專利名稱：用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置。
技術背景
強震臺網中使用的加速度計，通頻帶從零開始，在其通頻帶內各個頻率點，靈敏度可認為是相同的，線性可認為是一致的。因此，在零頻點(或稱“靜態”)對加速度計的靈敏度和線性進行準確的測量和標定，即可給出加速度計在其通頻帶內(尤其是低頻段)的主要特征參數。
目前國內比較典型的精密傾斜平臺為用于光學標定的電控傾斜臺，它采用步進電機驅動，蝸輪蝸桿傳動，由于蝸輪蝸桿傳動間隙的存在，使定位精度受限；另外由于蝸輪蝸桿傳動摩擦損耗較大，所以傳動效率較低；選裝編碼器后可實現半閉環控制，但并沒有實現全閉環控制，控制精度也受到影響；此外平臺未配高精度傾斜角度測量裝置，傾角通過電機進給量換算而來，從而產生較大的測量誤差。發明內容
為克服現有傾斜臺定位精度較低、傳動效率較低、應用范圍有限的缺點，本發明提供了一種定位精度高、傳動效率高、應用范圍廣的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置。
用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，包括底座，所述的底座上設有臺面， 與所述的臺面連接、帶動臺面轉動的轉動機構，驅動所述的臺面和轉動機構轉動的驅動機構，檢測臺面的轉動角度的檢測機構，和托持所述的臺面和轉動機構的左支撐架和右支撐架；
所述的轉動機構包括允許所述的臺面繞其轉動的主軸，與所述的臺面固接的驅動臂和轉臺，和固定于所述的轉臺的一側的配重塊；所述的主軸固定于所述的左、右支撐架上；
所述的驅動機構和配重塊分別位于所述的驅動臂兩側；所述的驅動機構包括直線電機，與所述的直線電機的動子連接的滑臺，使所述的滑臺沿直線滑動的直線導軌及滑塊， 和安裝于所述的滑臺上、檢測所述的直線電機位移的光柵尺，所述的光柵尺的讀數頭與所述的底座固定連接，所述的臺面水平時，所述的讀數頭給出光柵尺的零點信號；
所述的滑臺抵緊所述的驅動臂，所述的直線電機正方向運動時所述的滑臺推動所述的轉動機構正轉，所述的直線電機反方向運動時拉動所述的滑臺運動，由于所述的配重塊的重力作用使所述的轉動機構反轉；
所述的檢測機構包括激光干涉儀和將激光反射回所述的激光干涉儀以獲取臺面轉動角度的反射鏡，所述的反射鏡安裝于所述的臺面上。
進一步，所述的臺面與所述的轉臺固定連接，所述的轉臺通過螺栓與所述的驅動臂固接，所述的主軸穿設于所述的轉臺，所述的主軸的兩端分別通過支座固定于所述的左、4右支撐架上，所述的主軸與所述的轉臺之間設有滾動軸承。
進一步，所述的支座包括固定于所述的左、右支撐架上的下半部和將所述的主軸向所述的下半部壓緊的上半部。
進一步，所述的滑臺和驅動臂之間設有減摩承力機構，所述的減摩承力機構包括固定于所述的滑臺上的鋼球和固定于所述的驅動臂上的承受所述的滑臺的推力、并減小與所述的鋼球之間的摩擦的減摩承力板，所述的減摩承力板上與所述的鋼球的接觸面垂直于所述的臺面的上表面，所述的滑臺上固定有球座，所述的鋼球通過壓球圓螺母安裝于所述的球座內，所述的鋼球抵緊所述的減摩承力板。
進一步，所述的球座包括通過螺栓與所述的滑臺固接的環形座，和容納所述的鋼球的圓柱形凸臺，所述的凸臺內設有圓臺狀凹陷，所述的鋼球置于所述的凹陷內、且與所述的凹陷線接觸，所述的凸臺的外表面設有與所述的壓球圓螺母連接的外螺紋，所述的壓球圓螺母的頂端設有一圈向內延伸的擋環，所述的擋環阻止所述的鋼球脫離所述的球座。
