專利名稱：多指探針的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種探針，具體地說，是一種多指探針。
背景技術：
傳統的探針卡將分離式的探針一一固定在電路板上，這種裝置的探針針臂及針間 距(pitch)皆較寬。如果要縮小針間距，可以利用精密加工技術在一塊絕緣板上布針，再將 所述絕緣板接合到電路板上，例如日本公開特許編號特開平6-140482。然而以組裝的方式 制作探針卡，制作精度較難控制，布針方向受限，難以進行復雜布針、大面積或高集積度的 探針卡設計。為了因應微小化的需求，微影制程被用來制作探針。例如Tada等人的美國專 利第4961052號，利用微影制程在絕緣底板(base plate)上形成指部(fingers)，把接觸導 體沉積在指部的自由端的表面上。然而這種裝置的絕緣底板只作為指部的固定基座使用， 并不會提供指部任何的彈性，所以探針缺少良好的彈性結構。 Gritters的美國專利申請公開第20070296433號提出一種具有彈性結構的探針， 分離式的探針固定在平臺(platform)上，平臺的延伸臂(extensionarm)固定在基板上形 成扭轉結構。然而這種裝置不易制作成細針間距的產品，而且由于延伸臂的關系，這種裝置 具有較寬的尺寸，不利于微小化。扭轉結構占面積大，使探針布針受限，扭轉結構也會增加 結構應力，降低產品壽命。 Mathieu等人的美國專利第6672875號提出一種懸臂梁探針。懸臂梁為微機電組 件常用的結構，已經有成熟的制造技術，而且和微影制程兼容。然而懸臂梁探針為單一結 構，探針本身除了傳遞電性的功能之外，同時提供承受測試應力的彈性及支撐力，因此會受 到尺寸及材料的限制。圖l顯示一個一般的細針間距懸臂梁探針設計，依現行產品規格看 來，最小針間距約為10 30 ii m，針體長度為500 1500 y m，常用針體材質為鎳合金，依產 品需求不同針重范圍為O. l 4g/mil。對此類懸臂梁IO施加應力測試，結果顯示最大應力 發生在靠近固定端12附近的端部14，越接近自由端16，應力越小。因材質降伏強度(yield strength)限制，以常用的鎳合金為例，最大降伏強度約900MPa 1. 4GPa左右，在有限的 針間距與針體長度限制下，當自由端16的向下達最大彈性位移時( 一般產品設定為3 4mil)，結構的最大應力值已逼近或超過材質降伏強度，則懸臂梁IO將永久變形，探針的使 用壽命也會縮短。 依矩形截面的懸臂梁公式推導，針重、最大應力值與針體尺寸的關系式如下
K ^ WT3/L3
o oc t/L2 其中K是針重(spring constant) ， W是針體寬度，T是針體厚度，L是針體長度， o是懸臂梁針體固定端應力值。 在不增加針體寬度以及維持相同的針重的情況下，增加針體長度及縮小針體厚度 可以降低固定端12附近的應力值，然而，未來的針型發展驅勢是將針間距以及針體長度縮 短，換言之，已知針型若繼續往縮小針間距及針體尺寸的方向發展的話，探針固定端12附近將承受更高的最大應力，探針的使用壽命必然縮短。
因此已知的針型結構存在著上述種種不便和問題。
發明內容
本發明的目的，在于提出一種多指探針。
為實現上述目的，本發明的技術解決方案是 —種多指探針，包括一懸臂梁共享彈性部和多個自所述懸臂梁共享彈性部的自由 端延伸出來的指部，其特征在于 所述懸臂梁共享彈性部的自由端懸空于一基板上方，使所述共享彈性部可提供一 第一段彈性變形量； 所述多個自所述懸臂梁共享彈性部的自由端延伸出來的指部，每一所述指部上有
一針尖及一導線彼此電性連接，每一所述指部可提供一第二段彈性變形量。 本發明的多指探針還可以采用以下的技術措施來進一步實現。 前述的多指探針，其中所述針尖導線具有第一部分經過所述指部及所述懸臂梁共 享彈性部上方，以及第二部分延伸至所述基板上。 前述的多指探針，其中所述懸臂梁共享彈性部的固定端具有一立柱固著在所述基 板上。 前述的多指探針，其中更包括一固定座包住所述立柱及所述導線的第二部分。
