光學濾波器的制作方法

專利名稱：光學濾波器的制作方法
技術領域：
本發明涉及光學濾波器。
背景技術：
光學濾波器具有僅使規定的波長帶域的光透過、并遮住其以外的波長帶域的光的功能(以下，稱為波長透過特性)，例如，在衍射光柵型分光裝置中，配置在對光進行檢測的圖像傳感器(光檢測器)之上。在這樣的分光裝置中，從光源輸出的某波長帶域的光向樣品入射，并且入射的光中透過樣品的光被衍射光柵分光。該被分光的光中僅有成為檢測對象的波長帶域的光透過光學濾波器，并通過圖像傳感器而被受光、檢測。另一方面，檢測對象之外的波長帶域的光，例如波長比
檢測對象的光短的2次衍射光、3次衍射光等高次衍射光被光學濾波器遮住，從而完全沒有被圖像傳感器所檢測出來。
作為上述的光學濾波器的一例，在下述專利文獻1的圖3中提出
了一種光學濾波器，其構成為將配置在圖像傳感器正前方的多個光
學濾波器的接合面，相對于構成圖像傳感器的檢測元件(傳感器像素)的排列方向而在傾斜的方向上形成，使用粘結劑接合鄰接的光學濾波
器之間。在下述專利文獻1中記載了在使用這樣的光學濾波器的分光裝置中，由于在取得的光譜數據中沒有產生使光譜特性不正確的明確的差別，因此，可以進行正確的定量，定性分析。
專利文獻1:日本特開2005-156343號公報

發明內容
作為與上述專利文獻1所示的光學濾波器同樣地使光學濾波器之間的邊界線相對于傳感器像素的排列方向傾斜地交叉、但是具有與上述專利文獻1所示的光學濾波器不同的構造的光學濾波器，例如，可以舉出圖7所示的層疊型光學濾波器70。在層疊型光學濾波器70中，在透光性基板72的表面的一部分上，層疊有具有波長透過特性的第1光學濾波層74。進而，在第1光學濾波層74的表面的一部分上，層疊有與第1光學濾波層74不同的第2光學濾波層76。
在該層疊型光學濾波器70中，透光性基板72和第1光學濾波層74之間的邊界線78、以及第1光學濾波層74和第2光學濾波層76之間的邊界線80分別相對于傳感器像素的排列方向傾斜地交叉，第1光學濾波層74的端部74a以及第2光學濾波層76的端部76a分別成為銳角狀。該銳角狀的端部74a、 76a分別位于透光性基板72的端部，因此，存在因外力或隨時間的劣化而易于剝離的問題。
本發明是鑒于上述現有技術中存在的問題而完成的，其目的在于提供能夠抑制光學濾波層的剝離的光學濾波器。
為了解決上述問題，本發明的光學濾波器是，配置在具有排列的多個傳感器像素的圖像傳感器之上的光學濾波器；該光學濾波器具有長板狀的透光性基板、層疊在透光性基板上的第1光學濾波層、和層疊在第1光學濾波層上的第2光學濾波層；透光性基板具有，在多個傳感器像素的排列方向上較長且位于圖像傳感器的正上方的受光部、和包圍受光部的框部；受光部具有，位于受光部的長度方向上的一側的透光區域、在受光部的長度方向上與透光區域鄰接的第1濾波區域、在受光部的長度方向上與第1濾波區域鄰接且夾著第1濾波區域而位于與透光區域相反的一側的第2濾波區域；第1光學濾波層以覆蓋第1濾波區域、第2濾波區域以及框部的方式進行層疊，第2光學濾波層以覆蓋第2濾波區域以及框部的方式進行層疊。
在上述的本發明中，第1光學濾波層和透光性基板不僅在第1濾波區域相互緊貼，而且在框部和第2濾波區域也緊貼，因此，第1光學濾波層和透光性基板緊貼的部分的面積比現有技術的大。進而，在第1光學濾波層上，第2光學濾波層在框部從上開始層疊。其結果，第1光學濾波層相比于現有技術更強固地固定于透光性基板，因此，能夠抑制因外力或隨時間的劣化第1光學濾波層從透光性基板上剝離的現象。
