專利名稱：：測試裝置及測試方法
技術領域：
：本發明涉及一種測試裝置以及測試方法。本發明尤其涉及一種對被測試器件輸入施加了抖動后的測試信號，對該被測試器件進行測試的測試裝置以及測試方法。本申請案與下述日本申請案相關聯。對于承認將參照文獻并入的指定國，通過參照而將下述申請案所記載的內容并入本申請案中，作為本申請案的一部分。1.日本專利特愿2007-114637申請日2007年4月24日。
背景技術：
：對被測試器件相對于抖動的性能進行測試的測試裝置己廣為人知(例如，參照專利文獻l)。專利文獻1所記載的測試裝置包括對賦予被測試器件的測試信號施加抖動的抖動施加部；以及產生數字控制信號的抖動施加控制部，該數字控制信號表示應由抖動施加部施加的抖動。抖動施加部包括根據數字控制信號使測試信號延遲的可變延遲部。抖動施加控制部包括產生隨機數據的隨機數數據產生器以及產生正弦波數據的正弦波產生器。而且，抖動施加控制部根據自隨機數數據產生器及正弦波產生器輸出的數據，輸出表示隨機抖動的數字控制信號及表示正弦波抖動的數字控制信號。借此，根據專利文獻1所記載的測試裝置，可以將施加了隨機抖動或正弦波抖動的測試信號賦予被測試器件，以對該被測試器件的抖動性能進行測試。專利文獻l:日本專利特開2005-91108號公報。然而，對于在器件之間傳輸的傳輸信號所加的抖動，眾所周知的是由傳輸線路損耗產生的抖動以及由符號間的干擾所產生的抖動等。較理想的是，測試裝置可以對被測試器件輸入施加了由傳輸線路損耗等引起的抖動的測試信號，并對該被測試器件的抖動性能進行測試。然而存在如下的問題由傳輸線路損耗引起的抖動的大小會因在器件之間傳輸的傳輸信號的波形圖案而變得不同。
發明內容因此，本說明書中所包含的發明一個方面的目的在于提供一種能夠解決上述技術問題的測試裝置以及測試方法。該目的由權利要求書中的獨立權利要求所述的特征組合來實現。并且，從屬權利要求規定了本發明的更為有利的具體例。為了解決上述問題，根據與本說明書中所包含的發明相關聯的第1方面的測試裝置的一例，提供一種測試裝置，其是對被測試器件進行測試的測試裝置，包括圖案生成部，產生用于規定應供給至被測試器件的測試信號的測試圖案；時序信號產生部，產生表示將測試信號供給至被測試器件的時序的時序信號；數字濾波器，對測試圖案進行濾波，輸出表示與測試圖案相對應的抖動的抖動控制信號；抖動施加部，根據抖動控制信號而使時序信號延遲，借此將抖動施加至時序信號；以及波形成形部，以施加了抖動的時序信號為基準，生成己形成了測試圖案的測試信號。另外，根據與本說明書中所包含的發明相關聯的第2方面的測試裝置的一例，提供一種測試裝置，其是對被測試器件進行測試的測試裝置，包括信號輸出部，將測試信號輸出至上述被測試器件；信號輸入部，輸入根據測試信號而自被測試器件輸出的輸出信號；圖案生成部，產生用于規定應自被測試器件輸出的輸出信號的預期值圖案；時序信號產生部，產生表示對預期值圖案與輸出信號進行比較的時序的選通信號；數字濾波器，對預期值圖案進行濾波，輸出表示與預期值圖案相對應的抖動的抖動控制信號；抖動施加部，根據抖動控制信號而使選通信號延遲，以此使抖動施加至選通信號；以及比較部，以施加了抖動的選通信號的時序，對輸出信號與預期值圖案進行比較。另外，根據與本說明書中所包含的發明相關聯的第3方面的測試方法的一例，本發明提供一種測試方法，其是對被測試器件進行測試的測試方法，包括產生測試圖案的階段，該測試圖案用于規定應供給至被測試器件的測試信號；產生時序信號的階段，該時序信號表示將測試信號供給至被測試器件的時序；對測試圖案進行濾波，并輸出表示與測試圖案相對應的抖動的抖動控制信號的階段；根據抖動控制信號而使時序信號延遲，借此來將抖動施加至時序信號的階段；以及以施加了抖動的時序信號為基準，生成己形成了測試圖案的測試信號的階段。