專利名稱：銅-磷坯塊、陽極的檢測方法及銅-磷陽極的形成方法
技術領域：
本發明涉及電子工藝制造領域，尤其涉及銅-磷坯塊、銅-磷陽極的檢測方法及銅-磷陽極的形成方法。
背景技術：
在電子工藝領域，例如印刷電路板上，經常有一些用做焊點的凸起，由于銅相對于鋁具有較高的導電率，因此銅焊點廣泛地應用于電子器件制作過程中。銅焊點一般通過化學鍍工藝沉積到電路板上。在化學鍍工藝中，陽極材料使用較多的是銅-磷合金，銅-磷合金可被認為是摻磷的銅。磷的摻入有助于在陽極表面產生黑氧化物膜。該膜具有三個功能 (1)、該膜可以捕獲雜質而作為過濾物；(2)、該膜可以調節銅的溶解速率，并且由于使銅在溶液中的含量保持在一定且理想的水平；(3)、通過摻磷可以促進淀積的銅的晶粒細化。一般，對銅-磷陽極的制作包括提供銅-磷坯塊，對該坯塊按目標陽極的形狀進行下料，之后對下料后的銅-磷坯塊進行多次機械加工，具體地，經過鍛打、壓延等塑性變形，熱處理調整內部組織結構，滿足銅陽極要求。然后經過機械加工達到銅陽極尺寸要求， 即得到目標陽極。對銅-磷坯塊進行下料前，需要對該坯塊進行質量檢測，現有技術中一般采用射線照相法，射線照相是指用X射線或Y射線穿透試件，以膠片作為記錄信息的器材的無損檢測方法，該方法是最基本的，應用最廣泛的一種非破壞性檢驗方法。射線照相檢驗法的原理為射線能穿透肉眼無法穿透的物質使膠片感光，當X射線或Y射線照射膠片時，與普通光線一樣，能使膠片乳劑層中的鹵化銀產生潛影，由于不同密度的物質對射線的吸收系數不同，照射到膠片各處的射線能量也就會產生差異，便可根據暗室處理后的底片各處黑度差來判別缺陷。上述檢測合格后，進行對銅-磷陽極的制作。銅-磷陽極制作完畢后，需對該陽極成品再進行一次檢測。在此次檢測過程中，對質量不合格的銅-磷陽極需被銷毀。然而，本發明的發明人仔細對銅-磷坯塊的檢測過程及銅-磷陽極加工工藝進行研究發現，在銅-磷陽極制作完畢后再次對銅-磷陽極進行檢測中的不合格陽極并非僅由于銅-磷陽極加工工藝引起，還與現有技術對銅-磷坯塊的檢測未檢測出不合格的坯塊有關。有鑒于此，實有必要對銅-磷坯塊的檢測方法進行改進。
發明內容
本發明的目的之一是提供一種新的銅-磷坯塊的檢測方法，可以避免不合格銅-磷坯塊的漏檢問題。本發明的另一目的是提供一種新的銅-磷陽極的檢測方法，可以避免不合格銅-磷陽極的漏檢問題。本發明的再一目的是提供一種新的銅-磷陽極的形成方法，可以提高銅-磷陽極產品的合格率。為實現上述目的，本發明提供一種銅-磷坯塊的檢測方法，包括提供銅-磷坯塊，所述銅-磷坯塊材質為超高純銅；對所述銅-磷坯塊進行超聲波檢測，其中，所述超聲波的頻率為5 20MHz。可選的，所述超聲波的頻率為15MHz。可選的，對所述銅-磷坯塊進行超聲波檢測是用超聲波探傷儀對所述銅-磷坯塊進行檢測。可選的，在對所述銅-磷坯塊進行超聲波檢測前還包括用超聲波探傷儀對所述銅-磷坯塊的標準試樣進行檢測。可選的，所述用超聲波探傷儀對所述銅-磷坯塊的標準試樣進行檢測包括計算所述銅-磷坯塊的標準試樣的缺陷率；在計算所得的缺陷率超出預設范圍時調整超聲波探傷儀的感度。可選的，所述標準試樣的缺陷率的預設范圍設定為2. 57% 2. 77%，所述超聲波探傷儀的感度為陽 60dB。可選的，所述超聲波檢測是以水為介質。可選的，所述超聲波探傷儀包括發送超聲波和接收超聲波反射的超聲波探頭，所述超聲波探頭伸入水中的深度為6 10mm。可選的，所述超聲波探傷儀還包括對所述超聲波進行濾波的過濾器，所述過濾器的頻率為15MHz。可選的，所述超聲波探傷儀還包括帶動超聲波探頭進行移動的超聲波探頭架，所述超聲波探頭架與銅-磷坯塊頂面的距離為55mm。進一步地，本發明還提供一種銅-磷陽極的檢測方法，包括提供銅-磷陽極，所述銅-磷陽極材質為超高純銅；對所述銅-磷陽極進行超聲波檢測，其中，所述超聲波的頻率為5 20MHz。可選的，所述超聲波的頻率為15MHz。