專利名稱：大面積金剛石膜表面溫度測量裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及薄膜表面溫度測量，特別設計大面積金剛石膜表面溫度測量。
背景技術：
金剛石是自然界中最硬的材料，其熱傳導性在室溫下約為銅的5倍，而且它還具有高透光、高傳聲和極佳的化學惰性等優異性能，在科研和工業領域有廣泛的應用。制備大面積金剛石膜可采用熱絲化學氣相沉積方法、直流電弧等離子體噴射化學氣相沉積方法、 微波等離子體化學氣相沉積方法等方法，其中襯底溫度的均勻性是保證金剛石膜質量的重要參數。精確測量金剛石薄膜表面溫度并進行分析，是制備大面積金剛石膜必備的前提條件。
發明內容本實用新型涉及一種大面積金剛石膜表面溫度測量裝置，通過多點隨機安放溫度傳感器，對多路溫度測量值進行分析處理，獲取金剛石膜表面溫度的準確測量值，以供控制系統實施高精度控制提供測量信號。本實用新型涉及的大面積金剛石膜表面溫度測量裝置，多路溫度傳感器接溫度傳感器集中接口，溫度傳感器集中接口接溫度分析處理器，溫度分析處理器接顯示器。溫度傳感器為K型熱電偶溫度傳感器。顯示器為液晶顯示屏，顯示溫度的故障信息及對應的測量溫度傳感器編號和最終的溫度的精確測量值。溫度分析處理器通過對測量的多路溫度值，進行比較，剔除誤差較大值作為故障測量值并傳送給顯示器上顯示，對剔除剩余的溫度測量值取平均值或剩余的各溫度測量值乘以對應的加權系數后相加為最終溫度測量值，最終溫度測量值傳送給顯示器以顯示。本實用新型大面積金剛石膜表面溫度測量裝置的優點為1.綜合測量大面積金剛石膜表面各處溫度測量信息，對多點溫度測量值進行分析，剔除溫度測量故障值，對剩余溫度測量值進行處理，最終溫度測量值精度高；2.故障溫度測量支路實時顯示，為便于測量裝置及時維護提供信息；3.該表面溫度測量裝置也適用于其他大面積薄膜表面溫度精確測量。
圖1為本實用新型大面積金剛石膜表面溫度測量裝置結構方框圖。圖2為溫度分析處理器溫度分析處理過程。
具體實施方式
本實用新型大面積金剛石膜表面溫度測量裝置實施例結構方框圖如圖1所示，多路溫度傳感器接溫度傳感器集中接口，溫度傳感器集中接口接溫度分析處理器，溫度分析處理器接顯示器。通過多點隨機安裝溫度傳感器，對多路溫度測量值進行分析處理，獲取金剛石膜表面溫度的準確測量值，以供控制系統實施高精度控制提供測量信號。溫度傳感器為K型熱電偶溫度傳感器。顯示器為液晶顯示屏，顯示溫度的故障信息及對應的測量溫度傳感器編號和最終的溫度的精確測量值。溫度分析處理器通過對測量的多路溫度值，進行比較，剔除誤差較大值作為故障測量值并在顯示器上顯示，對剔除剩余的溫度測量值取平均值或剩余的各溫度測量值乘以加權系數后再相加得出最終高精度的溫度測量值。
權利要求1.大面積金剛石膜表面溫度測量裝置，其特征在于多路溫度傳感器接溫度傳感器集中接口，溫度傳感器集中接口接溫度分析處理器，溫度分析處理器接顯示器。
2.根據權利要求1所述的大面積金剛石膜表面溫度測量裝置，其特征在于 所述的溫度傳感器為K型熱電偶溫度傳感器。
3.根據權利要求1所述的大面積金剛石膜表面溫度測量裝置，其特征在于 所述的顯示器為液晶顯示屏。
專利摘要本實用新型為一種大面積金剛石膜表面溫度測量裝置，多路溫度傳感器接溫度傳感器集中接口，溫度傳感器集中接口接溫度分析處理器，溫度分析處理器接顯示器。溫度分析處理器通過對測量的多路溫度值，進行比較，剔除誤差較大值作為故障測量值并在顯示器上顯示，對剔除剩余的溫度測量值取平均值或剩余的各溫度測量值乘以加權系數后再相加得出最終溫度測量值，最終溫度測量值在顯示器上顯示。本大面積金剛石膜表面溫度測量裝置綜合測量大面積金剛石膜表面各處溫度測量信息，對多點溫度測量值進行分析，剔除溫度測量故障值，對剩余溫度測量值進行處理，最終溫度測量值精度高；故障溫度測量支路實時顯示，為溫度測量裝置及時維護提供信息；該表面溫度測量裝置也適用于其他大面積薄膜表面溫度精確測量。
文檔編號G01K7/02GK201974246SQ20102062623
公開日2011年9月14日 申請日期2010年11月26日 優先權日2010年11月26日
發明者李慧, 汪洪波, 程克剛 申請人:汪洪波