另外，根據與本說明書中所包含的發明相關聯的第4方面的測試方法的一例，提供一種測試方法，其是對被測試器件進行測試的測試方法，包括將測試信號輸出至被測試器件的階段；輸入輸出信號的階段，該輸出信號是根據測試信號而自被測試器件輸出的信號；產生預期值圖案的階段，該預期值圖案用于規定應自被測試器件輸出的輸出信號；產生選通信號的階段，該選通信號表示對預期值圖案與輸出信號進行比較的時序；對預期值圖案進行濾波，并輸出表示與預期值圖案相對應的抖動的抖動控制信號的階段；根據抖動控制信號而延遲選通信號，以此使抖動施加至選通信號的階段；以及以施加了抖動的選通信號的時序，對輸出信號與預期值圖案進行比較的階段。上述發明概要并未列舉出本發明的所有必要特征，這些特征群的次組合也可以成為發明。圖1與被測試器件100—起表示本發明的實施方式涉及的測試裝置20的構成。圖2表示本發明的實施方式的抖動控制部26以及抖動施加部28的構成。圖3表示本發明的實施方式的可變延遲部42的構成的一例。圖4表示經過傳輸線路前的邏輯反轉頻率高的信號波形以及經過傳輸線路后的邏輯反轉頻率高的信號波形。圖5表示經過傳輸線路前的邏輯反轉頻率低的信號波形以及經過傳輸線路后的邏輯反轉頻率低的信號的波形。圖6表示由本發明的實施方式涉及的任意波形產生部58生成的顯示正弦波抖動的任意波形抖動信號的產生概率。圖7表示本發明的實施方式的隨機抖動產生部60的構成的一例。圖8表示由本發明的實施方式的隨機抖動產生部60生成的隨機抖動信號的產生概率。圖9表示將顯示正弦波抖動的任意波形抖動信號與隨機抖動信號相加所得的抖動信號的產生概率。圖10與被測試器件100—起表示本發明的實施方式的第1變形例的測試裝置20的構成。圖11表示本發明的實施方式涉及的第2變形例的時序信號產生部24的構成與抖動控制部26。附圖標記說明20:測試裝置22:圖案生成部24:時序信號產生部26:抖動控制部28:抖動施加部30:波形成形部32、44:信號輸出部34、40:信號輸入部36:比較部42:可變延遲部56:數字濾波器58:任意波形產生部<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>414:微小延遲電路416:抖動施加切換部具體實施例方式下面根據發明的實施方式來對本發明進行說明，但以下的實施方式并不對申請專利范圍的發明進行限定，且在實施方式中所說明的特征的組合，并非全部是發明解決手段中所必需的。圖1表示本發明的實施方式的測試裝置20的構成與被測試器件100。測試裝置20將施加了抖動的測試信號輸出至被測試器件100，并根據該測試信號對自被測試器件100輸出的輸出信號與預期值進行比較，借此來對被測試器件100進行測試。測試裝置20包括圖案生成部22、時序信號產生部24、抖動控制部26、抖動施加部28、波形成形部30、信號輸出部32、信號輸入部34以及比較部36。圖案生成部22產生用于規定應供給至被測試器件100的測試信號的測試圖案。作為圖案生成部22的一例，可以產生用于規定應供給至被測試器件100的測試信號的波形的測試圖案。更具體而言，作為圖案生成部22的一例，可以在每個規定的測試周期中產生一種測試圖案，該測試圖案用于指定測試信號的上升邊緣距離基準時序的延遲量以及測試信號的下降邊緣距離基準時序的延遲量。此外，圖案生成部22產生規定一種輸出信號的預期值圖案，該輸出信號應根據測試信號的供給而自被測試器件100輸出。例如，圖案生成部22可以產生用于規定應該從被測試器件100輸出的輸出信號的邏輯值的預期值圖案。時序信號產生部24產生時序信號，該時序信號表示將測試信號供給至被測試器件100的時序。作為一例，時序信號產生部24可以產生表示測試周期中的基準時序的時序信號。此外，時序信號產生部24產生選通信號，該選通信號表示對預期值圖案與輸出信號進行比較的時序。抖動控制部26輸出抖動控制信號，該抖動控制信號表示應施加至測試信號的抖動。作為一例，抖動控制部26可以輸出數字值來作為抖動控制信號，該數字值表示應施加至測試信號的抖動的大小。抖動施加部28根據抖動控制信號而使時序信號延遲，借此來將抖動施加至時序信號。