幅片厚度測量設備的制作方法

專利名稱：幅片厚度測量設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及測量系統，并且更具體地涉及連續幅片的無接觸測量。
背景技術：
在薄的連續幅片中生產薄片材料如紙張，并且這些材料要求準確度高的厚度(紙 厚(caliper))測量和控制。通常，借助在頂面和底面物理地接觸幅片的感測器來完成這些 測量。也已經開發可以完全無接觸(無物理接觸)的各種無接觸感測器或者僅在一面物理 地接觸薄片的感測器。造紙機的速度已經隨時間急劇增加，而為求工藝經濟幅片材料已經變得更薄和更 廉價。這一產業轉變已經表明如下接觸感測器的固有限制，這些感測器可能標記、刮擦或者 以別的方式損壞幅片。具體而言，從兩面同時接觸薄片的感測器具有擠壓包含結塊或者缺 陷的薄片從而導致感測器在薄紙張等級引起孔乃至薄片破裂這樣的風險。無接觸感測器提 供的優點在于它們使這樣的損壞風險最小。另外，無接觸感測器消除與灰塵堆積和磨損可 能引起的測量不準確從而導致頻繁維護有關的問題。現有無接觸厚度感測器解決方案包括具有磁距離測量的單面和雙面空氣軸承、具 有磁距離測量的單面和雙面激光三角儀以及用于提高感測器準確性并且穩定移動幅片的 其他補充設備。現有技術的無接觸設備的一個具體弊端是與光滲透有關的問題。多數紙張具有某 一程度的透明性，從而使外部表面位置難以通過傳統光學手段來確定。纖維素纖維相對地 透明，并且從薄片反射的光并不嚴格地從片表面輻射，而是還從紙張中更深的區域輻射。這 常常造成過低的光學測量厚度值。因此，使用激光測量可能使紙張幅片顯得比真實厚度更 薄。這些誤差可能很大，并且根據紙張等級，激光測量可能生成僅為真實值50 %的光學厚度 測量。通常如果測量的薄片有涂層或者另外具有很稠密和不透明表面，才能實現正確測量。 因此，當前無接觸感測器解決方案無一為多數紙張等級提供可接受的準確度，另外，它們往 往設計復雜和不可靠。因此在本領域中需要一種即使在行進幅片為部分透明型如紙張時仍然提供準確 測量的幅片測量設備。

發明內容
一般而言，提供一種根據本發明的用于監視移動幅片的厚度的感測器。該感測器 包括第一感測器頭，定位于移動幅片的第一面上；第二感測器頭，定位于移動幅片的與第一面相對的第二面上；電感器，定位于第一感測器頭中并且包括鐵氧體杯形磁芯和繞組； 接觸板，固定到第二感測器頭并且適合于接觸移動幅片的第二面；與接觸板鄰近固定的靶 板，其中電感器適合于測量與靶板的距離；以及光學感測器探頭，定位于第一感測器頭中并 且包括具有軸向色差的物鏡，光學感測器適合于使用共焦色像差來測量與移動幅片的第一 面的距離。根據另一實施例，一種用于監視移動幅片的厚度的感測器包括第一感測器頭，定位于移動幅片的第一面上并且包括適合于測量與移動幅片的距離的光學測量設備；第二感 測器頭，定位于移動幅片的與第一面相對的第二面上；電感器，定位于第一感測器頭中并且 包括鐵氧體杯形磁芯和繞組；接觸板，固定到第二感測器頭并且適合于接觸移動幅片的第 二面；與接觸板鄰近固定的鐵氧體靶板，其中電感器適合于測量與靶板的距離；以及光學 參考體，在接觸板居中地并且與光學測量設備軸向對準地定位于第二感測器頭上，光學參 考體被定位成比接觸板更接近第一感測器頭。鐵氧體杯形磁芯和鐵氧體靶板也可以代之以 在交換的位置布置于第一感測器頭與第二感測器頭之間，從而鐵氧體靶在與光學測量設備 相同的感測器頭中，而電感器在與光學靶相同的感測器頭中。根據本發明的另一方面，一種用于監視移動幅片的厚度的感測器包括第一感測 器頭，定位于移動幅片的第一面上并且包括第一浮動引導件；第二感測器頭，定位于移動幅 片的與第一面相對的第二面上并且包括第二浮動引導件；定位于第一感測器頭中的第一光 學感測器探頭和定位于第二感測器頭中的第二光學感測器探頭，各光學感測器探頭包括具 有軸向色差的物鏡，第一光學感測器適合于使用共焦色像差來測量與移動幅片的第一面的 距離，并且第二光學感測器適合于使用共焦色像差來測量與移動幅片的第二面的距離；以 及其中第一浮動引導件和第二浮動引導件包括中心孔，相應光學探頭經過中心孔查看移動 幅片，各中心孔具有定位于其中的校準窗。根據另一實施例，一種用于監視移動幅片的厚度的感測器包括第一感測器頭，定 位于移動幅片的第一面上并且包括第一浮動引導件，該第一浮動引導件具有由環形板限定 的中心孔；第二感測器頭，定位于移動幅片的與第一面相對的第二面上并且包括第二浮動 引導件，該第二浮動引導件具有由環形板限定的中心孔；第一光學感測器探頭，定位于第一 感測器頭中，該第一光學感測器探頭包括第一光學測量軸，經過第一浮動引導件的中心孔 測量與幅片的第一面的距離；以及至少兩個附加光學測量軸，測量與第一浮動引導件的環 形板的距離；第二光學感測器探頭，定位于第二感測器頭中，該第二光學感測器探頭包括 第一光學測量軸，經過第二浮動引導件的中心孔測量與幅片的第二面的距離；以及至少兩 個附加光學測量軸，測量與第一浮動引導件的環形板的距離；其中附加測量軸測量各浮動 引導件的相應傾斜。根據本發明的另一方面，一種用于監視移動幅片的厚度的感測器包括第一感測 器頭，定位于移動幅片的第一面上；第二感測器頭，定位于移動幅片的與第一面相對的第二 面上；磁測量設備，定位于第一感測器頭中；接觸板，固定到第二感測器頭并且適合于接觸 移動幅片的第二面；與接觸板鄰近固定的靶板，其中磁測量設備適合于測量與靶板的距離； 以及光學感測器探頭，定位于第一感測器頭中并且包括具有軸向色差的物鏡，光學感測器 包括多個測量軸，各測量軸橫向地偏移并且適合于使用共焦色像差來測量與移動幅片的第 一面的距離。
