專利名稱:直線測頭式小齒輪誤差差動測量方法
技術領域:
本發明涉及一種小齒輪誤差測量方法,屬于精密測試技術及儀器、機械傳動技術 領域。
背景技術:
小齒輪通常是指模數小于1mm,或分度圓直徑小于30mm的齒輪。小齒輪在精密量 具、航空儀表、計時鐘表中應用廣泛。我國是小齒輪生產大國,但質量不高、精度不穩定。現有的小齒輪測量方法有接觸法和非接觸測量法。接觸測量法按測量元件的不同 可分為點測頭式、蝸桿嚙合式和齒輪嚙合式三類。點測頭坐標式測量法,如齒輪測量中心,采用點測頭和坐標測量方式。其典型測頭 如圖1。這種大頭、細頸和長桿狀特點的點測頭剛性弱、制造難。因此用該方法,國內通常可 測量齒輪模數僅小至0. 4mm。再者,點測頭坐標測量法的測量運動狀態不符合齒輪使用狀 態,測得的誤差信息較片面。蝸桿嚙合式測量法,如圖2,采用單軸驅動方式,即電機驅動測量蝸桿,被測齒輪和 其固連的軸系因與測量蝸桿單面嚙合而被動旋轉。該方法通常可以測量模數小至0. 5mm的 齒輪。但對于更小的模數,弱剛性被測齒輪就不足以無變形地帶動與其固連的大轉動慣量 軸系。這種“直接測量”系統的測量精度和測量靈敏度,對于測量小齒輪來說太差而不能采用。齒輪嚙合式測量法中的雙軸主動驅動單面嚙合差動測量法,亦稱之為差動式測量 方法,是發明專利200710049601. 1中的方法,如圖3。其基本思想是將測量元件和被測齒輪 由兩套電機分別驅動,測量元件相對于測量元件部件軸系的差動誤差由差動聯軸器加差動 傳感器測量出來。該方法首次解決了小齒輪單嚙測量的世界性難題。但該方法存在測量齒 輪制造精度的難點,因此目前測量精度不高。綜上所述,目前小齒輪測量方法有三大不足點第一點是,點測頭受加工工藝限制而不能做到更小即不能測量更小齒輪,且點測 頭坐標測量法的測量運動狀態不符合齒輪使用狀態,測得的誤差信息較片面;第二點是,蝸桿嚙合式測量法是單軸驅動式“直接測量”,其測量精度和測量靈敏 度不能用于小齒輪測量;第三點是,齒輪嚙合式測量法中,測量齒輪制造精度的難點,因此目前測量精度不
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發明內容
本發明的目的是提供一種測量運動狀態符合齒輪使用狀態,測量元件和被測齒輪 不易變形,測量精度高的直線測頭式小齒輪誤差差動測量方法。本發明的另一個目的是使測量頭更適合齒輪測量,剛性好,便于加工。本發明是這樣實現的
本發明直線測頭式小齒輪誤差差動測量方法,其特征在于測量頭位于測頭拖板上 通過第1電機的傳動相對基座平移,差動測量裝置位于測頭拖板上,或者位于第2電機與被 測齒輪的軸套上。當差動測量裝置位于測頭拖板上時,差動測量裝置檢測出測量頭相對于測頭拖板 的位移值L1,位于基座上的第1位移傳感器檢測出測頭拖板相對于基座的位移值L2,位于第 2電機與被測齒輪的軸套上的第2角位移傳感器測出被測齒輪相對于基座的旋轉角位移值 O1,將上述三個數據送入計算機進行數據處理得到被測齒輪的綜合疊加誤差δ,δ = (L^L2)Cos α T^1其中α為被測齒輪和測量頭的壓力角值,rb是被測齒輪基圓半徑值。