進一步，所述的傾斜平臺裝置還設有能夠平衡所述的配重塊對所述的滑臺造成的作用力的力平衡彈簧機構，所述的力平衡彈簧機構包括固定于所述的滑臺上的彈簧吊釘， 固定于所述的底座上的彈簧支架，穿設于所述的彈簧支架上的彈簧拉釘，與所述的彈簧拉釘螺接的螺母，和設置于所述的彈簧吊釘和彈簧拉釘之間的彈簧，所述的彈簧對所述的滑臺施加朝向所述的配重塊的水平方向的作用力。
進一步，所述的左支撐架和右支撐架對稱地設置于所述的臺面的兩側，所述的左、 右支撐架上架設有放置所述的激光干涉儀的安裝箱，所述的激光干涉儀位于所述的臺面下方，所述的安裝箱的上蓋開設有允許激光穿過的中心圓孔，所述的反射鏡對準所述的中心圓孔。
或者，所述的激光干涉儀安裝于干涉儀支架上，所述的干涉儀支架放置于地面上， 所述的激光干涉儀位于所述的臺面一側，所述的反射鏡安裝于所述的臺面上。
進一步，所述的轉臺的兩側分別設有限制所述的轉臺向前轉動極限的前限位桿組，和限制所述的轉臺向后轉動極限的后限位桿組；限位桿組均由對稱地設置于所述的左、 右支撐架上的限位桿組成，所述的限位桿旁邊設置接近開關。
進一步，所述的驅動機構還包括電機安裝底板、電機安裝支座和輔助支座，所述的電機安裝底板通過螺栓固定于所述的底座上，所述的直線導軌固定于所述的電機安裝底板上，所述的滑塊可滑動地連接于所述的直線導軌上，所述的滑臺固定于所述的滑塊上；
所述的直線電機的定子的一端通過所述的電機安裝支座與所述的電機安裝底板固接，另一端通過所述的輔助支座與所述的電機安裝底板固接；
所述的讀數頭通過讀數頭支架固定于所述的電機安裝底板上。
進一步，所述的臺面的下表面裝有測量臺面溫度的第一溫度傳感器，所述的安裝箱上方設有測量空氣溫度的第二溫度傳感器和測量空氣壓力的氣壓傳感器。
本發明的技術構思是轉臺與驅動臂剛性連接，轉臺上表面安裝臺面，驅動臂與臺面固接、且驅動臂形成垂直于臺面上表面的力臂，直線電機水平安裝，由直線電機帶動驅動臂、轉臺、臺面繞固定的主軸轉動，將直線電機的位移轉化為臺面的角位移，從而實現臺面的傾斜角度定位。
為減小傳動間隙，在轉臺一端安裝了配重塊，通過力平衡彈簧機構可減小因配重塊引起的直線電機負載加重現象。由于配重塊安裝在轉臺的一側，其重力對所述轉臺的中心有力矩的作用，滑臺的鋼球與驅動臂上的減摩承力板緊密接觸。直線電機推動滑臺向前水平運動時，鋼球推動轉動機構和臺面繞主軸正方向轉動；直線電機拉動滑臺向后水平運動時，在配重塊的重力作用下，轉動機構和臺面繞主軸反方向轉動。
計算機可根據設定的臺面傾斜角度θ計算出直線電機需進給的位移1(相對于零位)，計算的公式如下
l = R-tan0-r-(———1)(-5° 彡 θ 彡 5° )COS^
其中R為臺面水平時主軸中心線到鋼球中心的垂直距離，r為鋼球的半徑。
計算機通過計算機總線將該位移以命令形式發送至直線電機控制器，控制器與直線電機、光柵尺構成閉環控制系統。控制器驅動直線電機運動，光柵尺將直線電機的位移反饋至控制器，控制器通過PID算法進行定位控制。
系統采用激光干涉儀進行傾斜角度的精密測量，所測轉動角度通過計算機總線直接反饋至計算機，計算機可根據激光測量的結果進行定位控制的調整，這樣加上直線電機控制器的閉環控制系統，就構成了一個精密的全閉環控制系統。
由于溫度、壓力會影響激光測量的精度，采用溫度傳感器及氣壓傳感器分別測量空氣和材料溫度、空氣壓力，并通過采集卡將測量結果反饋給計算機，計算機根據激光測量結果、空氣溫度、空氣壓力、材料溫度等進行補償運算，從而實現傾斜角度的精確測量。
本發明使用直線電機驅動，受力均勻，行走平行度好，利用配重塊和彈簧力平衡機構既減小了機械傳動的間隙，又減輕了電機的負載，具有傾斜角度定位精度高、傳動效率高、運行可靠等優點；使用激光干涉儀測量傾斜角度的變化，測量精度高；裝置可通過計算機實現傾斜角度定位的自動控制。本發明可用于地震計的靜態標定。
