專利名稱：一種三維調節座的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種三維調節座。
背景技術：
現有的三維調節座X、 Y、 Z三個方向的調節是利用導軌副或燕尾槽、 螺紋副或微分頭單獨控制每一單方向的移動，把三者的移動組合起來實現 X、 Y、 Z的三維調節。現有的三維調節座需要分別獨立地實現X、 Y、 Z 三個方向的調節，結構比較復雜。 發明內容
本實用新型就是為了克服以上的不足，提出了一種結構簡單的三維調 節座。
本實用新型的技術問題通過以下的技術方案予以解決
一種三維調節座，包括X向微調組件、Y向微調組件和Z向微調組件、 固定座、關節軸承；所述X向微調組件與關節軸承內圈固定連接，所述關 節軸承外圈與固定座連為一體，所述X向微調組件一端用于固定待調節物、 另一端為X向調節器，所述Y向微調組件一端頂著X向微調組件，另一 端為Y向調節器，所述Z向微調組件一端頂著X向微調組件，另一端為Z 向調節器。
所述X向調節器為X向微調旋鈕，所述X向微調組件還包括X向固 定桿、X向微調螺母、X向微調螺桿、傳遞介質、壓簧和移動桿；所述X 向微調螺母固定在X向固定桿上，所述X向微調螺桿穿過X向微調螺母、 一端與X向微調旋鈕連接、另一端經傳遞介質頂住移動桿，所述壓簧一端 卡在X向固定桿、另一端卡在移動桿上。
所述Z向調節器為Z向微調旋鈕，所述Z向微調組件還包括Z向微調
螺母、Z向固定桿和Z向微調螺桿；所述Z向微調螺母固定在Z向固定桿 上，所述Z向固定桿與固定座連接；所述Z向微調螺桿穿過Z向微調螺母、
一端與z向微調旋鈕連接、另一端頂住X向固定桿。
所述Y向調節器為Y向微調旋鈕，所述Y向微調組件還包括Y向微調螺母、Y向固定桿和Y向微調螺桿；所述Y向微調螺母固定在Y向固 定桿上，所述Y向固定桿與固定座連接；所述Y向微調螺桿穿過Y向微 調螺母、 一端與Y向微調旋鈕連接、另一端頂住X向固定桿。
所述三維調節座還包括第一拉簧和第二拉簧；所述第一拉簧一端拉住 移動桿、另一端固定在固定座上；所述第一拉簧一端拉住移動桿、另一端 固定在固定座上；所述第一拉簧的作用力與第二拉簧的作用力對稱。
所述三維調節座還包括固定底座，所述固定底座與固定座連接。
所述固定底座帶有磁性。
所述待調節物為針桿。
所述傳遞介質為球。
本實用新型與現有技術對比的有益效果是本實用新型的三維調節座 的Y向和Z向通過X向進行間接調節，不需分別獨立地實現X、 Y、 Z三 個方向的調節，結構比較簡單。本實用新型的三維調節座的靈敏度高、定 位精度高。本實用新型的三維調節座以最簡單實用的結構達到現有三維調 節座的功能及精度。
圖1是本實用新型具體實施方式
的結構示意圖2是本實用新型具體實施方式
的結構示意圖3是本實用新型具體實施方式
的X向微調組件的結構示意圖4是本實用新型具體實施方式
的X向微調組件的剖視示意圖5是本實用新型具體實施方式
的X向微調組件的立體分解示意圖6是本實用新型具體實施方式
的Y向微調組件的結構示意圖7是本實用新型具體實施方式
的Y向微調組件的立體分解示意圖8是本實用新型具體實施方式
的使用狀態示意圖。
具體實施方式
下面通過具體的實施方式并結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。
如圖1、 2所示， 一種三維調節座，包括X向微調組件、Y向微調組 件和Z向微調組件、固定座5、關節軸承4;所述X向微調組件與關節軸 承4內圈固定連接，所述關節軸承4外圈與固定座5連為一體。所述X向微調組件可以實現在調節座的前后方向的調節，所述Y向微調組件可以實 現在調節座左右方向的調節，所述Z向微調組件可以實現在調節座上下方 向的調節。(當然，X、 Y、 Z方向也可由用戶自己定義)
