測量儀器和方法

文檔序號：6143737閱讀：294來源：國知局

專利名稱：測量儀器和方法
測量儀器和方法
背景
示范實施例的領域本文所^^開的示范實施例涉及測量4義器，并且更具體來
說，涉及有多個傳感器的測量儀器。相關發展簡述許多不同類型的傳感器已被用于測量各種物理量，如氣體的壓力或密度。由于不同類型的傳感器可具有不同的操作范圍，因此已期望將不同類型的傳感器組合成單個壓力儀器，該單個壓力儀器具有擴展的操作范圍。例如，當氣壓被抽至真空，該儀器的輸出可首先對應傳感器中的一個的讀數。接著，當輸出達到某一閾值時，輸出可切換至對應另一個傳感器的讀數，該傳感器在4支低的壓力下具有更高的準確性。雖然這種布置類型在擴展壓力或密度范圍方面具有優勢，在所述壓力或密度范圍上儀器可以合適的準確性操作，但也存在缺點。最值得注意的是，在兩個傳感器之間切換時可能會出現問題。如果在閾值處這兩個傳感器沒有產生相同的讀數，那么當儀器在傳感器之間切換時，儀器的輸出可能存在突變。即使這兩個傳感器之間的讀數差異不大，突變也能導致不希望的滯后歲文應。例如，如果輸出用作設計為控制壓力的反饋回路的一部分，則可能會出現問題。如果輸出的導數用作反饋環路中的反饋信號，麻煩可能會更顯著，因為該導數在轉變閾值處將會很高。因此，可能期望的是提供一種壓力儀器，該壓力儀器組合來自兩個或多個傳感器的讀數，并且允許讀數之間的平滑轉變。
6概要在一個示范實施例中，提供了一種測量儀器，該測量儀器具有處理器、第一傳感器和第二傳感器。處理器適于輸出包含物理量的測量的測量信號。第一傳感器和第二傳感器與處理器相連，并且可操作成分別生成物理量的第一和第二測量。處理器定義第一測量范圍，在第一測量范圍內測量信號取決于第一測量而不是第二測量。處理器定義第二測量范圍，在第二測量范圍內測量信號取決于第二測量而不是第一測量。第一和第二范圍在預定轉變處相交(meet)。在該轉變處，第一和第二測量是不同的，并且測量信號中包含的測量穿過 (cross)轉變而無突變。在另一個示范實施例中，壓力計包括壓力指示器。第一壓力傳感器連接至壓力指示器，并且可操作成生成第一壓力讀數。第二壓力傳感器連接至壓力指示器，并且可操作成生成第二壓力讀數。當第一壓力讀數高于預定壓力閾值并且正在下降時，壓力指示器配置成響應第一壓力讀數而指示壓力，而不是響應于第二壓力讀數。當第一壓力讀數低于預定壓力閾值并且正在下降時，壓力指示器配置成響應第二壓力讀數而指示壓力，而不是響應于第一壓力讀數。壓力指示
器配置成將壓力指示為在包括閾值壓力的指示壓力范圍上的連續函數，其中在第一壓力讀數實質上等于預定壓力闊值時，第二壓力讀數不同于第一壓力讀數。在仍有的另一個示范實施例，壓力計包括壓力指示器。第一壓力傳感器連接至壓力指示器，并且可操作成生成第一壓力讀數。第二壓力傳感器連接至壓力指示器，并且可操作成生成笫二壓力讀數。當第一壓力讀數低于預定閾值壓力并且正在上升時，壓力指示器配置成響應第一壓力讀數而指示壓力，而不是響應于第二壓力讀數。當第一壓力讀數高于預定闊值并且正在上升時，壓力指示器配置成響應第二壓力讀數而指示壓力，而不是響應于第一壓力讀數。壓力指示器配置成將壓力指示為在包括闊值壓力的指示壓力范圍上的連續函數，其中在第一壓力讀數實質上等于預定壓力閾值時，第二壓力讀數與第一壓力讀數不同。
在還有的另一個示范實施例中，方法包括用第一傳感器
產生可計量的物理屬性的第一讀數。該方法還包括用第二傳感器產生可計量的物理屬性的第二讀數。該方法又包括在物理量的第一范圍上僅響應第一讀數而指示物理屬性量度。該方法仍包括在物理量的第二范圍上僅響應第二讀數而指示物理屬性量度，物理量的第二范圍與第
一范圍在物理屬性的轉變量度處毗鄰(adjoin)。該方法還包括在第一或第二區域中的至少一個中調整所指示的物理屬性量度，使得所指示的量度在第一和第二范圍之間轉變中不會突然地改變，第一和第二讀數在轉變量度處不同。
圖表簡述
結合附圖，在下面的描述中對示范實施例作了說明，其

圖1是結合測量儀器的示范實施例的基板處理設備的
圖2是圖1的示范實施例測量儀器的示意圖；圖3是系統圖，示出了圖1的處理設備的各部件之間
圖4a是信號圖，示出了示范實施例中的傳感器信號；圖4b是另一張信號圖，示出了示范實施例中的傳感器
圖5另L對應于示范實施例的流程圖；圖6是另一張對應于示范實施例的信號圖。
示范實施例的詳細描述圖1示出了示范基板處理設備100。該設備可具有壓力
中
俯視示意圖
的連4妻性;
信號；
測量儀器400的示范實施例，如下進一步所述。作為壓力測量儀器400 的實例應用來描述基板處理設備。應理解，壓力測量儀器可用于任何合適的應用，如用于在任何合適的壓力或真空室內測量壓力或氣體密度，或可獨立于任何壓力或真空室而操作。雖然示范實施例將參考圖表中所示和下面所述的實施例來描述，^旦應理解，這些方面可包含在實施例的許多替換形式中。另外，可使用任何合適的大小、形狀或類型的元件或材料。圖1中，為方便起見，設備100可描述為具有前端200和后端300。前端200可具有框架(frame)230，并可包括在例如控制環境105內操作的基板傳輸設備210。傳輸設備210可具有臂215 和可操作成移動臂的驅動機械裝置220。臂215可具有用于支撐基板的末端執行器(end effector)250。實例設備100的前端200也可包括加載端口 120， 125(示出這兩個端口用于實例用途)。加載端口設有與基板盒(substrate cassette)130的接口。每個基板盒適于容納若千基板，并且可將它們容納在密封外殼內。加載端口 120， 125可拆卸地固定(hold)盒130，并可包括打開盒門、允許從前端200的控制環境105內部使用位于盒中的基板的機械裝置(未示出)。控制環境105可由殼體包含(contain)，并且可連接到壓力計470，用于測量控制環境105的壓力。與傳輸設備 210相對遠離加載端口 120, 125的是加載閘135, 140。加載閘135, 140將前端200與后端300連接。各個加載閘135， 140具有將它連接到前端200的控制環境105的閥405， 410以及將它連接到后端300 的傳輸室305中包含的隔離環境310的另外的閥415, 420。例如，傳輸室305的隔離環境310可以是真空、惰性氣體(如氮氣)，或其他流體。前端200的控制環境105可以是處于大氣壓力下的清潔空氣，顆粒污染物保持在非常低的水平。因此，加載閘135, 140允許在前端 200和后端300之間通過基板，同時維持兩種環境105, 310的隔離。在圖1中，加載閘140被示出連接到用于對加載閘增壓的進給閥480 和用于對加載閘減壓的真空泵465 。
