專利名稱：用于晶片的測試分選設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及晶片傳輸技術領域，尤其是涉及ー種改進的用于晶片的測試分選設備。
背景技術：
太陽能電池測試分選設備是晶硅太陽能電池生產的后道檢測設備，它的主要功能是在檢測電池片的光電轉換效率，按照效率的轉換級別進行等級的分選。該太陽能電池測試分選設備的工作原理是利用模擬太陽光源進行測試，通過模擬器對光強、照射時間進行控制，采集在模擬光照條件下cell (電池片)的I-V曲線，根據測試的環境溫度和電池片表面的溫度，按照算法計算得出電池片的光電轉換效率，從而對電·池片進行分級。圖6顯示了自動太陽能電池測試分選設備的基本工作原理。如圖6中所示，該自動太陽能分選設備包括順序連接的連接模塊101'、緩存模塊102'、檢測模塊104'、冷卻模塊103'、測試模塊105'和分選模塊106'。該連接模塊101'實現上游設備(例如燒結設備)和該分選設備的鏈接，并提供測試用圓片源。緩存模塊102'用于實現該自動太陽能電池測試分選設備的可維護性設計，并在自動太陽能電池測試分選設備的后端出現問題時，完成緩沖功能，而在后端設備恢復后自動上片檢測。冷卻模塊103'用于實現圓片的冷卻功能，同時滿足圓片測試溫度控制要求。檢測模塊104'用于實現圓片上裂縫的檢測，目前主要檢查是否為完整的圓片。測試模塊105'用于實現圓片的檢測功能。根據電壓-電流(V-I)曲線和溫度等設計因素，對圓片進行分等級的輸出。分選模塊106'根據不同的圓片等級，實現圓片的分類。但是，在現有的太陽能分選設備中，每個模塊中包括多個串行連接的傳輸帶(通常包括多達16個傳輸帶)，且每個傳輸帶通過單獨的驅動電機進行驅動，由此控制過程非常復雜。進ー步地，在任何時刻，每段皮帶上只允許傳輸ー個電池片，傳輸和分選效率非常低。
發明內容
本發明g在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本發明的ー個目的在于提出ー種結構簡單、便于控制的用于晶片的測試分選設備。為了實現上述目的，根據本發明第一方面的實施例提出了一種用于晶片的測試分選設備，所述測試分選設備包括連接緩沖冷卻模塊，所述連接緩沖冷卻模塊用于接收和傳輸晶片并冷卻所述晶片；測試模塊，所述測試模塊與所述連接緩沖冷卻模塊連接，用于接收并測試所述連接緩沖冷卻模塊所傳輸的晶片；以及分選模塊，所述分選模塊與所述測試模塊連接，用于對經過所述測試模塊測試之后的晶片進行分選。根據本發明實施例的測試分選設備通過將原有的連接模塊、緩存模塊和冷卻模塊集成為所述連接緩沖冷卻模塊，從而大大地簡化了結構。已有的測試分選設備包括16段皮帶和16個相應的傳送電機，而根據本發明實施例的測試分選設備可以只包括3段皮帶和3個相應的電機，這樣不僅大大地降低了所述測試分選設備的制造成本，而且大大地降低了所述測試分選設備的控制點數，減少了 PLC編程工作量。另外，根據本發明實施例的測試分選設備可以具有如下附加的技術特征根據本發明的一個實施例，所述測試分選設備還包括晶片供給模塊，所述晶片供給模塊包括絲網印，用于傳輸晶片；以及設置在所述絲網印的一端處的擋板，所述絲網印的一端與所述連接緩沖冷卻模塊相鄰，且所述擋板用于將所述絲網印上傳輸的晶片定位在
第一預定位置。根據本發明的一個實施例，所述連接緩沖冷卻模塊包括第一傳輸帶，所述第一傳