作為抖動施加部28的一例，可以在每個測試周期中，使由時序信號產生部24產生的時序信號延遲由抖動控制信號表示的值。接著，抖動施加部28將施加了抖動的時序信號供給至波形成形部30。波形成形部30以施加了抖動的時序信號為基準，生成已形成了測試圖案的測試信號。即，波形成形部30以施加了抖動的時序信號為基準，生成由測試圖案所規定的波形的測試信號。作為波形成形部30的一例，可以按測試圖案指定的上升邊緣的延遲量使施加了抖動的時序信號延遲，并以己延遲的該時序信號的時序而生成上升的測試信號。又，作為波形成形部30的一例，可以按測試圖案指定的下降邊緣的延遲量使施加了抖動的時序信號延遲，并以已延遲的該時序信號的時序而生成下降的測試信號。信號輸出部32將由波形成形部30生成的測試信號輸出至被測試器件100。信號輸入部34根據測試信號而輸入自被測試器件100輸出的輸出信號。比較部36在由時序信號產生部24產生的選通信號的時序中，比較由信號輸入部34輸入的輸出信號與由圖案生成部22產生的預期值圖案。作為比較部36的一例，可以按照選通信號的時序，來對輸出信號的邏輯值與由預期值圖案規定的邏輯值進行比較。接著，比較部36輸出輸出信號與預期值圖案的比較結果。圖2表示本實施方式涉及的抖動控制部26以及抖動施加部28的構成。抖動施加部28包括信號輸入部40、可變延遲部42以及信號輸出部44。信號輸入部40輸入由時序信號產生部24產生的時序信號，并將所輸入的時序信號供給至可變延遲部42。可變延遲部42使由可變延遲部42輸入的時序信號延遲如下的延遲量該延遲量與由抖動控制部26供給的抖動控制信號所指定的抖動的大小相對應。借此，根據可變延遲部42，可以將由抖動控制信號指定的大小的抖動施加至時序信號。信號輸出部44將由可變延遲部42施加了抖動的時序信號供給至波形成形部30。抖動控制部26包括數字濾波器56、任意波形產生部58、隨機抖動產生部60、AD轉換器62、加法部64、增益控制部66、施加控制部68、外部時鐘輸入部70、內部時鐘產生部72以及時鐘選擇部74。數字濾波器56對由圖案生成部22產生的測試圖案進行濾波，生成表示與測試圖案相對應的抖動的圖案相關抖動信號。更具體而言，數字濾波器56由對測試圖案進行濾波，來生成表示依賴于測試信號的波形的抖動的圖案相關抖動信號。任意波形產生部58產生表示任意波形的抖動的任意波形抖動信號。作為任意波形產生部58的一例，可以輸出表示正弦波抖動的任意波形抖動信號。隨機抖動產生部60產生表示隨機抖動的隨機抖動信號。AD轉換器62對由外部的模擬信號源產生的模擬信號進行取樣，輸出表示與取得的模擬信號相對應的抖動的模擬抖動信號。加法部64輸出自數字濾波器56輸出的圖案相關抖動信號來作為抖動控制信號。借此，加法部64可以輸出表示與測試圖案相對應的抖動的抖動控制信號。進一步地，加法部64還可以根據用于指定應施加至測試信號的抖動的種類的相加控制信號，來選擇任意波形抖動信號、隨機抖動信號及模擬抖動信號中的至少一個，并輸出如下的抖動控制信號，該抖動控制信號是將所選擇的抖動信號與圖案相關抖動信號相加而獲得的信號。亦即，作為加法部64的一例，可以將表示與測試圖案相對應的抖動不同種類的抖動的抖動信號，與表示對應于測試圖案的抖動的抖動控制信號相加。加法部64可以自例如圖案生成部22及該測試裝置20的控制器等輸入相加控制信號。另外，作為加法部64的一例，可以輸出任意波形抖動信號、隨機抖動信號及模擬抖動信號中的任一個信號來作為抖動控制信號。另外，作為加法部64的一例，也可以輸出如下的信號來作為抖動控制信號該信號是將任意波形抖動信號、隨機抖動信號及模擬抖動信號中的任意2個或2個以上相加而獲得的信號。增益控制部66根據增益控制信號，使自加法部64輸出的抖動控制信號放大或衰減。上述增益控制信號規定應施加至測試信號的抖動的增益。作為增益控制部66的一例，當用二進制碼表示抖動控制信號時，可以通過移位運算使抖動控制信號放大或衰減。