檢查夾具及檢查裝置的制作方法

專利名稱：檢查夾具及檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及的是使用于電路板或電子器件等的電氣檢查的檢查夾具 以及設有該檢查夾具的檢查裝置。
背景技術：
一般情況下，用于發現電路板的布線圖形或IC等集成電路的短路、
斷線等異常情況的電氣檢查中，使用設有與形成于檢查對象的檢查用端 子進行導電接觸的多個探針的檢查夾具。作為這種檢查夾具，本申請人 提出了設有前端側支撐體、后端側支撐體以及電極的檢查夾具，其中， 前端側支撐體支撐多個探針的前端側部分，后端側支撐體通過間隙而配 置于前端側支撐體的后方、并支撐多個探針的后端側部分，電極配置于 后端側支撐體的后方、并與探針的后端側部分相接(例如，參照專利文 獻1)。
在該專利文獻1記載的檢查夾具中，在前端側支撐體上，在垂直相
交于與檢查對象相對的對置面的方向上形成有前端側插通孔；在后端側 支撐體上，在相對于前端側插通孔的形成方向傾斜的方向上形成有后端 側插通孔。另外，后端側插通孔如插通于該后端側插通孔的探針的前端 側朝向前端側插通孔那樣，相對于前端側插通孔而傾斜。
在該檢查夾具中，在多個探針的前端與檢查對象相接時，配置于前 端側支撐體和后端側支撐體之間的間隙中的探針中間部分彎曲。另外， 通過探針的中間部分彎曲，全部的探針以適度的接觸壓力同時與檢查對 象接觸。
專利文獻l:日本公開公報、特開2005-338065號

發明內容
發明所要解決的課題
近年來，形成于檢查對象的檢查用端子正在多樣化。例如，在檢查
對象上也形成有如長方形那樣的細長端子。另外，近年來伴隨著成為檢 查對象的電路板布線圖形的復雜化或集成電路的高集成化等，細長端子 的橫向幅度變得非常狹窄。例如，存在橫向幅度為20^m 30^m這樣非 常狹窄的幅度的端子形成于檢查對象的情況。
在此，通過本申請發明人的研究明確了，在使用專利文獻1中記載 的檢查夾具對端子的橫向幅度非常狹窄的檢查對象進行檢查的情況下， 存在對檢查對象進行確切的檢查變得困難的危險。
因此，本發明的課題在于提供一種，即使在形成為細長狀的檢查用 端子的橫向幅度非常狹窄的情況下，也能夠對檢查對象進行確切的檢查 的檢查夾具以及設有該檢查夾具的檢查裝置。
解決課題的手段
為了解決上述課題，本發明的檢查夾具，是用于對形成有具備縱向 和橫向的細長狀端子的檢查對象進行檢查的檢查夾具，其特征在于，設 有形成有前端側插通孔的前端側支撐體，相對于前端側支撐體通過規 定的間隙而配置、且形成有后端側插通孔的后端側支撐體，以及探針， 其中，前端側插通孔具有朝向檢查對象的探針引導方向，后端側插通孔 具有相對于前端側插通孔的探針引導方向沿著縱向而傾斜的探針引導方 向，探針具有被插通于前端側插通孔的前端側部分和被插通于后端側插 通孔的后端側部分、以使與端子接觸的前端能夠在檢查對象側出入；探 針的前端側部分相對于后端側部分配置于，在向后端側插通孔的探針引 導方向傾斜的一側上偏移的位置。
在本發明的檢查夾具中，在相對于形成有前端側插通孔的前端側支 撐體通過規定的間隙而配置的后端側支撐體上，形成有后端側插通孔， 其中，前端側插通孔具有朝向檢查對象的探針引導方向，后端側插通孔 具有相對于前端側插通孔的探針引導方向沿著細長狀端子的縱向而傾斜 的探針引導方向。另外，探針的前端側部分相對于后端側部分配置于， 在向后端側插通孔的探針引導方向傾斜的一側上偏移的位置。