當差動測量裝置位于第2電機與被測齒輪的軸套上時,差動測量裝置檢測出被測 齒輪相對于被測齒輪軸系間的相對位移值L3,第1位移傳感器檢測出測量頭相對于基座的 位移值L4,第2角位移傳感器檢測出被測齒輪軸系相對于基座旋轉的角位移值Φ2,將上述 三個數據送入計算機進行數據處理得到被測齒輪的綜合疊加誤差S,δ = (L3+L4) Cos α -rb Φ 2其中α為被測齒輪的壓力角值,rb是被測齒輪基圓半徑值所述差動測量裝置為平移簧片型差動聯軸器16和差動傳感器17,基座13上有直 線導軌14與測頭拖板15動配合,第1電機2與測頭拖板15傳動連接,測頭拖板上有差動 聯軸器16,測量頭1和差動傳感器17的讀數頭固連于差動聯軸器16的平行簧片運動端上, 差傳動傳感器的主柵尺和第1位移傳感器3的主柵尺固連于測頭拖板上,第1位移傳感器3 的讀數頭固連于基座13的托架上,第2電機7的動力輸出軸與被測齒輪5連接,測量頭因 差動聯軸器16的簧片預壓力而貼合于被測齒輪的測量點上,當測量頭1隨測頭拖板移動, 差動傳感器17的讀數頭與其主柵尺之間產生相對移動,差動傳感器17的讀數頭讀取出相 對移動的位移值L1,第1位移傳感器3的讀數頭讀取測頭拖板15相對于基座13的位移值 L2,第2角位移傳感器6檢測出被測齒輪5相對于基座13旋轉的角位移值Φ”基座13上有直線導軌14與測頭拖板15動配合,第1電機2與測頭拖板15傳動 連接,測頭拖板15上有測頭連接塊19與測量頭1連接,第1位移傳感器3的主柵尺固連于 測頭拖板15上,其讀數頭固連于基座13的托架上,所述的差動測量裝置由壓簧差動測力桿 20、感應臂21、差動測力桿支架22和差動位移傳感器23組成,被測齒輪( 與感應臂Ql) 固連,差動測力桿支架0 與軸套04)固連,差動測力桿支架0 上固連有差動位移傳 感器和差動測力桿(20),感應臂的一側通過彈簧與差動測力桿00)接觸,另一 側與差動位移傳感器接觸,第2電機7通過軸套與軸套M上的被測齒輪5和差動測 量裝置連接,第1,2位移傳感器和差動位移傳感器23與計算機連接,當第1,2電機按傳動 比驅動進行齒輪測量時,第1位移傳感器3的讀數頭讀到測量頭1相對于基座13的位移值 L4,第2角位移傳感6檢測出軸套和軸套M相對于基座13的旋轉角位移值Φ2,差動位移 傳感器23讀取被測齒輪5相對于軸套和軸套M的相對位移值L3。所述測量頭為圓柱前端扁型測頭,圓柱直徑D = 1mm,圓柱前端的切削截面與圓柱 軸線夾角β =20°,弦高h = 0.02mm,測量頭總長L = 8mm。
所述測量頭為圓錐型測頭,圓錐角θ = 2α,圓錐后端有圓柱段,圓柱直徑D = Imm,測量頭總長L = 8mm。所述測量頭為跳牙齒條型測頭,m = 0. 15915mm,壓力角α = 20°,每間隔1個正 常齒槽加寬1個齒槽,單側齒槽加寬量Y = O. 03mm。被測齒輪5的模數范圍是0. 05-lmm,或分度圓直徑為l_30mm。針對前文提到的目前小齒輪測量的第一和第三個不足點,本發明使用特殊測量 頭,包含但不僅限于準齒條型測頭和跳牙齒條型測頭,如圖8、圖9、圖10。與傳統點測頭的比較如下。眾所周知,單面嚙合測量原理比坐標測量原理有許多 優點,如測量狀態接近被測齒輪使用狀態、能測得的誤差信息全面等。本發明中的特殊測量 頭就符合單面嚙合測量原理,并且剛性好。因此,本測量頭比傳統點測頭更適合齒輪測量。與傳統的單面嚙合測量元件比較如下。在測量過程中,本測量頭是以其直線型的 直母線參與嚙合測量,且空間幾何形狀比功能相對應的傳統單面嚙合測量元件簡單。傳統 的單面嚙合測量元件有測量蝸桿、多齒測量齒條、單齒測量齒條和單齒測量齒輪。它們都是 基于基準齒條與齒輪嚙合原理,具有兩個特點嚙合廓面間為點嚙合,嚙合中心距和軸交角 兩個自由度的可分性。前者有利于準確獲取測量點處誤差信息,后者給測量帶來方便。瞬 時嚙合點在兩廓面上的集合就是接觸跡,其形狀僅與齒廓面的固有參數有關,與相嚙合的 另一廓面參數及中心距、軸交角無關。基準齒條測量元件的接觸跡線是其直母線。