如圖l、 2、 3、 4、 5所示，所述X向微調組件包括X向微調旋鈕ll、 X向固定桿15、 X向微調螺母12、 X向微調螺桿13、傳遞介質14、壓簧 16和移動桿17。所述X向微調螺母12固定在X向固定桿15上，所述X 向微調螺桿13穿過X向微調螺母12、 一端與X向微調旋鈕11連接、另 一端經傳遞介質14頂住移動桿17，所述壓簧16 —端卡在X向固定桿15、 另一端卡在移動桿17上。所述移動桿17用于固定待調節物，如針桿等。 本具體實施方式
中，所述傳遞介質14為球，當然可為立方體等其他結構。 所述X向微調旋鈕11還可為其他結構，只要能實現調節功能即可。
X向調節通過X向微調組件內部，X向微調螺桿13推動移動桿17， 把旋轉運動轉為直線運動來實現的。擰X向微調旋鈕，將帶動X向微調螺 桿旋轉，推動傳遞介質14直線運動，從而使移動桿17做直線運動。由于 壓簧16—端卡在移動桿17上，另一端卡在X向固定桿15上，所以，X 向微調旋鈕反方向旋轉時，由于壓簧16的作用，移動桿17將跟著直線后 退。
如圖1、 2所示，所述三維調節座還包括第一拉簧6和第二拉簧7。所 述第一拉簧6—端拉住移動桿17、另一端固定在固定座5上。所述第一拉 簧6—端拉住移動桿17、另一端固定在固定座5上。所述第一拉簧6的作 用力與第二拉簧7的作用力對稱。所述第一拉簧6和第二拉簧7可以防止 X向微調組件中的移動桿17發生旋轉，使待調節物不會發生偏移、定位更容易。
如圖6、 7所示，所述Z向微調組件包括Z向微調旋鈕31、 Z向微調 螺母32、 Z向固定桿33和Z向微調螺桿34。所述Z向微調螺母32固定 在Z向固定桿33上，Z向固定桿33與固定座5連接，所以Z向微調螺母 32是固定不動的。所述Z向微調螺桿34穿過Z向微調螺母32、 一端與Z 向微調旋鈕31連接、另一端頂住X向固定桿15，所述Z向微調螺桿34 與Z向微調螺母32配合以實現旋轉運動。
Z向調節通過推動X向微調組件實現。旋轉Z向微調旋鈕31，帶動Z 向微調螺桿34旋轉，從而推動X向微調組件上下微動，即帶動在移動桿 17上下微動。在第一拉簧6和第二拉簧7的彈簧力作用，更能保證Z向微調螺桿34無論在何處都是一直緊靠X向微調組件，從而增加調節精度。 所述Y向微調組件的結構與Z向微調組件相同(可以參考圖6、 7)， 如圖1、 2所示，所述Y向微調組件包括Y向微調旋鈕21、 Y向微調螺母、 Y向固定桿和Y向微調螺桿24;所述Y向微調螺母固定在Y向固定桿上， 所述Y向固定桿與固定座連接，所以螺母是固定不動的。所述Y向微調螺 桿24穿過Y向微調螺母、 一端與Y向微調旋鈕21連接、另一端頂住X 向固定桿15，所述Y向微調螺桿24與Y向微調螺母配合以實現旋轉運動。 Y向調節通過推動X向微調組件實現，旋轉Y向微調旋鈕21，帶動 Y向微調螺桿24旋轉，從而推動X向微調組件左右微動，即帶動在移動 桿17左右微動。在第一拉簧6和第二拉簧7的彈簧力作用，更能保證Y 向微調螺桿34無論在何處都是一直緊靠X向微調組件，從而增加調節精 度。
如圖l、 2所示，所述三維調節座還包括第一拉簧6和第二拉簧7;所 述第一拉簧6—端拉住移動桿17、另一端固定在固定座5上；所述第一拉 簧6—端拉住移動桿17、另一端固定在固定座5上；所述第一拉簧6的作 用力與第二拉簧7的作用力對稱。
如圖l、 2所示，所述三維調節座還包括固定底座8，所述固定底座8 與固定座5連接。所述固定底座8帶有磁性。使用時可將固定底座8吸附 在鐵介質的平面上，這時固定座5和固定底座8不動，就可以進行X、 Y、 Z三個方向的調節。