根據又一實施例，一種用于監視移動幅片的厚度的感測器包括第一感測器頭，定位于移動幅片的第一面上；第二感測器頭，定位于移動幅片的與第一面相對的第二面上； 第一光學感測器探頭，定位于第一感測器頭中，適合于測量與移動幅片的第一面的距離；第 二光學感測器探頭，定位于第二感測器頭中，適合于測量與移動幅片的第二面的距離；至少 一個導向桿，固定到第一感測器頭，將空氣向下引向幅片；在第二感測器頭上的外圍槽，經 過該外圍槽將空氣向上引向幅片；以及其中外圍槽位于至少一個導向桿向內。


圖1示出了根據本發明的感測器的部分截面示意圖；圖2示出了靶板和高位光學參考體的截面圖；圖3示出了靶板和光學參考體的截面圖；圖4示出了接觸板、靶板和光學參考體的頂視圖；圖5示出了根據本發明一個替代實施例的感測器的截面圖；圖5A示出了圖5的實施例的靶板的俯視圖；圖5B示出了具有空氣軸承布置的第一感測器頭的俯視圖；圖5C示出了具有替代空氣軸承布置的第一感測器頭的俯視圖；圖6示出了根據本發明第二替代實施例的感測器的截面圖；圖7示出了圖6的感測器的放大截面圖；圖8示出了圖6的感測器的部分截面示意圖；圖9示出了與幅片鄰近的浮動引導件的放大圖；圖10示出了根據本發明第三替代實施例的感測器的截面圖；圖IlA示出了根據本發明的光纖線纜的一個實施例的截面圖；圖IlB示出了根據本發明的光纖線纜的第二實施例的截面圖；圖IlC示出了根據本發明的光纖線纜的第三實施例的截面圖；圖12示出了使用圖IlB或者圖IlC的光纖線纜的幅片的頂視圖和表面覆蓋的代 表圖；圖13示出了 2d成像光譜攝影圖；圖14示出了幅片的表面的近距離側截面圖；圖15A示出了代表緩慢移動幅片的表面的移位曲線圖；圖15B示出了代表緩慢移動幅片上的點的譜曲線圖；圖16A示出了代表快速移動幅片的表面的移位圖；以及圖16B示出了代表快速移動幅片上的點的譜曲線圖。
具體實施例方式現在參照圖1，示出了并且用標號10大體上表示規格測量設備(下文為設備10)。 設備10可以安裝和使用于幅片生產線如造紙線中。在安裝時，設備10定位于移動幅片12 的緊密鄰近處以便測量幅片。盡管本發明特別地適用于造紙應用，但是設備10可以用來測 量任何類型的連續生產的幅片。另外，一個或者多個設備10可以定位于沿著連續幅片生產 工藝的任何點以在工藝中的多點連續測量幅片厚度。
幅片12可以在機器方向D上高速移動經過設備10。在幅片12為紙張產品的例 子中，造紙時的生產線速度可以達到每小時IOOkm或者更高。設備10接觸幅片12的底表 面14，而不接觸并且光學測量頂表面16。成對的相對感測器頭配合測量幅片12的厚度或 者紙厚。第一感測器頭18定位于頂表面16上方而不接觸幅片12。第二感測器頭20在底 表面14接觸幅片12，并且如將變得清楚的那樣用作為用于第一感測器頭18中的測量設備 的參考點。第一感測器頭18包括光學移位感測器探頭22，該探頭運用共焦色像差方法以確 定從探頭 到幅片12的頂表面16的距離。探頭22包括具有軸向色差的物鏡24，該色差歸因 于折射率隨著波長而變化。這樣的透鏡如果暴露于廣譜白光(比如來自光纖線纜)的點源 則將產生沿著光軸A分布的單色圖像點連續體。在測量的樣本(在本情況下為幅片12)的 表面與測量軸A相交于點M時，單一單色點圖像聚焦于M。由于共焦配置，僅波長λΜ將高 效率地(經過光纖線纜)向分光計回傳，因為所有其他波長未聚焦。如果經過一個或者多 個透明薄層查看幅片12，則相鄰層之間的各界面反射波長不同的光，并且檢測的光的光譜 由系列譜峰組成。這樣的探頭被配置和校準使得各譜峰表明與探頭的具體距離。在本實施例中，光源和光學光譜儀26經過光纖線纜30來與透鏡24連通。白光行 進經過線纜30、經過物鏡24引向幅片12。向光纖線纜30聚焦回的反射光對應于在與透鏡 24相距該具體距離處的波長。所有其他波長將不聚焦。光譜儀26產生距離測量32，該測 量代表從探頭22到幅片12的頂表面16的距離。第一感測器頭18包括形式為電感器33的第二移位測量感測器，該電感器具有鐵 氧體杯形磁芯34和繞組36。磁芯34為環形并且與透鏡24同軸，限定在透鏡24與幅片12 之間提供光路的中心孔38。重要的是知曉電感器33與探頭22之間的相對距離，因此鐵氧 體杯形磁芯34通過間隔物40來與探頭22間隔，該間隔物的尺寸精確地已知，從而已知與 透鏡24的確切距離。電感器33磁性測量與第二感測器頭20中的與幅片12的底表面14 物理接觸的鐵氧體靶板42的距離。電感由電子單元46轉換成移位測量44。即使基于鐵氧 體的電感器系統可以有利地提供更準確的移位測量，但是也可以在本發明中利用現有技術 的渦電流系統。另外，應當認識到第一感測器頭和第二感測器頭18和20可以持久地固定 成相隔預定距離。在這樣的情況下，可以無需感測器頭18與20之間的磁測量。因此通過計算電感感測器移位測量44(加上間隔物40的高度)與光學感測器測 量32之差來確定幅片厚度。第二感測器頭20包括鐵氧體靶板42駐留于其內的接觸板60。接觸板60包括與 定位于接觸板60之下的真空室63連通的多個吸槽62。真空生成器64從真空室63吸引空 氣，這經過吸槽62將空氣有效地吸引到室63中。在一個實施例中，真空生成器64可以是 可用壓縮空氣操作的基于文氏管的真空生成器。接觸板60還可以支撐與透鏡24同軸的光 學參考體66。準確測量要求比對感測器探頭22與光學參考體66之間的光學距離測量來校準電 感器33與靶板42之間的磁距離測量32。線性運動致動器68包含于第二感測器頭20中， 并且用于校準以及豎直調整以獲得最佳操作距離/間隙。線性運動致動器68能夠上移或 者下移支撐接觸板60、靶板42和參考體66的框架69。如本領域中已知，線性運動致動器 (比如配備導螺桿的步進電機或者壓電線性定位器)能夠高準確度地將框架69可靠地移動已知距離。 