專利名稱：探針卡的制作方法
技術領域：
本發明涉及集成電路測試領域，尤其涉及一種探針卡。
背景技術：
探針卡是一種測試接口，用于連接測試機臺和待測芯片。參見圖1，現有技術中的一種圓形探針卡，其包括圓形電路板110、探針120和環狀 探針座130，所述圓形電路板110的中央設有圓孔，所述環狀探針座130設置在該圓孔內， 所述探針120通過絕緣樹脂140固定于所述探針座130上，該探針120與待測芯片300的 焊盤(pad)電連接；所述圓形電路板110上設有探針引腳111和測試機臺引腳112 (圖1中 探針引腳和測試機臺引腳的數量只是一種示意)，所述探針引腳111的數量與所述測試機 臺引腳112的數量相等，一個所述探針引腳111電連接一個所述測試機臺引腳112 ；所述探 針120通過環氧針150與所述探針引腳111連接；測試時，通過彈簧針連接所述測試機臺引 腳112與測試架臺，測試信號從測試機臺輸出，經所述彈簧針、測試機臺引腳112、探針引腳 111、環氧針150和探針120，最后輸入待測芯片。待測芯片類型不同，探針定義就不同，探針與探針引腳之間的連接方式也不同，因 此，測試不同類型的待測芯片需要不同的探針卡。圓形探針卡的優點是探針卡與測試機臺的連接距離短，從而測試結果精準，但是 圓形探針卡的價格高，不同的待測芯片又需要不同的探針卡，因此，測試成本較高。參見圖2，現有技術的一種矩形探針卡，其包括矩形電路板210、探針220和環狀探 針座230，所述矩形電路板210的中央設有圓孔，所述環狀探針座230設置在該圓孔內，所 述探針220通過絕緣樹脂MO固定于所述探針座230上，該探針220與待測芯片300的焊 盤(pad)電連接；所述矩形電路板210上設有探針引腳211和測試機臺引腳212(圖2中 探針引腳和測試機臺引腳的數量只是一種示意)，所述探針引腳211的數量與所述測試機 臺引腳212的數量相等，一個所述探針引腳211電連接一個所述測試機臺引腳212 ；所述探 針220通過環氧針250與所述探針引腳211連接；測試時，通過排線連接所述測試機臺引腳 212與測試架臺，測試信號從測試機臺輸出，經所述排線、測試機臺引腳212、探針引腳211、 環氧針250和探針220，最后輸入待測芯片。同樣地，待測芯片類型不同，探針與探針引腳之間的連接方式不同，即測試不同類 型的待測芯片需要不同的探針卡。相對于圓形探針卡，矩形探針卡的面積小，可容納的引腳數少，因此，價格比較低， 但是，矩形探針卡與測試機臺的連接距離長，測量精準度低。
發明內容
本發明的目的在于提供一種探針卡，測量精準度高、測試成本低。為了達到上述的目的，本發明提供一種探針卡，作為測試機臺與待測芯片的測試 接口，包括母電路板、子電路板、多根探針和探針座；所述子電路板設有孔，所述探針座設置在該孔內；所述多根探針固定在所述探針座上；所述母電路板用于連接測試機臺，其上設 有測試機臺引腳和子板引腳，一個所述子板引腳電連接一個所述測試機臺引腳；所述子電 路板上設有探針引腳和母板引腳，一個所述探針引腳電連接一個所述母板引腳；所述多根 探針分別通過環氧針與所述探針引腳連接；一個所述母板引腳活動電連接一個所述子板引 腳。上述探針卡，其中，所述母板引腳通過彈簧針與所述子板引腳活動連接。上述探針卡，其中，所述母電路板與和子電路板通過彈簧針活動連接后測試機臺 的連接距離短，所述子電路板單獨使用與測試機臺的連接距離長。上述探針卡，其中，所述子電路板通過固定件安裝在所述母電路板的下方。上述探針卡，其中，所述固定件包括螺母和螺釘，所述螺母設置在所述母電路板的 底端，所述子電路板上設有安裝孔，所述螺釘穿過所述安裝孔擰緊在所述螺母內，將所述子 電路板安裝在所述母電路板的下方。上述探針卡，其中，所述探針引腳均勻或者對稱地排布在所述子電路板的孔的圓 周外，所述母板引腳均勻或者對稱地排布在所述探針引腳形成的圓周外。上述探針卡，其中，所述母電路板的中央設有一圓孔，所述子板引腳均勻或者對稱 地排布在所述圓孔的圓周外，所述測試機臺引腳均勻或者對稱地排布在所述母電路板的邊緣。本發明的探針卡使用子電路板連接探針，母電路板連接測試機臺，子電路板與母 電路板活動連接，測試不同類型的芯片時，更換子電路板即可，測量精準度高且測試成本 低。