輸帶與所述晶片供給模塊相鄰設置，所述第一傳輸帶用于傳輸晶片；第一驅動電機，所述第一驅動電機用于驅動所述第一傳輸帶進行晶片傳輸；設置在所述第一傳輸帶的第一端的至少ー側的料盒；第一機械手，所述第一機械手設置在所述第一傳輸帶的第一端的上方，用于將所述第一預定位置處的晶片拾取到所述第一傳輸帶的第一端的第二預定位置，或者將所述第二預定位置處的晶片拾取到所述料盒中或將所述料盒中的晶片拾取到所述第二預定位置；多個冷卻裝置，所述多個冷卻裝置沿著所述第一傳輸帶間隔地設置；以及第一控制単元，所述第一控制單元在所述第二預定位置放置有晶片時控制所述第一驅動電機驅動所述第一傳輸帶加速運行預定距離。根據本發明的一個實施例，所述第一傳輸帶的長度使得所述第一傳輸帶上可間隔傳輸多個晶片。由此在本發明中，可以一次傳輸多個電池片，從而増加了晶片分選的效率。根據本發明的一個實施例，所述第一傳輸帶的第一端的兩側均設置有料盒。根據本發明的一個實施例，所述第一傳輸帶的第一端的兩側分別設置有第一固片裝置和第二固片裝置，所述第一固片裝置和所述第二固片裝置正對設置。通過設置所述第ー固片裝置和第二固片裝置可以確保整個晶片被放置在所述第一傳輸帶上，以避免晶片的一部分在所述第一傳輸帶外側。根據本發明的一個實施例，所述第一固片裝置的一端設置有第一傳感器，所述第ニ固片裝置的另一端設置有第二傳感器，所述第一傳感器和所述第二傳感器用于判斷所述第二預定位置是否放置有所述晶片，所述第一控制單元在所述第二預定位置放置有所述晶片時、驅動所述第一傳輸帶加速運行預定距離。根據本發明的一個實施例，所述多個冷卻裝置設置在所述第一傳輸帶的上方和/或者下方，且所述多個冷卻裝置用于在所述第一傳輸帶的傳輸過程中對所述第一傳輸帶上傳輸的晶片進行冷卻。根據本發明的一個實施例，所述冷卻裝置為風扇。根據本發明的一個實施例，所述測試模塊包括第二傳輸帶，所述第二傳輸帶與所述第一傳輸帶相鄰且串行設置，所述第二傳輸帶用于傳輸晶片；第二驅動電機，所述第二驅動電機用于驅動所述第二傳輸帶進行晶片傳輸；設置在所述第二傳輸帶的第一端的第三傳感器，所述第三傳感器用于檢測所述晶片是否傳輸到所述第二傳輸帶上；以及第二控制單元，用于在所述第三傳感器檢測到所述晶片傳輸到所述第二傳輸帶上時，所述第二控制單元控制所述第二驅動電機的轉動，以使得所述第二傳輸帶將所述晶片傳輸到第三預定位置進行晶片測試，并在完成晶片測試之后，控制所述第二驅動電機驅動所述第二傳輸帶以將所述晶片輸出。根據本發明的一個實施例，所述分選模塊包括第三傳輸帶，所述第三傳輸帶與所述第二傳輸帶相鄰且串行設置，所述第三傳輸帶用于傳輸晶片；第三驅動電機，所述第三驅動電機用于驅動所述第三傳輸帶進行晶片傳輸；設置在所述第三傳輸帶的第一端的第四傳感器，所述第四傳感器用于檢測晶片是否傳輸到所述第三傳輸帶的第一端；設置在所述第三傳輸帶的第二端的第五傳感器，所述第五傳感器用于檢測晶片是否傳輸到所述第三傳輸帶的第二端；設置在所述第三傳輸帶的第二端上方的第二機械手，所述第二機械手用于拾取傳輸到所述第三傳輸帶的第二端的晶片；以及第三控制單元，所述第三控制單元用于在所述第四傳感器檢測到所述晶片傳輸到所述第三 傳輸帶的第一端時控制所述第三驅動電機驅動所述第三傳輸帶加速運行預定距離，以及用于在所述第五傳感器檢測到所述晶片傳輸到所述第三傳輸帶的第二端時控制所述第三驅動電機停止驅動所述第三傳輸帯。根據本發明的一個實施例，所述第三傳輸帶的長度使得所述第三傳輸帶上可間隔設置有多個晶片。本發明的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。