前述的多指探針，其中所述針尖提供的總彈性變形量為所述第一段彈性變形量與 述第二段彈性變形量的總和。 前述的多指探針，其中所述懸臂梁共享彈性部為絕緣體。
前述的多指探針，其中所述懸臂梁共享彈性部為導體。 前述的多指探針，其中更包括一介電層在所述導線與所述指部及所述懸臂梁共享 彈性部之間。 前述的多指探針，其中所述導線的寬度比所述指部窄
。 —種多指探針，包括一懸臂梁共享彈性部，多條導線，多個導電指部，其特征在 于 所述懸臂梁共享彈性部的自由端懸空于一基板上方，使所述懸臂梁共享彈性部的 自由端可提供一第一段彈性變形量； 所述多條導線，每一所述導線具有第一部分在所述懸臂梁共享彈性部上方，以及 第二部分延伸至所述基板上； 所述多個導電指部，每一所述導電指部搭接在所述多條導線其中之一的第一部分 上，每一所述導電指部可各自提供一第二段彈性變形量；且所述多個導電指部的自由端電 性連接一針尖，所述針尖提供的總彈性變形量為所述第一段彈性變形量與所述第二段彈性 變形量的總和。 前述的多指探針，其中所述懸臂梁共享彈性部的固定端具有一立柱固著在所述基 板上。 前述的多指探針，其中更包括一固定座包 所述立柱及所述多條導線的第二部分。 前述的多指探針，其中所述懸臂梁共享彈性部為絕緣體。
前述的多指探針，其中所述懸臂梁共享彈性部為導體。 前述的多指探針，其中更包括一介電層在所述多條導線與所述懸臂梁共享彈性部 之間。 前述的多指探針，其中更包括多個葉片自所述懸臂梁共享彈性部的自由端延伸到
所述些導電指部的下方，所述些葉片與所述些導電指部間有一空隙。 前述的多指探針，其中所述多個葉片具有多層結構。 —種多指探針，包括一懸臂梁共享彈性部和多個指部，其特征在于 所述懸臂梁共享彈性部的自由端懸空于一基板上方； 所述多個指部，每一所述指部搭接在所述懸臂梁共享彈性部上，且有一針尖及一 導線彼此電性連接，所述導線具有第一部分經過所述指部及所述懸臂梁共享彈性部上方， 以及第二部分延伸至所述基板上。 前述的多指探針，其中所述懸臂梁共享彈性部的固定端具有一立柱固著在所述基 板上。 前述的多指探針，其中更包括一固定座包住所述立柱及所述導線的第二部分。
前述的多指探針，其中所述懸臂梁共享彈性部及所述指部為絕緣體。
前述的多指探針，其中所述懸臂梁共享彈性部為導體。 前述的多指探針，其中更包括一介電層在所述導線與所述指部及所述懸臂梁共享 彈性部之間。 前述的多指探針，其中所述導線的寬度比所述指部窄。
采用上述技術方案后，本發明的多指探針具有以下優點
1.有效降低針體承受的最大結構應力，提高產品使用壽命。 2.直接以微影、電鑄、蝕刻方式在電路基板上制作，因此定位精度高，特別適合針 間距微小化、任意方向進針、高集積度布針、大面積測試卡。
圖1為已知的細針間距懸臂梁探針的示意圖；圖2為本發明的彈性結構的實施例示意圖；圖3為圖2的實施例提供彈性的示意圖；圖4為本發明的第一實施例的剖面圖及上視圖；圖5為本發明的第一實施例的立體圖；圖6為本發明的第二實施例的剖面圖及上視圖；圖7為本發明的第二實施例的立體圖；圖8為本發明的第三實施例的剖面圖；圖9為本發明的懸臂梁共享彈性部及指部的許多變化的示意10為本發明的多指探針設置在電路基板上的俯視示意圖；圖11為本發明的多層探針的實施例的剖面圖及上視圖；圖12為本發明的在一基板上設計多組多指探針的示意 圖13為本發明的第五實施例的剖面圖及上視圖； 圖14為本發明的第六實施例的剖面圖及上視圖； 圖15為本發明的第七實施例的剖面圖； 圖16為一整片式的葉片示意圖； 圖17為顯示具有指狀結構的葉片； 圖18為顯示多層結構的葉片； 圖19為本發明的多指探針的制造流程的第一實施例示意圖； 圖20為本發明的多指探針的制造流程的第二實施例示意圖。
