專利名稱：一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種在生產柔性基材金屬化薄膜過程中，對金屬化薄膜的電阻 進行在線測量的裝置。
背景技術：
在柔性基材金屬化薄膜的各項性能參數中，薄膜電阻是最重要最直接的參 數之一。它不僅可以反映薄膜的厚度，而且與薄膜的光學等其它性能密切相關。 因此，成膜過程中，通過在線連續測量薄膜電阻，從而控制金屬化薄膜的成膜 條件，使所成薄膜的表面電阻在設定水平上均勻一致，由此還可以控制薄膜的 其它性能，提高產品質量和合格率。
現有在線測量金屬化薄膜電阻的技術中，有一種方法是將金屬化薄膜夾在2 個金屬輥之間，測量金屬輥之間的表面電阻。但是，這種方法僅能測量長度方 向的表面電阻，對幅寬方向的表面電阻卻無能為力。
此外，還有一種方法是，通過外加磁場，測量金屬化薄膜內感生的電流渦 流，從而計算出薄膜的表面電阻。然而，這種方法在測量表面電阻較大(大于 10Q/口)的金屬化薄膜時，需要施加極高的磁場強度；此外，在線連續測量時， 由于塑料基材的抖動，使傳感器部與金屬化薄膜間的距離發生變化，造成耦合 電感不能穩定，測量誤差較大。
還有，作為對上述技術進行的改進，在測量金屬化薄膜內感生渦流的同時， 測量金屬化薄膜的溫度以及金屬化薄膜與傳感器之間的距離，然后計算出薄膜 電阻。但是，進行這種測量的裝置很復雜，價格昂貴；其次，該方法需要對每一種待測樣品進行距離和溫度校正，測量極不方便；再次，由于溫度傳感器與 金屬化薄膜非接觸，距離約幾毫米，使測量溫度和金屬化薄膜的實際溫度有一 定誤差，從而給計算結果帶來誤差。
發明內容
本發明的目的是，針對現有技術存在的不足，提出一種柔性基材金屬化薄 膜電阻的在線測量裝置，它可在線準確測出柔性基材金屬化薄膜的電阻，用以 根據金屬化薄膜電阻的變化，調節鍍膜工藝參數，從而提高產品質量和合格率。
本發明的技術方案是，所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置包括
測量輥，所述測量輥有兩端分別經軸承裝在支座上的輥軸，由固定安裝在該輥
軸上的絕緣內襯和套裝在該絕緣內襯外周的橡膠圈組成輥體，其結構特點是，
所述輥體一端固定安裝有隨動接線圓盤，該隨動接線圓盤上沿徑向設有至少一
組電刷且每組電刷由兩個電刷組成；所述隨動接線圓盤外側對應設有固定安裝
在支座上的固定接線圓盤且該固定接線圓盤內側端面設有至少一組銅環且每組
銅環由兩只銅環組成， 一組銅環中的兩只銅環分別同對應一組電刷中的兩個電
刷對應相接觸；所述輥體上裝有至少一組測量銅環且每組測量銅環由兩只測量
銅環組成，其中每只測量銅環分別經裝在輥體中的屏蔽導線同對應一組電刷中
的一只對應電刷連接；而固定接線圓盤上每組銅環的兩只銅環經相應屏蔽饋線
及真空陶瓷封裝凸緣、信號線同電阻檢測儀連接；所述測量銅環的外徑不小于
所述橡膠圈的外徑。
以下對本發明做出進一步說明。
參見圖1和圖2，本發明所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置包括 測量輥27，所述測量輥27有兩端分別經軸承17裝在支座16上的輥軸20，由 固定安裝在該輥軸20上的絕緣內襯5和套裝在該絕緣內襯5外周的橡膠圈4組成輥體，其結構特點是，所述輥體一端固定安裝有隨動接線圓盤8，該隨動接線 圓盤8上沿徑向設有至少一組電刷且每組電刷由兩個電刷9組成；所述隨動接
線圓盤8外側對應設有固定安裝在支座16上的固定接線圓盤15且該固定接線 圓盤15內側端面設有至少一組銅環且每組銅環由兩只銅10環組成， 一組銅環