在實例設備100中，后端300包括定義傳輸室305的框架315。如上所指出，傳輸室305可容納隔離環境310，如真空。壓力計475可連接到傳輸室305以讀取隔離環境310的壓力。基板傳輸設備320可位于傳輸室305內。傳輸設備320可包括連接到框架315 的驅動機械裝置325和連接到末端執行器365的一對相對臂335,340。在圖1的實例設備100中，若干處理模塊370位于傳輸室305的外圍。處理才莫塊370可通過各種沉積、蝕刻、拋光、清洗或其他類型的處理對基板進行操作以在基板上形成電路或其他所期望的結構，或執行度量(metrological)或其他功能。處理模塊370連接到室305以允許基板從傳輸室傳遞到處理才莫塊，并且反之亦然。在示范實施例中，處理模塊可與傳輸室隔離(例如，經由槽閥或其他合適的門)，因此，一個或多個處理模塊可能能夠容納與傳輸室305中的氣氛或真空隔離的氣氛，例如惰性氣體(如氮氣、氬氣)。一個或多個處理才莫塊可經受變化的壓力，例如在工件處理期間的操作壓力(如低真空)、加載壓力(如加載/卸載工件期間的高真空)、入口壓力(access pressure)(如用于模塊的維持的環境氣壓)。類似地，傳輸室305也可經受不同的壓力。在示范實施例中，一個或多個處理it塊可具有能夠測量處理才莫塊中的壓力的壓力計或測量儀器400，如下文將進一步描述。加載閘140也可連接到壓力測量4義器400。加載閘135 還可連接到類似的壓力測量儀器。壓力測量儀器400可測量設備100 的所期望的部分(諸如加載閘140、傳輸室305或處理^^塊)內的氣氛 450的絕對壓力。在替4奐實施例中，測量4義器可測量相對壓力或差壓，或者兩者。在其它實施例中，儀器400可測量氣體密度或可充當壓力測量的代理的其他物理特性。在仍有的其它實施例中，測量儀器可測量任何合適的物理特性。圖2是根據示范實施例的測量儀器400的示意圖。在所示示范實施例中，測量儀器400可以是集成儀器，容納在例如箱體或殼體400C中。相應地，在示范實施例中，測量儀器400可以才莫塊的形式安裝到處理設備100的所期望部分的任何一個或多個，諸如(例如) 傳輸室、處理沖莫塊或加載閘等。在替換實施例中，測量儀器可^L安裝
以測量任何所期望的設備中的氣氛的所期望物理特性。在其它替換實施例中，正如下文將進一步描述的測量儀器可集成在容納由儀器所測
量的氣氛的設備或工具內。由圖2可見，在示范實施例中，箱體400C 可配置成定義與容納在設備100的所測量部分(例如，加載閘140或處理模塊370)內的氣氛450連通的壓力封套425。因此，壓力封套425 內的壓力與加載閘140內的壓力實質上相同(如下文所引用，加載閘 140只^^殳備100的代表性部分)。在示范實施例中，壓力封套示為位于殼體內部，僅用于示例用途(例如，在帶有氣氛450的設備的內部和壓力封套425之間可設有孔口(port)以便于連通)。在替換實施例中，測量儀器的壓力封套可隨意地(as desired)放置，包括在儀器殼體的外部。在所示的示范實施例中，三個壓力傳感器可連接至壓力封套，并可操作成測量該封套內的壓力。在替換實施例中，更多或更少的壓力傳感器可被連接以感測壓力封套中的壓力。其它替換實施例可能有或者可能沒有壓力封套，并且可具有任何合適數量的傳感器。在示范實施例中，壓力傳感器435可包括壓阻式膜片(PRD)。該膜片的一側可連接至壓力封套425。該膜片的另一側可采用高真空密封，使得PRD 是絕對膜片傳感器。PRD傳感器435可操作成檢測壓力封套425中壓力封套425的絕對壓力。例如，壓力的變化會造成壓阻式膜片內的應力、應力變化或張力，從而影響膜片的電阻率。因此，傳感器435可通過測量膜片中電阻的變化來感測封套425中的壓力或壓力變化。傳感器440也可連接到壓力封套425。例如，傳感器440可以是熱損失傳感器。熱損失傳感器440可操作成通過感測電導體的熱損失來感測壓力封套425內的絕對壓力。熱損失可對應于壓力封套425內的壓力，并因此對應于例如加載閘140內的壓力。傳感器445也可連接到壓力封套425。例如，傳感器445可以是電離傳感器。電離傳感器445 可發射出與所測量氣體中的氣粒相碰撞的電子。碰撞會產生傳導電流的離子。電流量可對應于壓力封套425內的氣體密度和氣體壓力，并因此可對應于加載閘140內的壓力。在示范實施例中，各個傳感器435， 440， 445可具有不同的操作壓力范圍。例如，電離計(IG)445可最準確地測量高真空(如 10A-10托至10八-2托)。熱損失(HL)傳感器可最準確地測量中真空(如 10A-3至1000托)。PRD傳感器435可用于測量低真空至大氣壓力，如圖2實際所示。儀器400可包括信號處理器455,它可傳達地連接到各個傳感器435， 440, 445。總的來說，信號處理器能夠接收傳感器信號并將其轉換以輸出所期望的測量信號。正如可以意識到的一樣，測量儀器400可用于在處理設備100的一個或多個所期望的室或模塊內測量瞬態和穩態壓力，該瞬態或穩態壓力的范圍可從大氣壓力至高真空(如13個十倍程)。處理器455能夠〗吏用來自傳感器435， 440, 445的信號以生成指示范圍從大約l(KMO托至大約IOOO托的所測量的壓力(或其它所測量的特性)的輸出測量信號，正如下面將描述的一樣。