本發明的探針卡由以下的實施例及附圖給出。圖1是現有技術中圓形探針卡的結構示意圖。圖2是現有技術中矩形探針卡的結構示意圖。圖3是本發明的探針卡的側視圖。圖4是本發明中母電路板的俯視圖。圖5是本發明中安裝探針后子電路板的俯視圖。圖6是本發明中固定件的結構示意圖。
具體實施例方式以下將結合圖3 圖6對本發明的探針卡作進一步的詳細描述。本發明的探針卡包括母電路板、子電路板、多根探針和探針座；所述子電路板設有孔，所述探針座設置在該孔內；所述多根探針固定在所述探針座上；所述母電路板上設有測試機臺引腳和子板引腳，一個所述子板引腳電連接一個所 述測試機臺引腳；所述子電路板上設有探針引腳和母板引腳，一個所述探針引腳電連接一個所述母 板引腳；
所述多根探針分別通過環氧針與所述探針引腳連接；一個所述母板弓I腳活動電連接一個所述子板弓I腳。本發明的探針卡使用子電路板連接探針，母電路板連接測試機臺，子電路板與母 電路板活動連接，測試不同類型的芯片時，更換子電路板即可，測量精準度高且測試成本 低。現以具體實施例詳細說明本發明的探針卡參見圖3 圖5，本實施例的探針卡包括母電路板410、子電路板420、多根探針 430和探針座440 ；所述子電路板420通過固定件450安裝在所述母電路板410的下方；本實施例中，所述母電路板410采用現有技術中圓形探針卡的圓形電路板，該圓 形電路板面積較大、弓丨腳數量多，與測試機臺的連接距離短；所述母電路板410可采用任何與測試機臺連接距離短的電路板；本實施例中，所述子電路板420采用現有技術中矩形探針卡的矩形電路板，該矩 形電路板價格低，與測試機臺的連接距離長；所述子電路板420可采用任何與測試機臺連接距離長、價格低的電路板；所述子電路板420設有一圓孔，所述探針座440設置在該圓孔內；所述多根探針430通過絕緣材料460固定在所述探針座440上；本實施例中，所述探針座440為環形探針座，所述探針座440由絕緣材料制成，例 如樹脂，所述絕緣材料460例如采用樹脂；所述子電路板420上設有探針引腳421和母板引腳422，所述探針引腳421用于連 接所述探針430，所述母板引腳422用于連接所述母電路板410 ；所述探針引腳421的數量等于所述母板引腳422的數量，一個所述探針引腳421 電連接一個所述母板引腳422;本實施例中，所述探針引腳421均勻或對稱地排布在所述子電路板420的圓孔的 圓周外，所述母板引腳422均勻或對稱地排布在所述探針引腳421形成的圓周外；所述探針430通過環氧針470與所述探針引腳421連接，該探針430與待測芯片 (圖中未示)的焊盤電連接，待測芯片類型不同，探針定義就不同，探針與探針引腳之間的 連接方式也不同；所述母電路板410上設有子板引腳411和測試臺引腳412，所述子板引腳411用于 連接所述子電路板420，所述測試臺引腳412用于連接測試機臺；所述子板引腳411的數量等于所述測試臺引腳412的數量，一個所述子板引腳411 電連接一個所述測試臺引腳412 ；所述母電路板410的中央設有一圓孔413，所述子板引腳411均勻或對稱地排布在 所述圓孔413的圓周外，所述測試臺引腳412均勻或對稱地排布在所述母電路板410的邊 緣；一個所述母板引腳422活動電連接一個所述子板引腳411，所述子板引腳411的數 量大于等于所述母板引腳422的數量；如圖3所示，本實施例中，所述母板引腳422通過彈簧針480與所述子板引腳411 連接；