可選的，對所述銅-磷陽極進行超聲波檢測是用超聲波探傷儀對所述銅-磷陽極進行檢測。可選的，在對所述銅-磷陽極進行超聲波檢測前還包括用超聲波探傷儀對所述銅-磷陽極的標準試樣進行檢測。可選的，所述用超聲波探傷儀對所述銅-磷陽極的標準試樣進行檢測包括計算所述銅-磷陽極的標準試樣的缺陷率；在計算所得的缺陷率超出預設范圍時調整超聲波探傷儀的感度。可選的，所述標準試樣的缺陷率的預設范圍設定為2. 57% 2. 77%，所述超聲波探傷儀的感度為陽 60dB。可選的，所述超聲波檢測是以水為介質。可選的，所述超聲波探傷儀包括發送超聲波和接收超聲波反射的超聲波探頭，所述超聲波探頭伸入水中的深度為6 10mm。可選的，所述超聲波探傷儀還包括對所述超聲波進行濾波的過濾器，所述過濾器的頻率為15MHz。
可選的，所述超聲波探傷儀還包括帶動超聲波探頭進行移動的超聲波探頭架，所述超聲波探頭架與銅-磷陽極頂面的距離為^mm。此外，本發明還提供一種銅-磷陽極的形成方法，包括利用上述描述的銅-磷坯塊檢測方法對銅-磷坯塊進行檢測；對合格的銅-磷坯塊進行加工以形成銅-磷陽極。與現有技術相比，上述技術方案具有以下優點對銅-磷坯塊進行超聲波檢測，該檢測無需破壞銅-磷坯塊，通過對超聲波信號特征進行分析，可以得到銅-磷坯塊的缺陷位置、大小和形狀評價的定量化直觀結果。并且這里的超聲波檢測比傳統的射線照相檢驗法具有更高準確度。從而可以避免不合格銅-磷坯塊的漏檢，進而避免漏撿出的不合格坯塊的進一步加工而導致形成銅-磷陽極后才被認定不合格的狀況；采用上述檢測合格的銅-磷坯塊形成銅-磷陽極，從理論上講，可以提高銅-磷陽極成品的合格率；對銅-磷陽極成品采用超聲波檢測，與銅-磷坯塊的超聲波檢測方法類似，由于有比傳統的射線照相檢驗法具有更高準確度，可以提高出廠的銅-磷陽極成品的質量，使得在使用過程中，銅-磷陽極為均勻消耗，可以產生更均勻的鍍覆膜、并延長了陽極的壽命。
圖1是本發明實施方式銅-磷坯塊的檢測方法的基本流程圖；圖2是本發明實施例銅-磷坯塊的檢測方法的流程圖；圖3是本發明實施例的銅-磷坯塊的標準試樣的電子掃描圖；圖4是本發明實施例銅-磷坯塊的檢測方法的檢測示意圖；圖5是本發明實施例銅-磷坯塊的檢測方法的流程圖。
具體實施例方式正如背景技術所述，現有技術中一般是對制作完畢的銅-磷陽極再次進行檢測， 出現不合格的銅-磷陽極會被認為是由銅-磷陽極加工工藝(內部組織結構會改變)引起的，因而總是不斷地改進銅-磷陽極加工工藝，以提高銅-磷陽極成品的良率。本發明的發明人發現，在對制作完畢的銅-磷陽極再次進行檢測中的不合格陽極并非只是由于銅-磷陽極加工工藝引起，現有檢測方法對銅-磷坯塊的檢測不準確而未能充分檢測出不合格的坯塊也是一個重要原因。進而，本發明人提出采用超聲波對銅-磷坯塊進行檢測，超聲波檢測是一種無損探傷檢測，通過對超聲波信號特征的分析可以得到銅-磷坯塊的缺陷位置、 大小和形狀等直觀結果，克服了現有技術中采用的射線照相法對體積型缺陷(氣孔、夾渣、 夾鎢、燒穿、咬邊、焊瘤、凹坑等)檢出率很高，而對面積型缺陷(未熔合、裂紋等)，如果照相角度不適當，容易漏檢，以及射線照相法適宜檢驗厚度較薄的工件而不宜較厚的工件，因為檢驗厚工件需要高能量的射線設備，而且隨著厚度的增加，其檢驗靈敏度也會下降的問題。為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發明的具體實施方式
做詳細的說明。由于本發明重在解釋原理，因此，未按比例制圖。圖1是本發明實施方式銅-磷坯塊的檢測方法的基本流程圖，所述方法包括步驟Sl 1，提供銅-磷坯塊，所述銅-磷坯塊材質為純度至少4N的銅-磷合金；4N
