專利名稱：一種結構改進的充油型擴散硅壓阻式壓力傳感器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種充油型擴散硅壓阻式壓力傳感器的結構改進。該壓力傳感器廣泛應 用于工業、醫療、航空航天、石油化工和航海等領域。
背景技術：
擴散硅壓力傳感器是目前測量壓力的一種重要傳感器。隨著充油型擴散硅壓阻式壓力傳 感器在各行業的廣泛應用，擴散硅壓力傳感器的各項技術指標的要求不斷提高。由于傳感器 結構問題嚴重影響測量精度，因此改進結構設計是傳感器設計中的一個關鍵環節。 發明內容
為了彌補現有技術中由于結構設計而產生的測量精度誤差、本實用新型提出了一種結構 改進的充油型擴散硅壓阻式壓力傳感器。
本實用新型結構改進的充油型擴散硅壓阻式壓力傳感器，其特征在于，在引線基座處增 加了正面壓緊環和反面壓緊環，以增加引線基座的強度，減少基座受力后產生的形變，提高 測量精度。
進一步地，在彈性膜片下部還增加了陶瓷蓋碗，以減少硅油用量及減弱外界電磁干擾。 本實用新型的有益效果是在內硅杯引線基座的正反兩面增加了正面壓緊環和反面壓緊
環，以夾緊引線基座，從而降低引線基座受壓變形而引起的硅杯測量精度誤差。還增加了陶
瓷蓋碗，用以減少硅油用量及減弱外界電磁干擾。
圖1是本實用新型傳感器的結構剖視圖2是反面壓緊環的結構示意圖，其中a是俯視圖，b是剖視圖； 圖3是正面壓緊環的結構示意圖，其中a是俯視圖，b是剖視圖； 圖4是陶瓷蓋碗的結構示意圖，其中a是俯視圖，b是剖視圖1中標記1、不銹鋼壓緊環；2、不銹鋼彈性膜片；3、陶瓷蓋碗；4、不銹鋼外殼；5、 玻璃封裝銅引線；6、反面壓緊環；7、引線基座；8、通氣孔；9、正面壓緊環；10內硅杯。
具體實施方式
參照圖l-圖4，不銹鋼壓緊環1與不銹鋼彈性膜片2及不銹鋼外殼4焊接，陶瓷蓋碗3、 正面壓緊環9、內硅杯10內置于不銹鋼外殼4內，引線基座7與不銹鋼外殼4焊接；正面壓 緊環9與反面壓緊環6與引線基座7粘接或焊接。
反面壓緊環6與正面壓緊環9為剛性絕緣體。
權利要求1、一種結構改進的充油型擴散硅壓阻式壓力傳感器，其特征在于，在引線基座處增加了正面壓緊環和反面壓緊環。
2、 根據權利要求1所述的結構改進的充油型擴散硅壓阻式壓力傳感器，其特征在于，在 彈性膜片下部增加了陶瓷蓋碗。
專利摘要本實用新型提出了一種結構改進的充油型擴散硅壓阻式壓力傳感器。其改進之處在于，在引線基座處增加了正面壓緊環和反面壓緊環，以增加引線基座的強度，減少基座受力后產生的形變，提高測量精度。并增加了陶瓷蓋碗以減少硅油用量及減弱外界電磁干擾。本實用新型改進了充油型擴散硅壓力傳感器的結構缺陷，提高了充油型擴散硅壓阻式壓力傳感器的測量精度。
文檔編號G01L1/18GK201413214SQ20092010888
公開日2010年2月24日 申請日期2009年6月16日 優先權日2009年6月16日
發明者剛 季 申請人:剛 季