專利名稱：沉積箱真空度檢測裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種檢測裝置，尤其涉及一種太陽能電池生產過程中的沉積箱真 空度檢測裝置。
背景技術：
在太陽能電池生產過程中，有一個很重要的生產工藝，叫做化學氣象沉積，即在一 個真空室里面通入相應的工藝氣體，在一定的條件下，進行非晶硅鍍層的生產，此生產過程 對真空室的真空度以及真空度精度的要求很高，這就需要有一個測量范圍大，測量精度高 的檢測裝置。
實用新型內容為了解決上述技術問題本實用新型提供一種沉積箱真空度檢測裝置，目的是增加 了真空度的測量范圍。為達上述目的本實用新型沉積箱真空度檢測裝置，由下述結構成電磁閥，電磁閥 與進氣管連接，在進氣管上通過管路與電阻規連接，電磁閥與電離規連接，電離規與電離規 信號線連接，電阻規與電阻規信號線連接，電磁閥上設有電磁閥信號線。所述的進氣管通過法蘭與電磁閥連接。所述的進氣管與電阻規之間的管路上設有法蘭。所述的電磁閥與電離規之間通過管路連接。所述的電磁閥與電離規之間的管路上設有法蘭。本實用新型的優點效果將電阻規和電離規先后安裝在一個管路上，測量范圍可 從100000帕至0. 0001帕，并且中間安裝有電磁閥，可以單獨使用電阻規，也可以同時使用 電阻規和電離規，本實用新型結構簡單，增加了真空度的測量范圍，測量精度高，實用性強。
圖1是本實用新型的結構示意圖。圖中1、法蘭；2、電阻規；3、電離規；4、電阻規信號線；5、電離規信號線；6、電磁 閥；7、電磁閥信號線；8、進氣管。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步說明。如圖所示本實用新型沉積箱真空度檢測裝置，由下述結構構成電磁閥6，電磁閥 6與進氣管8連接，在進氣管8上通過管路與電阻規2連接，電磁閥6與電離規3連接，電離 規3與電離規信號線5連接，電阻規2與電阻規信號線4連接，電磁閥6上設有電磁閥信號 線7，進氣管8通過法蘭1與電磁閥6連接，進氣管8與電阻規2之間的管路上設有法蘭，電 磁閥6與電離規3之間通過管路連接，電磁閥6與電離規3之間的管路上設有法蘭。[0014] 本實用新型當需要單獨使用電阻規時，將電磁閥關閉，這樣電阻規測量范圍為 100000帕至10帕，而當測量范圍需要擴大時，將電磁閥打開，啟動電離規，電離規的測量范 圍從10帕到0. 0001帕，這樣本實用新型的檢測范圍為100000帕至0. 0001帕。并且在真 空度達到要求后，化學氣象沉積開始后，工藝氣體會對電離規造成污染，電磁閥關閉后，對 電離規起到保護作用。
權利要求沉積箱真空度檢測裝置，其特征在于由下述結構構成電磁閥，電磁閥與進氣管連接，在進氣管上通過管路與電阻規連接，電磁閥與電離規連接，電離規與電離規信號線連接，電阻規與電阻規信號線連接，電磁閥上設有電磁閥信號線。
2.根據權利要求1所述的沉積箱真空度檢測裝置，其特征在于所述的進氣管通過法蘭 與電磁閥連接。
3.根據權利要求1所述的沉積箱真空度檢測裝置，其特征在于所述的進氣管與電阻規 之間的管路上設有法蘭。
4.根據權利要求1所述的沉積箱真空度檢測裝置，其特征在于所述的電磁閥與電離規 之間通過管路連接。
5.根據權利要求4所述的沉積箱真空度檢測裝置，其特征在于所述的電磁閥與電離規 之間的管路上設有法蘭。
專利摘要本實用新型涉及一種檢測裝置，尤其涉及一種太陽能電池生產過程中的沉積箱真空度檢測裝置。沉積箱真空度檢測裝置，由下述結構成電磁閥，電磁閥與進氣管連接，在進氣管上通過管路與電阻規連接，電磁閥與電離規連接，電離規與電離規信號線連接，電阻規與電阻規信號線連接，電磁閥上設有電磁閥信號線。本實用新型的優點效果將電阻規和電離規先后安裝在一個管路上，測量范圍可從100000帕至0.0001帕，并且中間安裝有電磁閥，可以單獨使用電阻規，也可以同時使用電阻規和電離規，本實用新型結構簡單，增加了真空度的測量范圍，測量精度高，實用性強。
文檔編號G01L21/30GK201637537SQ201020131780
公開日2010年11月17日 申請日期2010年3月16日 優先權日2010年3月16日
發明者李健 申請人:沈陽漢鋒新能源技術有限公司