中的兩只銅環10分別同對應一組電刷中的兩個電刷9對應相接觸；所述輥體上
裝有至少一組測量銅環且每組測量銅環由兩只測量銅環3組成，其中每只測量 銅環3分別經裝在輥體中的屏蔽導線6同對應一組電刷中的一只對應電刷9連 接；而固定接線圓盤15上每組銅環的兩只銅環10經相應屏蔽饋線11及真空陶 瓷封裝凸緣12、信號線13同電阻檢測儀14連接；所述測量銅環3的外徑不小 于所述橡膠圈4的外徑。
為了使所述測量銅環3的外周表面有優良的接觸導電性，可在所述測量銅 環3的外周表面鍍.層金。
實際應用時，可將測量機構設計為圖l所示的組成，即在測量輥27的兩側 對稱地設置兩個導向輥23、 25，同時相應配置兩個可以通過導向輥精確控制基 材張力的張力控制器24、 26;待測的金屬化薄膜帶28在運行中同測量輥27保 持一定的接觸面；測量輥27運轉時，隨動接線圓盤8隨該測量輥同軸轉動；一 組測量銅環的兩只測量銅環3之間的金屬化薄膜帶28的電阻則被由該兩只測量 銅環3及相應電刷、電刷銅環、電阻檢測儀組成的檢測回路測量出來。
由以上可知，本發明為一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，它 可在線準確測出柔性基材金屬化薄膜的電阻，且結構簡單、性能可靠。
圖1是本發明一種實施例的在線測量裝置的結構示意圖； 圖2是圖1中A—A向剖視結構示意圖。在圖中
l一柔性基材，2 —-金屬化薄膜，3--測量銅環，
4 —橡膠圈，5--絕緣內襯，6--屏蔽導線，
7 —導線通道，8—-隨動接線圓盤，9 —-電刷，
IO —銅環，11.一屏蔽饋線，
12 —真空陶瓷封接凸緣，13-信號線，14 —-電阻測量儀，
15 —固定接線圓盤，16.一支座，17 —-軸承，
18 —螺釘，19-一螺釘，20 —-輥軸，
21—鍵，22-一徑向線槽，23、25—導向輥，
24、 26 —張力控制器，27-一測量輥，28—-金屬化薄膜帶
具體實施例方式
參見圖l，測量系統包括測量輥27，該測量輥27的兩側對稱地設有兩個導 向輥23、 25，導向輥23、 25由表面光滑的不銹鋼軸構成；兩導向輥23、 25分 別設置可以精確測量和控制基材1張力的己有技術之張力控制器24、 26;兩導 向輥23、 25的直徑均為lOOram，長1500mm。并且，兩導向輥23、 25與測量輥 27之間成倒三角配置，測量輥位于底部，軸線平行，兩導向輥軸線分別與測量 輥軸線所成平面之間的夾角為120° ;導向輥軸線與測量輥軸線間的距離為 200咖。
如圖2所示，所述測量輥27有兩端分別經軸承17裝在支座16上的輥軸20， 由固定安裝在該輥軸20上的絕緣內襯5和套裝在該絕緣內襯5外周的橡膠圈4 組成輥體，所述輥體一端固定安裝有隨動接線圓盤8，該隨動接線圓盤8上沿徑 向設有三組電刷且每組電刷由兩個電刷9組成；所述隨動接線圓盤8外側對應 設有固定安裝在支座16上的固定接線圓盤15且該固定接線圓盤15內側端面設有三組銅環且每組銅環由兩只銅環10組成， 一組銅環中的兩只銅環10分別同 對應一組電刷中的兩個電刷9對應相接觸；所述輥體上裝有三組測量銅環且每
組測量銅環由兩只測量銅環3組成，其中每只測量銅環3分別經裝在輥體中的 屏蔽導線6同對應一組電刷中的一只對應電刷9連接；而固定接線圓盤15上每 組銅環的兩只銅環10經相應屏蔽饋線11及真空陶瓷封裝凸緣12、信號線13同 電阻檢測儀14連接；所述測量銅環3的外徑不小于所述橡膠圈4的外徑。