圖1是實施實例1的總體結構示意圖。
圖2是實施實例2的總體結構示意圖。
圖3是未畫出主軸的轉動機構與臺面結合的示意圖。
圖4是驅動機構結構示意圖。
圖5是力平衡彈簧機構結構示意圖。
圖6是球座的示意圖。
圖7是壓球圓螺母的示意圖。
具體實施方式
實施例一
參照圖1、3、4、6、7
用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，包括底座11，所述的底座11上設有 臺面12，與所述的臺面12連接、帶動臺面12轉動的轉動機構1，驅動所述的臺面12和轉動機構1轉動的驅動機構6，檢測臺面的轉動角度的檢測機構，和托持所述的臺面12和轉動機構1的左支撐架5和右支撐架；6
所述的轉動機構1包括允許所述的臺面12繞其轉動的主軸7，與所述的臺面12固接的驅動臂13和轉臺16，和固定于所述的轉臺16的一側的配重塊15 ；所述的主軸7固定于所述的左支撐架5和右支撐架上；
所述的驅動機構6和配重塊15分別位于所述的驅動臂13兩側；所述的驅動機構 6包括直線電機，與所述的直線電機的動子18連接的滑臺19，使所述的滑臺19沿直線滑動的直線導軌26及滑塊30，和安裝于所述的滑臺19上、檢測所述的直線電機的位移的光柵尺 27，所述的光柵尺27的讀數頭四與所述的底座11固定連接；所述的臺面12水平時，所述的讀數頭四給出光柵尺27的零點信號；
所述的滑臺19抵緊所述的驅動臂13，所述的直線電機正方向運動時所述的滑臺推動所述的轉動機構正轉，所述的直線電機反方向運動時拉動所述的滑臺運動，由于所述的配重塊的重力作用使所述的轉動機構反轉；
所述的檢測機構包括激光干涉儀和將激光反射回所述的激光干涉儀以獲取臺面 12轉動角度的反射鏡2，所述的反射鏡2安裝于所述的臺面12上。
所述的臺面12與所述的轉臺16固定連接，所述的轉臺16通過螺栓與所述的驅動臂13固接，所述的主軸7穿設于所述的轉臺16，所述的主軸7的兩端分別通過支座8固定于所述的左支撐架5和右支撐架上，所述的主軸7與所述的轉臺16之間設有滾動軸承。
所述的支座8包括固定于所述的左支撐架5和右支撐架上的下半部和將所述的主軸7向所述的下半部壓緊的上半部，所述的支座8利用靜摩擦將所述的主軸7鎖死。
所述的滑臺19和驅動臂13之間設有減摩承力機構，所述的減摩承力機構包括固定于所述的滑臺19上的鋼球23和固定于所述的驅動臂13上的承受所述的滑臺19的推力、 并減小與所述的鋼球23之間的摩擦的減摩承力板14，所述的減摩承力板14上與所述的鋼球23的接觸面垂直于所述的臺面12的上表面，所述的滑臺19上固定有球座21，所述的鋼球23通過壓球圓螺母22安裝于所述的球座21內，所述的鋼球23抵緊所述的減摩承力板 14。
所述的球座21包括通過螺栓與所述的滑臺固接的環形座211，和容納所述的鋼球 23的圓柱形凸臺212，所述的凸臺212內設有圓臺狀凹陷213，所述的鋼球23置于所述的凹陷213內、且與所述的凹陷213線接觸，所述的凸臺212的外表面設有與所述的壓球圓螺母 22連接的外螺紋，所述的壓球圓螺母22的頂端設有一圈向內延伸的擋環221，所述的擋環 221阻止所述的鋼球23脫離所述的球座21。
所述的左支撐架5和右支撐架對稱地設置于所述的臺面12的兩側，所述的左支撐架5和右支撐架上架設有放置所述的激光干涉儀的安裝箱4，所述的激光干涉儀位于所述的臺面12下方，所述的安裝箱4的上蓋開設有允許激光穿過的中心圓孔41，所述的反射鏡 2對準所述的中心圓孔41。