圖3示意性地示出測量儀器400與基板處理設備100的各種連接。如之前所指出，示范實施例中的測量儀器(另見圖2)可以是集成組件(package)，該組件可以才莫塊的形式安裝或從設備100移除。測量儀器模塊可機械地連接到設備100的所期望的部分(如傳輸室 325、處理模塊370、加載閘135， 140)，使得儀器模塊的壓力封套425 與設備內所期望的氣氛450相連通(in communication with)。例如，儀器殼體400C可通過合適的扣件(如螺釘、快拆座等)附接(attach)到設備 100的框架。儀器模塊400還可例如經由有線(如USB)或無線耦合458 而電連4婁到設備100進行供電和通訊(communication)。信號處理器 455可經由耦合458與設備100的控制系統460連接。在示范實施例中，信號處理器可操作成使用來自傳感器435, 440和445的多個讀數來生成輸出測量信號，該信號^皮傳遞給控制系統460。在示范實施例中，控制系統460也可連接到處理設備100的其他裝置，如基板傳輸設備210和320。例如，控制系統也可連接到加載端口 135， 140、處理模塊370、設備100的任何其它合適的裝置以及設備100外的任何裝置。控制系統460可連接到用于調節設備的傳輸室305、模塊和加載閘140內壓力的真空泵或系統465。在示范實施例中，控制系統還可連接到用于監控前端200的控制氣氛105內壓力的絕對壓力傳感器470。控制系統460可連接到用于使加載閘140通風的通風閥(vent valve)480,并且可連接到過程模塊和加載閘(load lock)的加載閥 (loading valve)410, 420。因此，控制系統460可操作成協調設備100 的操作，諸如通過加載閘135， 140和其他過程模塊進行的基板傳輸。儀器才莫塊的處理器455和/或控制系統460還可直接地或遠程地連接到合適的I/O裝置510(見圖3)，該裝置能夠向控制系統460和處理器 455輸入信息，并且也能夠顯示信息，如從處理器455輸出的所指示的壓力測量(或其他測量特性)。在處理設備100的一個實例操作中，可由傳輸設備210 將基板從在加載端口 125處"對接"(dock)的基板盒130中移除。壓力傳感器470可測量控制環境105內的壓力，并將所測量的壓力傳遞纟會控制系統460。控制系統460也可識別和監控設備100所期望部分的操作狀態。例如，控制系統460可使用測量儀器400來確定或確認傳輸室305和過程才莫塊中是否存在所期望的壓力或真空條件。正如可以意識到的一樣，如果條件與所期望的協議不符，控制系統可生成故障信號，并且可例如(自動地或通過操作員輸入)發起補救程序。舉例來說，如果控制系統根據測量儀器400的輸出而記錄(register)傳輸室不處于所期望的真空條件，則控制系統可啟動真空泵以建立所期望的真空。在從測量儀器400接收所期望的真空已在傳輸室305中建立的指示時，控制系統可自動使真空泵不活動(deactivate)。在i殳備100的任何所期望的部分或才莫塊中，可類似地實施所期望的大氣條件的生成或保持。控制系統460也可使用連接到加載端口的測量儀器來確定加栽閘135, 140的狀態以及控制加載閘135, 140的操作。舉例來說，
13測量儀器400可使用壓力傳感器435, 440和445來測量加載閘140 內的壓力，并向控制系統460發送測量的指示(來自信號處理器455)。控制系統可比較加載閘140和控制環境之間的壓力測量指示，并操作真空泵465以控制加載閘140內的壓力，以^便使加載閘氣氛450與控制環境105之間的壓力均;街。由于壓力^皮均衡，可密封加載閘140的兩個閥410, 420。在使壓力均衡中，控制系統可使用來自信號處理器 455的統一輸出以提供用于控制真空泵465的反饋信號。如上所指出并且如下也將更詳細描述的一樣，加載閘140中的壓力變化(例如，與傳輸室和環境前端的匹配氣氛之間)或設備的任何其他所期望的室的壓力變化可以是這樣的(例如，幾個十倍程(decades))，使得各個傳感器435， 440， 445的測量范圍可能不足以準確測量整個壓力變化范圍內的壓力。因此，來自測量加載閘中壓力的測量儀器的壓力指示可基于傳感器435， 440, 445中的兩個或多個。例如，當加載閘或任何其它室/才莫塊處于高真空時，儀器指示的壓力可基于IG傳感器445,處于低真空時，指示可基于HL傳感器440，處于大氣壓力時，指示可基于PRD傳感器435。正如從圖1和圖3可意識到的一樣，在從允許控制系統確定閥400兩端的壓力是平衡的處理器455接收合適的壓力指示時，可由控制系統460打開加載閘140和控制環境105之間的閥410。來自傳感器的壓力指示也可顯示在I/O裝置510上(見圖3)。由于加載閘氣氛450和控制環境105之間的壓力實質上相等，因此在打開閥410時不會出現氣噴(mshofgas)，氣噴可能導致污染物散布到基板上。接著，控制系統460可引導基板傳輸設備210在加載閘140 和前端之間傳輸基板。在完成基板傳輸時，閥410可關閉，使加載閘氣氛被密封，與前端的控制環境105以及后端300的隔離環境310隔離。控制系統可通過使用真空泵465抽吸降低(pump down)加載閘內的壓力來使加載閘氣氛450與隔離環境310之間的壓力均衡。測量儀器 400可向控制系統460提供可用于控制真空泵465的反饋信號。控制系統還可使用壓力傳感器475監控隔離環境310內的壓力。當控制系統已確定在加載閘氣氛450與傳輸室305的隔離環境310之間壓力3皮實質上平衡時，控制系統可打開加載閘140與傳輸室305之間的閥，以在加載閘與傳輸室之間傳輸基板。這個過程可根據需要(as desired) 來重復進行，以便在設備100的前端和后端之間加載和卸載基板。