根據上 述原理和特點,本發明優化基準齒條測量元件成如下三種以被測齒輪壓力角角度值傾斜 安置的圓柱削扁型測頭,以被測齒輪壓力角角度值為半錐角值的圓錐型測頭,和每間隔幾 個加寬齒槽有一個正常齒槽的跳牙齒條型測頭。如圖8、圖9、圖10。本測量頭的空間幾何 形狀比功能相對應的傳統單面嚙合測量元件簡單、易于加工到更高精度,從而提高齒輪測 量精度。本發明是對專利200710049601. 1微小齒輪誤差的差動測量裝置的改進。針對前文提到的目前小齒輪測量的第二個不足點,即單軸驅動式“直接測量”不能 用于小齒輪測量,且考慮到使用本發明的測量頭,本發明將專利200710049601. 1微小齒輪
誤差的差動測量裝置的平行軸差動原理改變為直線加圓周雙向主動驅動、單面嚙合差動測量。S卩,當差動傳感部件可置于測量頭部件處時,如圖4、5,第1電機在被測齒輪分度 圓切線方向上驅動測量頭、差動傳感部件和第1位移傳感器作直線運動,第2電機驅動被測 齒輪和第2角位移傳感器作回轉運動。差動傳感部件中的差動聯軸器保證測量頭與被測齒 輪單面嚙合。測量頭的位移值由差動傳感部件和第1位移傳感器獲測量出,被測齒輪的位 移值由第2角位移傳感器獲測量出,經數據處理得到齒輪誤差。這就避免了弱剛性的測量 元件易變形的弊病,還避免了弱剛性的被測小齒輪帶動大質量軸系回轉的弊病。差動傳感 部件也可置于被測齒輪部件處,如圖6、7,兩者基本原理一致。
圖1為傳統的點測頭示意圖。圖2為蝸桿嚙合式測量原理示意圖。圖3為專利200710049601. 1雙軸主動驅動單面嚙合差動測量原理示意圖。
圖4為差動傳感部件置于測量頭部件處的直線測頭式小齒輪誤差差動測量方法 示意圖。圖5為差動傳感部件置于測量頭部件處的直線測頭式小齒輪誤差差動測量方法 裝置圖。圖6為差動傳感部件置于被測齒輪部件處的直線測頭式小齒輪誤差差動測量方 法示意圖。圖7為差動傳感部件置于被測齒輪部件處的直線測頭式小齒輪誤差差動測量方 法裝置圖。圖8為準齒條型測頭示意圖之一。圖9為準齒條型測頭示意圖之二。圖10為跳牙齒條型測頭示意圖。圖中1、測量頭,2、第1電機,3、第1位移傳感器,4、差動傳感部件,5、被測齒輪, 6、第2角位移傳感器,7、第2電機,8、測量蝸桿,9、測量齒輪,10、差動傳感器和差動聯軸器, 11、測量頭部件,12、被測齒輪部件,13、基座,14、直線導軌,15、測頭拖板,16、平行簧片型差 動聯軸器,17、差動傳感器,18、被測齒輪軸系與彈簧夾頭,19、測頭連接塊,20、差動測力桿, 21、感應臂,22、差動測力桿支架,23、差動位移傳感器,24、軸套。具體實施實施例1 本測量方法,避免了弱剛性的測量頭易變形的弊病,還避免了弱剛性的被測小齒 輪帶動大質量軸系回轉的弊病,實現了對小齒輪的精密測量。本例中差動傳感部件可置于測量頭部件處。本實施例的測量原理是將雙軸主動驅動單面嚙合測量法改變為在被測齒輪分度 圓切線方向上直線驅動測量頭和差動傳感部件,實現小齒輪高效精密測量。如圖4、5、8、9、10所示,測量頭1使用本發明的特殊測量頭,第1電機2和第2電 機7可選用日本松下公司的MINAS-A4-100W型伺服電機,第1位移傳感器3可選用英國雷 尼紹公司的RESR20型圓光柵加RGH20型讀數頭,差動傳感部件4由平行簧片型差動聯軸器 16與差動傳感器17的組成,第2角位移傳感器6可選用英國雷尼紹公司的RG2光柵主尺加 RGH25讀數頭,直線導軌14可選用日本THK公司的常規產品,差動聯軸器16可選用傳統平 行簧片結構,差動傳感器17可選用英國雷尼紹公司的RG2光柵主尺加RGH25讀數頭。測量頭部件11由基座13、直線導軌14、測頭拖板15、第1電機2和傳動絲杠、平行 簧片型差動聯軸器16、差動傳感器17和測量頭1依次連接,并構成第一套驅動系統。