測量系統的制作方法

專利名稱：測量系統的制作方法
技術領域：
本發明的實施方式總體上涉及坐標測量機及使用坐標測量機的方法。坐標測量機是用于測量工件表面的點的坐標、沿掃描路徑掃描工件表面并且記錄沿掃描路徑的一系列點的坐標的裝置。
背景技術：
坐標測量機(CMM)用于尺寸測量領域并且在該領域是公知的。在很多情況下，CMM 包括基準表面，例如待測量工件可以放置在其上的經校正花崗石平面，以及可以由線性促動器和編碼器的適當組件而精確地定位在三個坐標CTZ中的可移動支承件。具有這種結構的CMM通常稱為“托架式(gantry)，，或“橋式” CMM,并且例如已在專利申請EP1975546和 US5189806 中描述。“橋式” CMM系統主要依賴于線性自由度來按照要求對支承件進行定位，而其它公知測量系統則采用多個轉動自由度來對可移動支承件進行定位。關于這種機器的描述例如可參見 US6;354012 和 US5528505。可變朝向的橋式CMM系統同樣是公知的。這些系統包括能夠轉動可移動支承件的轉動頭，以及例如沿一個、兩個或三個正交軸接合到該轉動頭的坐標探頭。這些裝置的示例尤其還可以參見EP1672309。坐標探頭可以是簡單的接觸式觸發探頭，其確定接觸的時刻，例如參見EP1610087 所述。在其它情況下，特別是采用探頭通過連續接觸來掃描表面時，公知采用例如通過LVDT 或應變(strain gauge)傳感器確定觸筆的偏移量的探頭，并將此偏移發送到控制器，以在坐標計算中積分。可用于CMM的光學探頭中的微縮成像數字系統能夠像機械測量探頭那樣移動，并對準要測量其坐標的點，而不與材料接觸，從而允許三維坐標測量。可以同樣地使用激光坐標探頭，當用掃描激光束照射激光坐標探頭時激光坐標探頭能夠確定測量對象的表面上的點的坐標。現有技術的坐標測量系統在不犧牲掃描精度的前提下限制了所能達到的最大掃描速度。具體地，高速掃描時，在快速振蕩運動中因重量產生的振動是難以從采樣點分離和量化的測量錯誤源。公知坐標測量系統的另一局限是，為了測量復雜的工件，需要對具有不同尺寸和大小的探頭進行大量選擇。探頭的頻繁更換使測量變得緩慢并降低了系統效率。長而重的探頭也增加了測量誤差并且增加了接觸點處的掃描速度。通過采用對于沿三個軸的偏移都敏感的復合掃描探頭以及能夠使探頭圍繞三個獨立軸連續轉動的機動轉動頭，可以減少探頭數量。但是，這些系統較為昂貴并容易受損。具有一個或更多個轉動自由度的坐標測量系統在尤其例如EP1975M6的現有技術中是公知的，EP1975546描述了具有一個或多個轉動自由度的能夠連續轉動并能在兩個方向上無限轉動的CMM。這種高速轉動的掃描系統能夠迅速而精確地獲得大量表面數據。
3遺憾的是，運動學的復雜性和探頭的高速增大了測量時(尤其是當工件相對于其標稱尺寸呈現出較大公差時)探頭或探頭支承平臺在工件中不可預料的碰撞的風險和后果。

發明內容
因此需要提供一種坐標測量系統，其能夠以較快的速度以及較少的振動和誤差獲得工件表面的大量坐標點。還需要提供一種測量探頭，其與已知的多軸探頭相比成本較低， 適用于復雜表面并能在高速轉動CMM中安全使用。根據本發明，通過所附權利要求的對象來實現這些目標。


借助對以示例形式給出并由附圖示出的實施方式的描述，能夠更好地理解本發明，在附圖中圖1示出了具有線性偏移編碼器的接觸掃描探頭。圖2示出了圖1的探頭的剖面。圖3示出了模塊化探頭的連接器。圖4示出了模塊化掃描探頭的擺動形式。圖5是圖4的擺動探頭的連接器側的圖。圖6是圖1和4所示的探頭的轉動配件的剖面。圖7示出了模塊化非接觸激光掃描探頭。圖8是圖7的探頭的剖面。圖9是圖7所示的連接器的俯視圖。圖10示出了安裝在2軸肘節(wrist)上的圖1的線性偏移探頭。圖11示出了位于分度(indexed) 2軸肘節上的圖4和圖6的發明裝置。圖12示出了位于分度2軸肘節上的圖7和圖6的發明裝置。圖13至15示出了圖10至12的設置，但其采用線性連續2_軸肘節。