具體實施例方式以下結合實施例及其附圖對本發明作更進一步說明。 本發明將多指探針的電路功能與結構功能分別獨立設計，現請參閱圖2，圖2是本 發明的結構功能部分，即為本發明的彈性結構的實施例示意圖，包括所述梁共享彈性部20 及指部22兩個部分。如前所述，k a群Vl3，因此，在不增加針體長度l，不改變針重k的前提 下，若懸臂梁固定端附近的針體寬度W增加，則針體厚度T得以縮減來維持相同的針重K，此 時因o ocT/L2，則結構最大應力值得以降低。將圖2的彈性結構以和圖i相同的鎳鈷合金實
現，并以有限單元法加以驗證時，在針體寬度及針間距皆為lOym，針體長度為1500ym，指 部22長度為800 ii m的情況下，針體厚度由圖1的單一懸臂梁的厚度115 ii m降低至100 y m 且仍維持相同的剛性。對圖2的實施例做有限單元分析仿真可以得知，最大應力將發生在 懸臂梁共享彈性部20的固定端22a附近，指部22越遠離懸臂梁共享彈性部20的部分，承 受的應力越小。當指部22的自由端向下位移100 ii m時，出現的最大應力為663MPa，比圖1 之懸臂梁結構承受自由端向下位移100 ii m時的最大應力值降低21 % 。此外，因為懸臂梁共 享彈性部20的厚度減少，降低結構的深寬比，因此制程的實施也會比較容易。
圖3是本實施例提供彈性的示意圖，當下壓力F施加在指部22末端時，懸臂梁共 享彈性部20提供第一段彈性變形量dl，指部22提供第二段彈性變形量d2，分散承受下壓 力F，指部22末端可提供的總彈性變形量為dl+d2。由于分散結構受力，降低最大結構應力， 因此在有限的材料承受強度下，懸臂梁共享彈性部20及指部22可以提供更大的彈性變形 量、降低潛變程度、增加探針的使用壽命，換言之，在相同應力承受能力與使用相同制程的 條件下，本實施例提供的彈性結構可以達成更小針間距的多指探針。 圖4是應用圖2的彈性結構的第一實施例示意圖，圖5為其立體圖。在本實施例 中，所述懸臂梁共享彈性部20的立柱20a有一端固著在基板18上，形成懸臂梁共享彈性部 20的固定端，懸臂梁共享彈性部20的自由端延伸出多個指部22，每一指部22上方有一針 尖24及一導線26彼此電性連接，導線26的第一部分從針尖24延伸經過指部22及懸臂梁 共享彈性部20的上方，導線26的第二部分26a向下延伸至基板18，電性連接基板18內的 線路。由于懸臂梁共享彈性部20只提供結構功能，因此不必電性連接基板18內的線路。懸 臂梁共享彈性部20與導線26是兩個不同的(distinct)組件。在本實施例中，懸臂梁共享 彈性部20與指部22是一體的，懸臂梁共享彈性部20提供共享的第一段彈性變形量給各個 指部22，減輕各指部22的受力，各指部22彼此分離的構造使得每一指部22可以獨自因應 外力而提供第二段彈性變形，順應每個待測物之間的高度差異。懸臂梁共享彈性部20充分
7利用了各導線26的間隙下方的空間提供結構設計，與單一懸臂梁設計相比較，較薄的結構厚度即可達到相同的針重，同時增加了最大彈性變形量。所述多指探針承受測試應力所需的彈性主要由懸臂梁共享彈性部20提供，導線26僅提供電性傳遞的功能，因此不再受材料承受強度的限制，其寬度及厚度也可以自由調整。所述導線26可以選用導電性高的材質，也可以使用細線，應以電學規格為主要考慮，機械規格符合導線本身材料強度限制即可。在承受外力時，有懸臂梁共享彈性部20的彈性變形量及指部22的彈性變形量兩部分。指部22長度設計的選擇性可以讓最大應力值最佳化，也可以控制指部22本身個別的彈性變形幅度，使指部22各自具有順應待測物表面起伏的能力。與傳統單一懸臂梁探針相比，指部22的長度較短，因此側向結構彈性較強，在針間距小的時候指部22較傳統單一懸臂梁探針更不易因側向擾動力偏移造成相鄰的指部22之間的摩擦。