另外，在上述的本發明中，第2光學濾波層和第1光學濾波層不僅在第2濾波區域相互緊貼，而且在框部也緊貼。其結果，第2光學濾波層相比于現有技術更強固地固定于第1光學濾波層，因此，能夠
抑制因外力或隨時間的劣化第2光學濾波層從第1光學濾波層上剝離
的現象。
進而，在上述的本發明中，在包圍受光部的框部上也依次層疊第1
光學濾波層和第2光學濾波層，因此，與圖7所示的層疊型光學濾波器70相對照，露出于受光部內的第l光學濾波層的端部、以及露出于受光部內的第2光學濾波層的端部不會尖銳地成為銳角狀。其結果，即使在使透光區域和第1濾波區域之間的邊界線、以及第1濾波區域和第2濾波區域之間的邊界線分別相對于多個傳感器像素的排列方向傾斜地交叉的情況下，相比于圖7所示的層疊型光學濾波器70的情況，第1光學濾波層的端部和第2光學濾波層的端部也更難以剝離。
上述光學濾波器也可以是還具有層疊在第2光學濾波層上的第3光學濾波層，受光部還具有第3濾波區域，該第3濾波區域在受光部的長度方向上與第2濾波區域鄰接、且夾著第2濾波區域而位于與第1濾波區域相反的一側，第1光學濾波層以覆蓋第1濾波區域、第2濾波區域、第3濾波區域以及框部的方式進行層疊，第2光學濾波層以覆蓋第2濾波區域、第3濾波區域以及框部的方式進行層疊，第3光學濾波層以覆蓋第3濾波區域以及框部的方式進行層疊。
光學濾波器通過還具有第3光學濾波層以及第3濾波區域，從而可以遮住在第1光學濾波層以及第2光學濾波層中未被遮掉的波長帶域的光。
另外，第3光學濾波層以及第2光學濾波層不僅在第3濾波區域相互緊貼，而且在框部也緊貼。其結果，第3光學濾波層強固地固定于第2光學濾波層，因此，能夠抑制因外力或隨時間的劣化第3光學濾波層從第2光學濾波層上剝離的現象。
在上述的光學濾波器中，優選透光性基板還具有包圍框部的緣部。另外，優選緣部是露出的。
即使在向光學濾波器作用外力的情況下，也能夠通過緣部而保護受光部和框部免受外力的影響。另外，在透光性基板中比較容易產生碎屑的緣部上不層疊各光學濾波層，通過使緣部露出，降低在緣部產生的碎屑引起各光學濾波層的剝離的可能性。
6在上述的光學濾波器中優選透光區域和第1濾波區域之間的邊界線、以及第1濾波區域和第2濾波區域之間的邊界線在圖像傳感器的正上方相對于多個傳感器像素的排列方向傾斜地交叉。另外，優選
第2濾波區域和第3濾波區域之間的邊界線也在圖像傳感器的正上方
相對于多個傳感器像素的排列方向而傾斜地交叉。
如果透光區域和第1濾波區域之間的邊界線、第1濾波區域和第2濾波區域之間的邊界線、以及第2濾波區域和第3濾波區域之間的邊界線分別相對于多個傳感器像素的排列方向傾斜地交叉，則各個邊界線分別橫切2個以上的傳感器像素的正上方。其結果，在光學濾波器的各濾波區域的邊界，即使在光透過率降低的情況下，相比于各邊界線分別橫切單一的傳感器像素的正上方的情況，也能夠緩和每一個傳感器像素中的輸出的降低。
在上述的光學濾波器中，可以在透光區域露出透光性基板。根據本發明能夠抑制光學濾波器中的光學濾波層的剝離。


圖1為具有本發明的一個實施方式的光學濾波器的圖像傳感器的
概略分解立體圖。
圖2為從受光部側看到的圖1所示的光學濾波器的概略圖。圖3為圖2所示的光學濾波器的沿III-III線的概略剖面圖。圖4為從受光部側看到的本發明的一個實施方式的光學濾波器所
具有的透光性基板的概略圖。
圖5為從受光部側看到的本發明的其它實施方式的光學濾波器的