具體實施例方式本發明的一些實施方式涉及位于分度或線性肘節上的感應式線性偏移接觸探頭 120的使用。下面參照圖1-3描述線性感應探頭的可能結構。該探頭包括一側的連接器40以及細長的主體25。連接器40的功能是保持觸針式探頭120與測量機之間的精確且可重復的空間關系，并且在探頭120和適用的探頭控制器之間發送所需要的信號。探頭控制器通常附加到CMM控制器，或者在實施方式中也可實現為獨立系統。連接器40的另一功能是保證到例如偏移檢測器的探頭的電連接，并向嵌入的用于信號處理以及信息傳輸和存儲的電子裝置供電，詳見后文所述。探頭包括觸針端部30，觸針端部30位于連接器40的相對端，與要測量其坐標的目標表面的點進行接觸。觸針端部30優選包括精確知道其半徑的紅寶石球體或適當硬質材料的球體。觸針端部30安裝滑桿60上，滑桿60安裝在觸筆25中，并能沿線性軸(例如與接觸探頭120的總體對稱軸對準的軸)滑動。觸筆25與滑桿60之間的間隙優選采用柔性元件(例如伸縮套(belloW)70)密封，以防止微粒或液滴進入。彈性元件61用于將滑桿60推到完全伸展的位置。掃描期間，CMM獲得或確定在工件表面的掃描路徑，并且操作其促動器以使觸針端部30與掃描路徑起點接觸，并確定彈簧 61的預定壓縮量。然后操作CMM以移動的探頭25，將觸針端部保持在掃描路徑上。滑桿60 相對于觸筆25的線性位移連續地取決于掃描點的坐標，由線性可變差動換能器(LVDT)65 感應地讀出并通過連接器40發送到探頭控制器。在本實施方式中，探頭不包括有源電子器件。LVDT換能器65通過連接器40由適當的傳輸線(例如通過同軸電纜或雙絞線)連接到探頭控制器。不存在有源電子器件實現了所需要的簡單性和可靠性，但并非必須如此。本發明也可以包括在探頭中具有有源電子器件的探頭，例如信號調整器，以處理和/或放大位置編碼器的輸出信號和/或優選地將其變換為可以發送到遠程單元而無信息損耗的數字信號。通常，圖1至3的線性位移探頭的測量范圍大于1毫米，例如為4毫米，并且線性化之后的換能器的精度優于10微米，例如為1微米。優選地，即使探頭在觸針端部的位移超出測量范圍時不能提供高精度，觸針端部也能夠遠遠地滑出測量范圍而不受損害，從而防止碰撞。觸針端部的機械偏移范圍優選為明顯大于線性范圍，例如至少比線性范圍大兩
倍或三倍。根據所有種類的探頭，測量范圍小于機械范圍。例如對于第一探頭(圖1)，機械范圍允許在較大范圍內平移換能器，但測量范圍受捕捉長度的限制。同樣，擺動式探頭(圖 4)能夠在較大的機械范圍內移動，但其測量范圍只是該范圍的一部分。最終光學探頭(圖 7)提供相同的結果，其對焦在特定范圍內，當失焦時，其具有碰撞前的機械范圍和特定測量范圍。結合這一方面，并且例如與模塊化轉動配件相結合，由于校準和線性化的損失，得到的測量范圍小于物理測量范圍。根據此事實，從具有校準校正的裝置產生的實際測量范圍看起來就像測量范圍更小的情況。這種限制像過濾測量范圍那樣起作用。這種測量范圍的改變應當隨連接在一起的裝置而變化。例如，隨著轉動振動，我們可以減小一些范圍以保證測量中的振動測量值較低。在這種情況下，我們不使用全部范圍來確認該事實。模塊化裝置和模塊化探頭的組合可以存儲于普通的信息存儲器中，以用于校準和線性化。根據本發明的一個方面，對探頭控制器進行編程，以校正感應式換能器65的非線性，并且探頭120在內部存儲用于線性化的個體或組合信息。在優選例中，探頭將其自身的個體校準信息(例如編碼多項式函數)存儲到適當的存儲器中。