在幅片12不存在時可以進行校準。致動器68可以將參考體66與靶板42 —起移 向多個位置。然后可以比較來自光學信號和磁信號的所得響應。然后可以使用光學感測器 22來校準磁間隙測量44用于參考移位測量。換而言之，可以迫使磁測量等于在各測量點的 光學測量。這利用光學感測器的預校準作為運動的主測量，并且平移完全相同數量的這一 運動以校準磁感測器。該校準例如可以涉及到在每行進0. Olmm讀取光學信號和磁感測器 信號之時的全程3mm的細微步進線性運動。以這一方式，可以定期確定連續校準曲線以修 正各種問題，比如漂移、物理磨損和未對準。除非幅片12與參考體66密切接觸，否則將出現錯誤的厚度測量。由于幅片的行 進速度很高，這在許多幅片生產機器中是一種挑戰。例如，在高速時幅片12往往經歷空氣 動力和張力動力薄片振動、起皺和起伏。參照圖2-圖4，示出了接觸板60的更具體視圖。可見，在一個實施例中，光學參考 體66可以定位于略在鐵氧體靶板42上方的已知距離e處。在一個實施例中，光學參考體 66在靶板42的頂表面上方延伸多達0. 5mm。這一布置由于局部伸展而實現幅片12在光學 測量點與光學參考體66相抵的更密切接觸。另外，多個吸槽62朝著接觸板60吸引幅片12。在方向D上移動的幅片12可以在 穿過參考體66之前有利地受到多個吸槽60作用。吸槽60結合高位參考體66組合提供幅 片與參考體66的改進接觸。幅片12在到達進行測量的參考體66之前必須在例如三個不 同吸取區70a、70b和70c之上滑動。這即使在高速時仍然有助于去除邊界層空氣以免干擾測量。如圖4中可見，幅片12在方向D上移動越過接觸板60。最外面的吸槽62與機器 方向D成角度α地向外延伸。在本實施例中，角度α為二十五(25)度。在更多其他實施 例中，特別是在甚高速機器中使用時，角度α可以從一(1)到五(5)度。這一淺角度作用 在于在橫交機器方向上伸展幅片12以消除波動和起皺。另外，多個吸取區70a、70b和70c 保證在幅片12的邊緣附近測量時無吸取損失。應當認識到可以運用其他吸取布置，這些布 置例如包括同心環形槽或者其他圖案如多孔。接觸板60、鐵氧體靶板42和光學參考體66由很平滑、低摩擦和耐磨材料制成。參 考體66的頂表面可以由固體陶瓷、藍寶石、人造金剛石等制成。鐵氧體靶板42和接觸板60 可以包括后加工和研磨的平滑涂層，比如金剛石膜、等離子體噴涂和研磨陶瓷或者薄陶瓷 藍寶石蓋。鐵氧體靶板60和電感器33還可以以交換位置裝配于第一感測器頭82與第二 感測器頭84之間。現在參照圖5，示出了并且用標號80大體上表示的根據本發明的感測器的一個替 代實施例。感測器80適合于測量幅片厚度而與幅片12的任一側無任何直接接觸。與前述實施例一樣，感測器80可以定位于移動幅片12的緊密鄰近處。借助不接 觸幅片12的第一感測器頭82和也不接觸幅片12的相對的第二感測器頭84來測量幅片厚 度或者紙厚。應當認識到，盡管將感測器頭描述為無接觸，但是可以出現幅片12與感測器 頭之間的一些偶然接觸。在本公開內容的背景中，無接觸意味著測量本身無需幅片12與任 一感測器頭之間的物理接觸。第一感測器頭82包括光學移位感測器探頭86，該探頭運用共焦色像差方法以確定與幅片12的頂表面16的距離。探頭86包括隨著波長而變化折射率的物鏡88。光源和 光學光譜儀(未示出)經過光纖線纜94來與透鏡88連通。感測器探頭86輸出距離測量， 該距離測量代表從透鏡88到幅片12的頂表面16的距離。第一感測器頭82還包括電感器98，該電感器具有鐵氧體杯形磁芯100和其繞組 102。磁芯100為環形，限定在透鏡88與幅片12之間提供光路的中心孔104。重要的是知 曉電感器98與探頭86之間的相對距離，因此鐵氧體杯形磁芯100通過間隔物106來與探 頭86間隔，該間隔物的尺寸精確地已知，從而已知與透鏡24的確切距離。電感器98與透 鏡88同軸并且用來磁性測量與第二感測器頭84中的鐵氧體靶板108的距離。電感由電子 單元(未示出)轉換成移位測量。與先前實施例一樣，電感器98和靶板108可以互換，從 而靶板在第一感測器頭82中而電感器定位于第二感測器頭84中。也可以采用其他磁測量 方法。第二感測器頭84也包括光學移位感測器探頭114，該探頭運 用共焦色像差方法以 確定與幅片12的底表面14的距離。探頭114包括隨著波長而變化折射率的物鏡116。探 頭114經過靶板108中的孔115查看幅片12的底表面14。為了使誤差最小，第二探頭114 的光軸有利地與第一探頭86的光軸同軸。換而言之，在底表面14和頂表面16上測量幅片 12上的相同點。光源和光學光譜儀(未示出)經過光纖線纜122來與透鏡116連通。感測 器探頭114產生距離測量，該距離測量代表從透鏡116到幅片12的底表面14的距離。因此，通過用電感器98測量各感測器頭82與84之間的距離并且用共焦透鏡88 和116測量各探頭86和114到幅片12的頂部16和底部14的距離，可以測量幅片12的厚 度。感測器80包括作用在于使移動幅片12穩定和平坦的空氣軸承布置126。空氣軸 承布置126包括在橫交機器方向上延伸并且在第一感測器頭82的相對上游和下游端定位 的導向桿128a和128b。根據另一實施例，導向桿128可以是圓形，在整個感測器80周圍 沿周邊延伸(見圖5C)。在又一實施例中，導向桿128a和128b可以各自為弧形或者彎曲。 導向桿128經過多個孔129將壓縮空氣向下引向幅片12。第一感測器頭82也包括與位于透鏡88與幅片12之間的室132連通的端口 130。 經過端口 130向室132中并且朝向幅片12經過孔104供應空氣。如下文將討論的那樣，這 有助于在測量區域從幅片12去除起皺。