所述的轉臺16的兩側分別設有限制所述的轉臺16向前轉動極限的前限位桿組， 和限制所述的轉臺16向后轉動極限的后限位桿組；限位桿組均由對稱地設置于所述的左支撐架5和右支撐架上的限位桿3組成，所述的限位桿3旁邊設置接近開關。
所述的驅動機構6還包括電機安裝底板25、電機安裝支座M和輔助支座20，所述的電機安裝底板25通過螺栓固定于所述的底座11上，所述的直線導軌沈固定于所述的電機安裝底板25上，所述的滑塊30可滑動地連接于所述的導軌沈上，所述的滑臺19固定于所述的滑塊30上；
所述的直線電機的定子17的一端通過所述的電機安裝支座M與所述的電機安裝底板25固接，另一端通過所述的輔助支座20與所述的電機安裝底板25固接；
所述的讀數頭四通過讀數頭支架觀固定于所述的電機安裝底板25上。
所述的臺面12為花崗巖臺面或者大理石臺面或者不銹鋼臺面，所述的臺面12的下表面裝有測量臺面溫度的第一溫度傳感器，所述的安裝箱4上方設有測量空氣溫度的第二溫度傳感器和測量空氣壓力的氣壓傳感器。
本實施例的技術構思是轉臺與驅動臂剛性連接，轉臺上表面安裝臺面，驅動臂與臺面固接、且驅動臂形成垂直于臺面上表面的力臂，直線電機水平安裝，由直線電機帶動驅動臂、轉臺、臺面繞固定的主軸轉動，將直線電機的位移轉化為臺面的角位移，從而實現臺面的傾斜角度定位。
由于配重塊安裝在轉臺的一側，其重力對所述轉臺的中心有力矩的作用，滑臺的鋼球與驅動臂上的減摩承力板緊密接觸。直線電機推動滑臺向前水平運動時，鋼球推動轉動機構和臺面繞主軸正方向轉動；直線電機拉動滑臺向后水平運動時，在配重塊的重力作用下，轉動機構和臺面繞主軸反方向轉動。
計算機可根據設定的臺面傾斜角度θ計算出直線電機需進給的位移1(相對于零位)，計算的公式如下
l = R-tan0-r-(———1)(-5° 彡 θ 彡 5° )COS^
其中R為臺面水平時主軸中心線到鋼球中心的垂直距離，r為鋼球的半徑。
計算機通過計算機總線將該位移以命令形式發送至直線電機控制器，控制器與直線電機、光柵尺構成閉環控制系統。控制器驅動直線電機運動，光柵尺將直線電機的直線位移反饋至控制器，控制器通過PID算法進行定位控制。
系統采用激光干涉儀進行傾斜角度的精密測量，所測轉動角度通過計算機總線直接反饋至計算機，計算機可根據激光測量的結果進行定位控制的調整，這樣加上直線電機控制器的閉環控制系統，就構成了一個精密的全閉環控制系統。
由于溫度、壓力會影響激光測量的精度，采用溫度傳感器及氣壓傳感器分別測量空氣和材料溫度、空氣壓力，并通過采集卡將測量結果反饋給計算機，計算機根據激光測量結果、空氣溫度、空氣壓力、材料溫度等進行補償運算，從而實現傾斜角度的精確測量。
本發明使用直線電機驅動，受力均勻，行走平行度好，利用配重塊和彈簧力平衡機構既減小了機械傳動的間隙，又減輕了電機的負載，具有傾斜角度定位精度高、傳動效率高、運行可靠等優點；使用激光干涉儀測量傾斜角度的變化，測量精度高；裝置可通過計算機實現傾斜角度定位的自動控制。本發明可用于地震計的靜態標定。
實施例二
參照圖2、5
本實施例與實施例一的區別在于所述的傾斜平臺裝置還設有能夠平衡所述的配重塊15對所述的滑臺19造成的作用力的力平衡彈簧機構，所述的力平衡彈簧機構包括固定于所述的滑臺19上的彈簧吊釘33，固定于所述的底座11上的彈簧支架34，穿設于所述的彈簧支架34上的彈簧拉釘31，與所述的彈簧拉釘31螺接的螺母35，和設置于所述的彈簧吊釘33和彈簧拉釘31之間的彈簧32，所述的彈簧32對所述的滑臺19施加朝向所述的配重塊15的水平方向的作用力。
所述的螺母35為蝶形螺母。其余結構都相同。
本實施例的技術構思是為減小直線電機的負載，設置了力平衡彈簧機構，通過力平衡彈簧機構可減小因配重塊引起的直線電機負載加重現象。
