù)通過上述得到的各波長的光的光接收量，算出由檢查對象A反射過來的光的色度。
[5.本實施方式的作用效果]
依照上述的本實施方式所涉及的標(biāo)準(zhǔn)具5，將起到如下效果
依照本實施方式，具有能夠向第一基板51進(jìn)退移動的可動部522的第二基板52 具備第二電極線562A，其被設(shè)置成從第二電極562延伸出至第二基板52的外周邊緣；以及第一對置電極線562B，其被設(shè)置成與第一電極線561A相對，并與第二電極562絕緣。而且，第二電極線562A與第一對置電極線562B在標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖中被形成為沿通過以可動部 522的中心點C為中心的假想圓(第二電極562)的中心點C、并以等角度間隔(90度間隔) 分割假想圓的方向延伸出。由此，利用第二電極線562A和第一對置電極線562B，均勻地保持第二基板52的應(yīng)力均衡性，如上所述，能夠防止由于在第二基板52上僅有第二電極線 562A被成膜時的膜應(yīng)力而使第二基板52的可動部522傾斜，進(jìn)而能夠?qū)⒁粚Ψ瓷溏RM、55 維持為彼此平行。
并且，彼此相對的第一電極線561A和第一對置電極線562B由第一導(dǎo)通部61導(dǎo)通。由此使第一電極線561A和第一對置電極線562B的電位差為零，因而能夠防止在第一電極線561A與第一對置電極線562B之間產(chǎn)生靜電引力，而能夠使靜電引力僅在第一電極 561與第二電極562之間產(chǎn)生。
所以，能夠?qū)⒁粚Ψ瓷溏RM、55維持為彼此平行，進(jìn)而能夠準(zhǔn)確地設(shè)定為所期望的間隙Gl。
并且，第二電極線562A和第一對置電極線562B形成在連結(jié)保持部523上的形成區(qū)域Ar的形狀被形成為相同的形狀。由此，在第二基板52上，連結(jié)保持部523的應(yīng)力平衡性被均勻地保持，因而能夠可靠地防止例如由于在連結(jié)保持部523上僅有第二電極線562A 被成膜時的膜應(yīng)力而使可動部522傾斜，進(jìn)而能夠?qū)⒁粚Ψ瓷溏R54、55維持為彼此平行。
并且，在第一基板51中，第一電極線561A以及與第二電極線562A相對的第二對置電極線561B被形成為在標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖中沿通過以固定反射鏡M的中心點C為中心的假想圓(第一電極561)的中心點C、并以等角度間隔(90度間隔)分割假想圓的方向延伸出。 由此，能夠防止由于僅有第一電極線561A被成膜時的膜應(yīng)力而在第一基板51上所產(chǎn)生的撓曲，進(jìn)而能夠?qū)⒁粚Ψ瓷溏RM55進(jìn)一步維持為平行。
并且，彼此相對的第二電極線562A和第二對置電極線561B由第二導(dǎo)通部62導(dǎo)通。由此使第二電極線562A和第二對置電極線561B的電位差為零，因而能夠防止在第二電極線562A與第二對置電極線561B之間產(chǎn)生靜電引力，而能夠使靜電引力僅在第一電極 561與第二電極562之間產(chǎn)生。所以，能夠?qū)⒁粚Ψ瓷溏RM、55進(jìn)一步維持為平行，進(jìn)而能夠準(zhǔn)確地設(shè)定為所期望的間隙G1。
[實施方式的變形]
本發(fā)明并不限定于上述的實施方式，在能夠達(dá)到本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)的變形、改良等也被包含在本發(fā)明中。
圖7是根據(jù)本發(fā)明的變形例的標(biāo)準(zhǔn)具5A的第二基板52A的俯視圖。
在上述實施方式中，在第二基板52上形成了四條電極線562A、562B，而在本變形例中，在第二基板52A上形成有三條電極線562A、562B。
具體而言，標(biāo)準(zhǔn)具5A的第二基板52A具備一條第二電極線562A，其被形成為從第二電極562向第二基板52的外周邊緣延伸出；以及兩條第一對置電極線562B，其被形成為與第二電極562絕緣。而且，第二電極線562A和第一對置電極線562B在標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖中以基板中心點為中心的假想圓的周向上，以120度間隔形成。