優選采用導線量少的串行總線(例如Maxim集成產品公司提供的“1條導線”串行總線或飛利浦電子公司提供的 “ 1 ”總線)，通過連接器40將線性化信息從探頭傳遞到探頭控制器。另選地，探頭的存儲器可以不包含線性化數據，而是包含允許為每個探頭檢索個體線性化信息的捆綁信息，例如探頭序列號，探頭控制器可以使用該探頭序列號作為索引，從而由探頭控制器從適當數據庫中定位特定校準表和線性化數據。線性化數據或序號的通信也可以是無線的，例如通過RFID系統進行通信。為了減少同時通話或以相同方式通話的裝置數量，或者為了協調主從通信，系統能夠結合來自多個結構的信息并且將模塊化裝置結合在一起，以減少每次用于計算的累積或個體校準的復雜性。組合線性化的結果存儲在一個裝置中；該裝置能夠存儲多于一個的配置，但在同一時間只能使用一個有效配置。圖3示出了連接器40的可能實現。連接器還包括多個定位表面45，設置這些定位表面45是為了保證精確和可重復的探頭定位。優選地，定位表面被設置為提供六個獨立的接觸點(均衡連接)。連接器40還包括在探頭和向CMM發送掃描信號的可移動支承件之間傳輸電信號和電能的電觸點42;以及鎖定裝置48。EP1577050描述了包含類似特征的接觸探頭的模塊化連接器，但是也可采用其它形式的連接器。根據圖4-5所示的本發明另一實施方式，探頭可以采用擺動形式，提供杠桿式探頭，其具有位于搖臂觀端部并由關節63可樞轉地接合到搖臂支承件的觸球(feeler sphere) 30 ；以及用于讀出搖臂支承件的角度偏移的感應角度編碼器。角度編碼器的測量范圍對應于觸球30的允許擺動范圍的一部分，優選為大于1毫米，例如4毫米，或者為士 10° 的角度，并且線性化之后的感應編碼器的精度優于10微米，例如1微米。對于線性變型例， 擺動式探頭120的感應換能器可以用存儲在探頭本身中的信息來個體校準。優選地，為了碰撞容限，搖臂的最大允許偏移范圍遠大于角度編碼器的測量范圍，例如大于測量范圍的至少兩倍或三倍。在優選實施方式中，測量軸63包括摩擦機構，以保證偏移范圍遠大于角度編碼器的測量范圍。圖5示出了這個探頭變型例的連接器40。 本發明的該實施方式包括手動操作的關節64，用于根據測量表面取向來設置探頭取向。優選地，探頭控制器知道關節的取向角，從而在考慮探頭傾斜度的情況下計算探頭測量的適當變化。可以由適當的編碼器提供關節的角度，或者，探頭控制器可以在校準步驟中，通過驅動CMM以使得用觸針30接觸參考體，來推斷關節的角度。圖4的結構例如可用于掃描具有轉動對稱性的內部形狀(特別是圓柱形孔)，將探頭置于體內并使之轉動以測量轉動期間的變化。探頭的轉動軸與要測量的形體的軸對齊， 但不要求絕對精確。關節64進行操作，以將觸點30定位在與探頭的轉動軸122距離為r 的位置，該距離對應于孔的半徑尺寸或其它必須測量的特征。通過這種方式，本發明的探頭測量沿單軸的探頭偏移，并且探頭支承件僅僅簡單轉動，就能夠提供對內孔的連續掃描測量及。優選地，測量關節63也包括允許對觸筆觀進行手動取向的摩擦機構，以使其在設置關節64的取向之后明顯地平行于轉動軸122。關節64優選為允許角位置的連續并且能由按鈕66鎖定或解鎖的摩擦關節。在另一可能的變型例中，關節64是分度的，可以精確地重復并且知道有限數量的預設角位置。 在變型例中，關節被設置成在外部力矩或力的作用下從一個位置切換到另一位置，并且CMM 可進行操作以將搖臂支承件探頭抵靠在適當的工具上，從而按要求設置關節的位置。在通過改變關節62和/或63的傾角而設置距離r之后，優選地用已知基準夾具對探頭進行重新校準。優選地，探頭120還包括允許搖臂28圍繞安全傾斜軸68傾斜的安全關節62。應當理解，安全關節62允許圍繞與角度編碼器感測的轉動軸不同的軸傾斜。在示出的本發明的實施方式中，安全傾斜軸與測量軸不平行，并允許搖臂分別在兩個不同平面(可能是兩個正交平面)中傾斜；安全關節允許在與測量平面正交的方向上傾斜，而角度編碼器對于搖臂在測量平面中的傾斜是敏感的。另外或另選的是，分度關節63也可作為安全關節。
