專利名稱：激光燒蝕金屬誘導等離子體發光的制作方法
技術領域：
本發明涉及激光燒蝕金屬誘導等離子體發光，該儀器主要用于對激光與材料作用產生的等離子體光譜進行測量、分析處理。
背景技術：
自從脈沖激光器誕生以來，脈沖激光與固體的作用一直被許多學者所研辦究。激光燒蝕濺射技術在薄膜沉積、材料微區分析、表面刻蝕和改性等方面具有廣泛的應用前景。強激光脈沖輻照固體材料將引起材料燒蝕，誘導產生等離子體，從靶面濺射出大量電子、原子、分子、原子分子簇以及它們的正負離子。從動力學來分析等離子體的形成、傳播到消失，經歷了一個電子、原子、離子、分子和粒團之間相互劇烈碰撞作用的過程。激光燒蝕誘導發光的機理非常復雜，燒蝕過程在激光脈沖內，激光對濺射碎片的再解離激發。等離子體的原子輻射來自激光燒蝕濺射出的物質團簇或顆粒在等離子體中被電子汽化并激發。原子和離子輻射強度隨時間和空間的變化反映了激光燒蝕誘導等離子體的形成、增強以及隨激光脈沖終止以后的膨脹、減弱到消失的過程。采用時間分辨光譜測試技術，設計發明了激光等離子體光譜儀，具有廣闊地應用前景。
發明內容
本發明的目的是激光燒蝕金屬誘導等離子體發光，填補國內外空白。實施方法激光等離子體光譜儀實驗裝置包括激光器、透鏡、燒蝕室、靶、透鏡組、單色儀、Boxcar平均器、光信號觸發器。激光器發出的激光通過一個透鏡，經過石英窗進入燒蝕室，垂直聚焦到燒蝕室內一個可旋轉的靶，激光輻照靶的表面時，形成一個綠色為主的等離子體羽狀發光體。在垂直于靶面的法線方向上，通過一對透鏡將等離子體羽狀發光體放大倍后，成像在單色儀的狹縫上。輸入Boxcar平均器，通過光信號觸發器使光信號與電信號同步，輸出由計算機數據采集板記錄，用F900eV數據采集板記錄，它能夠直接儲存與多次平均所采集的信號，解決了測量等離子體的發光光譜問題。
權利要求
1.本發明為激光燒蝕金屬誘導等離子體發光，本發明是激光燒蝕金屬誘導等離子體發光，儀器由激光器、透鏡、燒蝕室、靶、透鏡組、單色儀、Boxcar平均器、光信號觸發器構成。發射光譜強度的時間分辨測定是通過某些特定波長的發射譜線，此時單色儀固定在某一波長上，沿著靶的法線方向移動單色儀，每一特定位置上的光強又用瞬態記錄儀進行時間分辨測定。
2.根據權利要求I所述，使光信號與電信號同步。
全文摘要
本發明是激光燒蝕金屬誘導等離子體發光，儀器由激光器、透鏡、燒蝕室、靶、透鏡組、單色儀、Boxcar平均器、光信號觸發器構成。發射光譜強度的時間分辨測定是通過某些特定波長的發射譜線，此時單色儀固定在某一波長上，沿著靶的法線方向移動單色儀，每一特定位置上的光強又用瞬態記錄儀進行時間分辨測定。該發明具有一定的創新性，具有廣闊的應用前景。
文檔編號G01N21/63GK102901716SQ20111021085
公開日2013年1月30日 申請日期2011年7月26日 優先權日2011年7月26日
發明者黃慶舉 申請人:廣東石油化工學院