增益控制部66例如可以從圖案產生部22及該測試裝置20的控制器等輸入增益控制信號。施加控制部68輸入施加控制信號，該施加控制信號用于指定是否將抖動施加至時序信號，當指定不施加抖動時，將抖動控制信號設為不施加抖動的值。亦即，當施加控制部68由施加控制信號指定不施加抖動時，將抖動控制信號設為使時序信號不會被可變延遲部42延遲的值。借此，根據施加控制部68，可以實時控制是否將抖動施加至測試信號。施加控制部68可以自例如圖案生成部22及該測試裝置20的控制器等輸入施加控制信號。外部時鐘輸入部70輸入與抖動施加部28輸入的時序信號同步的外部時鐘信號，即，輸入與該測試裝置20的系統時鐘同步的外部時鐘信號。然后，外部時鐘輸入部70將所輸入的外部時鐘信號提供給時鐘選擇部74。內部時鐘產生部72產生與輸入至抖動施加部28的時序信號不同步的內部時鐘信號。S卩，產生與該測試裝置20的系統時鐘不同步的內部時鐘信號。作為一例，內部時鐘產生部72可以是晶體振蕩器等。另外，內部時鐘產生部72將所產生的內部時鐘信號供給至時鐘選擇部74。時鐘選擇部74輸入時鐘選擇信號，該時鐘選擇信號指定外部時鐘信號或內部時鐘信號中的任一個信號。時鐘選擇部74根據時鐘選擇信號，來輸出外部時鐘信號及內部時鐘信號中的任一個信號作為時鐘信號。時鐘選擇部74可以自例如圖案生成部22及該測試裝置20的控制器等輸入時鐘選擇信號。時鐘選擇部74將時鐘信號供給至任意波形產生部58、隨機抖動產生部60以及AD轉換器62。接著，任意波形產生部58產生與自時鐘選擇部74輸出的時鐘信號同步的任意波形抖動信號。隨機抖動產生部60產生與自時鐘選擇部74輸出的時鐘信號同步的隨機抖動信號。AD轉換器62由從時鐘選擇部74輸出的時鐘信號來對模擬信號進行取樣。因此，時鐘選擇部74可以將與該測試裝置20的系統時鐘同步的任意波形抖動、隨機抖動以及與模擬信號相對應的抖動施加至時序信號。又，時鐘選擇部74可以將不與該測試裝置20的系統時鐘同步的任意波形抖動、隨機抖動以及與模擬信號相對應的抖動施加至時序信號。根據如上所述的抖動控制部26以及抖動施加部28，可以將與測試圖案相對應的抖動施加至測試信號。而且，通過抖動控制部26以及抖動施加部28，除了可以施加與測試圖案相對應的抖動之外，還可以將正弦波抖動等任意波形抖動、隨機抖動、與模擬信號相對應的抖動等的與測試圖案無關的，由其他原因引起的抖動施加至測試信號。圖3表示本實施方式的可變延遲部42的構成的一例。可變延遲部42包括串連配置的多個延遲元件200、對應于多個延遲元件200而設置的多個選擇器202以及選擇器控制部204。多個延遲元件200的各個分別按照各個延遲量使所輸入的時序信號延遲后，輸出這些時序信號。多個延遲元件200中，初段的延遲元件200使由信號輸入部40輸入的時序信號延遲。初段以外的延遲元件200使由與前段的延遲元件200相對應的選擇器202所輸出的時序信號延遲。末段的延遲元件200經由信號輸出部44而將時序信號輸出至外部。多個選擇器202的各個選擇經過相應延遲元件200的時序信號、或未經過相應延遲元件200的時序信號(亦即，自與前段的延遲元件200相對應的選擇器202輸出的時序信號)中的任一個信號。接著，多個選擇器202的各個輸出所選擇的時序信號。選擇器控制部204根據自抖動控制部26輸出的抖動控制信號來對多個選擇器202的各個進行控制，以選擇經過相應延遲元件200的時序信號，或選擇未經過相應延遲元件200的時序信號。更具體而言，選擇器控制部204對多個選擇器202進行控制，使得自信號輸入部40至信號輸出部44為止的總延遲量，成為與自抖動控制部26輸出的抖動控制信號所表示的抖動的大小相對應的值。借此，根據可變延遲部42，可以使時序信號延遲與由抖動控制信號所表示的抖動的大小相對應的延遲量。另外，作為可變延遲部42的一例，可以用包括模擬可變延遲電路與DA轉換部來代替多個延遲元件200、多個選擇器202以及選擇器控制部204。