6代表含量為99. 99%。步驟S12，對所述銅-磷坯塊進行超聲波檢測，其中，所述超聲波的頻率為5 20MHz。頻率高于20000Hz的聲波稱為“超聲波”，超聲波具有方向性好，穿透能力強，易于獲得較集中的聲能，在水中傳播距離遠等特點。超聲波檢測是無損檢測方法之一，無損檢測是在不破壞工件前提下，檢查工件宏觀缺陷或測量工件特征的各種技術方法的統稱。經發明人研究和分析發現，不同材料的坯塊，超聲波的穿透能力不同，因此對應選擇的超聲波頻率也不同，針對銅-磷坯塊，確定選擇超聲波的頻率范圍在5 20MHz，例如，5MHz、IOMHz、 15MHz、20MHz，其中，以15MHz超聲波檢測的效果較佳。在步驟S12中，可以使用超聲波探傷儀對所述銅-磷坯塊進行檢測。超聲波探傷儀是運用超聲檢測的方法來檢測的儀器，其原理是超聲波在被檢測材料中傳播時，材料的聲學特性和內部組織的變化對超聲波的傳播產生一定的影響，通過對超聲波受影響程度和狀況的探測了解材料性能和結構變化。在實際應用時，為確保超聲波探傷儀工作在一個穩定的狀態下，在對所述銅-磷坯塊進行檢測前，需要先對所述銅-磷坯塊的標準試樣進行超聲波檢測，包括計算所述銅-磷坯塊的標準試樣的缺陷率；在計算所得的缺陷率超出預設范圍時調整超聲波探傷儀的控制參數，例如感度。由于超聲波在水中的傳播距離遠，因此超聲波檢測可以以水為介質，以減少環境因素(例如空氣)對檢測結果的影響。圖2是本發明實施例銅-磷坯塊的檢測方法的流程圖，本實施例中，先使用超聲波探傷儀對銅-磷坯塊的標準試樣進行檢測，若檢測到的缺陷率超出預設范圍，則調整超聲波探傷儀的控制參數；若檢測得到的缺陷率沒有超出預設范圍，則對銅-磷坯塊進行超聲波檢測。參考圖2，本實施例銅-磷坯塊的檢測方法，包括如下步驟步驟S21，提供銅-磷坯塊的標準試樣；步驟S22，使用超聲波探傷儀對所述銅-磷坯塊的標準試樣進行檢測，其中，超聲波頻率選擇為15MHz ；步驟S23，計算超聲波探傷儀檢測到的所述銅-磷坯塊的標準試樣的缺陷率；步驟S24，判斷所述計算得到的缺陷率是否超過預設范圍，若是則執行步驟S25， 若否則執行步驟S26 ；步驟S25，調整超聲波探傷儀的控制參數，接著執行步驟S22 ；步驟S^，提供銅-磷坯塊；步驟S27,使用超聲波探傷儀對銅-磷坯塊進行檢測，其中，超聲波頻率選擇為 15MHz ；步驟S28，根據超聲波檢測結果，評估銅-磷坯塊的質量。下面結合圖3和4對圖2所示的各步驟進行詳細說明。步驟S21，提供銅-磷坯塊的標準試樣。請參考圖3，其是一種銅-磷坯塊的標準試樣30的示意圖，其中，標準試樣30具有2個缺陷，其中第一缺陷30a(點缺陷)面積較大， 第二缺陷30b面積較小。銅-磷坯塊的標準試樣30與銅-磷坯塊具有相同的性能。
步驟S22，使用超聲波探傷儀對銅-磷坯塊的標準試樣進行檢測，其中，超聲波頻率選擇為15MHz。請參考圖4，其是用超聲波探傷儀對目標檢測物進行檢測的示意圖。如圖4所示，目標探測物40，即圖3所示的銅-磷坯塊的標準試樣30被放置在水中。超聲波探傷儀包括超聲波探頭41、超聲波探頭架42和控制系統(圖中未示出)。超聲波探頭41用于發送超聲波和接收超聲波反射，超聲波探頭架42用于帶動超聲波探頭41移動。本發明人發現，超聲波探頭41伸入水中的深度hi為6 10mm，超聲波探頭架42距目標探測物40頂面的距離h2為55mm時，成像清晰，漏檢幾率低。考慮到超聲波對銅-磷坯塊的穿透能力，本實施例中，超聲波探傷儀的工作頻率選擇為15MHz。一般，超聲波探傷儀還包括有過濾器，用于對超聲波進行濾波，以消除外界噪聲干擾，達到更準確的檢測結果。本實施例中，針對選擇的超聲波頻率為15MHz，過濾器的頻率選擇為15MHz。測試時，超聲波探傷儀的控制系統控制移動超聲波探頭架42，以帶動超聲波探頭 41的移動，使得超聲波探頭41發出的超聲波可以在目標探測物40的整個表面上傳播，超聲波探頭移動的步長(包括水平方向和豎直方向移動的距離)可以根據目標探測物40的大小來調節。當超聲波遇到異質界面(如缺陷)時，部分聲波會被反射并被超聲波探頭41接收，超聲波探傷儀的控制系統會將反射的超聲波信號轉換為電信號，通過分析所述轉換的電信號，可以得到缺陷位置、大小和形狀等定量化結果。