當直線電機正方向運動時，彈簧牽引滑臺向配重塊的方向運動，從而可以平衡配重塊對滑臺的壓力，這樣，電機只需要很小的力即可推動滑臺正向運動。
直線電機反方向運動時，彈簧的牽引力變成了阻力、阻礙電機運動，而此時配重塊對滑臺的壓力的方向與滑臺的運動方向相同，恰好可以平衡彈簧的阻力，這樣，電機也只需要很小的力即可帶動滑臺反向運動。
實施例三
本實施例與實施例一的區別之處在于所述的激光干涉儀安裝于干涉儀支架上， 所述的干涉儀支架放置于地面上，所述的激光干涉儀位于所述的臺面12 —側，所述的反射鏡2安裝于所述的臺面12上。
干涉儀支架為三腳架。
本實施例的技術構思是使用干涉儀支架安裝激光干涉儀，能夠方便地移動激光干涉儀，若在臺面上安裝多塊反射鏡，即可方便地測量臺面不同部位的角度變化，使用方便。
本說明書實施例所述的內容僅僅是對發明構思的實現形式的列舉，本發明的保護范圍不應當被視為僅限于實施例所陳述的具體形式，本發明的保護范圍也及于本領域技術人員根據本發明構思所能夠想到的等同技術手段。
權利要求
1.用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于包括底座，所述的底座上設有臺面，與所述的臺面連接、帶動臺面轉動的轉動機構，驅動所述的臺面和轉動機構轉動的驅動機構，檢測臺面的轉動角度的檢測機構，和托持所述的臺面和轉動機構的左支撐架和右支撐架；所述的轉動機構包括允許所述的臺面繞其轉動的主軸，與所述的臺面固接的驅動臂和轉臺，和固定于所述的轉臺的一側的配重塊；所述的主軸固定于所述的左、右支撐架上；所述的驅動機構和配重塊分別位于所述的驅動臂兩側；所述的驅動機構包括直線電機，與所述的直線電機的動子連接的滑臺，使所述的滑臺沿直線滑動的直線導軌及滑塊，和安裝于所述的滑臺上、檢測所述的直線電機位移的光柵尺，所述的光柵尺的讀數頭與所述的底座固定連接，所述的臺面水平時，所述的讀數頭給出光柵尺的零點信號；所述的滑臺抵緊所述的驅動臂，所述的直線電機正方向運動時所述的滑臺推動所述的轉動機構正轉，所述的直線電機反方向帶動所述的滑臺運動時由于所述的配重塊的重力作用使所述的轉動機構反轉；所述的檢測機構包括激光干涉儀和將激光反射回所述的激光干涉儀以獲取臺面轉動角度的反射鏡，所述的反射鏡安裝于所述的臺面上。
2.如權利要求1所述的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于所述的臺面與所述的轉臺固定連接，所述的轉臺通過螺栓與所述的驅動臂固接，所述的主軸穿設于所述的轉臺，所述的主軸的兩端分別通過支座固定于所述的左、右支撐架上，所述的主軸與所述的轉臺之間設有滾動軸承。
3.如權利要求2所述的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于所述的支座包括固定于所述的左、右支撐架上的下半部和將所述的主軸向所述的下半部壓緊的上半部。
4.如權利要求3所述的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于所述的轉臺的兩側分別設有限制所述的轉臺向前轉動極限的前限位桿組，和限制所述的轉臺向后轉動極限的后限位桿組；限位桿組均由對稱地設置于所述的左、右支撐架上的限位桿組成，所述的限位桿旁邊設置接近開關。