模擬可變延遲電路使時序信號延遲與模擬控制信號相對應的延遲量。作為模擬可變延遲電路的一例，可以根據模擬控制信號而使緩沖電路的輸出容量產生變化，借此使經過該緩沖電路的時序信號延遲。又，作為模擬可變延遲電路的一例，可以根據模擬控制信號而使施加至緩沖電路的驅動電流產生變化，借此使經過該緩沖電路的時序信號延遲。DA轉換部將模擬控制信號賦予模擬可變延遲電路，該模擬控制信號是對抖動控制信號進行DA轉換而獲得的信號。根據此種可變延遲部42，可以更細微且高速地控制延遲量。另外，可變延遲部42除了可以包括多個延遲元件200、多個選擇器202以及選擇器控制部204以外，更可以包括模擬可變延遲電路以及DA轉換部。在該情形時，模擬可變延遲電路例如串連地連接于多個延遲元件200的后段。又，DA轉換部將自選擇器控制部204輸出的數字信號進行DA轉換而獲得的模擬控制信號賦予模擬可變延遲電路。選擇器控制部204將自抖動控制部26輸入的數字抖動控制信號，分割成如下的兩種數字信號，即表示被多個延遲元件200延遲的粗延遲量的數字信號，及表示被模擬可變延遲電路延遲的微小延遲量的數字信號。而且，選擇器控制部204根據表示粗延遲量的數字信號來對多個選擇器202進行切換。選擇器控制部204將表示微小延遲量的數字信號賦予DA轉換部。圖4表示經過傳輸線路前的邏輯反轉頻率高的信號的波形以及經過傳輸線路后的邏輯反轉頻率高的信號的波形。圖5表示經過傳輸線路前的邏輯反轉頻率低的信號的波形以及經過傳輸線路后的邏輯反轉頻率低的信號的波形。數字濾波器56對自圖案生成部22輸出的測試圖案進行數字濾波，借此來生成圖案相關抖動信號，該圖案相關抖動信號表示根據測試信號的波形而施加于該測試信號的抖動。借此，數字濾波器56可以生成表示由符號間的干擾及傳輸線路損耗等產生的抖動的信號。此處，傳輸線路損耗引起的抖動，因經過傳輸線路的信號穩定特性劣化而產生。然而，對于圖4所示的高頻信號而言，即便穩定特性變差，也由于在穩定期間經過之前(即，在完全到達下一個邏輯電平之前)就會開始下一個變化，因而抖動小。相對于此，對于圖5所示的L電平(或H電平)的經過長時間后發生邏輯反轉的信號而言，與穩定特性變差相對應的延遲會直接反映于抖動，因此抖動大。因此，當輸入指定低頻率的波形的測試圖案時，數字濾波器56可以進行濾波以增大將要輸出的圖案相關抖動信號，當輸入指定高頻率的波形的測試圖案時，該數字濾波器56可以進行濾波以減小將要輸出的圖案相關抖動信號。更具體而言，例如當輸入指定H邏輯或L邏輯中的任一個長期連續的波形的測試圖案時，數字濾波器56增大將要輸出的圖案相關抖動信號。又，例如，當輸入指定H邏輯及L邏輯以短周期交替重復的波形的測試圖案時，數字濾波器56減小將要輸出的圖案相關抖動信號。藉此，根據數字濾波器56，可以生成表示由傳輸線路損耗引起的抖動的圖案相關抖動信號。圖6表示由本實施方式的任意波形產生部58生成的顯示正弦波抖動的任意波形抖動信號的產生概率。作為任意波形產生部58的一例，可以與時鐘信號同步地循環依序讀出預先儲存的表示一個周期的抖動波形的離散值數據，借此來輸出表示任意波形抖動的任意波形抖動信號。借此，任意波形產生部58可以將正弦波抖動、矩形波抖動、集中分布表示的抖動以及由二項分布表示的抖動等施加至測試信號。作為任意波形產生部58的一例，可以在進行測試之前，先自外部的記憶體及儲存媒體等輸入表示抖動波形的離散值數據。特別地，作為任意波形產生部58的一例，可以與時鐘信號同步地循環依序讀出預先儲存的表示一個周期的正弦波信號的離散值數據。借此，任意波形產生部58可以輸出由圖6的概率分布所顯示的表示正弦波抖動的任意波形抖動信號。圖7表示本實施方式的隨機抖動產生部60的構成的一例。圖8表示由本實施方式的隨機抖動產生部60生成的隨機抖動信號的產生概率。作為隨機抖動產生部60的一例，可以包括線性反饋移位寄存器(LFSR)300、加法部302、半值減法部304以及隨機抖動輸出部306。