步驟S23，計算超聲波探傷儀檢測到的銅-磷坯塊的標準試樣的缺陷率。其中，缺陷率=缺陷面積/目標探測物面積(％)。具體來說，圖4中，標準試樣30的缺陷率=(第一缺陷30a的面積+第二缺陷30b)/標準試樣30的面積(％ )。步驟S24，判斷所述計算得到的缺陷率是否超過預設范圍，若是則執行步驟S25， 若否則執行步驟S26。本實施例中，標準試樣30的缺陷率的預設范圍設定為2. 57% 2. 77%。若計算得到的標準試樣30的缺陷率在2. 57% 2. 77%內，說明超聲波探傷儀處于穩定的工作狀態，則執行步驟S26。否則，則執行步驟S25。步驟S25，調整超聲波探傷儀的控制參數，接著執行步驟S22。超聲波探傷儀包括多個可調的控制參數，例如，工作頻率、增益控制、衰減控制、步長調節和感度調節等等。經發明人研究和分析發現，針對不同材料的銅-磷坯塊式，可以對應設置不同的超聲波探傷儀的感度范圍，以確保其檢測穩定性，感度又稱為探傷靈敏度。本實施例中，針對銅-磷坯塊，將感度控制在陽 60dB的范圍內，可以提高超聲波檢測的穩定性，感度可以進行微調。 在對感度進行微調后，繼續執行步驟S22，再對銅-磷坯塊的標準試樣進行檢測并計算缺陷率。步驟S^，提供銅-磷坯塊。步驟S27,使用超聲波探傷儀對銅-磷坯塊進行檢測，其中，超聲波頻率選擇為 15MHz。對銅-磷坯塊進行檢測與步驟S22基本相同，不同的是，圖4中的目標探測物40為銅-磷坯塊，超聲波探頭41產生的超聲波在銅-磷坯塊內傳播，以檢測銅-磷坯塊的質量。步驟S28，根據超聲波檢測結果，評估銅-磷坯塊的質量。選用15MHz的超聲進行檢測，在缺陷尺寸較大時檢測效果很好，可以直接從超聲波探頭接收的反射波的高度來判斷界面質量；對于細小的缺陷，通過將反射的超聲波信號轉換為電信號并對其進行分析，可以獲取缺陷的位置、大小和形狀，從而實現對銅-磷坯塊質量好壞的定性和定量的評估，并且，通過檢測能計算出的缺陷率可以精確到小數點后兩位。上述步驟完成后，接著對合格的銅-磷坯塊進行加工以形成銅-磷陽極。上述步驟中的工藝可以采用現有的工藝加工。為驗證本發明的效果，對采用現有工藝形成的銅-磷陽極進行檢測，同等條件下， 不合格率可以降低5個百分點。綜上所述，上述實施例采用超聲波銅-磷坯塊進行質量檢測，其無需破壞銅-磷坯塊，通過對超聲波信號特征和缺陷特征的分析，可以得到銅-磷坯塊的缺陷位置、大小和形狀評價的定量化直觀結果，從而提高了銅-磷坯塊質量檢測的客觀性和可靠性，并且減少了銅-磷坯塊缺陷檢測的漏檢和誤檢問題。更重要的是，可以避免由于銅-磷坯塊漏檢引起的對加工后的銅-磷陽極進行檢測時，需對質量不合格的銅-磷陽極進行銷毀造成的銅-磷陽極加工工藝中的能耗浪費的問題。除此之外，射線照相法在檢驗厚工件時隨著厚度的增加，其檢驗靈敏度也會下降， 正是因為這個原因，本發明人發現在使用射線照相法對制作好的銅-磷陽極(薄片結構) 進行檢測時，不合格率較高，而造成此不合格的部分原因是射線照相法對銅-磷坯塊檢測不準確引起的。研究表明，銅-磷陽極材質的質量對于淀積的銅焊點薄膜的性質，例如均一度有很大影響。因此，對銅-磷陽極的檢測也非常重要。本發明也提供了與上述銅-磷坯塊檢測類似的方法對銅-磷陽極進行檢測，以提高出廠的銅-磷陽極成品的質量，使得在使用過程中，銅-磷陽極為均勻消耗，可以產生更均勻的鍍覆膜、并延長了陽極的壽命。具體地，由于銅-磷陽極由銅-磷坯塊加工而來，因此，銅-磷陽極與對銅-磷坯塊的檢測類似，參考圖5，以下簡略介紹本實施例銅-磷陽極的檢測方法。首先執行步驟S31，提供銅-磷陽極的標準試樣。執行步驟S32，使用超聲波探傷儀對所述銅-磷陽極的標準試樣進行檢測，其中， 超聲波頻率選擇為15MHz ；與對銅-磷坯塊的檢測類似，本實施例中的銅-磷陽極的超聲波檢測也以水為介質。如步驟S22中所述，參照圖4，超聲波探頭41伸入水中的深度hi為6 10mm，超聲波探頭架42距目標探測物40頂面的距離h2為55mm時，成像清晰，漏檢幾率低。