概略圖。
圖6為從受光部側看到的本發明的其它實施方式的光學濾波器所具有的透光性基板的概略圖。
圖7為不具有框部的層疊型光學濾波器的概略立體圖。
符號的說明
2…光學濾波器、4…透光性基板、4a…受光部、4b…框部、4c…緣部、6…第1光學濾波層、8…第2光學濾波層、10…第3光學濾波層、12…圖像傳感器、12a…傳感器像素、41a…透光區域、42a…第1濾波區域、43a…第2濾波區域、44a…第3濾波區域、45…透光區域和第1濾波區域的邊界線、46…第1濾波區域和第2濾波區域的邊界線、47…第2濾波區域和第3濾波區域的邊界線。
具體實施例方式
以下，參照附圖對本發明的優選的一個實施方式進行詳細說明。但是，本發明不限于以下的實施方式。在此，在對于圖的說明中，對同一或相當的要素標記同一符號，省略重復的說明。
如圖1 3所示，光學濾波器2具有長板狀的透光性基板4、層疊在透光性基板4上的第1光學濾波層6、和層疊在第1光學濾波層6上的第2光學濾波層8。該光學濾波器2配置在圖像傳感器12之上，圖像傳感器12具有在透光性基板4的長度方向X上排列的多個傳感器像素12a。另夕卜，在圖1中，為了說明的方便，光學濾波器2相對于圖像傳感器12是分離的，但是，實際上，光學濾波器2嵌合在設置于圖像傳感器12的凹部中。
作為構成透光性基板4的材料通常使用玻璃板。透光性基板4的尺寸通常為長度方向X上的長度為20 40mm左右、寬度方向上的長度為4 8mm左右、厚度為0.5 3mm左右。
第1光學濾波層6和第2光學濾波層8為具有相互不同的波長透過性的電介質多層膜。作為電介質多層膜的材料，可以根據分別透過第1光學濾波層6和第2光學濾波層8的光的波長帶域進行適當選擇，但是，通常使用MgF2、 Si02等的低折射率材料、Al203等的中折射率材料、以及ZK)2、 Ti02等的高折射率材料等。第1光學濾波層6的沿層疊方向Z的層厚度通常為0.1 l(mi左右。另外，第2光學濾波層8的沿層疊方向Z的層厚度通常為0.1 1lam左右。
作為圖像傳感器12，通常使用作為傳感器像素12a而具有光電二極管的CMOS傳感器等。傳感器像素12a的尺寸為例如節距為50,以下、像素高度(傳感器像素12a的沿長度方向Y的長度)為0.5mm左右，排列的傳感器像素12a的數量為128 1024個左右。
如圖4所示，透光性基板4具有矩形的受光部4a和包圍受光部4a的框部4b。入射光從透光性基板4的受光部4a側向光學濾波器2入射， 入射光中的一部分的波長帶域的光被遮住，其它的波長帶域的光向圖 像傳感器12側透過。在此，框部4b的寬度Wl通常為1 3mm左右。 透光性基板4優選還具有包圍框部4b的緣部4c。另外，優選緣部 4c不被光學濾波層覆蓋而是露出的。緣部4c的寬度W2通常為0.05 lmm左右o
受光部4a具有透光區域41a、第1濾波區域42a和第2濾波區域 43a。透光區域41a位于受光部4a的長度方向的一側。另外，第1濾波 區域42a在受光部4a的長度方向上與透光區域41a鄰接。另外，第2 濾波區域43a在受光部4a的長度方向上與第1濾波區域42a鄰接、且 夾著第1濾波區域42a而位于與透光區域41a相反的一側。該受光部 4a在多個傳感器像素12a的排列方向X上較長，并且位于圖像傳感器 12的正上方。在此，透光區域41a、第1濾波區域42a和第2濾波區 域43a的各個面積相互大致相等。