LFSR300包括規定段的移位寄存器310，并自移位寄存器310的末段的寄存器產生虛擬隨機信號。更詳細而言，LFSR300通過進行如下處理以產生虛擬隨機信號。首先，LFSR300進行儲存在寄存器中的比特值的"異或"運算，該寄存器是由移位寄存器310中的用于產生虛擬隨機序列的不可約多項式所規定的寄存器。其次，LFSR300將儲存在末段的寄存器中的比特值作為虛擬隨機信號而輸出，對移位寄存器310內的各比特値進行移位。隨后，LFSR300將"異或"運算結果儲存至初段的寄存器。LFSR300在每個時鐘周期中重復以上的處理。借此，LFSR300可以通過簡單的構成來產生虛擬隨機信號。在各個時鐘周期中，加法部302輸出相加值，該相加值是將LFSR300內的移位寄存器310所含的多個寄存器的比特値相加而獲得的值。半值減法部304輸出自相加值減去儲存加法部302加算之比特値的多個寄存器的數的半值而獲得的半值相減值。例如，當移位寄存器310中所含的寄存器數例如為n個時，半值減法部304輸出從加法部302計算出的相加值減去(n/2)而獲得的半值相減值。隨機抖動輸出部306輸出與半值相減值相對應的隨機抖動信號。此處，由LFSR300生成的虛擬隨機信號中，0(或l)的產生概率非常接近于50%。同時，當移位寄存器310為n段時，僅在移位寄存器310內一個寄存器中儲存l(或0)的概率為1/(2il)。因此，將所有儲存于寄存器的比特値相加所得的相加值減半而獲得的隨機抖動信號的波形，接近于如圖8所示的以0為波峰的正態分布。由此，根據圖7的隨機抖動產生部60,可以由簡單的構成來產生表示隨機抖動的隨機抖動信號。再者，作為LFSR300的一例，可以在進行測試之前，先自外部的記憶體及儲存媒體等輸入表示虛擬隨機信號的種類的值，并將該值儲存至移位寄存器310。圖9表示將顯示正弦波抖動的任意波形抖動信號與隨機抖動信號相加所得的抖動信號的產生概率。作為加法部64的一例，可以將如下的抖動信號作為抖動控制信號輸出，該抖動信號是將由任意波形產生部58生成的任意波形抖動信號與由隨機抖動產生部60生成的隨機抖動信號相加而獲f尋的抖動信號。例如，施加至半導體器件之間傳輸的信號的抖動中，包括如正弦波抖動的由確定的原因產生的抖動以及由不確定的原因產生的隨機抖動。加法部64可以任意地對與測試圖案相對應的抖動、正弦波抖動等任意波形抖動、隨機抖動以及與模擬信號相對應的抖動進行組合，借此將這些抖動相加。因此，根據測試裝置20，可以再現由多個原因產生的抖動，并將該抖動施加至測試信號。圖10表示本實施方式的第1變形例的測試裝置20的構成與被測試器件100。本變形例的測試裝置20采用了與圖1所示的相同符號的組件大致相同的構成及功能，因此在下文中，除了對不同點進行說明以外，省略其余的說明。抖動施加部28將抖動施加至選通信號，而非施加至時序信號。亦即，抖動施加部28根據抖動控制信號，使自時序信號產生部24供給至比較部36的選通信號延遲，借此來將抖動施加至選通信號。抖動控制部26輸出表示應施加至輸出信號的抖動的抖動控制信號，而非表示應施加至測試信號的抖動的抖動控制信號。而且，抖動控制部26所具有的數字濾波器56對預期值圖案進行濾波，而非對測試圖案進行濾波，然后輸出表示與預期值圖案相對應的抖動的抖動控制信號。比較部36以施加了抖動的選通信號的時序，來對輸出信號與預期值圖案進行比較。如上所述的變形例的測試裝置20，將與預期值圖案相對應的抖動，施加至表示輸出信號與預期值的比較時序的選通信號。借此，根據變形例的測試裝置20，在與預期值圖案相對應的抖動施加至輸出信號時，可以獲得將輸出信號與預期值的比較結果。再者，測試裝置20亦可以同時具備將與測試圖案相對應的抖動施加至圖l所示的時序信號的時序信號產生部24及抖動控制部26;以及將與預期值圖案相對應的抖動施加至圖IO所示的選通信號的時序信號產生部24及抖動控制部26。圖11表示本實施方式的第2變形例的時序信號產生部24的構成與抖動控制部26。