5.如權利要求4所述的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于所述的驅動機構還包括電機安裝底板、電機安裝支座和輔助支座，所述的電機安裝底板通過螺栓固定于所述的底座上，所述的直線導軌固定于所述的電機安裝底板上，所述的滑塊可滑動地連接于所述的直線導軌上，所述的滑臺固定于所述的滑塊上；所述的直線電機的定子的一端通過所述的電機安裝支座與所述的電機安裝底板固接， 另一端通過所述的輔助支座與所述的電機安裝底板固接；所述的讀數頭通過讀數頭支架固定于所述的電機安裝底板上。
6.如權利要求1-5之一所述的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于所述的滑臺和驅動臂之間設有減摩承力機構，所述的減摩承力機構包括固定于所述的滑臺上的鋼球和固定于所述的驅動臂上的承受所述的滑臺的推力、并減小與所述的鋼球之間的摩擦的減摩承力板，所述的減摩承力板上與所述的鋼球的接觸面垂直于所述的臺面的上表面，所述的滑臺上固定有球座，所述的鋼球通過壓球圓螺母安裝于所述的球座內，所述的鋼球抵緊所述的減摩承力板。
7.如權利要求6所述的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于所述的球座包括通過螺栓與所述的滑臺固接的環形座，和容納所述的鋼球的圓柱形凸臺，所述的凸臺內設有圓臺狀凹陷，所述的鋼球置于所述的凹陷內、且與所述的凹陷線接觸，所述的凸臺的外表面設有與所述的壓球圓螺母連接的外螺紋，所述的壓球圓螺母的頂端設有一圈向內延伸的擋環，所述的擋環阻止所述的鋼球脫離所述的球座。
8.如權利要求7所述的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于所述的傾斜平臺裝置還設有能夠平衡所述的配重塊對所述的滑臺造成的作用力的力平衡彈簧機構，所述的力平衡彈簧機構包括固定于所述的滑臺上的彈簧吊釘，固定于所述的底座上的彈簧支架，穿設于所述的彈簧支架上的彈簧拉釘，與所述的彈簧拉釘螺接的螺母，和設置于所述的彈簧吊釘和彈簧拉釘之間的彈簧，所述的彈簧對所述的滑臺施加朝向所述的配重塊的水平方向的作用力。
9.如權利要求8所述的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于所述的左支撐架和右支撐架對稱地設置于所述的臺面的兩側，所述的左、右支撐架上架設有放置所述的激光干涉儀的安裝箱，所述的激光干涉儀位于所述的臺面下方，所述的安裝箱的上蓋開設有允許激光穿過的中心圓孔，所述的反射鏡對準所述的中心圓孔。
10.如權利要求8所述的用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，其特征在于所述的激光干涉儀安裝于干涉儀支架上，所述的干涉儀支架放置于地面上，所述的激光干涉儀位于所述的臺面一側，所述的反射鏡安裝于所述的臺面上。
全文摘要
用于地震計靜態標定的精密傾斜平臺裝置，包括底座，臺面，轉動機構，驅動機構，檢測機構和支撐架；轉動機構包括主軸，驅動臂和轉臺，及配重塊；主軸固定于左、右支撐架上；驅動機構和配重塊分別位于驅動臂兩側；驅動機構包括直線電機，滑臺，直線導軌及滑塊和光柵尺，光柵尺的讀數頭與底座固定連接，臺面水平時，讀數頭給出光柵尺的零點信號；滑臺抵緊驅動臂，直線電機正方向運動時滑臺推動轉動機構正轉，直線電機反方向帶動滑臺運動時由于配重塊的重力作用使轉動機構反轉；檢測機構包括激光干涉儀和將激光反射回激光干涉儀以獲取臺面轉動角度的反射鏡，反射鏡安裝于臺面上。本發明具有定位精度高、傳動效率高、應用范圍廣的優點。
文檔編號G01V13/00GK102508318SQ20111029842
公開日2012年6月20日 申請日期2011年9月30日 優先權日2011年9月30日
發明者何聞, 徐冠華, 賈叔仕 申請人:浙江大學