此外，經過孔104排出空氣有助于防止污染物進入 室132并且玷污透鏡88。第二感測器頭84包括向外圍室136傳送壓縮空氣的端口 134，該室對處于鐵氧體 靶板108外圍的槽138進行饋給。槽138可以是環形的且定位于導向桿128向內并且可以 在靶板108的整個外圍延伸。槽138可以成角度以向上和向外導引空氣。環139可以定位 于槽138向外，因此在橫截面中從幅片12彎曲離開。在一個實施例中，環138包括上凸輪廓。室136經過通道142來與位于透鏡116前面的中心室140連通。幅片12按照這 一實施例將在鐵氧體靶板108上方浮動一小段距離。流過孔115和外圍槽134的空氣之比 可以由控制閥144控制。應當平衡這一比值以僅夠提升幅片12不接觸底部感測器頭84的 中心區域同時不使幅片12的局部形狀變形。流過孔136的空氣有助于保持透鏡88清潔并 且提供附加空氣軸承提升以伸展幅片12而無物理接觸。
空氣軸承布置126伸展幅片12以控制用于光學測量的平坦度和平行度。可以調 節導向桿以迫使幅片12在第一感測器頭82與第二感測器頭84之間的間隙中以鋸齒形或 者蛇形圖案穿過感測器80。這一布置在通過隨著薄片穿過感測器在相反方向上彎曲它來 使它平坦時有效。高位凸緣146進一步促進在光學測量點的幅片伸展，該凸緣附著到圍繞 孔115的靶板108并且有助于幅片中在光學測量區域的略微上升。凸緣146可以由平滑、 無磁性和不導電材料制成，從而它不干擾磁測量。現在參照圖6和圖7，示出了并且用標號150大體上表示的感測器的第二替代實施例。以上述實施例一樣，感測器150可以定位于在方向D上移動的幅片12的緊密鄰近處。 借助不接觸幅片12的第一感測器頭152和同樣不接觸幅片12的第二感測器頭154來測量 幅片厚度或者規格。第一感測器頭152包括光學移位感測器探頭156，該探頭運用共焦色像差方法以 確定與幅片12的頂表面16的距離。探頭156包括隨著波長而變化折射率的物鏡158。光 源和光學光譜儀(未示出)經過光纖線纜160來與透鏡158連通。感測器探頭156測量從 透鏡158到幅片12的頂表面16的距離。第一感測器頭152還包括在幅片12上方的空氣墊上浮動的第一浮動引導件162。 浮動引導件162可以是旋轉對稱體以保證空氣墊的對稱和平行提升。引導件162包括電感 器164，該電感器具有環形鐵氧體杯形磁芯166及其繞組168。磁芯166限定薄窗171定位 于其內的中心孔170。窗171可以是透明或者半透明材料。在一個或者多個實施例中，窗 171由玻璃或者藍寶石制成。電感器164用來磁性測量與第二浮動引導件174中的鐵氧體 靶板172的距離。電感由電子單元(未示出)轉換成移位測量。第一浮動引導件162包括形成內室178的外體176。軸環180從外體176向上延 伸并且在鉆孔182中被接收。球形部分184從軸環180向外徑向地延伸而與鉆孔182有 小的間隙，并且通過少量逃逸空氣在球形部分184周圍形成無摩擦空氣軸承以允許引導件 162在鉆孔182中的自由成角度和軸向的接合。無摩擦懸置與氣動力平衡一起允許引導件 162實現與幅片12的上表面平行并且有相對恒定距離的平衡位置。經過第一感測器頭152 中的端口 186接收壓縮空氣。隨后經過由軸環180形成的入口向室178傳送空氣。多個間 隔的孔或者沿周邊延伸的槽188位于外體176的底表面190上，從而將壓縮空氣向下引向 幅片12。以這一方式，第一引導件162以自調整方式維持于幅片12上方。第二感測器頭154包括與探頭156軸向對準的光學移位感測器探頭192，該探頭 運用共焦色像差方法以確定與幅片12的底表面14的距離。探頭192包括隨著波長而變化 折射率的物鏡194。探頭192經過居中位于靶板172上的窗196查看幅片12的底表面14。 窗196可以是透明或者半透明材料。在一個或者多個實施例中，窗196由玻璃或者藍寶石制 成。光源和光學光譜儀(未示出)經過光纖線纜198來與透鏡194連通。感測器探頭192 測量從透鏡194到幅片12的底表面14的距離。第二浮動引導件174包括形成內室202的外體200。球形部分208從軸環204向 外徑向地延伸而與鉆孔206有小的間隙，并且通過少量逃逸空氣在球形部分208周圍形成 無摩擦空氣軸承以允許引導件174在鉆孔206中的自由成角度和軸向的接合。無摩擦懸置 與氣動力平衡一起允許引導件174實現與幅片12的下表面平行并且有相對恒定距離的平 衡位置。經過第二感測器頭154中的端口 210接收壓縮空氣。隨后經過由線圈204形成的入口向室202傳送空氣。多個間隔的孔或者槽212位于外體200的頂表面214上，從而將 壓縮空氣從室202向上引向幅片12。以這一方式，第二引導件174以自調整方式維持于幅 片12下方。可以選擇引導件162和174的設計參數以及氣壓使得各自維持于與幅片12的相 應表面相距約100 μ m處。由于維持引導件162和174相對地接近幅片12 (并且因而相互 接近)，所以電感器164和鐵氧體靶板172類似地保持緊密鄰近并且因此可以設計成高度地 準確以及尺寸小。如上文討論的那樣，窗171和196可以是玻璃、藍寶石等并且可以用來校準 感測器 150。在一個實施例中，窗171和196可以直徑例如為5mm并且精加工成0.2mm厚度。如圖 7和圖8中可見，將在聚焦時向光纖線纜返回的色像差光路216a、216b和216c源于三個不 同位置；216a從幅片12的頂表面16反射，216b從窗171的底表面218反射，而216c從窗 171的頂表面220反射。類似地，第二探頭192的色路從幅片12的底表面14以及窗196的 頂表面222和底表面224反射。探頭156和192可以同時區分多個表面反射并且單獨確定各表面位置。通過這一 方法，在引導件162和174接合時，可以使用光學光譜儀對三個表面中的各表面進行定位和 測量。通過使用電感器164和靶板172也已知各引導件162與174之間的距離，可以導出