并且，關(guān)于電極線的條數(shù)，也不是被限定于所述實施方式和所述變形例的條數(shù)，例如，一條第二電極線和一條第一對置電極線可以被形成為在標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖中沿通過以可動部的中心點為中心的假想圓的中心點、并以等角度間隔分割假想圓的方向延伸出。
在所述實施方式中，在可動面522A上形成了第二電極562，但該第二電極562也可以形成在連結(jié)保持部523的、與第一基板51相對的面上。
在所述實施方式中，在第一基板51上設(shè)有第二對置電極線561B，但也可以是不設(shè)置第二對置電極線561B的構(gòu)成。在這種情況下，可以將第一基板51的厚度尺寸增大至第一基板51不會由于在第一基板51上成膜形成第一電極線561A時所產(chǎn)生的膜應(yīng)力而撓曲的程度。
在所述實施方式中，在各基板51、52上沿各基板51、52的對角線分別形成了四條各電極線561A、561B、562A、562B，但第一電極線561A和第二對置電極線561B以及第二電極線562A和第一對置電極線562B只要以在標(biāo)準(zhǔn)具俯視圖中以可動部522的中心點為中心而呈點對稱的方式形成就可以。
在所述實施方式中，接合面513、5M是由接合層53接合的，但不限于此。例如，可以不形成接合層53，而采用通過所謂的常溫活性化接合使接合面513、5M接合的結(jié)構(gòu)等， 該常溫活性化接合通過將接合面513、5M活性化，再將活性化后的接合面513、5M重疊并加壓來進(jìn)行接合，可以使用任何接合方法。
在所述實施方式中，作為本發(fā)明的光模塊，例示了測色傳感器3，作為光分析裝置， 例示了具備測色傳感器3的測色裝置1，但并非限定于此。例如，可以將使氣體流入到傳感器內(nèi)部、檢測入射光中的被氣體所吸收的光的氣體傳感器用作本發(fā)明的光模塊，將利用這種氣體傳感器來分析、判別流入至傳感器內(nèi)的氣體的氣體檢測裝置作為本發(fā)明的光分析裝置。并且，光分析裝置可以是具備這種光模塊的分光照相機(jī)、分光分析器等。
并且，通過使各波長的光的強(qiáng)度經(jīng)時變化，也能夠用各波長的光來傳送數(shù)據(jù)。在這種情況下，通過用設(shè)在光模塊中的標(biāo)準(zhǔn)具5來使特定波長的光分光，再由光接收部接收，能夠提取由特定波長的光所傳送的數(shù)據(jù)，通過利用具備這種數(shù)據(jù)提取用光模塊的光分析裝置來處理各波長的光的數(shù)據(jù)，也能夠?qū)嵤┕馔ㄐ拧?br> 符號說明
1測色裝置(光分析裝置) 5、5A標(biāo)準(zhǔn)具(可變波長干涉它 31光接收部 51第一基板54固定反射鏡(第一反射膜) 61第一導(dǎo)通部 522可動部 561第一電極
561A第一電極線 562A第二電極線 Ar形成區(qū)域 G2第二間隙3測色傳感器(光模塊) 波器)43測色處理部(分析處理部) 52、52A第二基板55可動反射鏡(第二反射膜) 62第二導(dǎo)通部 523連結(jié)保持部562第二電極561B第二對置電極線562B第一對置電極線 Gl反射鏡間間隙(第一間隙)
權(quán)利要求
1.一種可變波長干涉濾波器，其特征在于，具備第一基板；第二基板，所述第二基板與所述第一基板相對，并具有能夠相對于所述第一基板進(jìn)退移動的可動部；第一反射膜，所述第一反射膜設(shè)在所述第一基板的、與所述第二基板相對的面上； 第二反射膜，所述第二反射膜設(shè)在所述可動部的與所述第一基板相對的面上，并隔著規(guī)定的第一間隙與所述第一反射膜相對；第一電極，所述第一電極設(shè)在所述第一基板的與所述第二基板相對的面上； 