類似地，安裝在過程模塊和傳輸室中的一個或多個上的測量儀器400可促進在傳輸室和處理期間與傳輸室隔離的過程模塊之間基板的加載/ 卸載。正如可以意識到的一樣，上述實例操作只用于示出示范實施例測量儀器400的應用。測量儀器400可用于任何合適的應用，如其中測量氣體壓力或氣體密度的任何合適應用。在替換實施例中，測量儀器可測量任何合適的物理量。如上所指出，在示范實施例中，壓力儀器400可設置成使用三個傳感器435, 440， 445測量所期望的室/才莫塊中整個壓力變化 (如13個十倍程；從10"g至10-3托)內的壓力(雖然在替換實施例中，可使用更多或更少的傳感器，這取決于室內壓力變化的范圍)。同樣如上所指出，在示范實施例中，各傳感器435， 440， 445可具有不同的壓力范圍，將三個壓力范圍不同的傳感器一起使用，以提供儀器400 所期望的整個測量范圍。在示范實施例中，處理器455(見圖2-3)可進行編程，使得它測量的壓力輸出(即來自儀器的指示壓力)是基于來自傳感器435， 440, 445的最佳數據。相應地，在示范實施例中，在給定壓力下，處理器445編程使用來自傳感器的測量數據，該測量數據對于給定壓力具有最高的準確性(即最佳數據)，正如下文所述。在示范實施例中，各傳感器435， 440, 445的壓力范圍，或換言之，其中各傳感器相對于儀器的其它傳感器具有最高的準確性的壓力范圍可在處理器455中編程。舉例來說，處理器455(或處理器455可訪問的合適存儲器位置)可具有諸如合適的算法或查找表等編程456以便為各傳感器識別和選擇壓力范圍。例如，處理器可直接或間接將校準線和實際壓力配合使用，該校準線與來自各個傳感器的指示壓力相關(例如，輸出信號是實際壓力的函數)，以便建立計示壓力范圍(gagepressure range)。各特別的傳感器435， 440， 445的校準信息可例如通過全球或本地網絡下載，或者另外以任何其它合適的方式輸入到處理器455。在替換實施例中，傳感器校準信息可存儲在遠程位置處(如儀器生產廠處的PC處)，并且可由處理器根據需要經由合適的雙向通信路徑訪問。在其它替換實施例中，校準信息可由處理器455生成，其中儀器安裝在適當的位置并使用已知傳感器校準技術。圖6以圖表形式示出了兩個傳感器435, 440， 445的代表性校準線(例如增益)PS1、 PS2。正如可以意識到的一樣，一些不同類型的傳感器(如IG傳感器 445或HL傳感器440)的校準圖或校準線可對于不同的氣體種類(如控制氣體、N2、氬氣)而發生變化。在示范實施例中，處理器455的編程可設置成實施對應于期望在室中測量的氣體種類的傳感器校準信息的選擇。例如，對于不同的氣體種類，各傳感器的校準線可存儲在處理器455的程序456中。處理器程序456可為各傳感器將各條校準線關聯到對應的氣體種類，并在接收輸入(如來自1/O裝置510或任何其它所期望的部件)時選擇適當的校準線，該輸入識別室中氣體種類，室的壓力將用儀器400來測量。在替換實施例中，處理器455可在接收識別室中氣體種類的輸入后從遠程位置讀取或下載適當的校準線。正如還可以意識到的一樣，對于給定類型(如IG、 HL或 PRD)的傳感器，校準線也可隨傳感器不同而不同。圖6中示出的校準線PS1、 PS1，和PS2、 PS2，以圖表形式示出了可存在于相同類型的不同傳感器的校準線或增益中的變化。如上所指出，圖6中所示的圖僅是示范性的。在所示的實例中，線PS2， PS2，可對應于不同的 PRD傳感器，并且線PSl, PS1，可對應于不同的HL傳感器。線PS2， PS1可分別對應于4義器400的PRD和HL傳感器435, 440。線PS1，
PS1，， PS2， PS2，的特性僅是示范性的，并且在替換實施例中，傳
感器的校準線可具有任何其它所期望的特性。例如，不同PRD傳感器的校準線PS2， PS2，僅示為具有比校準線PS1， PS1，相對更高的增益，校準線PS1， PS1，標示出不同HL傳感器的性能。在替換實施例中，不同類型的傳感器的相對增益可不同。IG傳感器的校準線(未示
出)可具有與圖6所示的校準線大體(generally)相似的特性，并且例如， IG傳感器(如傳感器445)和HL傳感器(如傳感器440)的校準線之間的關系可與圖6中為校準線PS2， PS2，， PS1， PS1，而示出的關系大體相似。在一個示范實施例中，例如，處理器455可纟皮編程為對于給定氣體種類、根據對應傳感器435， 440, 445的校準線PS1， PS1，， PS2, PS2，計算或以其它方式識別各傳感器提供最佳數據的壓力(或其他所測量的特性)范圍。舉例來說，對于處理器所記錄的氣體種類(如上所指出)，(儀器400的)特定傳感器435， 440， 445的校準線可與所期望的閾值進行比較，以對于給定氣體種類建立各傳感器435， 440, 445的最佳數據壓力范圍(或者以下將稱作為壓力范圍)。在替換示范實施例中，傳感器的壓力范圍可輸入到處理器或者由處理器從遠程位置下載。正如從上文可意識到的一樣，處理器中記錄的壓力范圍可以是傳感器特定的和種類特定的。舉例來說，處理器編程456可包括定義各種氣體種類所對應各傳感器435， 440， 445的范圍信息的信息(如算法或表格)。如上所指出，在各傳感器435， 440, 445的壓力范圍由處理器記錄的情況下，示范實施例中的處理器455在傳感器測量室中的壓力改變時可使用帶有適當壓力范圍的傳感器的壓力讀數。此外，正如可在示范實施例中意識到的一樣，當所測量的壓力超過給定傳感器的壓力范圍時，處理器455可在傳感器之間進行轉變。為了防止儀器400測量范圍產生間斷，可為傳感器435， 440， 445建立壓力范圍以提供所期望的重疊。因此，例如，PRD傳感器435的壓力范圍可重疊HL傳感器440的壓力范圍，而HL傳感器 440的壓力范圍又可重疊IG傳感器445的壓力范圍。