本發明的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖I是根據本發明實施例的測試分選設備的結構示意圖；圖2是根據本發明實施例的測試分選設備的連接緩沖冷卻模塊的結構示意圖；圖3是根據本發明實施例的測試分選設備的測試模塊的結構示意圖；圖4是根據本發明實施例的測試分選設備的分選模塊的結構示意圖；圖5是根據本發明實施例的測試分選設備的控制流程圖；以及圖6是已有的測試分選設備的組成結構圖。
具體實施例方式下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發明，而不能理解為對本發明的限制。在本發明的描述中，術語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發明而不是要求本發明必須以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。下面參照圖1-4描述根據本發明實施例的用于晶片500的測試分選設備。如圖1-4所示，根據本發明實施例的測試分選設備包括連接緩沖冷卻模塊100、測試模塊200和分選模塊300。連接緩沖冷卻模塊100用于接收和傳輸晶片500并冷卻晶片500。此外，該連接緩沖冷卻模塊100還可用于在下游出現故障時對所傳輸的晶片進行緩存(將在下面進行說明)。此外，在離線工作模式時，可以將事先緩存的晶片從料盒拿到傳輸帶上，再進行測試。測試模塊200與連接緩沖冷卻模塊100連接，用于接收并測試連接緩沖冷卻模塊100所傳輸的晶片500。分選模塊300與測試模塊200連接，用于對經過測試模塊200測試之后的晶片500進行分選。根據本發明實施例的測試分選設備通過將原有的連接模塊、緩存模塊和冷卻模塊集成為連接緩沖冷卻模塊100，從而大大地簡化了結構。已有的測試分選設備包括16段皮帶和16個相應的傳送電機，而根據本發明實施例的測試分選設備可以只包括3段皮帶和3個相應的傳送電機，這樣不僅大大地降低了測試分選設備的制造成本，而且大大地降低了測試分選設備的控制點數，減少了 PLC編程工作量。在本發明的一些實施例中，該測試分選設備還可以包括晶片供給模塊400，晶片供給模塊400可以包括絲網印410和擋板420。絲網印410可以用于傳輸晶片500，擋板420可以設置在絲網印410的與連接緩沖冷卻模塊100相鄰的一端處，擋板420可以用于將絲網印410上傳輸的晶片500定位在第一預定位置。具體地，晶片500可以是太陽能電池片。
如圖2所示，在本發明的一些實施例中，連接緩沖冷卻模塊100可以包括第一傳輸帶110、第一驅動電機(圖2中未示意出)、料盒120、第一機械手130、多個冷卻裝置140和第一控制單元(圖2中未示意出)。晶片供給模塊400可以與第一傳輸帶110的第一端相對設置，該第一傳輸帶110可以傳輸晶片500。第一驅動電機可以用于驅動第一傳輸帶110進行晶片傳輸。根據本發明的ー個示例，料盒120可以設置在第一傳輸帶110的第一端的ー側。該第一端為所述第一端為晶片傳輸的前端。可選地，第一傳輸帶110的兩側均可以設置有料盒120，如圖2中所示。第一機械手130可以設置在第一傳輸帶110的第一端的上方，可以用于將第一預定位置處的晶片500拾取到第一傳輸帶110的第一端的第二預定位置，或者可以將第二預定位置處的晶片500拾取到料盒120中或可以將料盒120中的晶片500拾取到第二預定位置。多個冷卻裝置140可以沿著第一傳輸帶110間隔地設置。