因此，即使在為了使探針的前端能夠在檢查對象側出入而前端側插 通孔形成為比探針的直徑大的情況下，探針的前端與端子接觸而配置于 前端側支撐體和后端側支撐體之間間隙中的探針的中間部分彎曲的話，
探針的前端側部分在前端側插通孔內沿著細長狀端子的縱向移動。也就 是說，本發明中，在探針的前端與端子接觸而配置于前端側支撐體和后 端側支撐體之間間隙中的探針的中間部分彎曲時，與端子接觸的探針的 前端沿著端子的縱向而偏移，而不太會有沿著端子的橫向偏移的情況。 其結果是，本發明中，即使在形成為細長狀的檢查用端子的橫向幅度非 常狹窄的情況下，也能夠使探針的前端確實地與檢查對象的端子接觸， 從而能夠對檢查對象進行確切的檢查。
在本發明中，以檢查夾具設有分別與縱向不同的多個端子接觸的多 個探針，多個探針的后端側部分被插通于沿著各個探針所接觸的端子的 縱向而傾斜的后端側插通孔為佳。這樣構成的話，即使在檢查對象上形 成有縱向不同的多個端子的情況下，也能夠使探針的前端確實地與檢查 對象的端子接觸，從而能夠對檢查對象進行確切的檢查。
另外，為了解決上述課題，本發明為用于對形成有具備縱向和橫向
的細長狀端子的檢查對象進行檢查的檢查夾具，其特征在于，設有形 成有前端側插通孔的前端側支撐體，形成有后端側插通孔、且相對于前 端側支撐體通過規定的間隙而配置的后端側支撐體，以及具有與端子接 觸的前端、被插通于前端側插通孔的前端側部分及被插通于后端側插通 孔的后端側部分的探針，其中，前端側插通孔具有朝向檢查對象的探針 引導方向，后端側插通孔具有相對于前端側插通孔的探針引導方向、沿 著由縱向和前端側插通孔的探針引導方向形成的平面而傾斜的探針引導 方向；在前端與端子接觸時，前端朝向前端側支撐體而被壓入，同時， 探針在前端側支撐體和后端側支撐體之間彎曲。
在本發明的檢查夾具中，在相對于形成有前端側插通孔的前端側支 撐體通過規定的間隙而配置的后端側支撐體上，形成有后端側插通孔， 其中，前端側插通孔具有朝向檢查對象的探針引導方向，后端側插通孔 具有相對于前端側插通孔的探針引導方向、沿著由細長狀端子的縱向和 前端側插通孔的探針引導方向形成的平面而傾斜的探針引導方向。因此， 即使為了在探針的前端與端子接觸時使其前端朝向前端側支撐體被壓入 而前端側插通孔形成為比探針的直徑大的情況下，探針的前端與端子接 觸而探針在前端側支撐體與后端側支撐體之間發生彎曲的話，探針的前 端也沿著端子的縱向偏移，而不太會有沿著端子的橫向偏移的情況。其
結果是，本發明中，即使在形成為細長狀的檢查用端子的橫向幅度非常 狹窄的情況下，也能夠使探針的前端確實地與檢查對象的端子接觸，從 而能夠對檢查對象進行確切的檢查。
本發明的檢查夾具，能夠使用于設有被導電連接于與探針后端側部 分相接的電極的電氣檢查部的檢查裝置。該檢查裝置，即使在形成為細 長狀的檢查用端子的橫向幅度非常狹窄的情況下，也能夠使探針的前端 確實地與檢查對象的端子接觸，從而能夠對檢查對象進行確切的檢查。
發明效果
如上所述，本發明的檢查夾具及檢查裝置，即使在形成為細長狀的 檢查用端子的橫向幅度非常狹窄的情況下，也能夠對檢查對象進行確切 的檢查。


圖1是本發明實施形態涉及的檢查夾具的俯視圖。 圖2是圖1所示檢查夾具的側面圖。