傳統單一懸臂梁探針若因側向擾動力與相鄰探針接觸，將造成短路，嚴重時會造成待測物或探針損壞。根據本發明的多指探針的電路功能與結構功能分別獨立設計，因此所述導線26的寬度可以設計得比所述指部22更窄，如此一來，即使各所述指部22因異常擾動而相互接觸，也不會造成導線26之間的短路，提供自我短路保護的功能。在本實施例中，懸臂梁共享彈性部20為絕緣體，因此導線26直接沉積在其上表面。雖然在本實施例中顯示針尖24在導線26上方，但是也可以是針尖24直接銜接指部22。所述針尖24和導線26可以是一體的，例如在導線26上電鑄或沉積金屬后形成針尖24。針尖24和導線26也可以是獨立的，例如單獨制作針尖24后再接合在導線26上。 圖6及圖7顯示本發明的第二實施例，是在第一實施例上增加介電質固定座28包住立柱20a和導線26的第二部分26a，以強化立柱結構。 圖8是本發明的第三實施例示意圖，所述第三實施的構造與第一實施例相同，但是懸臂梁共享彈性部20及指部22的材質為導體。如果不同的針尖24之間需要電性隔離的話，在導線26與懸臂梁共享彈性部20及指部22之間增設一介電層30。對于不需要電性隔離的針尖24，則讓所述對應的導線26直接接觸懸臂梁共享彈性部20及指部22。如果需要的話，也可以將懸臂梁共享彈性部20及指部22接地，以已知的高頻設計配置適當的導線、介電層與接地層尺寸，以達成良好的訊號傳輸質量。 由于將多指探針的電路功能與結構功能分別獨立設計，因此設計彈性變大了，懸
臂梁共享彈性部20及指部22可以有各種形狀或構造的變化。例如圖9所示，各指部22的
長短、間距以及寬度都可以隨著需要而變化；懸臂梁共享彈性部20上也可以增加開孔32或
其它小結構，以調整懸臂梁彈性大小或者應力的分布；指部22的方向也可以變化。 圖10是本發明的多指探針設置在電路基板18上的俯視示意圖，表示其針體布置
較傳統探針更自由，可以提供較傳統探針更有彈性的設計空間，特別適用大面積或高積集
度的探針卡設計。 圖11是多層多指探針的實施例示意圖。在同一基板18上設置兩個多指探針34及36，藉由上下層錯位的分布方式，可以滿足更高密度的測試需求。增加多指探針的層數可以再提高針尖分布密度。多指探針34及36的針尖高度可以設計為共平面或不共平面，以符合測試需求。 圖12是多層多指探針的另一實施例示意圖，在同一基板18上設置互相異向的多指探針，如圖12所示，多指探針34及36互相交錯，滿足多方向的探針需求。
8
圖13為本發明的另一實施例示意圖，懸臂梁共享彈性部20和前述的實施例相同，指部22是導體，搭接在導線26上，且向上延伸出針尖24。由于指部22是提供彈性功能的結構設計的一部分，因此其厚度設計較單純提供導電功能的導線26受限，唯指部所需分擔的彈性力較輕，無需承受過大的出力，因此設計上仍保有彈性。如同前面的實施例所述，如果懸臂梁共享彈性部20是導體的話，可以增加一介電層在懸臂梁共享彈性部20與導線26之間。 在圖14的實施例示意圖中，指部22搭接在懸臂梁共享彈性部20上，二者是一體的。針尖24在指部22上，導線26電性連接針尖24到基板18的內部線路。指部22搭接的高度是可以變化的。如同前面的實施例所述，如果懸臂梁共享彈性部20是導體的話，可以增加一介電層在懸臂梁共享彈性部20及指部22與針尖24及導線26之間。