進一步地，所述測量銅環3的外周表面有鍍金層，并在測量時使金屬化薄 膜2緊密接觸測量輥27 (柔性基材1上沉積金屬化薄膜2就做成了金屬化薄膜 帶)；橡膠圈4用乙腈基橡膠做成，其外徑與測量銅環3的外徑相同；絕緣內襯 5用聚四氟乙烯制作，它由圖2所示的七段組成。
測量銅環3通過屏蔽導線6，經輥體內部的導線通道7，與固定在測量輥輥 體端部并隨測量輥同軸轉動的隨動接線圓盤8上的電刷9對應連接；與電刷接 觸的各銅環10引出屏蔽饋線11，通過真空陶瓷封接凸緣12引出到真空室外側， 然后通過信號線13與電阻測量儀14相連。
隨動接線圓盤8由絕緣的聚四氟乙烯做成，它通過螺釘19固定在測量輥上， 并隨測量輥同軸轉動。
固定接線圓盤15用聚四氟乙烯做成，它通過螺釘18固定在支座16上。
測量輥27的外徑為150mm，寬1500隱；輥軸直徑60mm;測量銅環3外徑 150ram，厚度4mm，寬度為5咖；橡膠圈4厚度為2mm。每組測量銅環的兩個銅環 距離為50mm。相鄰兩組測量銅環之間的距離為525mm。測量銅環在輥體上的位 置為，距離測量輥中央部位向左向右25mm的位置以及距離測量輥端面200皿和 250mm的位置個各布置一個測量銅環。
權利要求
1、一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，包括測量輥(27)，所述測量輥(27)有兩端分別經軸承(17)裝在支座(16)上的輥軸(20)，由固定安裝在該輥軸(20)上的絕緣內襯(5)和套裝在該絕緣內襯(5)外周的橡膠圈(4)組成輥體，其特征是，所述輥體一端固定安裝有隨動接線圓盤(8)，該隨動接線圓盤(8)上沿徑向設有至少一組電刷且每組電刷由兩個電刷(9)組成；所述隨動接線圓盤(8)外側對應設有固定安裝在支座(16)上的固定接線圓盤(15)且該固定接線圓盤(15)內側端面設有至少一組銅環且每組銅環由兩只銅(10)環組成，一組銅環中的兩只銅環(10)分別同對應一組電刷中的兩個電刷(9)對應相接觸；所述輥體上裝有至少一組測量銅環且每組測量銅環由兩只測量銅環(3)組成，其中每只測量銅環(3)分別經裝在輥體中的屏蔽導線(6)同對應一組電刷中的一只對應電刷(9)連接；而固定接線圓盤(15)上每組銅環的兩只銅環(10)經相應屏蔽饋線(11)及真空陶瓷封裝凸緣(12)、信號線(13)同電阻檢測儀(14)連接；所述測量銅環(3)的外徑不小于所述橡膠圈(4)的外徑。
2、 根據權利要求l所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，其特征 是，所述測量銅環(3)的外周表面有鍍金層。
3、 根據權利要求l所述柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，其特征 是，所述輥體上裝有三組測量銅環。
全文摘要
一種柔性基材金屬化薄膜電阻的在線測量裝置，它的測量輥有裝在支座上的輥軸和由絕緣內襯及套其外周的橡膠圈組成的輥體；輥體一端固定有隨動接線圓盤且其上設有至少一組電刷且每組電刷有兩個電刷；固定在支座上的固定接線圓盤內側端面設有至少一組銅環且每組銅環有兩只銅環，各銅環分別同一只電刷對應相接觸；輥體上裝有至少一組測量銅環且每組測量銅環有兩只測量銅環，各測量銅環分別經屏蔽導線同對應的一只電刷連接；固定接線圓盤上的銅環經相應屏蔽饋線及真空陶瓷封裝凸緣、信號線同電阻檢測儀連接。它可在線準確測出柔性基材金屬化薄膜的電阻，且結構簡單、性能可靠。
文檔編號G01R27/02GK101592688SQ200910043249
公開日2009年12月2日 申請日期2009年4月29日 優先權日2009年4月29日
發明者偉 劉, 偉 李, 李再軻 申請人:湖南瀚麒科技發展有限公司