第一控制單元(未示出)可以在第二預定位置放置有晶片500時驅動料盒120傳輸預定的距離。在測試分選設備運行時，絲網印410向連接緩沖冷卻模塊100傳輸晶片500，擋板420將晶片500定位在第一預定位置，以對晶片500進行定位。在該第一預定位置處可以設置有晶片傳感器(圖中未示出)，晶片傳感器用于檢測第一預定位置處是否放置有晶片，以便于在晶片傳感器檢測到第一預定位置放置有晶片時、第一機械手130可以拾取晶片500。晶片傳感器可以設置在絲網印靠近擋板420的一端處，也可以設置在擋板420上，只要該晶片傳感器的設置位置能夠檢測到該第一預定位置處放置有晶片即可。第一傳輸帶110將晶片500拾取第一傳輸帶110的第一端的第二預定位置，第一傳輸帶110在第一驅動電機的驅動下傳輸晶片500。在第一傳輸帶110傳輸晶片500的過程中，多個冷卻裝置140對晶片500進行冷卻并將晶片500冷卻至測試溫度。當在例如分選模塊或者測試模塊的下游模塊發生故障時，第一機械手130可以將第一預定位置處的晶片500拾取到料盒120中，并在故障排除后將料盒120中的晶片500拾取到第二預定位置以便進行后續操作。此外，在離線工作模式下，料盒120還可以作為晶片供給模塊400，即預先在料盒120中放入一定量的晶片500，在測試分選設備運行時，第一機械手130將料盒120中的晶片500拾取到第二預定位置,然后第一傳輸帶110在第一驅動電機的驅動下傳輸晶片500。當沒有晶片500輸入，而第一傳輸帶110上有一片或多片晶片500時，可以通過人工按下維護按鈕、利用程序控制將停留在第一傳輸帶110上的晶片500生產完畢。在本發明的一個實施例中，第一傳輸帶110的第一端的兩側均可以設置有料盒120，且第一傳輸帶110的第一端的兩側可以分別設置有第一固片裝置150和第二固片裝置160，第一固片裝置150和第二固片裝置160可以正對設置。通過設置第一固片裝置150和第二固片裝置160可以確保整個晶片500被放置在第一傳輸帶110上，以避免晶片500的一部分在第一傳輸帶110外側。如圖2中所示，第一傳輸帶110的長度可以使得第一傳輸帶110上可間隔傳輸多個晶片，從而克服了現有的分選設備中每段皮帶只能傳輸ー個晶片的缺點，提聞了晶片的傳輸和處通效率。如圖2所示，在本發明的ー個具體示例中，第一固片裝置150的一端上可以設置有第一傳感器170，第二固片裝置160的另一端上可以設置有第二傳感器180。第一 傳感器170和第二傳感器180可以用于檢測晶片500是否放置到第二預定位置。第一控制單元可以在第一傳感器170和第二傳感器180檢測到晶片500已放置到第二預定位置時、控制第一驅動電機驅動第一傳輸帶110加速運行預定的距離。這樣可以在第一傳感器170和第二傳感器180檢測到晶片500被放置到第二預定位置后再驅動第一傳輸帶110加速運行預定的距離，當第一傳感器170和第二傳感器180再次檢測到晶片500被放置到第二預定位置后再次驅動第一傳輸帶110傳輸預定的距離，從而降低連接緩沖冷卻模塊100的能耗。具體地，第一傳感器170和第二傳感器180可以是光電傳感器。在本發明的一個示例中，多個冷卻裝置140可以設置在第一傳輸帶110的上方，多個冷卻裝置140可以用于在第一傳輸帶110的傳輸過程中對第一傳輸帶110上傳輸的晶片500進行冷卻。多個冷卻裝置140可以設置在第一傳輸帶110的正上方，還可以在第一傳輸帶110的側面再設置多個冷卻裝置140以加快冷卻速度。冷卻裝置140可以始終處于運行狀態，也可以在有晶片500經過時再運行。