幅片厚度。如上文所言，在光路行進經過窗171和196時，在光學移位測量中生成附加信號 216b 和 216c。現在參照圖8，分別在頂部和底部光譜儀226a和226b中示出了峰值的示例性色分 離。光譜儀226a表明用于頂部設備的三個光學界面gl、g2和Dt。p以及用于底部設備226b 的g3、g4和Db。t的三個峰值。由于可以精確地測量窗厚度，并且由于窗厚度隨時間很穩定， 所以這些附加信號gl、g2、g3和g4可以用來動態修正幅片傾斜。這些信號也可以用來在測 量幅片12之時確定引導件162和174的高度。浮動引導件162和174隨著移動幅片12自由移動，并且因而可能在測量期間經歷 可變程度的傾斜。因而光軸和磁軸可能不再平行，這可能引起測量誤差。參照圖9，示出了 一種用于在光軸不與移動幅片12正交時動態修正所得誤差的方法。窗171的測量表觀厚度 tmgl和實際厚度tagl用來動態確定引導件162與移動幅片12之間的實際垂直距離daAB1。由 于玻璃窗171的實際厚度tagl已知(并且恒定)，所以頂部和底部玻璃表面218與220或者 222與224之間的測量距離可以用來確定相應浮動引導件162和174的傾角θ ■和θ皿。 然后使用測量的引導件高度dmAB1和(Tab2按照以下三角法步驟來計算實際引導件高度(Tabi
禾口『艦。θ gl = arccos (tagl/tmgl)tagl =實際玻璃厚度(已知)tmgl =測量的玻璃厚度θ ^ffil = arcsin(nsin( θ gl))n=玻璃折射率(已知)daAB1 = (Tabi X Cos(Qabi)θ g2 = arccos (tag2/tmg2)
tag2 =實際玻璃厚度(已知)tmg2 =測量的玻璃厚度0^2 = arcsin (nsin ( 6 g2))daAB2 = (1^X008(0^)紙厚=間隙-(daAB1+daAB2)使用這一方法，引導件162和174可以接合以跟蹤局部幅片傾斜和抖動而仍然提 供準確測量。也注意測量的玻璃厚度將總是大于或者等于窗的實際厚度。然而應當認識到， 可能需要適當光學密度修正，因為光路的一部分經過除了空氣之外的介質。現在參照圖10，示出了并且用標號230大體上表示感測器的第三替代實施例。與 上述實施例一樣，感測器230可以定位于幅片12的緊密鄰近處。借助不接觸幅片12的第 一感測器頭232和可以大體上為第一感測器頭232鏡像的第二感測器頭(未示出)來測量 幅片厚度或者規格。第一感測器頭232包括光學移位感測器探頭234，該探頭運用共焦色像差方法以 確定與幅片12的頂表面16的距離。探頭234包括隨著波長而變化折射率的物鏡236。光 源和光學光譜儀(未示出)經過光纖線纜238來與透鏡236連通。第一感測器頭232還包括在幅片12上方的空氣墊上浮動的第一引導件240。引 導件240包括電感器242，該電感器具有環形鐵氧體杯形磁芯244及其繞組247。磁芯244 限定中心孔248，孔內定位有環形板250。電感器242用來磁性測量與幅片12的相對側上 的第二引導件(未示出)中的鐵氧體靶板(未示出)的距離。電感由電子單元(未示出) 轉換成移位測量。 引導件240基本上類似于引導件162，不同之處在于環形板250定位于中心孔248 而不是窗171內。這提供移動幅片表面16的無阻礙查看，而無需可能潛在地收集灰塵并且 需要經常清潔的窗。在這一布置中，探頭234可以包括經過相同透鏡236進行光學查看的 (光纖線纜的)多個光纖。這些光纖將相同透鏡236用于光的遞送和收集，但是具有偏移 的橫向位置。例如在圖11a中示出了具有中心光纖252的示例橫截面光纖布置，該中心光 纖經過環形板250的中心孔254來測量與幅片12的距離，而多個光纖256在中心光纖252 周圍沿周邊間隔開并且測量與環形參考板250的距離。這些測量可以用來計算引導件240 的傾斜。由于引導件240的傾斜大體上平行于幅片12的傾斜，所以測量的引導件傾斜可以 用來動態收集幅片12的測量規格。應當認識到，圖11A以及圖11B和圖11C的光纖布置可 以與一個或者多個先前感測器實施例一起使用。現在參照圖11B，示出了一個替代光纖布置，其中多個光纖256在橫交機器方向上 布置成行以在圖12中所示圖案中聚焦到材料上。可以通過成像光譜儀來詢問各個個體光 纖256。在圖13中示出了示例所得曲線圖。可見，各光纖被引向越過2D成像光譜儀的不同 線(Al...An)上，并且通過信號處理來確定個別移位。各個個體譜線提供高分辨率的表面 分布。光纖256可以被布置成寬度與當前聯機紙厚測量設備的寬度相當。取而代之，可以 根據在各積分實例的平均譜展Ax來估計與材料表面的平均距離。在又一實施例中，成行 光纖256可以用來測量沿著機器方向軸的傾斜，因此實現自動修正。在又一實施例中，由光 纖256進行的測量可以與粗糙度、孔隙度或者運轉性測量相關。現在參照圖11C，示出了一種替代光纖布置，其中光纖256被布置成獲得二維表面區域分布。在這一實施例中，多個光譜儀可以分離或者組合以使2d光譜儀(未示出)在多 個點(即布置成行的像素)測量與片的距離。這一布置提供對移位以及在橫交機器方向和 機器方向上的幅片傾斜的測量。如先前討論的那樣，幅片傾斜可能由于與兩個相對光學探 頭的任何非同心組合的軸向光學移位而引起厚度測量有誤差。幅片傾斜的測量允許補償測 量誤差。光纖256可以被布置成寬度與當前聯機紙厚測量設備的寬度相當。取而代之，可 以通過平均各光纖256的輸出來產生與材料表面的平均距離。