優選，透光區域41a和第1濾波區域42a的邊界線45、以及第1 濾波區域42a和第2濾波區域43a的邊界線46在圖像傳感器12的正 上方相對于多個傳感器像素12a的排列方向X傾斜地交叉。邊界線45、 46分別與傳感器像素12a的排列方向X所成的角度91、 02通常分別 為70度左右。另外，邊界線45、 46通常相互平行。
第1光學濾波層6以覆蓋第1濾波區域42a、第2濾波區域43a和 框部4b的方式進行層疊。第2光學濾波層8以覆蓋第2濾波區域43a 和框部4b的方式進行層疊。在此，透光區域41a可以是不被光學濾波 層覆蓋而露出的形態，或者也可以是被光學濾波層覆蓋的形態，但是， 在本實施方式中是露出的形態。
上述的光學濾波器2和圖像傳感器12例如在衍射光柵型分光裝置 中作為高次光截止濾波器和光檢測器使用。
其次，對上述的光學濾波器2的制造方法進行說明。在本實施方 式中，通過剝離(liftoff)法制造光學濾波器2。
首先，準備圖4的透光性基板4。接著，在以覆蓋透光性基板4 的透光區域41a和緣部4c的方式施以由光刻膠(photoresist)得到的掩 模之后，通過真空鍍膜、噴濺或者CVD等，以覆蓋透光性基板4的受光部4a側的整個面的方式形成第1光學濾波層6。接著，使用丙酮等 的溶劑除去由光刻膠得到的掩模，剝離覆蓋由光刻膠得到的掩模的第1 光學濾波層6。由此，第l光學濾波層6以僅覆蓋第l濾波區域42a、 第2濾波區域43a和框部4b的方式層疊在透光性基板4上。
接著，在以覆蓋透光區域41a、層疊在第l濾波區域42a上的第l 光學濾波層6、和緣部4c的方式施以由光刻膠得到的掩模之后，以覆 蓋透光性基板4的受光部4a側的整個面的方式形成第2光學濾波層8。 接著，除去由光刻膠得到的掩模，剝離覆蓋由光刻膠得到的掩模的第2 光學濾波層8。由此，第2光學濾波層8以僅覆蓋第2濾波區域43a和 框部4b的方式層疊在第1光學濾波層6上。
如以上所述，完成了本實施方所涉及的光學濾波器2。
在上述的實施方式中，第1光學濾波層6和透光性基板4不僅在 第1濾波區域42a上相互緊貼，而且在框部4b和第2濾波區域43a上 也緊貼，因此，第1光學濾波層6和透光性基板4緊貼的部分的面積 比現有技術的大。進而，第1光學濾波層6在框部4b和第2濾波區域 43a上被第2光學濾波層8從上覆蓋。其結果，第1光學濾波層6相比 現有技術更強固地固定于透光性基板4，因此，能夠抑制因外力或隨時 間的劣化第1光學濾波層6從透光性基板4上剝離的現象。
另外，在上述的實施方式中，第2光學濾波層8和第1光學濾波 層6不僅在第2濾波區域43a相互緊貼，而且在框部4b也緊貼。其結 果，第2光學濾波層8相比現有技術更強固地固定于第1光學濾波層6， 因此，能夠抑制因外力或隨時間的劣化第2光學濾波層8從第1光學 濾波層6上剝離的現象。
進而，在本實施方式的光學濾波器2中，在包圍受光部4a的框部 4b上也依次層疊有第1光學濾波層6和第2光學濾波層8，因此，與 圖7所示的層疊型光學濾波器70相對照，露出于受光部4a內的第1 光學濾波層6的端部、以及露出于受光部4a內的第2光學濾波層8的 端部不會分別尖銳地成為銳角狀。其結果，即使在使透光區域41a和 第1濾波區域42a之間的邊界線45、以及第1濾波區域42a和第2濾 波區域43a之間的邊界線46分別相對于多個傳感器像素12a的排列方 向X傾斜地交叉的情況下，相比于圖7所示的層疊型光學濾波器70的情況，第1光學濾波層6的端部和第2光學濾波層8的端部也更難以 剝離。