圖15是與圖13同類型的實施例示意圖，指部22搭接在導線26上，其搭接高度較高。葉片38從懸臂梁共享彈性部20的自由端延伸出來，與指部22之間有一空隙。在針尖24受力較小時(Fl+F2)，僅由懸臂梁共享彈性部20及指部22提供力F2及Fl以吸收應力。當針尖24受力較大，為F1'+F2' +F3'時，葉片38也提供支撐力F3'以協助分散整體結構的受力。葉片38與懸臂梁共享彈性部20是一體的。葉片38可以和懸臂梁共享彈性部20一樣是一整片的，如圖16所示，也可以是指狀分離的，如圖17所示。 如圖18所示，也可以使用具多層結構的葉片38。葉片38與懸臂梁共享彈性部20是一體的。 圖19是多指探針的制造流程的實施例示意圖。步驟1以微影制程形成屏蔽40在基板18上，步驟2形成金屬42、44及犧牲層46。金屬42和基板18內的線路電性連接。步驟2可藉由分區電鑄/電鍍、分區化學鍍、電著、濺鍍或蒸鍍搭配屏蔽做區域性沉積，填充導電材料等等方式達成，必要時于沉積后研磨平坦化上表面。步驟3形成屏蔽48，步驟4繼續沉積金屬42、44，步驟5沉積介電層50覆蓋金屬44。步驟6形成屏蔽52并再度沉積金屬42，步驟7形成屏蔽54并繼續沉積金屬56，步驟8蝕刻金屬56，并搭配屏蔽保護欲留下的針尖部分，以化學蝕刻、電化學蝕刻、激光加工、放電加工等等方式制造針尖。在步驟9除去屏蔽54、52、48及犧牲層46以后，即完成多指探針。在此裝置中，金屬44提供懸臂梁共享彈性部及指部，金屬42提供導線，金屬56提供針尖，介電層50隔離導線42與懸臂梁共享彈性部及指部44，留下的屏蔽40當作固定座。此制程中的各屏蔽及犧牲層的材料可以選用光阻、可移除的金屬或高分子材料，且各層不一定要相同，可視制程需要而調整。此制程若使用需鋪設種子層的電鑄，可以金屬沉積(蒸鍍、濺鍍、化鍍等)、微影、蝕刻等方式定義所需的種子層，此部分為已知的半導體制程。步驟8的針尖制作部分亦可仿照步驟7的制程直接電鑄成型一針尖，取代以蝕刻方式成型針尖。 圖20是多指探針的制造流程的另一實施例示意圖。步驟1同樣在基板18上形成屏蔽40，步驟2形成金屬42、44后，在步驟3去除屏蔽40。金屬42和基板18內的線路電性連接。步驟4沉積犧牲層58，步驟5繼續以步驟2 4的制程方式沉積金屬42、44及犧牲層58，步驟6沉積介電層50覆蓋金屬44后再度沉積金屬42。步驟7形成屏蔽60并繼續沉積金屬56，步驟8蝕刻金屬56。在步驟9除去屏蔽60及犧牲層58以后，即完成多指探針。在此裝置中，金屬44提供懸臂梁共享彈性部及指部，金屬42提供導線，金屬56提供針尖，針尖制作方式與前一實施例相同，介電層50隔離導線42與懸臂梁共享彈性部及指部
圖19及20所表示的制程可互相組合應用，反復施作微影與沉積材料等步驟完成各種根據本發明的多指探針。若懸臂梁共享彈性部則由填充或電著絕緣材料形成，且符合需要的絕緣規格，則可省略施作懸臂梁共享彈性部與導線之間的介電層50。
在不同的實施例中，也可以利用前述制程制作懸臂梁共享彈性部、指部及導線，再把單獨成型的針尖接合在導線上。單獨成型針尖及將其接合在導線上皆為已知技術。
以上實施例僅供說明本發明之用，而非對本發明的限制，有關技術領域的技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變化。因此，所有等同的技術方案也應該屬于本發明的范疇，應由各權利要求限定。組件符號說明
10懸臂梁探針12固定端14懸臂梁端部16自由端18基板20懸臂梁共享彈性部20a立柱22指部24針尖26導線26a導線的第二部分28固定座30介電層32孔洞34多指探針36多指探針38葉片40屏蔽42金屬44金屬46犧牲層48屏蔽50介電層52屏蔽54屏蔽56金屬58犧牲層60屏蔽
權利要求
一種多指探針，包括一懸臂梁共享彈性部和多個自所述懸臂梁共享彈性部的自由端延伸出來的指部，其特征在于所述懸臂梁共享彈性部的自由端懸空于一基板上方，使所述共享彈性部可提供一第一段彈性變形量；所述多個自所述懸臂梁共享彈性部的自由端延伸出來的指部，每一所述指部上有一針尖及一導線彼此電性連接，每一所述指部可提供一第二段彈性變形量。
2. 如權利要求1所述的多指探針，其特征在于，所述針尖導線具有第一部分經過所述指部及所述懸臂梁共享彈性部上方，以及第二部分延伸至所述基板上。
3. 如權利要求2所述的多指探針，其特征在于，所述懸臂梁共享彈性部的固定端具有一立柱固著在所述基板上。