該目標探測物40除了為銅-磷坯塊的標準試樣30、銅-磷坯塊外，也可以為銅-磷陽極的標準試樣、銅-磷陽極。檢測過程中，也采用過濾器對超聲波進行濾波，以消除外界噪聲干擾。本實施例中，針對選擇的超聲波頻率為15MHz，過濾器的頻率也選擇為15MHz。執行步驟S33，計算超聲波探傷儀檢測到的所述銅-磷陽極的標準試樣的缺陷率； 計算方法與步驟S23相同。執行步驟S34，判斷所述計算得到的缺陷率是否超過預設范圍，若是則執行步驟 S35，若否則執行步驟S36。該預設范圍可以與對坯塊的設定范圍相同，也可以為2. 57% 2. 77%。執行步驟S35，調整超聲波探傷儀的控制參數，接著執行步驟S32。針對銅-磷陽極，可以與坯塊設定為相同，例如感度也控制在陽 60dB的范圍內。
執行步驟S36，提供銅-磷陽極。該陽極可以由檢測合格的銅-磷坯塊進行加工后形成。執行步驟S37，使用超聲波探傷儀對銅-磷陽極進行檢測，其中，超聲波頻率選擇為15MHz。本步驟除了檢測物不同外，大致與步驟S32基本相同執行步驟S38，根據超聲波檢測結果，評估銅-磷陽極的質量。本發明雖然已以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本發明，任何本領域技術人員在不脫離本發明的精神和范圍內，都可以利用上述揭示的方法和技術內容對本發明技術方案做出可能的變動和修改，因此，凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本發明技術方案的保護范圍。
權利要求
1.一種銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，包括提供銅-磷坯塊，所述銅-磷坯塊材質純度至少為4N ；對所述銅-磷坯塊進行超聲波檢測，其中，所述超聲波的頻率為5 20MHz。
2.如權利要求1所述的銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，所述超聲波的頻率為 15MHz。
3.如權利要求2所述的銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，對所述銅-磷坯塊進行超聲波檢測是用超聲波探傷儀對所述銅-磷坯塊進行檢測。
4.如權利要求3所述的銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，在對所述銅-磷坯塊進行超聲波檢測前還包括用超聲波探傷儀對所述銅-磷坯塊的標準試樣進行檢測。
5.如權利要求4所述的銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，所述用超聲波探傷儀對所述銅-磷坯塊的標準試樣進行檢測包括計算所述銅-磷坯塊的標準試樣的缺陷率；在計算所得的缺陷率超出預設范圍時調整超聲波探傷儀的感度。
6.如權利要求5所述的銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，所述標準試樣的缺陷率的預設范圍設定為2. 57% 2. 77%，所述超聲波探傷儀的感度為55 60dB。
7.如權利要求3所述的銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，所述超聲波檢測是以水為介質。
8.如權利要求7所述的銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，所述超聲波探傷儀包括發送超聲波和接收超聲波反射的超聲波探頭，所述超聲波探頭伸入水中的深度為6 10mm。
9.如權利要求8所述的銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，所述超聲波探傷儀還包括對所述超聲波進行濾波的過濾器，所述過濾器的頻率為15MHz。