在又一實施例中，如果表面 強度高而積分時間很小，則由光纖256進行的測量可以與2D粗糙度、孔隙度或者運轉性測 量相關。現在參照圖14，示出了通過光束258來探測粗糙表面的幅片12的輪廓。在圖15a 中示出了所得測量移位260，該圖示出了如果慢速移動樣本則檢測到預計光譜，或者如果積 分時間很久則分解表面變化。如圖15b中所示，在給定波長的強度在這樣的布置中將相當 地很高。如果在更快幅片速度或者更慢積分時間進行相同表面測量，則在圖16a中可見測 量的距離是探頭在光譜儀積分時間期間測量的平均距離264。圖16b示出了所得譜寬度262 由于粗糙表面積分測量而變寬。可以通過分析和/或憑借經驗發現擴展量視積分距離和表 面粗糙度而定這樣的關系。這提供多項益處，可以使用表面形貌作為聯機片平滑度或者光 澤度指標，并且可以修正片厚度測量的由形貌引起的測量誤差。將注意前述示例實施例的描述僅為了舉例說明而非窮舉本發明。本領域普通技術 人員將能夠對公開的主題內容的實施例進行某些添加、刪除和/或修改而不脫離如由所附 權利要求限定的本發明精神實質或者其范圍。
權利要求
一種用于監視移動幅片的厚度的感測器，所述感測器包括第一感測器頭，定位于所述移動幅片的第一面上；第二感測器頭，定位于所述移動幅片的與所述第一面相對的第二面上；環形電感器，定位于所述第一感測器頭或者第二感測器頭中并且包括鐵氧體杯形磁芯和繞組；接觸板，固定到所述第二感測器頭，并且適合于接觸所述移動幅片的所述第二面；靶板，與所述電感器相對地固定到所述第一感測器頭或者所述第二感測器頭，其中所述電感器適合于測量與所述靶板的距離；以及光學感測器探頭，定位于所述第一感測器頭中，并且包括具有軸向色差的物鏡，所述物鏡與所述電感器同軸，所述光學感測器適合于使用共焦色像差來測量與所述移動幅片的所述第一面的距離。
2.根據權利要求1所述的感測器，還包括經過光纖線纜來與所述物鏡連通的光源，反 射信號經過所述光纖線纜由光譜儀接收。
3.根據權利要求2所述的感測器，其中所述光譜儀分析所述反射信號并且計算光學距離值。
4.根據權利要求3所述的感測器，還包括適合于從所述電感器接收信號并且將所述信 號轉換成電感器距離值的電子設備，所述電感器距離值從所述光學距離值中被減去以輸出 表明所述移動幅片的厚度的測量。
5.根據權利要求1所述的感測器，其中所述第二感測器頭包括多個吸槽，所述吸槽延 伸經過所述接觸板并且與位于所述接觸板之下的真空室連通，空氣由真空生成器從所述真 空室吸引。
6.根據權利要求1所述的感測器，其中所述第二感測器頭包括居中定位于所述接觸板 并且與所述物鏡軸向對準的光學參考體，所述光學參考體被定位成比所述接觸板更接近所 述第一感測器。
7.根據權利要求6所述的感測器，其中所述接觸板包括與所述光學參考體間隔開的多 個吸槽。
8.根據權利要求7所述的感測器，其中所述多個吸槽定位于所述靶板上，從而所述移 動幅片在接觸所述光學參考體之前橫穿所述多個吸槽中的至少兩個吸槽。
9.根據權利要求1所述的感測器，還包括適合于承載所述接觸板的框架以及適合于相 對于所述第一感測器頭有選擇地移動所述框架的線性致動器。
10.一種用于監視移動幅片的厚度的感測器，所述感測器包括第一感測器頭，定位于所述移動幅片的第一面上并且包括適合于測量與所述移動幅片 的距離的光學測量設備；第二感測器頭，定位于所述移動幅片的與所述第一面相對的第二面上；電感器，定位于所述第一感測器頭或者所述第二感測器頭中并且包括鐵氧體杯形磁芯 和繞組；接觸板，固定到所述第二感測器頭并且包括多個吸槽；靶板，與所述電感器相對地固定到所述第一感測器頭或者所述第二感測器頭，其中所 述電感器適合于測量與所述靶板的距離；以及光學參考體，在所述接觸板居中地并且與所述光學測量設備軸向對準地定位于所述第 二感測器頭上，所述光學參考體被定位成比所述接觸板更接近所述第一感測器頭，并且所 述吸槽與所述光學體間隔開。
11.根據權利要求10所述的感測器，其中所述光學測量設備包括具有軸向色差的物 鏡，所述光學測量設備適合于使用共焦色像差來測量與所述移動幅片的所述第一面的距 罔。
12.根據權利要求11所述的感測器，還包括經過光纖線纜來與所述物鏡連通的光源， 反射信號經過所述光纖線纜由光譜儀接收。
13.根據權利要求12所述的感測器，其中所述光譜儀分析所述反射信號并且計算光學距離值。
14.根據權利要求13所述的感測器，還包括適合于從所述電感器接收信號并且將所述 信號轉換成電感器距離值的電子設備。
15.根據權利要求10所述的感測器，其中所述吸槽延伸經過所述接觸板并且與位于所 述接觸板之下的真空室連通，空氣由真空生成器從所述真空室吸引。
16.根據權利要求10所述的感測器，還包括適合于承載所述接觸板的框架以及適合于 相對于所述第一感測器頭有選擇地移動所述框架的線性致動器。
17.根據權利要求10所述的感測器，其中所述多個吸槽定位于所述靶板上，從而所述 移動幅片在接觸所述光學參考體之前橫穿所述多個吸槽中的至少兩個吸槽。
18.一種用于監視移動幅片的厚度的感測器，所述感測器包括第一感測器頭，定位于所述移動幅片的第一面上并且包括第一浮動引導件；第二感測器頭，定位于所述移動幅片的與所述第一面相對的第二面上并且包括第二浮 動引導件；定位于所述第一感測器頭中的第一光學感測器探頭和定位于所述第二感測器頭中的 第二光學感測器探頭，各所述光學感測器探頭包括具有軸向色差的物鏡，所述第一光學感 測器適合于使用共焦色像差來測量與所述移動幅片的所述第一面的距離，并且所述第二光 學感測器適合于使用共焦色像差來測量與所述移動幅片的所述第二面的距離；以及其中所述第一浮動引導件和所述第二浮動引導件包括中心孔，所述相應光學探頭經過 所述中心孔查看所述移動幅片，各所述中心孔具有定位于其中的校準窗。