圖3是表示以圖1所示檢查夾具進行檢查的檢查對象的俯視圖。 圖4是將圖3的E部放大表示的放大圖。
圖5是表示圖1所示前端側支撐體的剖面構造的放大剖面圖。 圖6是表示圖1所示后端側支撐體的剖面構造的放大剖面圖。 圖7是表示搭載有圖1所示檢查夾具的檢查裝置的概略構成圖。 圖8是用于說明以圖7所示檢查裝置檢查檢查對象時的探針動作的 圖，(A)從端子的橫向表示探針的前端與端子接觸前的狀態，(B)從 端子的橫向表示探針的前端與端子接觸的狀態，(C)從端子的縱向表示 探針的前端與端子接觸的狀態。
圖9是本發明其他實施形態涉及的檢查對象的端子排列的示意圖。 圖10是本發明其他實施形態涉及的檢查對象的端子排列的示意圖。 圖11是本發明其他實施形態涉及的端子的形狀的示意圖。
符號說明
1 檢查夾具
2前端側支撐體
3后端側支撐體
5探針
5c前端側部分
5d后端側部分
5e前端
7電極
13前端側插通孔
20后端側插通孔
30檢查裝置
31控制部(電氣檢查部)
50檢查對象
60、61、 62、 63 端子
V探針引導方向
具體實施例方式
以下，根據附圖對本發明的實施形態進行說明。 (檢查夾具的構成)
圖1是本發明實施形態涉及的檢查夾具1的俯視圖。圖2是圖1所 示檢查夾具1的側面圖。圖3是表示以圖1所示檢查夾具1進行檢查的 檢查對象50的俯視圖。圖4是將圖3的E部放大表示的放大圖。圖5是 表示圖l所示前端側支撐體2的剖面構造的放大剖面圖。圖6是表示圖1 所示后端側支撐體3的剖面構造的放大剖面圖。
另外，在以下的說明中，將圖1的左右方向作為X方向、圖1的上 下方向作為Y方向、圖1的紙面垂直方向作為Z方向。另外，將由Y方 向和Z方向形成的平面作為YZ平面、Z方向和X方向形成的平面作為 ZX平面。
本形態的檢查夾具1如下面所述，搭載于對印刷線路板或半導體集 成電路等的檢查對象50進行電氣檢查的檢查裝置30而被使用(參照圖 7)。另外，本形態的檢查夾具1，如圖3、圖4所示，是用于對形成有 檢查用端子60的檢查對象50進行檢查的夾具，其中，檢查用端子60為
具備縱向和橫向的細長狀。
檢查對象50，作為整體而形成為扁平的長方體狀(矩形的板狀)。 該檢查對象50上，如上所述，形成有多個具備縱向和橫向的細長狀的檢 查用端子60。具體地說，如圖3、圖4所示，在檢查對象50上形成有多 個端子60、并形成為兩個第一端子群60A以在Y方向上隔開規定間隔的 狀態而形成、且兩個第二端子群60B以在X方向上隔開規定間隔的狀態 而形成，其中，兩個第一端子群60A由在X方向上以規定間隔排成一行 的多個端子60構成，兩個第二端子群60B由在Y方向上以規定間隔排成 一列的多個端子60構成。也就是說，在檢查對象50上，形成有沿著檢 查對象50的四邊而配置為一列直線狀的多個端子60。
本形態中，構成第一端子群60A的端子60，形成為以X方向為橫向、 以Y方向為縱向的細長長方形形狀。另外，構成第二端子群60B的端子 60，形成為以Y方向為橫向、以X方向為縱向的細長長方形形狀。也就 是說，檢查對象50上形成有縱向不同的多個端子60。另外，端子60的 縱向幅度Wl (參照圖4)例如為2 3mm，端子60的橫向幅度W2 (參照 圖4)例如為20~30拜。
如圖1、圖2所示，檢查夾具1設有前端側支撐體2、和相對于前端 側支撐體2通過規定間隙而配置的后端側支撐體3。