如圖8所示，所述三維調節座連接上夾針組件后可以用于半導體測試 過程中高精度檢測。
以上內容是結合具體的優選實施方式對本實用新型所作的進一步詳細 說明，不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新 型所屬技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下， 還可以做出若干簡單推演或替換，都應當視為屬于本實用新型的保護范圍。
權利要求1. 一種三維調節座，其特征在于包括X向微調組件、Y向微調組件和Z向微調組件、固定座、關節軸承；所述X向微調組件與關節軸承內圈固定連接，所述關節軸承外圈與固定座連為一體，所述X向微調組件一端用于固定待調節物、另一端為X向調節器，所述Y向微調組件一端頂著X向微調組件，另一端為Y向調節器，所述Z向微調組件一端頂著X向微調組件，另一端為Z向調節器。
2. 根據權利要求1所述的三維調節座，其特征在于所述X向調節器為 X向微調旋鈕，所述X向微調組件還包括X向固定桿、X向微調螺母、X 向微調螺桿、傳遞介質、壓簧和移動桿；所述X向微調螺母固定在X向固 定桿上，所述X向微調螺桿穿過X向微調螺母、 一端與X向微調旋鈕連 接、另一端經傳遞介質頂住移動桿，所述壓簧一端卡在X向固定桿、另一 端卡在移動桿上。
3. 根據權利要求2所述的三維調節座，其特征在于所述Z向調節器為Z 向微調旋鈕，所述Z向微調組件還包括Z向微調螺母、Z向固定桿和Z向 微調螺桿；所述Z向微調螺母固定在Z向固定桿上，所述Z向固定桿與固 定座連接；所述Z向微調螺桿穿過Z向微調螺母、 一端與Z向微調旋鈕連 接、另一端頂住X向固定桿。
4. 根據權利要求2所述的三維調節座，其特征在于所述Y向調節器為 Y向微調旋鈕，所述Y向微調組件還包括Y向微調螺母、Y向固定桿和Y 向微調螺桿；所述Y向微調螺母固定在Y向固定桿上，所述Y向固定桿 與固定座連接；所述Y向微調螺桿穿過Y向微調螺母、 一端與Y向微調 旋鈕連接、另一端頂住X向固定桿；所述Y向微調螺桿與Y向微調螺母 配合以實現旋轉運動。
5. 根據權利要求2-4任一所述的三維調節座，其特征在于還包括第一拉 簧和第二拉簧；所述第一拉簧一端拉住移動桿、另一端固定在固定座上； 所述第一拉簧一端拉住移動桿、另一端固定在固定座上；所述第一拉簧的 作用力與第二拉簧的作用力對稱。
6. 根據權利要求5所述的三維調節座，其特征在于還包括固定底座，所 述固定底座與固定座連接。
7. 根據權利要求6所述的三維調節座，其特征在于所述固定底座帶有磁性。
8. 根據權利要求l-4任一所述的三維調節座，其特征在于所述待調節物 為針桿。
9. 根據權利要求2-4任一所述的三維調節座，其特征在于所述傳遞介質為球。
專利摘要本實用新型公告了一種三維調節座，包括X向微調組件、Y向微調組件和Z向微調組件、固定座、關節軸承；所述X向微調組件與關節軸承內圈固定連接，所述關節軸承外圈與固定座連為一體，所述X向微調組件一端用于固定待調節物、另一端為X向調節器，所述Y向微調組件一端頂著X向微調組件，另一端為Y向調節器，所述Z向微調組件一端頂著X向微調組件，另一端為Z向調節器。本實用新型結構簡單、靈敏度高、定位精度高。
文檔編號G01R1/02GK201233886SQ20082009579
公開日2009年5月6日 申請日期2008年7月25日 優先權日2008年7月25日
發明者劉振輝, 康春鳳, 王勝利 申請人:深圳市矽電半導體設備有限公司