10.如權利要求8所述的銅-磷坯塊的檢測方法，其特征在于，所述超聲波探傷儀還包括帶動超聲波探頭進行移動的超聲波探頭架，所述超聲波探頭架與銅-磷陽極頂面的距離為 55mm0
11.一種銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，包括提供銅-磷陽極，所述銅-磷陽極材質純度至少為4N ；對所述銅-磷陽極進行超聲波檢測，其中，所述超聲波的頻率為5 20MHz。
12.如權利要求11所述的銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，所述超聲波的頻率為 15MHz。
13.如權利要求12所述的銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，對所述銅-磷陽極進行超聲波檢測是用超聲波探傷儀對所述銅-磷陽極進行檢測。
14.如權利要求13所述的銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，在對所述銅-磷陽極進行超聲波檢測前還包括用超聲波探傷儀對所述銅-磷陽極的標準試樣進行檢測。
15.如權利要求14所述的銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，所述用超聲波探傷儀對所述銅-磷陽極的標準試樣進行檢測包括計算所述銅-磷陽極的標準試樣的缺陷率；在計算所得的缺陷率超出預設范圍時調整超聲波探傷儀的感度。
16.如權利要求15所述的銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，所述標準試樣的缺陷率的預設范圍設定為2. 57% 2. 77%，所述超聲波探傷儀的感度為55 60dB。
17.如權利要求13所述的銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，所述超聲波檢測是以水為介質。
18.如權利要求17所述的銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，所述超聲波探傷儀包括發送超聲波和接收超聲波反射的超聲波探頭，所述超聲波探頭伸入水中的深度為6 IOmm0
19.如權利要求18所述的銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，所述超聲波探傷儀還包括對所述超聲波進行濾波的過濾器，所述過濾器的頻率為15MHz。
20.如權利要求18所述的銅-磷陽極的檢測方法，其特征在于，所述超聲波探傷儀還包括帶動超聲波探頭進行移動的超聲波探頭架，所述超聲波探頭架與銅-磷陽極頂面的距離為 55mm0
21.一種銅-磷陽極的形成方法，其特征在于，包括采用權利要求1-10中任意一項所述的檢測方法對銅-磷坯塊進行檢測； 對合格的銅-磷坯塊進行加工以形成銅-磷陽極。
全文摘要
一種銅-磷陽極的檢測方法，包括提供銅-磷陽極，所述銅-磷陽極的銅-磷純度為4N以上；對所述銅-磷陽極進行超聲波檢測，其中，所述超聲波的頻率為5～20MHz。此外，本發明還提供一種銅-磷坯塊的檢測方法、一種銅-磷陽極的制作方法，該銅-磷陽極的制作方法包括采用上述的檢測方法對銅-磷坯塊進行檢測；接著對合格的銅-磷坯塊進行加工以形成銅-磷陽極。本發明采用的超聲波檢測比傳統的射線照相檢驗法具有更高準確度，從而可以避免不合格銅-磷陽極的漏檢。此外，對銅-磷坯塊的檢測率提高，可以避免對漏撿出的不合格坯塊的進一步加工而導致形成銅-磷陽極后才被認定不合格的狀況。
文檔編號G01N29/04GK102426193SQ20111035756
公開日2012年4月25日 申請日期2011年11月11日 優先權日2011年11月11日
發明者姚力軍, 潘杰, 王學澤, 陳勇軍 申請人:寧波江豐電子材料有限公司