被測 齒輪部件12由第2電機7、第2角位移傳感器6、軸系與彈簧夾頭18、被測齒輪5依次連接, 并構成第二套驅動系統。第1電機2通過測頭拖板15和平行簧片型差動聯軸器16帶動測 量頭1 ;第2電機7通過軸系與彈簧夾頭18帶動被測齒輪5。測量頭1和被測齒輪5分別 由第1電機2和第2電機7按規定傳動比驅動。測量頭1因差動聯軸器16的簧片預壓力 而貼合于被測齒輪5的測量點上,即“浮動”,構成單面嚙合。差動傳感器17的主柵尺固連于測頭拖板15上、差動傳感器17的讀數頭與測量頭 1同時固連于差動聯軸器16的平行簧片運動端上,則當測量頭1測量到被測齒輪5的誤差 而沿被測齒輪5的切線方向移動時,差動傳感器17的讀數頭亦沿被測齒輪5的切線方向同步移動,這時差動傳感器17的讀數頭與其固連于測頭拖板15上的主柵尺之間產生相對移 動,即“差動”,差動傳感器17讀取出該相對移動量即為測量頭1相對于測頭拖板15的位移 值U。類似地,第1位移傳感器3的主柵尺固連于測頭拖板15上、讀數頭固連于基座13的 托架上,則第1位移傳感器3可檢測出測頭拖板15相對于基座13的位移值L2。第2角位 移傳感器6檢測出被測齒輪5相對于基座13旋轉的角位移值Φ1Ι5經數據處理,得到被測 齒輪5的綜合疊加誤差δ,并從中分離出各相應誤差。基本關系式為δ = (L^L2) Cos α -rb Φ 工式中,α是被測齒輪壓力角值,rb是被測齒輪基圓半徑值。對于測量頭1的三種形式,即圓柱削扁型測頭、圓錐型測頭和跳牙齒條型測頭,本 實施例是這樣的第一,圓柱削扁型測頭是,圓柱直徑D = 1mm,圓柱一端被削扁,該切削截面與圓柱 軸線成夾角β,β =20°,該切削截面與圓柱端面的相交線是圓柱端面圓形的一條弦,其 弦高h = 0. 02mm,測頭總長L = 8mm。第二,圓錐型測頭是,一端為圓錐型,其圓錐角θ =2α,其中α是被測齒輪的壓 力角角度值,圓錐的后方是一段圓柱,該圓柱直徑D = 1mm,測頭總長L = 8mm。第三,跳牙齒條型測頭是,其特征在于m = 0. 15915mm,壓力角α = 20°,其齒槽 部分每間隔1個正常齒槽加寬1個齒槽,單側齒槽加寬量Y = 0. 03mm。實施例2 具體實施方法的第二種類型差動傳感部件可置于被測齒輪部件處。本實施例的測量原理是將雙軸主動驅動單面嚙合測量法改變為在被測齒輪分度 圓切線方向上直線驅動測量頭,差動傳感部件置于被測齒輪部件處,實現小齒輪高效精密測量。如圖6、7所示,差動傳感部件使用專利200710049601. 1微小齒輪誤差的差動測量 裝置中的差動部分,即由壓簧差動測力桿20、感應臂21、差動測力桿支架22和差動位移傳 感器23組成。差動位移傳感器23可選用日本三豐公司的519-32 電感測頭。第一套驅動系統由基座13、直線導軌14、測頭拖板15、第1電機2和傳動絲杠、第 1位移傳感器3、測頭連接塊19和測量頭1依次連接構成。基座13上有直線導軌14與測 頭拖板15動配合,第1電機2與測頭拖板15傳動連接,測頭連接塊19把測量頭1固定連 接在測頭拖板15上,第1位移傳感器3的主柵尺固連于測頭拖板15上,其讀數頭固連于基 座13的托架上。則第1電機2可以驅動測量頭1沿被測齒輪分度圓切線方向上相對于基 座13作直線運動,此時第1位移傳感器3檢測出該的位移值L4。第二套驅動系統由第2電機7、第2角位移傳感器6、軸套M、被測齒輪5、感應臂 21、差動測力桿支架22、差動位移傳感器23和壓簧差動測力桿20依次連接構成。軸套M 的外殼安裝在基座13上,并可以由第2電機7驅動作相對于基座13的圓周轉動,軸套M 轉動角位移值Φ2由第2角位移傳感器6檢測出。