前端側支撐體2及后端側支撐體3，分別形成為扁平的長方體狀(矩 形的板狀)。另外，前端側支撐體2和后端側支撐體3，被配置為各自的 表面相互平行。具體地說，前端側支撐體2和后端側支撐體3通過配置 于前端側支撐體2的四角的四支支撐柱4而被連接并固定。
在前端側支撐體2及后端側支撐體3上插通有多個探針5。具體地說， 如圖1、圖2所示，在前端側支撐體2及后端側支撐體3上插通有多個探 針5、并被插通為兩個第一探針群5A以在Y方向上隔開規定間隔的狀態 而形成、且兩個第二探針群5B以在X方向上隔開規定間隔的狀態而形成， 其中，兩個第一探針群5A由在X方向上以規定間隔排成一行的多個探 針5構成，兩個第二探針群5B由在Y方向上以規定間隔排成一行的多個 探針5構成。
另外，如圖2所示，構成第二探針群5B的多個探針5，如隨著從前 端側支撐體2朝向后端側支撐體3而向X方向外側擴展那樣，插通于前
端側支撐體2及后端側支撐體3。另外，構成第一探針群5A的多個探針 5，如隨著從前端側支撐體2朝向后端側支撐體3而向Y方向外側擴展那 樣，插通于前端側支撐體2及后端側支撐體3。
具體地說，如構成第二探針群5B的多個探針5沿著X方向(更具體 地說是ZX平面)傾斜、構成第一探針群5A的多個探針5沿著Y方向(更 具體地說是YZ平面)傾斜那樣，而被插通于前端側支撐體2及后端側支 撐體3。另外，在本形態中，對檢查對象50進行檢查時，構成第一探針 群5A的探針5與構成第一端子群60A的端子60接觸，構成第二探針群 5B的探針5與構成第二端子群60B的端子60接觸。也就是說，在前端 側支撐體2和后端側支撐體3之間，探針5沿著所接觸的端子60的縱向 而傾斜。
另外，如圖5所示，探針5的前端5e在前端側支撐體2的表面上略 微突出。例如，前端5e從前端側支撐體2的表面突出100 1^m 200 ^m。 另外，前端5e從前端側支撐體2的表面的突出量可以超過200 ^m，也 可以不足100 P m (例如50 P m)。
在后端側支撐體3的后方安裝有電極支撐體6。電極支撐體6上，如 圖2所示，固定有與探針5 (具體地說是后端側部分5d)導電接觸的多 個電極7。
探針5在由鎢、高速鋼(SKH)、鈹銅(Be — Cu)等金屬及其他的 導電體形成的同時，形成為具有可彎曲的彈性的金屬絲狀。本形態的探 針5具有由上述那樣的導電體構成的導電金屬絲5a、和覆蓋該導電金屬 絲5a外周面的絕緣外皮5b。絕緣外皮5b由合成樹脂等的絕緣體形成。 另外，絕緣外皮5b也可以為通過在導電金屬絲5a的表面進行絕緣涂裝 而形成的絕緣膜。
如圖5、圖6所示，在探針5的前端側部分5c及后端側部分5d中形 成導電金屬絲5a露出的狀態。另外，探針5的前端5e或后端5f ，如圖 中所示那樣形成為球面狀。
前端側支撐體2，從配置檢查對象50的一側(圖示上側)依次層疊 多張(本形態中為三張)支撐板10、 11、 12而構成。這些支撐板10~12 通過螺栓等固定部件而相互固定。如圖5所示，各支撐板10、 11、 12上 分別形成有貫通孔10a、 lla、 12a。通過這些貫通孔10a、 lla、 12a，構
成探針5的前端側部分5c所插通的一個前端側插通孔13 。
前端側插通孔13具有朝向檢查對象50的探針引導方向。具體地說， 前端側插通孔13具有與對置面2a垂直相交的探針5的引導方向，其中， 對置面2a是前端側支撐體2的、與檢查對象50相對的面(圖示上側的 表面)。也就是說，前端側插通孔13形成在與對置面2a垂直相交的方 向(Z方向)上。因此，能夠使探針5的前端5e垂直地與檢查對象50 的端子60接觸。