具體地，冷卻裝置140可以是風扇。 如圖3所示，在本發明的一些示例中，測試模塊200可以包括第二傳輸帶210、第二驅動電機(圖3中未示意出)、第三傳感器220和第二控制單元(圖3中未示意出)。第二傳輸帶210可以與第一傳輸帶110相鄰且串行設置,第二傳輸帶210用于傳輸晶片500,第ニ驅動電機可以用于驅動第二傳輸帶210進行晶片傳輸。具體地，第二傳輸帶210的第一端可以與第一傳輸帶110的第二端相鄰設置。第三傳感器220可以設置在第二傳輸帶210的第一端，第三傳感器220可以用于檢測晶片500是否傳輸到第二傳輸帶210上。第二控制単元可以用于在第三傳感器220檢測到晶片500傳輸到第二傳輸帶210上時控制第二驅動電機，以使第二傳輸帶210將晶片500加速傳輸到第三預定位置，進行晶片測試，并在完成晶片測試之后，控制第二驅動電機驅動第二傳輸帶210以將晶片500輸出。具體地，第三傳感器220可以是光電傳感器。測試模塊200可以檢查晶片500是否完整和對晶片500進行光照測試(例如進行光照測試以得到晶片500的光電轉換效率)。如圖4所示，在本發明的一些示例中，分選模塊300可以包括第三傳輸帶310、第三驅動電機(圖4中未示意出)、第四傳感器320、第五傳感器330、第二機械手340和第三控制単元(圖4中未示意出)。第三傳輸帶310可以與第二傳輸帶210相鄰且串行設置，用于傳輸晶片，第三驅動電機可以用于驅動第三傳輸帶310進行晶片傳輸。具體地，第三傳輸帶310的第一端可以與第二傳輸帶210的第二端相鄰設置。第四傳感器320可以設置在第三傳輸帶310的第一端，第四傳感器320可以用于檢測晶片500是否傳輸到第三傳輸帶310的第一端。第五傳感器330可以設置在第三傳輸帶310的第二端,第五傳感器330可以用于檢測晶片500是否傳輸到第三傳輸帶310的第二端。第二機械手340可以設置在第三傳輸帶310的第二端的上方,第二機械手340可以用于拾取傳輸到第三傳輸帶310的第二端的晶片500。第三控制單元可以用于在第四傳感器320檢測到晶片500傳輸到第三傳輸帶310的第一端時，控制第三驅動電機驅動第三傳輸帶310運行預定的距離，以及可以在第五傳感器330檢測到晶片500傳輸到第三傳輸帶310的第二端時控制第三驅動電機停止驅動第三傳輸帶310。具體地，第四傳感器320和第五傳感器330可以是電容傳感器。在本發明的ー個具體示例中，第三傳輸帶310的長度使得第三傳輸帶310上可間隔設置有多個晶片500。由此，可以在同一傳輸帶上傳輸多個晶片，從而克服了現有的分選設備中每段皮帶只能傳輸ー個晶片的缺點，提高了晶片的傳輸和處理效率。例如，第三傳輸帶310上可間隔設置有四個晶片500。在本發明的另ー個具體示例中，如圖4所示，分選模塊300還可以包括多個料盒120，多個料盒120可以至少設置在第三傳輸帶310的第二端的ー側，以存放經過測試分選的晶片500。下面參照圖5描述根據本發明實施例的測試分選設備的工作過程。如圖5所示，首先該測試分選設備狀態進行檢測以確定是否正常運行。如果該測試分選設備狀態是正常的，則可以利用晶片供給模塊400提供晶片500，第一機械手130將第一預定位置處的晶片500拾取到第一傳輸帶110的第一端的第二預定位置，并可以利用第一固片裝置150和第二固片裝置160確保整個晶片500被放置在第一傳輸帶110上。