所述彈簧針480的兩端各設有彈簧，該彈簧針480依靠壓緊兩端的彈簧來連接兩 個引腳，即所述彈簧針480采用的是活動連接方式，它可以非常方便地安裝和拆卸；所述母板引腳422還可通過其他方式與所述子板引腳411活動連接；參見圖6，本實施例中，所述固定件450包括螺母451和螺釘452，所述螺母451設 置在所述母電路板410的底端，該螺母的內壁上設有內螺紋，所述螺釘的外壁上設有匹配 的外螺紋453，所述子電路板420上設有安裝孔423，安裝時，所述子電路板420的安裝孔 423對準所述螺母451，所述螺釘452穿過所述安裝孔423擰緊在所述螺母451內，實現所 述子電路板420與所述母電路板410的固定連接。使用本實施例的探針卡時，所述母電路板410的測試臺引腳412通過彈簧針與測 試機臺連接，所述探針430與待測芯片的焊盤連接，測試機臺輸出的測試信號經所述測試 機臺引腳412、子板引腳411、彈簧針480、母板引腳422、探針引腳421、環氧針470，最后輸 入待測芯片。針對不同類型的待測芯片，需要不同的子電路板與其連接，使用本實施例的探針 卡測試不同類型的待測芯片時，只要將原來的子電路板拆卸下來，換上具有新的探針定義、 新的連接方式的子電路板即可，因此，使用本實施例的探針卡測試成本低；另外，本實施例 的探針卡采用母電路板與測試機臺連接，連接距離短，因此，測量結果精準度高。
權利要求
1.一種探針卡，作為測試機臺與待測芯片的測試接口，其特征在于，包括母電路板、子 電路板、多根探針和探針座；所述子電路板設有孔，所述探針座設置在該孔內； 所述多根探針固定在所述探針座上；所述母電路板用于連接測試機臺，其上設有測試機臺引腳和子板引腳，一個所述子板 引腳電連接一個所述測試機臺引腳；所述子電路板上設有探針引腳和母板引腳，一個所述探針引腳電連接一個所述母板引腳；所述多根探針分別通過環氧針與所述探針引腳連接； 一個所述母板弓I腳活動電連接一個所述子板弓I腳。
2.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述母板引腳通過彈簧針與所述子板引 腳活動連接。
3.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述母電路板與測試機臺的連接距離短， 所述子電路板與測試機臺的連接距離長。
4.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述子電路板通過固定件安裝在所述母 電路板的下方。
5.如權利要求4所述的探針卡，其特征在于，所述固定件包括螺母和螺釘，所述螺母設 置在所述母電路板的底端，所述子電路板上設有安裝孔，所述螺釘穿過所述安裝孔擰緊在 所述螺母內，將所述子電路板安裝在所述母電路板的下方。
6.如權利要求1、2或3所述的探針卡，其特征在于，所述探針引腳均勻或者對稱地排布 在所述子電路板的孔的圓周外，所述母板引腳均勻或者對稱地排布在所述探針引腳形成的 圓周外。
7.如權利要求1、2或3所述的探針卡，其特征在于，所述母電路板的中央設有一圓孔， 所述子板引腳均勻或者對稱地排布在所述圓孔的圓周外，所述測試機臺引腳均勻或者對稱 地排布在所述母電路板的邊緣。
全文摘要
本發明的探針卡作為測試機臺與待測芯片的測試接口，其包括母電路板、子電路板、多根探針和探針座；所述子電路板設有孔，所述探針座設置在該孔內；所述多根探針固定在所述探針座上；所述母電路板用于連接測試機臺，其上設有測試機臺引腳和子板引腳，一個所述子板引腳電連接一個所述測試機臺引腳；所述子電路板上設有探針引腳和母板引腳，一個所述探針引腳電連接一個所述母板引腳；所述多根探針分別通過環氧針與所述探針引腳連接；一個所述母板引腳活動電連接一個所述子板引腳。本發明的探針卡與測試系統測量路徑短，測量精準度高，且測試成本低。
文檔編號G01R1/073GK102081111SQ201010575210
公開日2011年6月1日 申請日期2010年12月6日 優先權日2010年12月6日
發明者凌儉波, 劉遠華, 葉守銀, 葉建明, 季海英, 張志勇, 張 杰, 方華, 汪瑞祺, 王錦, 祁建華 申請人:上海華嶺集成電路技術股份有限公司