該前端側插通孔13僅形成有檢查夾具1所具有的探針5的數量。具 體地說，前端側插通孔13形成為，構成第一探針群5A的探針5與構成 第一端子群60A的端子60接觸、構成第二探針群5B的探針5與構成第 二端子群60B的端子60接觸。
三個貫通孔10a、 lla、 12a形成為同心狀。具體地說，貫通孔10a 由小徑孔10b和直徑比小徑孔10b大的大徑孔10c構成，貫通孔12a由 小徑孔12b和直徑比小徑孔12b大的大徑孔12c構成。另外，小徑孔10b 和小徑孔12b，以比導電金屬絲5a的外徑略大、且比絕緣外皮5b部分的 探針5的外徑略小的內徑而形成。另外，貫通孔lla的內徑形成為比小 徑孔10b的內徑以及小徑孔12b的內徑大。
探針5前端側的絕緣外皮5b的端緣5g，如圖5所示，相對于前端側 插通孔13的小徑孔12b配置于后方。另外，如上所述，小徑孔12b以比 絕緣外皮5b部分的探針5的外徑略小的內徑而形成。因此，絕緣外皮5b 的端緣5g能夠與小徑孔12b的開口邊緣12d相接。也就是說，端緣5g 和開口邊緣12d,成為用于防止探針5向檢查對象側脫落的防脫部。
后端側支撐體3，從前端側支撐體2側依次層疊多張(本形態中為三 張)支撐板15、 16、 17而構成。這些支撐板15 17通過螺栓等的固定部 件而相互固定。如圖6所示，各支撐板15 17上分別形成有貫通孔15a、 16a、 17a。通過這些貫通孔15a 17a，構成探針5的后端側部分5d所插 通的一個后端側插通孔20。該后端側插通孔20僅形成有檢查夾具1所具 有的探針5的數量。
后端側插通孔20具有相對于前端側插通孔13的探針引導方向(即， 對置面2a的垂直相交方向)而傾斜的探針引導方向V。也就是說，三個 貫通孔15a 17a以各自的中心一點一點地偏移的狀態而形成，后端側插
通孔20的整體相對于對置面2a的垂直相交方向而傾斜。例如，如圖6 所示，在以貫通孔15a 17a的順序其中心一點一點向圖示右方偏移的狀 態下，形成有三個貫通孔15a 17a。也就是說，探針引導方向V，相對于 與后端側支撐體3的表面垂直相交的法線n向圖6的逆時針方向僅傾斜
角度e 。
貫通孔15a由小徑孔15b和直徑比小徑孔15b大的大徑孔15c構成。 同樣地，貫通孔16a由小徑孔16b和大徑孔16c構成，貫通孔17a由小 徑孔17b和大徑孔17c構成。小徑孔17b以比導電金屬絲5a的外徑略大、 且比絕緣外皮5b部分的探針5的外徑略小的內徑而形成，小徑孔15b、 16b，以比形成有絕緣外皮5b部分的探針5的外徑略大的內徑而形成。
如上所述，本形態中，探針5沿著所接觸的端子60的縱向而傾斜。 也就是說，在本形態中，某一后端側插通孔20的探針引導方向V，如沿 著被插通于該后端側插通孔20的探針5所接觸的端子60的縱向那樣， 而相對于前端側插通孔13的探針引導方向而傾斜。具體地說，構成第一 探針群5A的探針5所插通的后端側插通孔20的探針引導方向V，為沿 著Y方向(更具體地說是YZ平面)、且隨著從支撐板15朝向支撐板17 而向Y方向外側擴展那樣傾斜的方向，構成第二探針群5B的探針5所插 通的后端側插通孔20的探針引導方向V，為沿著X方向(更具體地說是 ZX平面)、且隨著從支撐板15朝向支撐板17而向X方向外側擴展那樣 傾斜的方向。