然后，當第一傳感器170和第二傳感器180檢測到晶片500已放置到第二預定位置吋，第一驅動電機驅動第一傳輸帶110加速運行預定的距離(例如250mm)，而且每當第一傳感器170和第二傳感器180檢測到有晶片500已放置到第二預定位置吋，第一驅動電機便驅動第一傳輸帶110加速運行預定的距離。在第三傳感器220檢測到晶片500后，第二傳輸帶210被驅動運行一定距離后停止以將晶片500傳輸到第三預定位置進行晶片測試。晶片測試完成后，第二驅動電機再次驅動第二傳輸帶210以輸出晶片500。隨后，當第四傳感器320檢測到第二傳輸帶210輸出的晶片500時，第三驅動電機驅動第三傳輸帶310加速運行預定距離，而且每當第四傳感器320檢測到晶片500時，第三驅動電機便驅動第三傳輸帶310加速運行預定距離。最后，當第五傳感器330檢測到晶片500時，第二機械手340將晶片500拾取到相應的料盒從而完成晶片500的測試分選。根據本發明實施例的用于晶片的測試分選設備具有結構簡單、制造成本低、控制過程簡單的優點。在本說明書的描述中，參考術語“ー個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“ー些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本發明的至少ー個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。盡管已經示出和描述了本發明的實施例，本領域的普通技術人員可以理解在不脫離本發明的原理和宗g的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本發明的范圍由權利要求及其等同物限定。權利要求
1.一種用于晶片的測試分選設備，其特征在于，包括 連接緩沖冷卻模塊，所述連接緩沖冷卻模塊用于接收和傳輸晶片并冷卻所述晶片； 測試模塊，所述測試模塊與所述連接緩沖冷卻模塊連接，用于接收并測試所述連接緩沖冷卻模塊所傳輸的晶片；以及 分選模塊，所述分選模塊與所述測試模塊連接，用于對經過所述測試模塊測試之后的晶片進行分選。
2.根據權利要求I所述的測試分選設備，其特征在于，還包括晶片供給模塊，所述晶片供給模塊包括 絲網印，所述絲網印用于傳輸晶片； 設置在所述絲網印的一端處的擋板，所述絲網印的一端與所述連接緩沖冷卻模塊相鄰，且所述擋板用于將所述絲網印上傳輸的晶片定位在第一預定位置；以及 晶片傳感器，所述晶片傳感器用于檢測所述第一預定位置處是否放置有晶片。
3.根據權利要求2所述的測試分選設備，其特征在于，所述連接緩沖冷卻模塊包括 第一傳輸帶，所述第一傳輸帶與所述晶片供給模塊相鄰設置，所述第一傳輸帶用于傳輸晶片； 第一驅動電機，所述第一驅動電機用于驅動所述第一傳輸帶進行晶片傳輸； 設置在所述第一傳輸帶的第一端的至少ー側的料盒； 第一機械手，所述第一機械手設置在所述第一傳輸帶的第一端的上方，用于在所述晶片傳感器檢測到所述第一預定位置放置有晶片時將所述晶片拾取到所述第一傳輸帶的第一端的第二預定位置，或者將所述第二預定位置處的晶片拾取到所述料盒中或將所述料盒中的晶片拾取到所述第二預定位置； 多個冷卻裝置，所述多個冷卻裝置沿著所述第一傳輸帶間隔地設置；以及第一控制單元，所述第一控制單元在所述第二預定位置放置有晶片時控制所述第一驅動電機驅動所述第一傳輸帶加速運行預定距離。
4.根據權利要求3所述的測試分選設備，其特征在于，所述第一傳輸帶的長度使得所述第一傳輸帶上可間隔傳輸多個晶片。
5.根據權利要求3所述的測試分選設備，其特征在于，所述第一傳輸帶的第一端的兩側均設置有料盒。