19.根據權利要求18所述的感測器，其中所述校準窗由透明材料組成。
20.根據權利要求18所述的感測器，其中所述校準窗由半透明材料組成。
21.根據權利要求18所述的感測器，其中所述校準窗由玻璃或者藍寶石組成。
22.根據權利要求18所述的感測器，還包括定位于所述第一浮動引導件或者所述第二 浮動引導件中的電感器和定位于所述第一浮動引導件或者所述第二浮動引導件中的另一 個浮動引導件上的靶板，其中所述電感器適合于測量與所述靶板的距離。
23.根據權利要求18所述的感測器，還包括經過光纖線纜來與各所述物鏡連通的光 源，反射信號經過所述光纖線纜由光譜儀接收。
24.根據權利要求23所述的感測器，其中所述光譜儀分析所述反射信號并且計算與各 光學界面的光學距離值。
25.根據權利要求24所述的感測器，還包括適合于從所述電感器接收信號并且將所述信號轉換成電感器距離值的電子設備，所述電感器距離值從所述光學距離值中被減去以輸出表明所述移動幅片的厚度的測量。
26.根據權利要求24所述的感測器，其中從多個表面反射的光由所述光譜儀分解成距罔。
27.根據權利要求24所述的感測器，其中所述光譜儀適合于分析與所述校準窗的測量 厚度相關的所述光學距離值以確定所述浮動引導件的角傾斜。
28.根據權利要求27所述的感測器，其中與所述移動幅片的垂直距離通過所述浮動引 導件的測量傾角來修正。
29.根據權利要求18所述的感測器，其中各所述浮動引導件包括形成內室的外體，壓 縮空氣向所述室傳送并且經過與所述移動幅片鄰近的多個出口排出。
30.根據權利要求29所述的感測器，其中各所述浮動引導件包括從所述外體延伸并且 在各所述相應感測器頭中的鉆孔中接收的軸環，空氣軸承由所述軸環形成以允許所述浮動 引導件的軸向和成角度的接合。
31.根據權利要求30所述的感測器，其中壓縮空氣經過所述軸環向所述室傳送，多個 間隔的孔或者槽位于所述外體的與所述移動幅片鄰近的表面上，從而所述壓縮空氣從所述 室引向所述移動幅片。
32.一種用于監視移動幅片的厚度的感測器，所述感測器包括第一感測器頭，定位于所述移動幅片的第一面上并且包括具有由環形板限定的中心孔 的第一浮動引導件；第二感測器頭，定位于所述移動幅片的與所述第一面相對的第二面上并且包括具有由 環形板限定的中心孔的第二浮動引導件；第一光學感測器探頭，定位于所述第一感測器頭中，所述第一光學感測器探頭包括第 一光學測量軸，其經過所述第一浮動引導件的中心孔測量與所述幅片的所述第一面的距 離；以及至少兩個附加光學測量軸，其測量與所述第一浮動引導件的環形板的距離；第二光學感測器探頭，定位于所述第二感測器頭中，所述第二光學感測器探頭包括第 一光學測量軸，其經過所述第二浮動引導件的中心孔測量與所述幅片的所述第二面的距 離；以及至少兩個附加光學測量軸，其測量與所述第一浮動引導件的環形板的距離；其中所述附加測量軸測量各個所述的浮動引導件的相應傾斜。
33.根據權利要求32所述的感測器，其中各個所述的光學感測器探頭包括具有軸向色 差的物鏡，各個所述的光學感測器探頭包括經過多個光纖線纜來與所述物鏡連通的光源， 沿著各個所述的測量軸的反射信號經過所述光纖線纜之一由光譜儀接收。
34.根據權利要求33所述的感測器，還包括定位于所述第一浮動引導件或者所述第二 浮動引導件中的電感器以及定位于所述第一浮動引導件或者所述第二浮動引導件中的另 一個浮動引導件上的靶板，其中所述電感器適合于測量與所述靶板的距離。
35.根據權利要求34所述的感測器，其中所述光譜儀分析所述反射信號并且計算光學 距離值。
36.根據權利要求32所述的感測器，其中各所述浮動引導件包括形成內室的外體，壓 縮空氣向所述室傳送并且經過與所述移動幅片鄰近的多個出口排出。
37.根據權利要求36所述的感測器，其中各所述浮動引導件包括從所述外體延伸并且在各所述相應感測器頭中的鉆孔中接收的軸環，空氣軸承由所述軸環形成以允許所述浮動 引導件的軸向和成角度的接合。
38.根據權利要求37所述的感測器，其中壓縮空氣經過所述軸環向所述室傳送，多個 間隔的孔或者槽位于所述外體的與所述移動幅片鄰近的表面上，從而所述壓縮空氣從所述 室引向所述移動幅片。
39.一種用于監視移動幅片的厚度的感測器，所述感測器包括 第一感測器頭，定位于所述移動幅片的第一面上；第二感測器頭，定位于所述移動幅片的與所述第一面相對的第二面上； 磁測量設備，定位于所述第一感測器頭或者所述第二感測器頭中； 接觸板，固定到所述第二感測器頭并且適合于接觸所述移動幅片的所述第二面； 靶板，與所述磁測量設備相對地固定到所述第一感測器頭或者所述第二感測器頭，其 中所述磁測量設備適合于測量與所述靶板的距離；以及光學感測器探頭，定位于所述第一感測器頭中，并且包括具有軸向色差的物鏡，所述光 學感測器包括多個測量軸，各個所述的測量軸橫向地偏移并且適合于使用共焦色像差來測 量與所述移動幅片的所述第一面的距離。
40.根據權利要求39所述的感測器，還包括經過多個光纖線纜來與所述物鏡連通的光 源，反射信號經過各所述光纖線纜由光譜儀接收。
41.根據權利要求40所述的感測器，其中所述光譜儀分析各所述反射信號并且計算光 學距離值。
42.根據權利要求39所述的感測器，其中所述測量軸在橫交機器方向上布置于單線中。
43.根據權利要求42所述的感測器，其中所述光譜儀分析各所述反射信號并且計算用 于各測量軸的光學距離值。
44.根據權利要求42所述的感測器，其中所述測量軸布置于機器方向和橫交機器方向上。