另外，在各探針5中，插通于前端側插通孔13_的前端側部分5c相 對于插通于后端側插通孔20的后端側部分5d，配置在向后端側插通孔 20的探針引導方向V的傾斜方向偏移的位置。也就是說，某一探針5的 前端側部分5c所插通的前端側插通孔13的后端側開口位置(即，支撐 板12的貫通孔12a的開口位置)如圖6所示，從該探針5的后端側部分 5d所插通的后端側插通孔20觀察時配置于后端側插通孔20的探針引導 方向V的傾斜側。
探針5的后端5f，如上所述那樣形成為球面狀。因此，即使探針5 的后端側部分5d沿著具有傾斜的探針引導方向V的后端側插通孔20傾 斜，也不會對后端5f和電極7的表面的導電接觸狀態產生影響。
如圖2所示，電極支撐體6是埋設有多個電極7的支撐板22、 23、
和支持被導電連接于電極7的布線24的支撐板25層疊而構成。布線24 與后述的檢查裝置30的控制部31連接。另外，電極支撐體6通過螺栓 等固定部件可裝卸地固定于后端側支撐體3。
如上所述那樣構成的檢查夾具1，如以下那樣被組裝。也就是說，首 先通過支撐柱4將前端側支撐體2和后端側支撐體3連接并固定。
然后，將多個探針5插通于前端側支撐體2和后端側支撐體3。具體 地說，將探針5從處于支撐板17被取下狀態的后端側支撐體3的后方插 入，直至前端側的絕緣外皮5b的端緣5g與小徑孔12b的開口邊緣12d 相接。也就是說，如探針5的前端5e依次通過后端側插通孔20、前端側 支撐體2和后端側支撐體3之間的空間、以及前端側插通孔13那樣，而 插入探針5。其后，固定支撐板17。
然后，將電極支撐體6固定于后端側支撐體3，完成檢查夾具l。
(檢查裝置的構成)
圖7是表示搭載有圖1所示檢查夾具1的檢查裝置30的概略構成圖。 如圖7所示，本形態的檢查夾具1搭載于對檢查對象50進行電氣檢 查(具體指斷線或短路等的檢查)的檢查裝置30而被使用。該檢查裝置 30設有:作為包含判定檢查對象50導通狀態的檢查電路的電氣檢查部的 控制部31，與控制部31連接的驅動部32，以及通過驅動部32而被驅動 的檢查機構33。
檢查機構33設有:安裝有檢查夾具1的第一支撐盤34,與第一支撐 盤34相對配置的第二支撐盤35，以及使第一支撐盤34和第二支撐盤35 可相對接觸離開地進行移動的移動機構36。移動機構36由滾珠絲杠機構 或油壓機構等構成，并通過驅動部32而被驅動。
安裝固定于第一支撐盤34的檢查夾具1的電極7，通過布線24及連 接于該布線24的布線37與控制部31導電連接。另外，在第二支撐盤35 上，檢查對象50以被定位的狀態而被載置并固定。具體地說，如構成第 一探針群5A的探針5與構成第一端子群60A的端子60接觸、構成第二 探針群5B的探針5與構成第二端子60B的端子60接觸那樣、檢查對象 50被固定于第二支撐盤35上。
該狀態下，通過控制部31的控制信號驅動部32驅動移動機構36，
第一支撐盤34向第二支撐盤35接近，并以規定壓力將檢查夾具1按壓 于檢查對象50。將檢查夾具1按壓于檢查對象50的話，檢查夾具1的各 探針5與檢查對象50的端子60接觸，并朝向前端側支撐體2而被壓入。 另外，各探針5與端子60導通。該狀態下，通過控制部31利用布線37 向檢查夾具1供給規定信號、或接收利用檢查夾具1檢測出的電位等， 而進行檢查對象50的電氣檢驗。