在圖4a中以圖表形式示出了兩個傳感器435， 440， 445之間的代表性重疊區域，圖 4a示出了線501, 502，所述線501， 502描繪了對應傳感器壓力范圍內的傳感器的傳感器讀數。正如可以意識到的一樣，圖4a中的傳感器性能線501, 502(即對于各個傳感器，使傳感器讀數與實際壓力相關)實質上類似于圖6所示的傳感器校準線PS1, PS2的部分。進一步，在示范實施例中，線501, 502也可表示來自處理器的指示壓力(&一(與實際壓力相關)。因此，并且正如將在下文更詳細描述的一樣，在示范實施例中，即使在重疊區域，來自處理器455的指示壓力可以是僅僅一個傳感器435, 440， 445的當前值(即壓力讀數)的函數。相應地，正如可從圖4a中意識到的一樣，重疊的量可減至最小，且比常規系統的所期望的范圍重疊小得多。例如，并且正如也將在下文中進一步描述的一樣，重疊可以如下當一個傳感器435, 440, 445處于其范圍的末端時，來自其它傳感器的讀數是有效的，因此允許處理器在傳感器之間切換。但是，如上所指出，傳感器壓力范圍，并因此該范圍的端點可在(相同類型的)計之間以及在氣體種類之間變化。在示范實施例中，處理器可設置成為傳感器選擇或允許選擇壓力范圍的端點，并因此允許選擇處理器在傳感器之間切換的切換壓力(Pmd)，例如使得來自儀器400的壓力指示可基于使用來自僅僅一個傳感器435, 440， 445的當前壓力讀數(值)的最佳數據。在替換實施例中，壓力指示切換傳感器的切換壓力(Psw)可由操作員例如經由I/O裝置510(參見圖3)而輸入到處理器，或者可由處理器從遠程位置下載。再次參考圖4a，如上所指出，圖4a示出來自兩個傳感器的壓力讀數可如何相應于實際壓力而變化的實例。在圖4a中，例如，線501可表示來自電離傳感器445的壓力讀數。例如，線502可表示來自熱損失傳感器440的壓力讀數。如上所述，熱損失傳感器440和電離傳感器445可具有不同的操作范圍。因此，可能所期望的是在壓力低于切換壓力Psw處，將來自電離傳感器445的壓力讀數作為來自儀器400的指示壓力的基礎來使用，以及在壓力高于閾值壓力Psw處，將來自熱損失傳感器440的壓力讀數作為指示壓力的基礎來使用。如圖4a中清楚所示，在來自兩個傳感器的讀數之間存在變化(也可見圖6)。因此，由于在閾值壓力Psw處傳感器440， 445可能不產生相同的壓力讀數，所以在切換壓力處兩個傳感器讀數之間的切換將導致儀器指示壓力的突然跳3夭(abmpt jump)或不連續性。可能經受某種處理的數據流中不連續性的存在是非常不希望有的。例如，處于或接近閾值壓力Psw處使指示壓力產生差別(differentiate)可能隨后導致壓力變化率的高量度值，這能引入壓力控制反饋系統的滯后，或在處理系統中生成故障。例如，在監控下降壓力的環境時，來自熱損失傳感器440 的讀數可首先用于確定指示壓力Pind。這將遵循線502。當來自熱損失傳感器440的讀數達到閾值壓力Psw時，來自電離傳感器445的讀數可隨后用于確定指示壓力Pind。這將遵循線501。然而，如圖4a中例示，當熱損失傳感器440壓力讀數等于Psw時，實際壓力將是Pc，而電離傳感器445的壓力讀數將為PB。由于Pb不等于Psw，指示壓力 Pind的急劇改變將會發生。壓力的這種急劇改變將不反映實際物理壓力的改變，而將只是測量儀器引入的假象(artifact)。類似的現象可在上升的壓力環境中發生，其中P腸首先遵循傳感器445的線501讀數，然后轉到遵循傳感器440的線502讀數。當來自傳感器445的讀數達到閾值壓力Psw時，實際壓力將是Po，而傳感器440的壓力讀數將為
Pa。由于Pa是與Psw不同的值，所以僅從一個傳感器讀數切換到另一個可產生指示壓力Pnro的急劇跳i 天或不連續性。如圖4b所示，當處理器正從一個傳感器的讀數切換到另一個傳感器時，可在某個范圍內調整指示壓力P歸，以逐漸轉變 (transition)兩個傳感器壓力讀數的差異。在示范實施例中，在轉變中，信號處理器455可使用來自(為便于描述)可被稱作為"切換自"傳感器(例如，處理器正從其切換的傳感器)的先前壓力讀數以調整來自"切換至"傳感器(例如，處理器正切換至的傳感器)的當前讀數，以便產生輸出信號。在一個實例中，圖4b示出了在傳感器之間的轉變中，
輸出信號PlND可如何相應于實際壓力而變化。可以看出，當實際壓力較高且正在下降時，指示壓力PiND可直接對應于并且實質上等于來自
熱損失傳感器440的讀數，并因此可遵循線502。當來自傳感器440 的壓力讀數下降到閾值壓力Psw以下時，則P腸可由來自傳感器445的讀數確定。然而，PiND相對于來自傳感器445("切換至，，傳感器) 的讀數進行調整以補償某點處來自兩個傳感器的讀數的差異，在該點
處，PjND從由傳感器440("切換自"傳感器)讀數確定切換至由傳感器 445讀數確定。因此，當實際壓力持續下降時，PiND遵從(follow along) 曲線504。在某個點處，曲線504和線501相交，并且P腸等于傳感器445的壓力讀數。低于這個壓力時，P腸可直接對應于并實質上等于傳感器445的讀數。在示范實施例中，可能不存在PiND根據兩個傳感器435， 440， 445的當前讀數確定的任何時間。相反地，指示壓力 P膨在儀器400的整個累積(cumulative)壓力范圍內可僅根據一個傳感器讀數來確定。圖4b也示出了曲線505，曲線505可表示在升壓環境中PlND的轉變。當壓力較低并且正在上升時，P歸可根據來自傳感器445的壓力讀數確定，且可實質上等于該壓力讀數，直至PiND達到 Psw以及處理器例如從傳感器445切換至傳感器440。隨后，P腸可在壓力持續上升時遵循轉變曲線505,并且可由傳感器440的當前壓力讀數來確定。遵循曲線505時，PwD是相對于傳感器440的讀數的調
整值。這可防止在從PiND根據傳感器445確定的狀態轉變到Pind根據