另外，在上述實施方式中，即使在向光學濾波器2作用外力的情 況下，也能夠通過緣部4c而保護受光部4a和框部4b免受外力的影響。 另外，在透光性基板4中比較容易產生碎屑(chipping)的緣部4c上 沒有層疊各光學濾波層而使緣部4c露出，從而降低在緣部4c產生的 碎屑引起各光學濾波層的剝離的可能性。
另外，在上述實施方式中，透光區域41a和第1濾波區域42a之 間的邊界線45、以及第1濾波區域42a和第2濾波區域43a之間的邊 界線46相對于多個傳感器像素12a的排列方向X傾斜地交叉，因此， 各邊界線45、 46分別橫切2個以上的傳感器像素的正上方。其結果， 在光學濾波器2的各濾波區域42a、 43a的邊界線45、 46，即使在光的 透過率較低的情況下，相比于各邊界線45、 46分別橫切單一的傳感器 像素12a的正上方的情況，也能夠緩和每一個傳感器像素中的輸出的 降低。
另外，在上述實施方式中，在透光區域41a和第1濾波區域42a 的邊界、以及第1濾波區域42a和第2濾波區域43a的邊界不存在粘 結劑。其結果，相比于在邊界存在粘結劑的情況，透光區域41a和第l 濾波區域42a的邊界上的光透過率提高，位于透光區域41a和第1濾 波區域42a的邊界的正下方的傳感器像素12a的輸出(光的檢測強度) 也提高。同樣地，第1濾波區域42a和第2濾波區域43a的邊界上的 光的透過率提高，位于第1濾波區域42a和第2濾波區域43a的邊界 的正下方的傳感器像素12a的輸出(光的檢測強度)也提高。
另外，本實施方式的光學濾波器2具有使透光性基板4、第1光學 濾波層6、以及第2光學濾波層8層疊的多段構造，因此，相比于通過 在透光性基板上相互鄰接地形成多個光學濾波層而形成各個濾波區域 的情況，透光區域41a、第l濾波區域42a、以及第2濾波區域43a的 邊緣變得尖銳。這是由于通過多段構造，形成第1光學濾波層6和 第2光學濾波層8時的各光學濾波層的邊緣的塌角的影響變小，另外， 根據透光區域41a、第l濾波區域42a、以及第2濾波區域43a的校正 (alignment)的精度而難以改變邊緣的尖銳度。以上，對本發明的優選的實施方式進行了詳細說明，但是，本發 明不限于上述實施方式。
例如，在上述的實施方式中，通過剝離法制造光學濾波器2，但是， 也可以通過周知的蝕刻法來依次形成第1光學濾波層6和第2光學濾 波層8，從而制造光學濾波器2。
另外，上述的光學濾波器2可以不具有緣部4c。在該情況下，與 上述的實施方式大致同樣地，也能夠抑制各光學濾波層的剝離。
另外，如圖5、 6所示，上述實施方式的光學濾波器2還可以是 還具有層疊在第2光學濾波層8上的第3光學濾波層10，受光部4a還 具有第3濾波區域44a，該第3濾波區域44a在受光部4a的長度方向 上與第2濾波區域43a鄰接、且夾著第2濾波區域43a而位于與第1 濾波區域42a相反的一側。在該情況下，第1光學濾波層6以覆蓋第1 濾波區域42a、第2濾波區域43a、第3濾波區域44a、以及框部4b的 方式進行層疊。另外，第2光學濾波層8以覆蓋第2濾波區域43a、第 3濾波區域44a、以及框部4b的方式進行層疊。另外，第3光學濾波 層10以覆蓋第3濾波區域44a以及框部4b的方式進行層疊。在此， 第3光學濾波層10通常為具有與第1光學濾波層6和第2光學濾波層 8不同的波長透過特性的電介質多層膜。另外，透光區域41a、第l濾 波區域42a、第2濾波區域43a和第3濾波區域44a的各個面積相互大 致相等。