軸套與傳動軸連接。所述的差動測量裝置由差動測力桿20、感應臂21、差動測力桿支架22和差動位移 傳感器23組成,它們在軸套M之上構成一套所謂“軸上軸結構”的軸系,這個上層軸系可以 相對于其下層的軸套M作圓周轉動。被測齒輪5就位于該“軸上軸結構”中上層軸系處, 它與感應臂21固連,它的軸兩端頂尖定位于軸套的頂尖孔之間,故被測齒輪5和感應臂21可以相對于軸套M作圓周轉動。差動位移傳感器23的外殼和差動測力桿20固連在差動 測力桿支架22上,差動測力桿支架22又固連在軸套M的主軸上。差動測力桿20的彈力 通過作用于感應臂21而使被測齒輪5與測量頭1接觸。被測齒輪5相對于軸套M的角位 移,就反映在感應臂21相對于差動位移傳感器23間的位移值L3上,并由差動位移傳感器 23檢測出。在進行測量時,測量頭1和被測齒輪5分別由第1電機2和第2電機7按規定傳 動比驅動,測量頭1測量到被測齒輪5的自身誤差和旋轉位移而沿被測齒輪5的切線方向 移動,被測齒輪5和與其固連的感應臂21沿圓周轉動,第2角位移傳感器6、軸套24、差動 測力桿支架22、差動位移傳感器23外殼和差動測力桿20亦作圓周轉動,但它們與被測齒輪 5及感應臂21的固連體之間可以有相對移動,即“差動”。差動位移傳感器23讀取出被測齒輪5相對于軸套M間的相對位移值L3,第1位 移傳感器3檢測出測量頭1相對于基座13的位移值L4,第2角位移傳感器6檢測出軸套M 相對于基座13旋轉的角位移值Φ2。經數據處理,得到被測齒輪5的綜合疊加誤差δ,并 從中分離出各相應誤差。基本關系式為δ = (L3+L4) Cos α -rb Φ 2式中,α是被測齒輪壓力角值,rb是被測齒輪基圓半徑值。測量頭的形式,同于實施例1中的測量頭。
權利要求
1.直線測頭式小齒輪誤差差動測量方法,其特征在于測量頭位于測頭拖板上通過第1 電機的傳動相對基座平移,差動測量裝置位于測頭拖板上,或者位于第2電機與被測齒輪 的軸套上,當差動測量裝置位于測頭拖板上時,差動測量裝置檢測出測量頭相對于測頭拖板的位 移值L1,位于基座上的第1位移傳感器檢測出測頭拖板相對于基座的位移值L2,位于第2電 機與被測齒輪的軸套上的第2角位移傳感器測出被測齒輪相對于基座的旋轉角位移值Φ” 將上述三個數據送入計算機進行數據處理得到被測齒輪的綜合疊加誤差δ, δ = (L^L2) Cos α T^1 其中α為被測齒輪的壓力角值, rb是被測齒輪基圓半徑值,當差動測量裝置位于第2電機與被測齒輪的軸套上時,差動測量裝置檢測出被測齒輪 相對于被測齒輪軸系間的相對位移值L3,第1位移傳感器檢測出測量頭相對于基座的位移 值L4,第2角位移傳感器檢測出被測齒輪軸系相對于基座旋轉的角位移值Φ2,將上述三個 數據送入計算機進行數據處理得到被測齒輪的綜合疊加誤差S, δ = (L3+L4) Cos α 其中α為被測齒輪的壓力角值, rb是被測齒輪基圓半徑值。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于所述差動測量裝置為平行簧片型差動聯軸 器(16)和差動傳感器(17),基座(1 上有直線導軌(14)與測頭拖板(1 動配合,第1電 機O)與測頭拖板(1 傳動連接,測頭拖板上有差動聯軸器(16),測量頭(1)和差動傳感 器(17)的讀數頭固連于差動聯軸器(16)的平行簧片運動端上,差傳動傳感器(17)的主柵 尺和第1位移傳感器⑶的主柵尺固連于測頭拖板上,第1位移傳感器(3)的讀數頭固連于 基座(1 的托架上,第2電機(7)的動力輸出軸與被測齒輪( 連接,測量頭因差動聯軸 器(16)的簧片預壓力而貼合于被測齒輪的測量點上,當測量頭(1)隨測頭拖板(1 移動, 差動傳感器(17)的讀數頭與其主柵尺之間產生相對移動,差動傳感器(17)的讀數頭讀取 出相對移動的位移值L1,第1位移傳感器(3)的讀數頭讀取測頭拖板(15)相對于基座(13) 的位移值L2,第2角位移傳感器(6)檢測出被測齒輪( 相對于基座(1 旋轉的角位移值 Φ1 5