安全關節62 (優選地，也可以是測量關節6 包括摩擦裝置或其它適當保持裝置， 以防止正常測量期間發生傾斜，并且在橫向力超出對應于碰撞的預定值時，允許搖臂觀或探頭120的至少一部分傾斜。在變型例中，可由釋放機構提供安全功能，例如彈性地壓入槽內的球體或類似結構。在變型例中，對觸針的線性位移敏感的線性模擬探頭(例如圖1所示的探頭)還包括安全關節和/或分度關節。在這種情況下，對于各個可能的碰撞矢量，增強了故障容限。在與圖11所示的可轉動腕部結合使用時，因為可以容易避免軸向碰撞的情況，因此兩個獨立的轉動自由度和線性偏移限制足以保護探頭。根據圖1-5示出的上述獨立方面，本發明涉及一種模擬掃描探頭，其沿單軸按線性或角度傳送偏移測量，優選地包括感應式換能器并且在內部存儲校準和線性化信息。根據第一方面的模擬掃描探頭優選地包括與坐標定位平臺交互的模塊化連接器。所發明的另一獨立方面涉及如圖6所示的轉動模塊化配件50。該附加促動器提供沿如下的軸的自動轉動該軸優選為不必與測量點的路徑交叉，但與探頭的對稱軸一致。 轉動配件50允許在將轉動部件的慣量保持在最小的同時轉動探頭。這種轉動方案保證了低振動、快速、精確的掃描。該轉動模塊化配件50允許在驅動路徑誤差較小的情況下橫向掃描工件，并且無需改變整個掃描頭相對于掃描表面取向的取向就可以獲取工件的測量值作為結果。與現有技術中的公知裝置相反，探頭取向能夠迅速改變而無需拉動運動中的沉重部件。在本發明中，轉動允許沿著平行于表面的路徑移動支承件，并且選擇如下的探頭轉動路徑當與本發明一起使用時，該探頭轉動路徑至少在探頭的一段轉動中與表面相交，掃描頭碰撞到一些障礙物的風險很小。即使遭遇不可預料的沖擊，本發明的系統也可能不受損傷，因為在高速運動的轉動配件之后的元件慣量很小并且本身也能抗碰撞，見上文所述。優選地，沿遠離工件表面的平行路徑以較低速度驅動系統中的較為沉重的部件(例如探頭支承件)，并且在由任何障礙物帶來不希望的接觸時這些較為沉重的部件產生問題。獨立于系統在掃描前已經知道并且僅僅基于工件的標稱尺寸的掃描路徑和軌跡，該系統可以容忍沒有微小碰撞而沒有實際損傷。根據本發明的一個方面，能夠轉動驅動CMM和轉動模塊化配件50的軸，以增加特定關注區域中的測量點的采樣密度，這是預先確定或者按上次測量的函數而自動確定的。 例如，可以想到，在某些部位中緩慢轉動以采集具有給定密度的表面點坐標，并使探頭在其它部位中(例如在表面的邊緣或其它特征部位附近)快速轉動以采集具有更高密度的點的坐標，或者進行特定測量，例如對所測量的表面的取向確定。轉動配件在其兩端具有兩個連接器40、90，它們能夠與CMM的可移動支承件上的連接器彼此協作，并且與掃描探頭120上的連接器分別協作。通過這種方式，轉動配件50 能夠在需要時插入可移動支承件和探頭之間。由電機58進行驅動，轉動配件50的上端和下端能夠借助于軸承56彼此相對轉動。由適當的角度編碼器52連續讀取轉動角。通過連接器90的電觸點將驅動電機58的命令以及編碼器52的讀出結果發送到CMM。轉動配件優選包括數字處理單元(未示出)，該數字處理單元用于驅動電機58、測量編碼器52提供的角度、并與探頭控制器通信。