光學濾波器2通過還具有上述的第3光學濾波層10和第3濾波區 域44a，從而可以遮住未被第1光學濾波層6和第2光學濾波層8遮掉 的波長帶域的光。
另外，即使在光學濾波器2還具有上述的第3光學濾波層10的情 況下，與上述實施方式同樣地，也能夠抑制第1光學濾波層6和第2 光學濾波層8的剝離。進而，第3光學濾波層10和第2光學濾波層8 不僅在第3濾波區域44a上相互緊貼，而且在框部4b上也緊貼，因此， 第3光學濾波層10強固地固定于第2光學濾波層8上，能夠抑制因外 力或隨時間的劣化第3光學濾波層10從第2光學濾波層8上剝離的現 象。
另外，在光學濾波器2中，在包圍受光部4a的框部4b上也層疊的層疊型光學濾波器70相對 照，露出于受光部4a內的第3光學濾波層10的端部不會尖銳地成為 銳角狀。其結果，即使在使第2濾波區域43a和第3濾波區域44a之 間的邊界線47相對于多個傳感器像素12a的排列方向X傾斜地交叉的 情況下，相比于圖7所示的層疊型光學濾波器70的情況，第3光學濾 波層10的端部也更難以剝離。
另外，在第2濾波區域43a和第3濾波區域44a的邊界上不存在 粘結劑，相比于在邊界上存在粘結劑的情況，第2濾波區域43a和第3 濾波區域44a的邊界上的光透過率提高。因此，位于第2濾波區域43a 和第3濾波區域44a的邊界的正下方的傳感器像素12a的輸出也提高。
在此，在光學濾波器2還具有第3光學濾波層10的情況下，優選 第2濾波區域43a和第3濾波區域44a的邊界線47在圖像傳感器12 的正上方相對于多個傳感器像素12a的排列方向X傾斜地交叉。而且， 邊界線45、 46和47通常相互平行。
如果將第2濾波區域43a和第3濾波區域44a之間的邊界線47相 對于多個傳感器像素12a的排列方向X傾斜地交叉，則邊界線47橫切 2個以上的傳感器像素12a的正上方。其結果，在光學濾波器2的第2 濾波區域43a和第3濾波區域44a之間的邊界線47，即使在光透過率 降低的情況下，相比于邊界線47橫切單一的傳感器像素12a的正上方 的情況，也能夠緩和每一個傳感器像素中的輸出的降低。
上述的光學濾波器2不僅具有第1光學濾波層6、第2光學濾波層 8和第3光學濾波層10，還可以具有多個其它的光學濾波層，另外， 透光性基板4的受光部4a不僅具有第1濾波區域42a、第2濾波區域 43a和第3濾波區域44a，還可以具有多個其它的濾波區域。在該情況 下，如果假設在光學濾波器2上依次層疊有n層(n為3以上的整數) 的不同的光學濾波層，另外，透光性基板4的受光部4a從位于其長度 方向的一側的透光性區域41a開始向長度方向的相反的一側具有依次 排列的n個濾波區域，那么，能夠將光學濾波器2的構造如下所述地 一般化。S卩，在光學濾波器2中，在透光性基板4a上以覆蓋第1 第 n濾波區域和框部4b的方式層疊第1光學濾波層。另外，在第(i-2) 光學濾波層上以覆蓋第(i-O 第n濾波區域和框部4b的方式層疊第(i-l )光學濾波層(i為3以上n以下的任意的整數)。另外，在第(i-l) 光學濾波層上以覆蓋第i 第n濾波區域和框部4b的方式層疊第i光學 濾波層。即使在這樣的情況下，與上述實施方式同樣地，也能夠抑制 各個光學濾波層的剝離。
另外，在上述的實施方式中，在與透光性基板的圖像傳感器相反 的一側的面上形成光學濾波層，但是，也可以在與透光性基板的圖像 傳感器相同的一側的面上形成光學濾波層。
權利要求
