專利名稱：晶片檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種檢測裝置，特別涉及一種晶片檢測裝置。
背景技術(shù)：
在測量晶片的角度時，需要通過一個平板將晶片進行定位。該平板為晶片
角度測量時在x射線定向儀上面的基準。測量時將平板固定在定向儀的大度輪
上，轉(zhuǎn)動與大度輪連接的小度輪，帶動大度輪轉(zhuǎn)動，可以找到晶片原子面的反 射角度，再根據(jù)平板(相當(dāng)于晶片平面)與原子面的夾角，來測量晶片角度。因此， 平板對于晶片角度測量的精度非常重要。
目前定位晶片的平板通常采用平面磨床磨過的金屬板，當(dāng)在晶片大量的測 量過程中，平板容易遭受磨損，造成平板表面的粗糙度增大。由于晶片在測量 時無法與平板緊貼，晶片測量過程中，當(dāng)平板與晶片之間出現(xiàn)相對運動產(chǎn)生的 摩擦，容易在晶片的表面磨出黑色印跡。雖然通過清洗可以去除這些黑色印跡， 但清洗卻后會造成晶片的損耗。另外，晶片不容易放置。
發(fā)明內(nèi)容
針對上述技術(shù)問題，本實用新型的目的是提供避免晶片遭受磨損的晶片檢 測裝置，并且還便于放置晶片，以及能使晶片緊貼于平板上。
本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的晶片定位平板上設(shè)有連接大度輪的安裝孔， 所述晶片定位平板為耐磨的氧化鋯陶瓷平板，晶片定位平板上設(shè)有多個吸氣孔。 所述多個吸氣孔布置成多列，其中位于左列和右列吸氣孔的數(shù)目相等，位于左 列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數(shù)目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數(shù)目多于左列或右列吸氣孔的數(shù)目。
采用了上述方案，晶片定位平板為耐磨的氧化鋯陶瓷平板。氧化鋯陶瓷使 得該晶片定位平板具有及好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性，在應(yīng)力誘導(dǎo)下發(fā)生馬氏 體相變而吸收應(yīng)變能，在常溫下具有最高的抗折強度和斷裂韌性，因而具有出 色的耐磨性能。晶片定位平板長期使用后，其表面始終保持很高的平滑度，檢 測晶片過程中，可以防止平板與晶片之間產(chǎn)生摩擦而使得晶片出現(xiàn)黑色印痕， 這樣就避免了晶片檢測后需要進行清洗而使晶片受到損耗。晶片定位平板上設(shè) 有多個吸氣孔，晶片檢測時，在晶片定位平板的吸氣孔區(qū)域連接抽氣泵，通過 抽氣泵經(jīng)吸氣孔產(chǎn)生負壓，使晶片能夠緊貼晶片定位平板，防止晶片定位平板 與晶片之間出現(xiàn)相對運動，避免晶片與晶片定位平板之間產(chǎn)生摩擦。而且通過 負壓還可便于將晶片放置到晶片定位平板上，利于提高工作效率。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步說明。
圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意附圖中，l為晶片定位平板，2為安裝孔，3為吸氣孔。
具體實施方式
參照圖1，本實用新型的晶片檢測裝置，晶片定位平板1上設(shè)有連接大度輪 的安裝孔2，該安裝孔位于晶片定位平板1的下部的表面上，螺釘穿過晶片定位 平板1的安裝孔2與大度輪螺紋連接，將晶片安位平板固定于大度輪上。晶片 定位平板1為耐磨的氧化鋯的陶瓷平板。晶片定位平板1上設(shè)有多個吸氣孔3， 吸氣孔位于晶體定位平板上部表面的中間區(qū)域。多個吸氣孔3布置成多列，其 中位于左列和右列吸氣孔的數(shù)目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數(shù)目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸氣孔數(shù)目多于左列或右列吸 氣孔的數(shù)目。晶片檢測時，在晶片定位平板1的吸氣孔3區(qū)域連接一個抽氣泵 (抽氣泵在圖中未示出)，通過抽氣泵產(chǎn)生負壓，使晶片能夠緊貼晶片定位平板， 防止晶片定位平板與晶片之間出現(xiàn)相對運動，避免晶片與晶片定位平板之間產(chǎn) 生摩擦。而且通過負壓還可便于將晶片放置到晶片定位平板上。吸氣孔3以上 述形式進行布置，可以提高負壓的均勻度，使晶片受力均勻。 本實用新型結(jié)構(gòu)雖然較為簡單，但實用性強。
上述實施例是用于說明本實用新型，而不是對本實用新型的限制，在實用 新型的構(gòu)思前提下對實用新型的改進，都屬于本實用新型權(quán)利要求保護的范圍。
權(quán)利要求1. 一種晶片檢測裝置，晶片定位平板上設(shè)有連接大度輪的安裝孔，其特征在于所述晶片定位平板為耐磨的氧化鋯陶瓷平板，晶片定位平板上設(shè)有多個吸氣孔。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的晶片檢測裝置，其特征在于所述多個吸氣 孔布置成多列，其中位于左列和右列吸氣孔的數(shù)目相等，位于左列和右列 吸氣孔之間的各列吸氣孔數(shù)目相等，位于左列和右列吸氣孔之間的各列吸 氣孔數(shù)目多于左列或右列吸氣孔的數(shù)目。
專利摘要本實用新型涉及一種檢測裝置，特別涉及一種晶片檢測裝置。晶片定位平板上設(shè)有連接大度輪的安裝孔，所述晶片定位平板為耐磨的氧化鋯陶瓷平板，晶片定位平板上設(shè)有多個吸氣孔。本實用新型能夠避免晶片遭受磨損，并且還便于放置晶片，以及能使晶片緊貼于平板上的優(yōu)點。
文檔編號G01B5/24GK201237494SQ20082004114
公開日2009年5月13日 申請日期2008年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月30日
發(fā)明者任先林, 宋秦川 申請人:常州松晶電子有限公司