專利名稱：一種負壓力探測聯鎖方法
技術領域：
本發明涉及一種負壓力探測聯鎖方法，特別地涉及用于離子注入機中的設備安全和保證人員安全的自動運行方法，屬于半導體設備領域。
背景技術：
離子注入機屬于粒子加速器的一種，在離子注入機運轉過程中應保證離子注入機有足夠的排氣負壓力環境。因為離子注入機工作時，會使用到毒性工藝氣體，如果設備排氣負壓力不夠，則有毒氣體會泄漏到設備以及周圍的大氣中，會對人員造成致命傷害。在離子注入機安裝負壓力探測裝置檢測負壓力值，當壓力低于高(HIGH)負壓值時，設備發出預警信號，當壓力低于低(LOW)負壓值時，通過聯鎖電路立即切 斷設備高壓和氣箱供電，并停止有毒工藝氣體，使設備處于安全狀態，防止事故發生。
發明內容
本發明針對離子注入機的特點而設計的一種簡單且可自動執行的排氣負壓力探測報警方法。本發明專利采用如下技術方案來實現利用(I)負壓力排氣探測器檢測和(2)聯鎖控制電路，實現自動預警和警報，并可立即切斷高壓電、氣箱供電和毒性工藝氣體。(I)負壓力探測器，可以判斷排氣的負壓力值，根據負壓力的不同發出正常、預警和警報信號。第一，當(I)負壓力探測器，探測到排氣壓力值大于高(HIGH)負壓值時，設備排氣正常；第二，當(I)負壓力探測器，探測到排氣壓力值小于高(HIGH)負壓值時，發出預警信號并通過(2)聯鎖控制電路來控制預警，此時只會提醒操作人員采取適當的方法進行應對，不會切斷設備高壓和毒氣工藝氣體。第三，當(I)負壓力探測器，探測到排氣壓力值小于低(LOW)負壓值時，發出警報信號并通過(2)聯鎖控制電路來立即切斷設備高壓和氣箱供電，停止送有毒工藝氣體。這樣設備處于安全狀態，不會致毒氣泄漏到周圍環境對人員造成損傷。本發明具有如下顯著優點I.利用排氣負壓力探測器，對離子注入機進行自動安全控制，不受人為干預自動進行，可靠性高。2.此方法具有預警功能，預警警報發生時，不會切斷高壓和氣箱供電，但會發出預警信號，提醒操作人員立即采取措施，具有很高的安全保證。3.提高了注入機在工作中的可靠性和安全性。
圖I為⑴負壓力探測器和(2)聯鎖控制電路工作流程圖。圖2為(I)負壓力探測器和(2)聯鎖控制電路工作原理圖。
具體實施例方式下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步介紹，但不作為對本發明專利的限定。本發明專利公開了一種排氣負壓力聯鎖方法，具體技術實施方案來如下利用
(I)排氣負壓力探測器檢測負壓力值大小(即排氣速率)，根據負壓力值的不同發出正常、預警和警報三個信號，通過(2)聯鎖控制電路，實現自動預警和警報，可立即切斷設備高壓電和毒性工藝氣體。第一，當(I)負壓力探測器，探測到排氣壓力值大于HIGH負壓值時，則常開觸點P1-3和P1-4始終斷開，所以(2)聯鎖控制電路未接收到信號，排氣狀態正常，設備處于安全運行狀態，; 第二，當(I)負壓力探測器，探測到排氣壓力值小于高(HIGH)負壓值時，發出預警信號時，則常開觸點P1-3和P1-4閉合，通過(2)聯鎖控制電路的Ql控制繼電器Kl線包從吸合變為斷開狀態，此時Kl的常開觸點Κ1-4、Κ1-8由閉合變為斷開，然后通過J2-3和J2-4送到主配電控制，來進行預警。此時不會切斷設備高壓和毒氣工藝氣體，只會提醒操作人員采取適當的方法進行應對。第三，當⑴負壓力探測器，探測到排氣壓力值小于低(LOW)負壓值時，發出警報信號，則常開觸點Pl-I和P1-2閉合，通過(2)聯鎖控制電路的Q2控制繼電器K2線包從吸合變為斷開狀態，此時K2的常開觸點K2-4、K2-8由閉合變為斷開，然后通過Jl-I和Jl_2送到主配電控制，來進行排氣低值警報。當警報發生后，會立即切斷設備高壓和氣箱供電，停止送有毒工藝氣體，防止毒性氣體泄漏，使設備處于安全狀態。本發明的特定實施例已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求
1.一種負壓力探測聯鎖方法，包括(I)負壓力探測器；(2)聯鎖控制電路，控制電路具有正常、預警和警報模塊控制部分，其特征在于，當(I)負壓力探測器檢測設備排氣負壓，發出信號通過(2)聯鎖控制電路來自動預警和報警，并可立即切斷設備高壓電和毒性工藝氣體，本發明是對離子注入機的安全性的改進，可確保離子注入機的毒性工藝氣體不會對人和環境造成損害，確保離子注入機本身的安全運行。·
全文摘要
一種負壓力探測聯鎖方法，包括(1)負壓力探測器，(2)聯鎖控制電路。其特征在于，當探測器檢測到負壓時，(1)負壓力探測器發出信號，(2)聯鎖控制電路能自動提示低(LOW)負壓狀態和高(HIGH)負壓狀態，確保設備排氣和毒氣能被抽到專門裝置中，一旦排氣負壓失去則立即切斷設備高壓供電和工藝毒氣，防止污染周圍環境，避免對人員造成傷害。本發明提升設備的安全保護功能，可確保離子注入機本身以及設備周圍環境安全，用于提高離子注入機的安全運行。
文檔編號G01L19/12GK102956423SQ20111024114
公開日2013年3月6日 申請日期2011年8月22日 優先權日2011年8月22日
發明者胡東京, 彭彬, 孫勇 申請人:北京中科信電子裝備有限公司