45.一種用于監視移動幅片的厚度的感測器，所述感測器包括 第一感測器頭，定位于所述移動幅片的第一面上；第二感測器頭，定位于所述移動幅片的與所述第一面相對的第二面上； 第一光學感測器探頭，定位于所述第一感測器頭中，適合于測量與所述移動幅片的所 述第一面的距離；第二光學感測器探頭，定位于所述第二感測器頭中，適合于測量與所述移動幅片的所 述第二面的距離；至少一個導向桿，固定到所述第一感測器頭，將空氣向下引向所述幅片； 在所述第二感測器頭上的外圍槽，經過所述外圍槽將空氣向上引向所述幅片；以及 其中所述外圍槽位于所述至少一個導向桿向內。
46.根據權利要求45所述的感測器，其中所述外圍槽成角度以向上和向外導引空氣。
47.根據權利要求45所述的感測器，其中所述外圍槽在所述第二感測器頭周圍沿周邊 延伸。
48.根據權利要求45所述的感測器，其中所述導向桿包括在機器方向上位于所述第一感測器頭的相對面的第一導向桿和第二導向桿。
49.根據權利要求48所述的感測器，其中所述第一導向桿和所述第二導向桿大體上是 直的并且在橫交機器方向上延伸。
50.根據權利要求45所述的感測器，其中所述至少一個導向桿在所述第一感測器頭周 圍沿周邊延伸。
51.根據權利要求45所述的感測器，其中所述第一感測器頭包括第一孔，并且所述第 二感測器頭包括第二孔，所述第一光學感測器探頭經過所述第一孔查看所述幅片，并且所 述第二光學感測器探頭經過所述第二孔查看所述幅片，其中空氣經過各個所述的孔引向所 述幅片。
52.根據權利要求51所述的感測器，其中所述第二孔包括適合于影響所述幅片在光學 測量區域中上升的高位凸緣。
53.根據權利要求45所述的感測器，還包括電感器，定位于所述第一感測器頭中并且 包括鐵氧體杯形磁芯和繞組；以及靶板，固定于所述第二感測器頭中，其中所述電感器適合 于測量與所述靶板的距離。
54.根據權利要求3所述的感測器，其中所述反射信號包括譜寬度，所述光譜儀適合于 根據所述譜寬度來計算所述幅片的物理性質。
55.根據權利要求54所述的感測器，其中所述譜寬度與所述移動幅片的表面粗糙度相關。
56.根據權利要求54所述的感測器，其中所述譜寬度與所述移動幅片的柔軟度相關。
57.根據權利要求54所述的感測器，其中所述譜寬度與所述移動幅片的運轉性相關。
58.根據權利要求54所述的感測器，其中所述譜寬度與所述移動幅片的孔隙度相關。
59.根據權利要求54所述的感測器，其中所述譜距離與沉積于所述移動幅片上的透明 膜的涂層厚度相關。
60.根據權利要求54所述的感測器，其中所述譜寬度與所述移動幅片的光澤度等效參 數相關。
61.一種用于監視移動幅片的屬性的感測器，所述感測器包括 與移動幅片相鄰定位的感測器頭；光學感測器探頭，定位于所述第一感測器頭中并且包括具有軸向色差的物鏡； 光譜儀，與所述物鏡連通以從所述移動幅片接收反射信號，所述光譜儀適合于測量所 述反射信號的譜寬度并且據此確定幅片表面特性。
62.根據權利要求61所述的感測器，其中所述特性是表面粗糙度。
63.根據權利要求61所述的感測器，其中所述特性是光澤度。
64.根據權利要求61所述的感測器，其中所述特性是孔隙度。
65.根據權利要求61所述的感測器，其中所述特性是沉積于所述移動幅片上的透明膜的厚度。
66.根據權利要求61所述的感測器，其中從所述感測器頭到所述移動幅片的第一面的 距離使用共焦色像差由所述光譜儀確定。
67.根據權利要求6所述的感測器，還包括第二感測器頭，定位于所述移動幅片的與所述第一面相對的第二面上；環形電感器，定位于所述第一感測器頭或者第二感測器頭中并且包括鐵氧體杯形磁芯 和繞組；接觸板，固定到所述第二感測器頭，并且適合于接觸所述移動幅片的所述第二面；以及 靶板，與所述電感器相對地固定到所述第一感測器頭或者所述第二感測器頭，其中所 述電感器適合于測量與所述靶板的距離。
68.一種用于監視移動幅片的感測器，所述感測器包括 第一感測器頭，定位于所述移動幅片的第一面上；第二感測器頭，定位于所述移動幅片的與所述第一面相對的第二面上； 第一光學感測器探頭，定位于所述第一感測器頭中，包括具有軸向色差的第一物鏡； 第二光學感測器探頭，定位于所述第二感測器頭中，并且包括具有軸向色差的第二物鏡；光譜儀，與所述第一物鏡和第二物鏡連通以從所述移動幅片接收反射信號，所述光譜 儀適合于測量所述反射信號的譜寬度并且確定所述第一表面和所述第二表面的表面特性。
69.根據權利要求68所述的感測器，其中所述特性是表面粗糙度。
70.根據權利要求68所述的感測器，其中所述特性是光澤度。
71.根據權利要求68所述的感測器，其中所述特性是沉積于所述移動幅片上的透明膜 的厚度。
72.根據權利要求60所述的感測器，其中從所述感測器頭到所述移動幅片的第一面的 距離由所述光譜儀使用共焦色像差確定。
73.—種測量移動幅片的方法，所述方法包括將光學感測器探頭定位成與所述移動幅片相鄰，所述光學感測器探頭具有物鏡，所述 物鏡具有軸向色差；經過所述物鏡朝向所述移動幅片傳輸光； 經過所述物鏡接收反射信號； 確定所述反射信號的譜寬度； 基于所述譜寬度來確定幅片表面特性； 顯示所述幅片表面特性。
74.根據權利要求73所述的方法，其中所述特性是表面粗糙度。
75.根據權利要求73所述的方法，其中所述特性是光澤度。
76.根據權利要求73所述的方法，其中所述特性是沉積于所述移動幅片上的透明膜的厚度。
全文摘要
提供一種使用光學以及磁或者電感測量設備來測量幅片紙厚的感測器。光學測量設備可以運用共焦色像差方法以準確地確定與移動幅片的距離，并且磁設備可以是鐵氧體磁芯線圈和靶。包括用于提高動態測量準確度的穩定移動幅片的裝置。
文檔編號G01N33/34GK101868689SQ200880108430
公開日2010年10月20日 申請日期2008年8月25日 優先權日2007年8月31日
發明者A·赫爾斯托姆, M·奧霍拉, R·奈米 申請人:Abb有限公司