專利名稱：高靜壓電容傳感器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種測量壓力的傳感器，特別是一種高靜壓電容傳感器。
背景技術：
一般常用的電容差壓/壓力傳感器均是采用平行板電容器原理，其結構如
圖2所示，包括左膜座l、右膜座2、測量膜片3、隔離膜片4及焊環5，其中， 左膜座1和右膜座2的曲面相對與夾在中間的所述測量膜片3焊接在一起，左 膜座1和右膜座2的外端面均焊接有隔離膜片4和焊環5。該傳感器的加工工藝 流程如下先將絕緣體(陶瓷體或玻璃體)與金屬外殼，在高溫下采用陶瓷金屬 化方法燒結在一起，然后對膜座的基底(絕緣體)進行研磨，加工成所需的曲面， 再在此基底上鍍金屬膜層，之后在此金屬膜層上鍍絕緣膜層，最后將按上述工 藝制成的膜座曲面相對與夾在中間的測量膜片3焊接在一起。由于左膜座1和 右膜座2與測量膜片3焊接在一起，在高靜壓作用下，左膜座1和右膜座2與 '測量膜片3的焊接處變形產生較大的應力，導致測量膜片3失穩，直接影響電 容結構的變化，最終導致測量結果不準確。 實用新型內容 。
本實用新型所要解決的技術問題在于對膜座與測量膜片的焊接處進行加 固，以提高傳感器測量結果的精確性。
為了解決上述問題，本實用新型的技術方案為 一種高靜壓電容傳感器，包括左膜座、右膜座、測量膜片、隔離膜片及焊環，其中，左膜座和右膜座的 曲面相對與夾在中間的所述測量膜片焊接在一起，所述左膜座和右膜座的外端 面各焊接有隔離膜片和焊環，所述左膜座的內端固套有左壓環，所述右膜座的 內端固套有右壓環，該右壓環和所述左壓環焊接在一起。
本實用新型通過設在左膜座、右膜座及測量膜片焊接處的壓環，對膜座進 行加固，有利于增加測量結果的精確性。
圖1為本實用新型的結構示意圖2為改進前電容傳感器的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例進一步對本實用新型加以說明。
如圖1所示，高靜壓電容傳感器主要由左膜座1、右膜座2、測量膜片3、 隔離膜片4及焊環5組成，其中，左膜座1和右膜座2均由金屬外殼、玻璃體 及金屬膜層固接成一體，在金屬座和玻璃體的中央設有貫通的硅油腔，在硅油 腔內裝有硅油，金屬膜層的內側與導線8的一端連接，導線8的另一端經金屬 座上的引線孔穿出。加工時，先將左壓環6套在左膜座1的右端，右壓環7套 在右膜座2的左端，再將左膜座1和右膜座2的曲面相對與夾在中間的測量膜 片3焊接在一起，然后再將右壓環7和左壓環6移動到中間焊接在一起，再將 右壓環7和左壓環6分別焊接在右膜座2和左膜座1上。最后在左膜座1和右 膜座2的外端面分別焊接隔離膜片4和焊環5。
權利要求1. 一種高靜壓電容傳感器，包括左膜座(1)、右膜座(2)、測量膜片(3)、隔離膜片(4)及焊環(5)，其中，左膜座(1)和右膜座(2)的曲面相對與夾在中間的所述測量膜片(3)焊接在一起，所述左膜座(1)和右膜座(2)的外端面各焊接有隔離膜片(4)和焊環(5)，其特征在于所述左膜座(1)的內端固套有左壓環(6)，所述右膜座(2)的內端固套有右壓環(7)，該右壓環(7)和所述左壓環(6)焊接在一起。
專利摘要本實用新型公開了一種高靜壓電容傳感器，包括左膜座、右膜座、測量膜片、隔離膜片及焊環，其中，左膜座和右膜座的曲面相對與夾在中間的所述測量膜片焊接在一起，所述左膜座和右膜座的外端面各焊接有隔離膜片和焊環，所述左膜座的內端固套有左壓環，所述右膜座的內端固套有右壓環，該右壓環和所述左壓環焊接在一起。本實用新型通過設在左膜座、右膜座及測量膜片焊接處的壓環，對膜座進行加固，有利于增加測量結果的精確性。
文檔編號G01L13/02GK201247118SQ20082009940
公開日2009年5月27日 申請日期2008年7月10日 優先權日2008年7月10日
發明者陳明萬 申請人:重慶市偉岸測器制造有限公司