本變形例的測試裝置20采用了與圖1所示的相同符號的組件大致相同的構成及功能，因此在下文中，除了對不同點進行說明以外，省略其余的說明。本變形例的測試裝置20不具備抖動施加部28，時序信號產生部24在內部將與抖動控制信號相對應的抖動施加至時序信號。即，時序信號產生部24輸出已預先施加了與抖動控制信號相對應的抖動的時序信號。作為本變形例的時序信號產生部24的一例，包括第1相加器402、第2相加器404、累加部406、鎖存器408、第3相加器410、粗延遲電路412以及微小延遲電路414。另外，本變形例的抖動控制部26輸出抖動控制信號以及由該抖動控制信號表示的抖動的平均值。第1相加器402從表示測試周期的比率數據減去抖動平均值。借此，抖動控制部26相對于產生無抖動的波形(邊緣)的時序，可以在正方向以及負方向上施加抖動。第2相加器404輸出延遲控制值，該延遲控制值是將延遲數據、已減去抖動平均值的比率數據以及抖動控制信號相加而獲得的值。延遲數據表示應產生由測試圖案規定的波形(邊緣)的時序距離測試周期的基準時序的延遲量。累加部406輸出累積延遲控制值，該累積延遲控制值是將自第2相加器404輸出的延遲控制值、與自第3相加器410輸出的值相加而獲得的值。鎖存器408使自累加部406輸出的累積延遲控制值延遲一個測試周期。第3相加器410，將自鎖存器408輸出的累積延遲控制值與抖動控制信號相加而獲得的值，賦予累加部406。借此，累加部406可以輸出累積延遲控制值，該累積延遲控制值是對自第2相加器404輸出的延遲控制值進行累積相加而獲得的值。粗延遲電路412按照與累積延遲控制值的高位比特的值相對應的延遲量，使作為測試周期的基準的基準時鐘延遲。作為粗延遲電路412的一例，可以按照動作時鐘的周期單位的延遲量使基準時鐘延遲。微小延遲電路414按照與累積延遲控制值的低位比特的值相對應的延遲量，使己被粗延遲電路412延遲的基準時鐘延遲。作為微小延遲電路414的一例，可以按照不足該時序信號產生部24的動作時鐘的微小的延遲量，使基準時鐘延遲。接著，微小延遲電路414將已延遲的基準時鐘作為時序信號而輸出至外部。抖動施加切換部416將自抖動控制部26輸出的抖動控制信號，切換輸出至第2相加器404或累加部406。抖動施加切換部416根據自例如圖案生成部22及該測試裝置20的控制器等輸出的切換控制信號，來切換抖動控制信號的輸出目的地。根據此種構成的時序信號產生部24，可以輸出如下的時序信號，該時序信號已預先施加了與自抖動控制部26輸出的抖動控制信號相對應的抖動。此外，根據時序信號產生部24，由于通過第2相加器404來將抖動控制信號施加至延遲數據，因而可以將與施加于前后測試周期的波形的抖動無關的抖動，施加至該測試周期的時序信號。亦即，根據時序信號產生部24，可以將瞬時的抖動施加至時序信號。借此，根據抖動控制部26，可以將如正弦波抖動的由確定的原因產生的抖動施加至測試信號。還有，根據時序信號產生部24，由于通過第3相加器410來將抖動控制信號施加至累積延遲控制值，因而可以將經累積相加的抖動施加至時序信號。借此，根據抖動控制部26，可以將模擬在振蕩信號的中心頻率附近產生的SSB噪聲的抖動施加至時序信號。因此，根據抖動控制部26，可以將以振蕩電路及PLL電路等的相位噪聲為主成分的抖動施加至測試信號。以上內容使用實施例說明了本發明，但本發明的保護范圍不受上述實施例所限定，任何熟悉本領域技術的人員都明白，在不脫離本發明的宗旨和范圍內，可作多種多樣的變更改進，因此，其變更或改進均包含在本發明的保護范圍之內。2權利要求1.一種測試裝置，是對被測試器件進行測試的測試裝置，其特征在于所述測試裝置包括圖案生成部，產生用于規定應供給至上述被測試器件的測試信號的測試圖案；時序信號產生部，產生表示將測試信號供給至上述被測試器件的時序的時序信號；數字濾波器，對所述測試圖案進行濾波，輸出表示與所述測試圖案相對應的抖動的抖動控制信號；抖動施加部，根據所述抖動控制信號而使所述時序信號延遲，借此將抖動施加至所述時序信號；以及波形成形部，以施加了抖動的所述時序信號為基準，生成已形成所述測試圖案的測試信號。