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圖7和8示出了本發明的系統的變型例，其包括非接觸光學掃描探頭160。探頭 160優選地不包含光學有源元件，但其通過光纖150連接到探頭模塊內的光學探頭控制器以將信號轉化為電信息，或在外部由CMM插座通過光纖將光信號傳遞到控制器。在這種情況下，連接器40、90具有光學端口 47、97，用于在探頭和光學控制器之間通過單模光纖或多模光纖單向或雙向傳遞光學信號。圖9示出了上述連接器。在變型例中，光學控制器包括在模塊化探頭中，并且通過無線方式傳遞信號。光學探頭160具有在自由端設置有透鏡300的細長的觸筆。可以包括干涉儀的光學探頭控制器用于確定透鏡300和待測量工件之間的距離。在優選變型例中，透鏡300 用于測量沿著如下的方向的距離該方法不與探頭的軸相齊，但是例如以90°角與該軸橫切。通過這種方式，能夠促動轉動配件50以沿著路徑掃描工件表面。在現有技術中，探頭僅用于在聚焦點上工作；而在本發明中，光學探頭與部分焦點共同使用。事實上，當焦點位于非聚焦區時，機器采用在聚焦界限兩側的點來確定尺寸。事實上，隨著探頭的聚焦轉動， 這些點能夠繪出表面的完整圖，而無需嚴格按照理論上與表面對焦的路徑。圖6和圖8示出了探頭和轉動配件的剖面。由于螺旋纏繞在電機上方和下方的光纖151、152的兩個柔性剖面，因此光纖可以容納電機52本身的轉動，并且光纖橫切于電機軸中的軸向孔。通過這種方式，轉動配件50能夠在兩個轉動方向上以大于360° (優選為大于720° )的角度轉動，而不會中斷通過光纖150的傳輸。已經發現，盡管光纖經歷了反復和交替的轉動，這種設置也能為光纖提供長使用壽命。在此處未示出的變型例中，模塊化轉動配件能與一個或更多個附加的模塊化轉動配件相結合，由此，通過以相同方式結合多個轉動并以順序方式結合相反轉動，產生具有特殊結果函數(例如正弦函數或其它數學函數)的運動。累計加速度然后用低慣性模塊創建某些函數所需的較大加速度是非常有趣的。按照與光學連接器97和47類似的方式，連接器90和40通過柔性螺旋導電體連接在一起(圖中未示出)。在變型例中，轉動配件也能圍繞其軸線進行無限轉動。在這種情況下，由適當的集電環(electric slip ring)和光學重發裝置通過氣隙、信號轉換器或能夠避免信號丟失的等效裝置，來保證轉動部件之間的信號和功率傳輸。圖10至15示出了本發明的測量系統的各種應用。在圖10中，線性感應接觸探頭安裝在與CMM機的套管600連接的轉動分度頭250上。在此構造中，套管600能夠沿三個獨立線性坐標XYZ移動，從而利用掃描探頭120的末端跟隨預定的掃描路徑。分度頭250 使得可以將探頭的取向設置為最適于測量。圖11示出了搖臂感應式掃描探頭，其類似于圖10地安裝在分度頭250上。轉動配件50插在探頭頭部250和感應式探頭120之間。由于轉動配件50能夠連續轉動或反向轉動，而且測量觸針并不限于停留在轉動軸上，因此圖11的系統具有可用于掃描的附加自由度。圖12示出了具有附加轉動自由度的掃描系統，其設置有非接觸光學探頭160。分度頭250的分度轉動接頭251、252允許例如采用軸向(從系統中心軸有或沒有微小偏移)或徑向光學探頭，將探頭160的取向設置在多個角度位置，在表面附近轉動以沿掃描路徑檢測尺寸變化的能力。本發明允許在聚焦范圍內進行掃描，并且當掃描的一部分超出聚焦范圍時，也允許基于在失焦范圍的兩側獲得的點來確定尺寸。這種失焦看起來像機械范圍相對于聚焦范圍上的測量范圍。
在圖13-15的變型例中，掃描探頭安裝在三軸轉動掃描頭350上，構成如下的掃描系統其具有六個自由度、針對套筒600的運動的三個線性坐標以及沿掃描頭350的三個獨立轉動軸351、352、450的三個轉動。根據需要，掃描探頭可以是接觸感應式探頭120 (如圖 13和14所示)，或非接觸式探頭160(如圖15所示)。CMM控制器可將轉動軸351、352和 450驅動到任何所希望的角度。在本變型例中，可以增加模塊化轉動配件以獲得更加復雜的轉動的掃描路徑。它們全都可以容忍大于測量范圍的機械范圍內的碰撞。到達極限之前的探頭的自由運動限定了機械范圍，隨后出現碰撞的情況。通過本發明，利用這些新的探頭， 可以容易地避免這些碰撞的情況。