傳感器440確定的另一個狀態時P腸值的突變。隨著壓力持續上升，曲線505與線502相交，并且PiND等于傳感器440的讀數。對于更高的壓力，PiND可直接對應于并且可實質等于傳感器440的壓力讀數。圖5是流程圖，該流程圖示出了在根據儀器傳感器435, 440， 445的壓力讀數來生成指示壓力(諸如設備100的室的指示壓力) 中，由信號處理器455執行的處理的一個范例。通過根據流程圖來操作信號處理器455而產生的實例結果在圖6中示出。在圖5所示的示范實施例中，標記為PS1和PS2的塊600和605可表示來自傳感器之一(諸如來自熱損失壓力傳感器440)的壓力讀數PS1(之前描述過，請參閱圖6)。壓力讀數PS2(同樣之前描述過)可以是來自另一個傳感器 (諸如來自壓阻式膜片壓力傳感器435)的壓力讀數。類似地，PS2和 PS1可以是來自HL和IG傳感器440， 445的相應讀數。在塊6001中，系統可被初始化。正如可以意識到的一樣，可在任何時間執行系統初
始化，諸如在儀器400的處理器455的啟動/引導時。例如，處理器可執行所期望的初始化例行程序(routine)，該例行程序可確認儀器組件 (包括傳感器435， 440， 445)的正確操作。處理器可選擇操作參數，諸如對于對應傳感器的要由處理器利用的相應壓力范圍和處理器要切換傳感器讀數的轉變點(即Psw)，以及在傳感器之間轉變時，將用于調整對應傳感器的閥的程序算法(或表)。處理器455例如可通過記錄室中的氣體種類塊600A來選擇操作參數(如上所指出，傳感器壓力范圍并因此轉變壓力可隨氣體種類而變化)。氣體種類(例如空氣、N2、氬氣)可例如通過經由1/O裝置510(見圖3)或能夠將氣體種類傳遞給處理器的任何其它系統或裝置的操作員輸入來記錄。在氣體種類被記錄的情況下，處理器可在塊600B中為所記錄的氣體種類選擇各傳感器 435， 440， 445的對應壓力范圍。處理器可例如通過從將傳感器的壓力范圍與氣體種類關聯的內存儲器456訪問查找表來實施選擇。如上所指出，處理器可例如從遠程傳感器訪問關聯或建立針對所記錄的氣體種類的傳感器的壓力范圍的信息。在替換實施例中，各傳感器435， 440, 445的壓力范圍可通過操作員經由1/0裝置或任何其它選擇器而輸入各傳感器的相應范圍來選擇。轉變壓力Psw可通過選擇傳感器的壓力范圍來定義。例如，如圖4a， 4b所示，轉變壓力P柳可在如之前所述傳感器壓力范圍被確定時設置，以對應于傳感器壓力范圍的末端 (例如，Psw可設置成等于分別以曲線502， 501表示的傳感器壓力范圍的末端Pc， PD處的指示壓力)。轉變壓力Psw值可例如在處理器存儲器456中預設以及存儲，或者在備選實施例中，可在處理器可訪問的任何存儲器位置預設以及存儲，使得在選擇傳感器的壓力范圍時，對
應于該選擇的Psw的值變得可由處理器識別。換言之，處理器被給定用于壓力范圍選擇的Psw的值。在替換的實施例中，處理器可被編程為確定Psw的值，以便利用來自傳感器的最佳數據。如上所指出，(相同類型的)不同傳感器的準確性和范圍可不同(例如參見圖6)。因此，
21圍。這在圖4a中通過延伸線502a而示出，延伸線502a在端壓Pc1處終止，該延伸線顯示了相比于線502所指示的傳感器的范圍的增加的范圍。考慮到傳感器增加的操作范圍，可能所期望的是將圖4a中所識
別的轉變壓力建立為Psw，，以利用傳感器的更大范圍，并因此將Psw，的值設為比(具有更小壓力范圍的傳感器的)Psw更低。舉例來說，具有
于4義器的一個或多個其他傳感器435， 440， 445(例如更快的響應、更高的準確性、讀數實質上與種類無關)，并因此可能所期望的是在其較大的范圍上釆用這種傳感器。舉例來說，PRD傳感器435可具有比 HL傳感器更快的響應。相應地，可能所期望的是盡可能最大程度地使用PRD傳感器，并因此將切換壓力Psw，(對于在PRD和HL傳感器之間切換)實質上設在PRD傳感器的極限/末端Pc'處。因此，可用上述選擇標準或因素對處理器455進行編程，將(諸如PRD和HL傳感器之間的)切換壓力Psw、Psw，的值設為PRD傳感器范圍的較低端，并將HL傳感器所識別的壓力范圍調整為在對應于所設的切換壓力 Psw，(如上所指出)的壓力Pd，處結束，處理器455可編程為或可能能夠訪問數據，用于計算值Psw、 Psw，(例如，根據所識別的端點Pc、 Pc，和傳感器校準值)以及類似地用于調整HL傳感器的壓力范圍。處理器455可用其它所期望的因素來編程，用于選擇傳感器之間的切換壓力Psw,諸如將切換壓力的值設為對應于具有較高準確性或任何其它所期望的選擇因素的傳感器。
各個絕對讀數PS1、 PS2經由塊620充當輸入。此外，在塊610中，一開始設置啟動才莫式。在塊610中，模式設置為PS2-。該模式指示處理器455當前正使用的傳感器讀數以確定指示壓力Pind 以及壓力是正在上升還是下降。在此實例中，壓力一開始為高并且正在下降，因此才莫式i殳置為PS2-，以指示Pind應一開始根據PS2確定(即，例如基于PRD傳感器，而不是熱損失或電離傳感器)，以及壓力正在下降。同樣，在塊610中，處理器也可訪問選定的轉變參數，以及將
變量KS1的值設為等于1,而將變量KS2的值設為等于0。這些變量可結合轉變參數來用于確定其它塊中的PiND，如下所述。在塊625中，就PS1讀數(例如，在傳感器壓力范圍內)是否有效作出確定。在此實例中，如果PS1讀數小于預定值P朋，則它被確定為有效。P冊可以是熱損失傳感器440操作范圍的上端點，高于該上端點，熱損失傳感器讀數PS1可能不夠準確。在塊630中，讀回當前模式以確定壓力是在上升還是下降。如果正在下降，則執行塊635。在塊635中，PS2 與選定的值Psw進行比較。如果PS2小于Psw,則執行塊640。否貝'J，執行塊690,如下所述。在塊640中，沖莫式設置為PSl-，以指示P腸當前響應于來自熱損失傳感器的PS1讀數。在塊645中，PS1與閾值
PL進行比較，該閾值PL是其中PlND直接對應于來自熱損失傳感器的