4. 如權利要求3所述的多指探針，其特征在于，更包括一固定座包住所述立柱及所述導線的第二部分。
5. 如權利要求1所述的多指探針，其特征在于，所述針尖提供的總彈性變形量為所述第一段彈性變形量與所述第二段彈性變形量的總和。
6. 如權利要求1所述的多指探針，其特征在于，所述懸臂梁共享彈性部為絕緣體。
7. 如權利要求1所述的多指探針，其特征在于，所述懸臂梁共享彈性部為導體。
8. 如權利要求7所述的多指探針，其特征在于，更包括一介電層在所述導線與所述指部及所述懸臂梁共享彈性部之間。
9. 如權利要求1所述的多指探針，其特征在于，所述導線的寬度比所述指部窄。
10. —種多指探針，包括一懸臂梁共享彈性部，多條導線，多個導電指部，其特征在于所述懸臂梁共享彈性部的自由端懸空于一基板上方，使所述懸臂梁共享彈性部的自由端可提供一第一段彈性變形量；所述多條導線，每一所述導線具有第一部分在所述懸臂梁共享彈性部上方，以及第二部分延伸至所述基板上；所述多個導電指部，每一所述導電指部搭接在所述多條導線其中之一的第一部分上，每一所述導電指部可各自提供一第二段彈性變形量；且所述多個導電指部的自由端電性連接一針尖，所述針尖提供的總彈性變形量為所述第一段彈性變形量與所述第二段彈性變形量的總和。
11. 如權利要求io所述的多指探針，其特征在于，所述懸臂梁共享彈性部的固定端具有一立柱固著在所述基板上。
12. 如權利要求11所述的多指探針，其特征在于，更包括一固定座包住所述立柱及所述多條導線的第二部分。
13. 如權利要求IO所述的多指探針，其特征在于，所述懸臂梁共享彈性部為絕緣體。
14. 如權利要求IO所述的多指探針，其特征在于，所述懸臂梁共享彈性部為導體。
15. 如權利要求14所述的多指探針，其特征在于，更包括一介電層在所述多條導線與所述懸臂梁共享彈性部之間。
16. 如權利要求IO所述的多指探針，其特征在于，更包括多個葉片自所述懸臂梁共享彈性部的自由端延伸到所述些導電指部的下方，所述些葉片與所述些導電指部間有一空隙。
17. 如權利要求16所述的多指探針，其特征在于，所述多個葉片具有多層結構。
18. —種多指探針，包括一懸臂梁共享彈性部和多個指部，其特征在于所述懸臂梁共享彈性部的自由端懸空于一基板上方；所述多個指部，每一所述指部搭接在所述懸臂梁共享彈性部上，且其上有一針尖及一導線彼此電性連接，所述導線具有第一部分經過所述指部及所述懸臂梁共享彈性部上方，以及第二部分延伸至所述基板上。
19. 如權利要求18所述的多指探針，其特征在于，所述懸臂梁共享彈性部的固定端具有一立柱固著在所述基板上。
20. 如權利要求19所述的多指探針，其特征在于，更包括一固定座包住所述立柱及所述導線的第二部分。
21. 如權利要求18所述的多指探針，其特征在于，所述懸臂梁共享彈性部及所述指部為絕緣體。
22. 如權利要求18所述的多指探針，其特征在于，所述懸臂梁共享彈性部為導體。
23. 如權利要求22所述的多指探針，其特征在于，更包括一介電層在所述導線與所述指部及所述懸臂梁共享彈性部之間。
24. 如權利要求18所述的多指探針，其特征在于，所述導線的寬度比所述指部窄。
全文摘要
一種多指探針，包括一懸臂梁共享彈性部和多個自所述懸臂梁共享彈性部的自由端延伸出來的指部，其特征在于所述懸臂梁共享彈性部的自由端懸空于一基板上方，使所述共享彈性部可提供一第一段彈性變形量；所述多個自所述懸臂梁共享彈性部的自由端延伸出來的指部，每一所述指部上有一針尖及一導線彼此電性連接，每一所述指部可提供一第二段彈性變形量。
文檔編號G01R1/073GK101726636SQ200810170739
公開日2010年6月9日 申請日期2008年10月23日 優先權日2008年10月23日
發明者范宏光, 陳志忠 申請人:旺矽科技股份有限公司