2.根據權利要求l所述的測試裝置，其特征在于還包括施加控制部，其輸入用于指定是否對所述時序信號施加抖動的施加控制信號，當被指定不施加抖動時，將所述抖動控制信號設為不施加抖動的值。3.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于還包括加法部，將表示與對應于測試圖案的抖動不同種類的抖動的抖動信號，與所述抖動控制信號相加。4.根據權利要求1所述的測試裝置，其特征在于還包括隨機抖動產生部，輸出表示隨機抖動的隨機抖動信號；以及加法部，將所述隨機抖動信號與所述抖動控制信號相加，所述隨機抖動產生部包括線性反饋移位寄存器，包括規定段的移位寄存器，并自所述移位寄存器中末段的寄存器產生虛擬隨機信號；加法部，輸出相加值，所述相加值是將所述移位寄存器中所含的多個寄存器的比特値相加而獲得的值；半值減法部，輸出半值相減值，所述半值相減值是從所述相加值減去多個寄存器數的半值而獲得的值，所述多個寄存器用于儲存由所述加法部相加的比特値；以及隨機抖動輸出部，輸出與所述半值相減值相對應的所述隨機抖動信號。5.—種測試裝置，是對被測試器件進行測試的測試裝置，其特征在于所述測試裝置包括信號輸出部，將測試信號輸出至所述被測試器件；信號輸入部，輸入根據所述測試信號而自所述被測試器件輸出的輸出信號；圖案生成部，產生用于規定應自所述被測試器件輸出的輸出信號的預期值圖案；時序信號產生部，產生表示對所述預期值圖案與所述輸出信號進行比較的時序的選通信號；數字濾波器，對所述預期值圖案進行濾波，輸出表示與所述預期值圖案相對應的抖動的抖動控制信號；抖動施加部，根據所述抖動控制信號而使所述選通信號延遲，以此來將抖動施加至所述選通信號；以及比較部，以施加了抖動的所述選通信號的時序，來對所述輸出信號與所述預期值圖案進行比較。6.—種測試方法，是對被測試器件進行測試的測試方法，其特征在于所述測試方法包括產生測試圖案的階段，所述測試圖案用于規定應供給至所述被測試器件的測試信號；產生時序信號的階段，所述時序信號表示將測試信號供給至所述被測試器件的時序；對所述測試圖案進行濾波，并輸出表示與所述測試圖案相對應的抖動的抖動控制信號的階段；根據所述抖動控制信號而使所述時序信號延遲，由此來將抖動施加至所述時序信號的階段；以及以施加了抖動的所述時序信號為基準，生成形成所述測試圖案的測試信號的階段。7.—種測試方法，其是對被測試器件進行測試的測試方法，其特征在于所述測試方法包括將測試信號輸出至所述被測試器件的階段；根據所述測試信號，輸入從所述被測試器件輸出的輸出信號的階段；產生預期值圖案的階段，所述預期值圖案用于規定應自所述被測試器件輸出的輸出信號；產生選通信號的階段，所述選通信號表示對所述預期值圖案與所述輸出信號進行比較的時序；對所述預期值圖案進行濾波，并輸出表示與所述預期值圖案相對應的抖動的抖動控制信號的階段；根據所述抖動控制信號而使所述選通信號延遲，由此對所述選通信號施加抖動的階段；以及在施加了抖動的所述選通信號的時序中，對所述輸出信號與所述預期值圖案進行比較的階段。全文摘要本發明提供一種測試裝置，是對被測試器件進行測試的測試裝置，包括產生用于規定應供給至被測試器件的測試信號的測試圖案的圖案生成部；產生表示將測試信號供給至被測試器件時序的時序信號的時序信號產生部；對測試圖案進行濾波，輸出表示與測試圖案相對應的抖動的抖動控制信號的數字濾波器；根據抖動控制信號而使時序信號延遲，借此將抖動施加至時序信號的抖動施加部；以及波形成形部，以施加了抖動的時序信號為基準，生成已形成測試圖案的測試信號。文檔編號G01R31/3183GK101657731SQ20088001237公開日2010年2月24日申請日期2008年4月21日優先權日2007年4月24日發明者岡安俊幸,渡邊大輔申請人:愛德萬測試株式會社