讀數PS1的區域上端點的值。如果PS1小于Pl，則執行塊650。否貝'J，執行塊705以產生PjND的值，如下所述。在塊650中，PS1與闊值Pix 進行比較，該閾值Pix可以是PDR傳感器43 5操作壓力范圍的下端點，在該下端點之下，PRD傳感器可能不能操作成產生足夠準確的讀數。如果PS1小于Plx，則執行塊655。否則，執行塊665。在塊665中，模式被設置為PS1+,以指示Pind當前響應于來自熱損失傳感器440 的壓力讀數PS1以及壓力正在下降。在塊660中，KS2 ^皮設置為 PS2-PS1。換言之，KS2被設置為從PRD傳感器435生成的壓力讀數和來自熱損失傳感器440的壓力讀數之間的差。在步驟665中，P腸被設置為等于PS1(來自熱損失傳感器440的讀數)，并且塊620被重新執行。
如果在塊630處模式被確定為正，指示上升的壓力，則執行塊670。在塊670中，PSl與Psw進行比較。如果Psw小于PSl, 則執行塊675。否則，執行塊655。在塊675中，模式被設置為PS2+, 指示所指示的壓力P腦響應于用PRD傳感器435生成的壓力讀數 PS2,以及壓力正在上升。在塊680中，PS2與PH進行比較，Ph可以是壓力區域的端點，在該壓力區域內所指示的壓力PiND直接對應于用
PRD傳感器435生成的壓力讀數PS2。如果PS2大于PH，則執行塊 685。否則，執行塊710以生成P歸的值。在塊685中，PS2與P冊進行比較，PnH可以是熱損失傳感器440范圍的上端點，在該上端點之上，傳感器440可能不夠準確。如果PS2大于Phh,則執行塊690。否則，執行塊700。在塊690, KS1 一皮設置為等于PS2與PS1的比。在塊695中，才莫式^皮設置為PS2-,以指示P腸響應于PS2以及它正在下降。在塊700中，P!m^皮設置為等于PS2。隨后，塊620被重新執行。
當壓力正在下降，從PRD傳感器435生成的讀數PS2 低于閾值Psw，且來自熱損失傳感器440的讀數PS1高于闊值PL時，執行塊705。這是其中PiND響應于PSl而不響應于PS2的范圍，并且
其中，PlND是PSl的調整值，調整使PlND曲線平滑并避免不連續性、
跳躍和高量度差別。塊705根據以下公式定義了 P脂的值
<formula>formula see original document page 24</formula>
當壓力正在上升，從熱損失傳感器440生成的讀數PS1 大于閾值Psw，且從PRD傳感器435生成的讀數PS2低于闊值PH時，，執行塊710。這是其中P腸響應于PS2而不響應于PS1的范圍，并且其中P腦是PS2的調整值，調整使P膽曲線平滑并避免不連續性、跳躍和高量度差別。塊710根據以下公式定義了 P歸的值
<formula>formula see original document page 24</formula>
再次參考圖6，還示出有PjND的值的實例圖表，Pjnd可
從圖5的流程圖所示出的過程得出。可以看出，不管壓力是在上升還
是在下降，在閾值Psw處的指示值PjND無不連續性。因為不存在如果在閾值壓力Psw處PiND簡單地在PlND=PS2和PlND=PSl之間進行切換而將發生的PiND的突變，所以在閾值Psw處或附近(或在P腸曲線上的別處)計算PrND的導數或斜率可能不會產生高量度的值。因此，可能的是使用PiND的導數作為反饋以控制壓力，諸如(例如)加載閘氣氛450 的壓力。如上所指出，除了 PDR傳感器435和熱損失傳感器440 外，示范測量儀器還可具有電離傳感器445。來自所有這三個傳感器的讀數可用于產生可在擴展的范圍上操作的指示壓力輸出。例如，在低于熱損失傳感器440的操作壓力范圍的壓力處，指示壓力可根據電離傳感器445的讀數確定，電離傳感器445可操作在比傳感器440更低的壓力范圍。其中指示壓力根據傳感器440的讀數來確定的狀態和其中指示壓力根據傳感器445的讀數來確定的狀態之間的轉變可以與之前所述(參考圖5和6,對于使用傳感器435的讀數和使用傳感器440 的讀數之間的轉變)實質類似的方式處理。因此，測量儀器可操作成在擴展的操作范圍上指示壓力，該擴展的操作范圍包括電離傳感器445 的操作范圍以及熱損失傳感器440和PRD傳感器435的操作范圍。在測量儀器400的整個擴展的操作范圍內，指示壓力常可根據僅僅一個傳感器的讀數來確定，但是可指示壓力而沒有通過從一個傳感器讀數轉變到另一個所引起的指示壓力的任何跳躍或不連續性。在其他實施例中，測量儀器可具有例如兩個傳感器，或可具有任何其它合適數量的傳感器。在其他實施例中，任何合適的物理特性可由傳感器測量以及由儀器指示(例如質量、力、光強度、磁場強度或其他物理量或特性)。應理解，前面的描述僅示出本發明。在不背離本發明的情況下，本領域技術人員可設計各種替換和變型。相應地，本發明旨在包含落在所附權利要求書范圍內的所有此類替換、變型和變化。
權利要求
1.一種測量儀器，包括處理器，適于輸出包含物理特性的測量的測量信號；第一傳感器，連接到所述處理器并且可操作成生成所述物理特性的第一測量；第二傳感器，連接到所述處理器并且可操作成生成所述物理特性的第二測量；以及轉變選擇器，連接到所述處理器并且設置成實施所述第一和第二傳感器之間的預定轉變的選擇；其中，所述處理器定義第一測量范圍，在所述第一測量范圍內所述測量信號取決于所述第一測量而不取決于所述第二測量；以及定義第二測量范圍，在所述第二測量范圍內，所述測量信號取決于所述第二測量而不取決于所述第一測量，第一和第二范圍在其中包含在所述測量信號中的測量在所述第一和第二范圍之間轉變的預定轉變處相交，所述第一和第二測量在所述轉變處不同，并且包含在所述測量信號中的測量穿過所述轉變而實質上無突變。
2. 如權利要求1所述的測量儀器，其中，包含在所述測量信號中的測量在所述第二范圍的至少一部分上相對于所述第二測量進行調整，使得所述測量在穿過從所述第一到所述第二范圍的轉變時不突然地改變。