1.一種光學濾波器，其特征在于，所述光學濾波器配置在具有排列的多個傳感器像素的圖像傳感器之上，所述光學濾波器具有長板狀的透光性基板；層疊在所述透光性基板上的第1光學濾波層；和層疊在所述第1光學濾波層上的第2光學濾波層，所述透光性基板具有在所述多個傳感器像素的排列方向上較長且位于所述圖像傳感器的正上方的受光部，和包圍所述受光部的框部，所述受光部具有位于所述受光部的長度方向上的一側的透光區域；在所述受光部的長度方向上與所述透光區域鄰接的第1濾波區域；和在所述受光部的長度方向上與所述第1濾波區域鄰接、且夾著所述第1濾波區域而位于與所述透光區域相反的一側的第2濾波區域，所述第1光學濾波層以覆蓋所述第1濾波區域、所述第2濾波區域以及所述框部的方式進行層疊，所述第2光學濾波層以覆蓋所述第2濾波區域以及所述框部的方式進行層疊。
2. 根據權利要求1所述光學濾波器，其特征在于， 還具有層疊在所述第2光學濾波層上的第3光學濾波層， 所述受光部還具有第3濾波區域，該第3濾波區域在所述受光部的長度方向上與所述第2濾波區域鄰接、且夾著所述第2濾波區域而 位于與所述第1濾波區域相反的一側，所述第1光學濾波層以覆蓋所述第1濾波區域、所述第2濾波區 域、所述第3濾波區域、以及所述框部的方式進行層疊，所述第2光學濾波層以覆蓋所述第2濾波區域、所述第3濾波區 域、以及所述框部的方式進行層疊，所述第3光學濾波層以覆蓋所述第3濾波區域以及所述框部的方 式進行層疊。
3. 根據權利要求1或2所述光學濾波器，其特征在于， 所述透光性基板還具有包圍所述框部的緣部。
4. 根據權利要求1 3中任意一項所述光學濾波器，其特征在于， 所述透光區域和所述第1濾波區域之間的邊界線、以及所述第1濾波區域和所述第2濾波區域之間的邊界線在所述圖像傳感器的正上 方相對于所述多個傳感器像素的排列方向傾斜地交叉。
5. 根據權利要求2 4中任意一項所述光學濾波器，其特征在于， 所述第2濾波區域和所述第3濾波區域之間的邊界線在所述圖像傳感器的正上方相對于所述多個傳感器像素的排列方向傾斜地交叉。
6. 根據權利要求1 5中任意一項所述光學濾波器，其特征在于， 在所述透光區域所述透光性基板是露出的。
7. 根據權利要求3 6中任意一項所述光學濾波器，其特征在于， 所述緣部是露出的。
全文摘要
本發明涉及一種光學濾波器(2)，其位于包含排列的多個傳感器像素(12a)的圖像傳感器(12)上，并包含長板狀的透光性基板(4)、層疊在透光性基板上的第1光學濾波層(6)、以及層疊在第1光學濾波層上的第2光學濾波層(8)。透光性基板(4)包含，在傳感器像素(12a)的排列方向(X)上較長且位于圖像傳感器(12)上的受光部(4a)，和包圍它的框部(4b)。受光部(4a)具有位于受光部的長度方向上的一側的透光區域(41a)、在受光部的長度方向上與透光區域(41a)鄰接的第1濾波區域(42a)、和在受光部的長度方向上與第1濾波區域(42a)鄰接且夾著第1濾波區域(42a)而位于與透光區域(41a)相反的一側的第2濾波區域(43a)。第1光學濾波層(6)覆蓋第1、2濾波區域(42a、43a)以及框部(4b)，第2光學濾波層(8)覆蓋第2濾波區域(43a)和框部(4b)。
文檔編號G01J3/36GK101680985SQ200880020360
公開日2010年3月24日 申請日期2008年4月23日 優先權日2007年6月22日
發明者下村文彥, 疋田勝郎, 綱島智則 申請人:浜松光子學株式會社