3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于基座(13)上有直線導軌(14)與測頭拖板 (15)動配合,第1電機(2)與測頭拖板(15)傳動連接,測頭拖板(15)上有測頭連接塊(19) 與測量頭(1)連接,第1位移傳感器(3)的主柵尺固連于測頭拖板(1 上,其讀數頭固連 于基座(1 的托架上,所述的差動測量裝置由差動測力桿(20)、感應臂(21)、差動測力桿 支架0 和差動位移傳感器組成,被測齒輪(5)與感應臂固連,差動測力桿支 架0 與軸套04)固連,差動測力桿支架0 上固連有差動位移傳感器和差動測 力桿(20),感應臂的一側通過彈簧與差動測力桿00)接觸,另一側與差動位移傳感器 (23)接觸,第2電機(7)通過軸套與軸套(24)上的被測齒輪( 和差動測量裝置連接,第1,2位移傳感器和差動位移傳感器 (23)與計算機連接,當第1,2電機按傳動比驅動進行齒輪測量時,第1位移傳感器C3)的讀 數頭讀到測量頭(1)相對于基座(1 的位移值L4,第2角位移傳感器(6)檢測出軸套和軸套04)相對于基座(13)的旋轉角位移值Φ2,差動位移傳感器03)讀取被測齒輪(5)相 對于軸套和軸套04)的相對位移值L3。
4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于所述測量頭為圓柱前端扁型測頭,圓柱直 徑D = 1mm,圓柱前端的切削截面與圓柱軸線夾角β =20°,弦高h = 0. 02mm,測量頭總長 L = 8mm。
5.根據權利要求1所述的方法,其特征在于所述測量頭為圓錐型測頭,圓錐角θ= 2 α,圓錐后端有圓柱段,圓柱直徑D = 1mm,測量頭總長L = 8mm。
6.根據權利要求1所述的方法,其特征在于所述測量頭為跳牙齒條型測頭,模數m= 0. 15915mm,壓力角α =20°,每間隔1個正常齒槽加寬1個齒槽,單側齒槽加寬量Y = 0. 03mmo
7.根據權利要求1所述的方法,其特征在被測齒輪(5)的模數范圍是0.05-lmm,或分 度圓直徑為l_30mm。
全文摘要
本發明為直線測頭式小齒輪誤差差動測量方法,解決測量運動狀態不符合齒輪使用狀態,測量元件易變形,測量精度差的問題。直線測頭式小齒輪誤差差動測量方法,測量頭位于測量拖板上通過第1電機的傳動相對基座平移,差動測量裝置位于測頭拖板上,或者位于第2電機的軸套上,當差動測量裝置位于測頭拖板上時,差動測量裝置檢測出測量頭相對于測頭拖板的位移值L1,位于基座上的第1位移傳感器檢測出測頭拖板相對于基座的位移值L2,位于第2電機的軸套上的第2角位移傳感器測出被測量齒輪相對于基座的旋轉角位移值Φ1,將上述三個數據送入計算機進行數據處理得到被測齒輪的綜合疊加誤差δ,δ=(L1+L2)Cosα-rbΦ1,其中α為被測齒輪壓力角值,rb是被測齒輪基圓半徑值。
文檔編號G01B11/26GK102135470SQ201010604428
公開日2011年7月27日 申請日期2010年12月24日 優先權日2010年12月24日
發明者付瑛, 馮剛, 葉勇, 謝華錕 申請人:成都工具研究所有限公司