3. 如權利要求1所述的測量儀器，其中所述物理特性是壓力。
4. 如權利要求1所述的測量儀器，其中所述物理特性是氣體密度。
5. 如權利要求1所述的測量儀器，其中包含在所述測量信號中的測量在所述第一范圍的至少一部分上實質上等于所述第一測量，并且其中包含在所述測量信號中的測量在所述第二范圍的至少一部分上實質上等于所述第二測量。
6. —種工件處理設備，包括其中具有氣氛的至少一個^f莫塊，以及權利要求1所述的測量儀器，該測量儀器連接到所述至少一個一莫塊，用于測量所述才莫塊中的所迷氣氛的物理特性。
7. —種壓力計，包括壓力指示器；第一壓力傳感器，連接到所述壓力指示器并且可操作成生成第一壓力讀數；和第二壓力傳感器，連接到所述壓力指示器并且可操作成生成第二壓力讀凄丈；其中，當所述第一壓力讀數高于可選擇的預定壓力值并且正在下降時，所述壓力指示器配置成響應所述第一壓力讀數而指示壓力，而不響應于所述第二壓力讀數；其中，當所述第一壓力讀數低于所述可選擇的預定壓力值并且正在下降時，所述壓力指示器配置成響應所述第二壓力讀數而指示壓力，而不響應于所述笫一壓力讀數；以及其中所述壓力指示器配置成在包括所述預定壓力值的指示壓力范圍上將壓力指示為實質連續的函數，其中在所述第一壓力讀數實質上等于所述預定壓力值時，所述第二壓力讀數與所述第一壓力讀數不同。
8. 如權利要求7所述的壓力計，其中當所述第一壓力讀數高于所述可選擇的預定壓力值時，所述壓力指示器配置成指示實質上等于所述第一壓力讀數的壓力。
9. 如權利要求8所述的壓力計，其中當所述第一壓力讀數小于低于所述預定壓力值的第二預定壓力值時，所述壓力器還配置成指示實質上等于所述第二壓力讀數的壓力。
10. 如權利要求9所述的壓力計，其中所述第二預定壓力值可從許多不同的預定壓力值中選擇，并且其中所述壓力指示器具有用于選擇所述可選擇的預定壓力值和第二預定壓力值的選擇器。
11. 如權利要求9所述的壓力計，其中所述壓力指示器配置成將壓力指示為在包括所述第二預定壓力閾值的范圍上的連續可微的函數。
12. 如權利要求11所述的壓力計，其中所述指示壓力在所述預定壓力值之間沒有拐點。
13. 如權利要求9所述的壓力計，其中所述預定壓力值定義轉變壓力范圍的端點，并且其中所述壓力指示器配置成在所述轉變壓力范圍內指示已調整壓力讀數，所述已調整壓力讀數響應于第二壓力并且相對于所述第二壓力讀數進行調整，使得所述已調整壓力讀數在預定壓力處等于所述第一壓力讀數。
14. 一種壓力計，包括壓力指示器；第一壓力傳感器，連接到所述壓力指示器并且可操作成生成第一壓力讀數；和第二壓力傳感器，連接到所述壓力指示器并且可操作成生成第二壓力讀數；其中當所述第一壓力讀數低于可選擇的預定壓力值并且正在上升時，所述壓力指示器配置成響應所述第一壓力讀數而指示壓力，而不響應于所述第二壓力讀數；其中當所述第一壓力讀數高于所述可選擇的預定壓力值并且正在上升時，所述壓力指示器配置成響應所述第二壓力讀數而指示壓力，而不響應于所述第一壓力讀數；以及其中所述壓力指示器配置成將壓力指示為在包括所述預定壓力值的指示壓力范圍上的連續函數，其中在所述第一壓力讀數實質上等于所述預定壓力值時，所述第二壓力讀數與所述第一壓力讀數不同。
15. 如權利要求14所述的壓力計，其中當所述笫一壓力讀數低于預定壓力值并且正在上升時，所述壓力指示器配置成指示實質上等于所述第一壓力讀數的壓力。
16. 如權利要求15所述的壓力計，其中當所述第一壓力讀數小于低于所述預定壓力值的第二預定壓力值時，壓力指示器還配置成指示實質上等于所述第二壓力讀數的壓力。
17. 如權利要求16所述的壓力計，其中所述壓力指示器配置成將壓力指示為在包括所述第二預定壓力值的范圍上的連續可微函數。
18. —種方法，包括用第一傳感器產生可計量的物理屬性的第一讀數；用第二傳感器產生所述可計量的物理屬性的第二讀數；用處理器從許多不同可選擇的轉變量度中選擇轉變量度；在物理特性的第一范圍上只響應所述第一讀數而指示所述物理屬性的量度；在所述物理特性的第二范圍上只響應所述第二讀數而指示所述物理屬性的量度，所述物理特性的第二范圍與所述第一范圍在所述物理屬性的轉變量度處毗鄰；在第一或第二區域的至少一個中調整所述物理屬性的指示量度，使得指示量度在所述第一和第二范圍之間轉變中不突然地改變，所述第一和第二讀數在所述轉變量度處不同。
19. 如權利要求18所述的方法，其中在所述物理屬性正在下降時，所述指示量度僅在所述第二范圍中進行調整。
20. 如權利要求19所述的方法，其中在所述物理屬性正在上升時，所述指示量度僅在所述第一范圍中進行調整。
21. 如權利要求1所述的測量儀器，其中所述第一傳感器和所述第二傳感器中的至少一個從壓阻式膜片(PRD)傳感器、熱損失(HL)傳感器和電離傳感器中的至少一個中選擇。
22. 如權利要求1所述的測量儀器，還包括第三傳感器，所述第三傳感器連接到所述處理器并且可操作成生成所述物理特性的第三測量，所述轉變選擇器設置成實施在所述第一、第二和第三傳感器之間的預定轉變的選擇。
全文摘要
測量儀器具有處理器、第一傳感器和第二傳感器。處理器適于輸出測量信號，該測量信號包含物理量的測量。第一傳感器和第二傳感器連接到處理器并且可操作成分別生成物理量的第一和第二測量。處理器定義第一測量范圍，在第一測量范圍內，測量信號取決于第一測量，而不是第二測量。處理器定義第二測量范圍，在第二測量范圍內，測量信號取決于第二測量，而不是第一測量。第一和第二范圍在預定轉變處相交。第一和第二測量在轉變處不同，并且包含在測量信號中的測量穿過轉變而沒有突變。
文檔編號G01L7/00GK101688813SQ200880021480
公開日2010年3月31日申請日期2008年4月24日優先權日2007年4月25日
發明者M·博倫斯坦申請人:布魯克斯自動化公司

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