6.根據權利要求3所述的測試分選設備，其特征在干，所述第一傳輸帶的第一端的兩側分別設置有第一固片裝置和第二固片裝置，所述第一固片裝置和所述第二固片裝置正對設置。
7.根據權利要求6所述的測試分選設備，其特征在于，所述第一固片裝置的一端設置有第一傳感器，所述第二固片裝置的另一端設置有第二傳感器，所述第一傳感器和所述第ニ傳感器用于檢測所述第二預定位置是否放置有所述晶片，所述第一控制單元在所述第二預定位置放置有所述晶片時控制所述第一驅動電機驅動所述第一傳輸帶加速運行預定距離。
8.根據權利要求3所述的測試分選設備，其特征在于，所述多個冷卻裝置設置在所述 第一傳輸帶的上方和/或者下方，且所述多個冷卻裝置用于在所述第一傳輸帶的傳輸過程中對所述第一傳輸帶上傳輸的晶片進行冷卻。
9.根據權利要求8所述的測試分選設備，其特征在于，所述冷卻裝置為風扇。
10.根據權利要求I所述的測試分選設備，其特征在于，所述測試模塊包括 第二傳輸帶，所述第二傳輸帶與所述第一傳輸帶相鄰且串行設置，所述第二傳輸帶用于傳輸晶片； 第二驅動電機，所述第二驅動電機用于驅動所述第二傳輸帶進行晶片傳輸； 設置在所述第二傳輸帶的第一端的第三傳感器，所述第三傳感器用于檢測所述晶片是否傳輸到所述第二傳輸帶上；以及 第二控制單元，所述第二控制單元用于在所述第三傳感器檢測到所述晶片傳輸到所述第二傳輸帶上時控制所述第二驅動電機的轉動，以使得所述第二傳輸帶將所述晶片傳輸到第三預定位置進行晶片測試，并在完成晶片測試之后，控制所述第二驅動電機驅動所述第ニ傳輸帶以將所述晶片輸出。
11.根據權利要求I所述的測試分選設備，其特征在于，所述分選模塊包括 第三傳輸帶，所述第三傳輸帶與所述第二傳輸帶相鄰且串行設置，用于傳輸晶片； 第三驅動電機，所述第三驅動電機用于驅動所述第三傳輸帶進行晶片傳輸； 設置在所述第三傳輸帶的第一端的第四傳感器，所述第四傳感器用于檢測晶片是否傳輸到所述第三傳輸帶的第一端； 設置在所述第三傳輸帶的第二端的第五傳感器，所述第五傳感器用于檢測晶片是否傳輸到所述第三傳輸帶的第二端； 設置在所述第三傳輸帶的第二端上方的第二機械手，所述第二機械手用于拾取傳輸到所述第三傳輸帶的第二端的晶片；以及 第三控制單元，所述第三控制單元用于在所述第四傳感器檢測到所述晶片傳輸到所述第三傳輸帶的第一端時控制所述第三驅動電機驅動所述第三傳輸帶加速運行預定距離，以及用于在所述第五傳感器檢測到所述晶片傳輸到所述第三傳輸帶的第二端時控制所述第三驅動電機停止驅動所述第三傳輸帶。
12.根據權利要求11所述的測試分選設備，其特征在于，所述第三傳輸帶的長度使得所述第三傳輸帶上可間隔設置有多個晶片。
全文摘要
本發明公開了一種用于晶片的測試分選設備，所述測試分選設備包括連接緩沖冷卻模塊，所述連接緩沖冷卻模塊用于接收和傳輸晶片并冷卻所述晶片；測試模塊，所述測試模塊與所述連接緩沖冷卻模塊連接，用于接收并測試所述連接緩沖冷卻模塊所傳輸的晶片；以及分選模塊，所述分選模塊與所述測試模塊連接，用于對經過所述測試模塊測試之后的晶片進行分選。根據本發明實施例的用于晶片的測試分選設備具有結構簡單、制造成本低、控制過程簡單的優點。
文檔編號G01R31/26GK102784760SQ20111013275
公開日2012年11月21日 申請日期2011年5月20日 優先權日2011年5月20日
發明者舒曉芬 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司