權利要求
1.一種模擬掃描探頭(120)，該模擬掃描探頭(120)具有能拆卸地連接到坐標測量系統的能移動的支承件的連接器(40)，所述掃描探頭包括接觸部(30)，其位于觸筆08)的端部，所述觸筆08)根據測量軸(6 能夠樞轉地連接到所述掃描探頭；以及位置編碼器， 其傳送所述接觸部(30)圍繞所述測量軸(6 的傾斜角的測量值，所述模擬掃描探頭的特征在于，在所述連接器GO)與所述測量軸(6 之間包括一個關節(64)，該關節(64)用于允許所述掃描探頭或其一部分發生傾斜。
2.如權利要求1所述的模擬掃描探頭，其中，所述關節(64)為能夠手動設置的摩擦關節，其允許操作位置的連續。
3.如權利要求1所述的模擬掃描探頭，該模擬掃描探頭還包括安全關節(62)，該安全關節(6 允許當施加在所述接觸部(30)上的力超過確定的界限時所述觸筆08)圍繞安全軸發生傾斜。
4.如前述權利要求所述的模擬掃描探頭，其中，所述安全軸(68)位于不包含所述測量軸(6 的平面或者與所述測量軸(6 正交的平面。
5 如權利要求3所述的模擬掃描探頭，其中，所述安全關節(62)位于所述測量軸(63) 和所述接觸部(30)之間。
6.如權利要求3所述的模擬掃描探頭，其中，所述測量軸包括如下的摩擦裝置該摩擦裝置使得所述觸筆08)能夠位于大于所述編碼器的測量范圍的角度范圍內。
7.如權利要求1所述的模擬掃描探頭，該模擬掃描探頭還包括用于存儲該模擬掃描探頭的個體校準數據的存儲器。
8.一種采用坐標測量系統對工件進行掃描的方法，該方法包括以下步驟將模擬掃描探頭(120)連接到坐標測量系統的能轉動的支承件，所述掃描探頭(120) 包括接觸部(30)，其位于觸筆08)的端部，所述觸筆08)根據測量軸(6 能夠樞轉地連接到所述掃描探頭；位置編碼器，其傳送所述接觸部(30)圍繞所述測量軸(6 的傾斜角的測量值；以及在所述能移動的支承件與所述測量軸(6 之間包括的一個關節(64)；操作所述關節(64)，以將所述接觸部(30)定位為與所述能轉動的支承件的轉動軸相距預定距離(r)，驅動所述坐標測量系統，以將所述能移動的支承件與所述工件的特征部分的軸對齊， 并且，將所述接觸部(30)與所述工件的表面接觸，通過所述能轉動的支承件來轉動所述模擬掃描探頭(120)，保持所述接觸部(30)與所述工件的表面的接觸，并且，讀取所述位置編碼器測量到的角度。
9.如權利要求8所述的方法，該方法包括如下步驟在操作所述關節(64)的步驟之后，校準所述模擬掃描探頭。
10.如權利要求8所述的方法，該方法包括如下步驟根據所述特征部分的標稱尺寸來確定所述接觸部到所述能轉動的支承件的所述距離。
全文摘要
本發明涉及測量系統。模擬掃描探頭(120)具有可拆卸地連接到坐標測量系統的可移動支承件的連接器(40)，所述掃描探頭包括接觸部(30)，其位于觸筆(28)的端部，所述觸筆(28)根據測量軸(63)能夠樞轉地連接到所述掃描探頭；以及位置編碼器，其傳送所述接觸部(30)圍繞所述測量軸(63)的傾角的測量值，其特征在于，在所述連接器(40)和所述測量軸(63)之間包括一個關節(64)，該關節(64)用于允許所述掃描探頭或其一部分發生傾斜。
文檔編號G01B11/00GK102252639SQ20111010371
公開日2011年11月23日 申請日期2011年4月25日 優先權日2010年4月26日
發明者帕斯卡爾·喬迪爾, 本杰明·烏里奧德 申請人:特莎有限公司