第二電極，所述第二電極設(shè)在所述第二基板的與所述第一基板相對的面上，并隔著規(guī)定的第二間隙與所述第一電極相對；第一電極線，所述第一電極線設(shè)在所述第一基板上，并被設(shè)置成從所述第一電極向所述第一基板的外周邊緣延伸出；第二電極線，所述第二電極線設(shè)在所述第二基板上，并被設(shè)置成從所述第二電極向所述第二基板的外周邊緣延伸出；第一對置電極線，所述第一對置電極線設(shè)在所述第二基板上，并被設(shè)置成與所述第一電極線相對且與所述第二電極絕緣；以及第一導(dǎo)通部，所述第一導(dǎo)通部導(dǎo)通所述第一電極線和所述第一對置電極線， 在從第二基板的厚度方向看的俯視圖中，所述第二電極線和所述第一對置電極線被形成為沿通過以所述可動部的中心點為中心的假想圓的所述中心點、并以等角度間隔分割所述假想圓的方向延伸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可變波長干涉濾波器，其特征在于，所述第二基板具有將所述可動部保持為在所述第二基板的厚度方向能夠移動的連結(jié)保持部，在所述連結(jié)保持部上，形成有所述第二電極線和所述第一對置電極線， 所述第二電極線和所述第一對置電極線形成在所述連結(jié)保持部上的形成區(qū)域的形狀被形成為相同形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的可變波長干涉濾波器，其特征在于，所述可變波長干涉濾波器具備第二對置電極線，所述第二對置電極線設(shè)在所述第一基板上，并被設(shè)置成與所述第二電極線相對且與所述第一電極絕緣；以及第二導(dǎo)通部，所述第二導(dǎo)通部導(dǎo)通所述第二電極線和所述第二對置電極線， 在從第一基板的厚度方向看的俯視圖中，所述第一電極線和所述第二對置電極線被形成為沿通過以所述第一反射膜的中心點為中心的假想圓的所述中心點、并以等角度間隔分割所述假想圓的方向延伸出。
4.一種光模塊，其特征在于，具備權(quán)利要求1至3中任一項所述的可變波長干涉濾波器；以及接收透過所述可變波長干涉濾波器的檢查對象光的光接收部。
5.一種光分析裝置，其特征在于，具備 權(quán)利要求4所述的光模塊；以及根據(jù)由所述光模塊的所述光接收部接收到的光來分析所述檢查對象光的光特性的分析處理部。
6. 一種可變波長干涉濾波器，其特征在于，具備第一電極，所述第一電極設(shè)在第一基板上；第二電極，所述第二電極設(shè)在具有可動部的第二基板上，并與所述第一電極相對；第一電極線，所述第一電極線被設(shè)置成從所述第一電極向所述第一基板的外周邊緣延伸出；第二電極線，所述第二電極線被設(shè)置成從所述第二電極向所述第二基板的外周邊緣延伸出；第一對置電極線，所述第一對置電極線被設(shè)置成與所述第一電極線相對并與所述第二電極絕緣；以及第一導(dǎo)通部，所述第一導(dǎo)通部導(dǎo)通所述第一電極線和所述第一對置電極線，在從所述第二基板的厚度方向看的俯視圖中，所述第二電極線和所述第一對置電極線配置在沿通過以所述可動部的中心點為中心的假想圓的中心點、并以等角度間隔分割所述假想圓的方向延伸的直線上。
全文摘要
一種可變波長干涉濾波器、光模塊以及光分析裝置。該可變波長干涉濾波器具備第一電極，其設(shè)在第一基板上；第二電極，其設(shè)在具有可動部的第二基板上，并與第一電極對置；第一電極線，其被設(shè)置成從第一電極向第一基板的外周邊緣延伸出；第二電極線，其被設(shè)置成從第二電極向第二基板的外周邊緣延伸出；第一對置電極線，其被設(shè)置成與第一電極線相對且與第二電極絕緣；以及第一導(dǎo)通部，其導(dǎo)通第一電極線和第一對置電極線，其中，第二電極線和第一對置電極線在從第二基板的厚度方向看的俯視圖中，被形成為沿通過以可動部的中心點為中心的假想圓的中心點、并以等角度間隔分割假想圓的方向延伸出。
文檔編號G01J3/02GK102540311SQ20111040676
公開日2012年7月4日 申請日期2011年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月8日
發(fā)明者松下友紀(jì), 松野靖史 申請人:精工愛普生株式會社