(檢查對象檢查時的探針的動作)
圖8是用于說明以圖7所示檢查裝置30對檢查對象50進行檢查時 的探針5的動作的圖，(A)從端子60的橫向表示探針5的前端5e與端 子60接觸前的狀態，(B)從端子60的橫向表示探針5的前端5e與端 子60接觸的狀態，(C)從端子60的縱向(即，(B)的F—F方向) 表示探針5的前端5e與端子60接觸的狀態。另外，圖8中省略絕緣外 皮5b的圖示。
本形態的檢查夾具1中，處于前端側支撐體2和后端側支撐體3之 間的探針5的中間部分，成為沿著后端側插通孔20在后端側部分5d傾 斜的方向上傾斜并延伸、直至插通于前端側插通孔13的狀態。因此，在 對檢查對象50進行檢查時，若探針5的前端5e與端子60接觸并朝向前 端側支撐體2而被壓入的話，則處于傾斜姿態的探針5的中間部分撓曲 (發生彎曲)。
該彎曲時的探針5的中間部分的彎曲方向，為與探針5的傾斜方向 (即，該探針5所插通的后端側插通孔20的探針引導方向V)相對應的 方向。具體地說，構成第一探針群5A的探針5沿著YZ平面彎曲，構成 第二探針群5B的探針5沿著ZX平面彎曲。
因此，探針5的前端5e與端子60接觸的話，如圖8 (B)所示，構 成第一探針群5A的探針5的前端側部分5c，在前端側插通孔13內沿著 構成第一端子群60A的端子60的縱向(更具體地說是YZ平面)移動， 構成第二探針群5B的探針5的前端側部分5c，在前端側插通孔13內沿 著構成第二端子群60B的端子60的縱向(更具體地說是ZX平面)移動。 也就是說，此時如圖8(C)所示，構成第一探針群5A的探針5的前端側部 分5c在前端側插通孔13內基本不向構成第一端子群60A的端子60的橫
向移動，構成第二探針群5B的探針5的前端側部分5c在前端側插通孔 13內基本不向構成第二端子群60B的端子60的橫向移動。
因而，探針5的前端5e與端子60接觸的話，如圖8 (B)所示，前 端5e以小徑孔12b的圖示下端為支點而沿著端子60的縱向偏移。另一 方面，即使前端5e與端子60接觸，如圖8 (C)所示，前端5e也幾乎不 會沿著端子60的橫向偏移。
(本形態的效果)
如以上所說明，在本形態中，后端側支撐體3上形成有后端側插通 孔20，其中，該后端側插通孔20具有相對于前端側插通孔13的探針引 導方向沿著端子60的縱向(更具體地說，為由前端側插通孔13的探針 引導方向(Z方向)和端子60的縱向形成的YZ平面或ZX平面)傾斜 的探針引導方向V。另外，探針5的前端側部分5c相對于后端側部分5d 配置于，在向后端側插通孔20的探針引導方向V傾斜的一側上偏移的位 置。
因此，即使為了使探針5的前端5e能夠在檢查對象50側出入(即， 前端5e朝向前端側支撐體2而被壓入)而使前端側插通孔13形成為比 探針5的直徑(具體地說，為導電金屬絲5a的直徑)大的情況下，如上 所述，在前端5e與端子60接觸而配置于前端側支撐體2與后端側支撐 體3之間間隙中的探針5的中間部分彎曲時，與端子60接觸的前端5e 沿著端子60的縱向偏移，而不太會沿著端子60的橫向偏移。
其結果是，在本形態中，即使在端子60的橫向幅度W2例如為20~30 ^m這樣非常狹窄的情況下，對檢查對象50進行檢查時，也能夠使探針 5的前端5e確實地與端子60接觸，從而能夠對檢查對象50進行確切的 檢查。
特別是在本形態中，與縱向不同的、構成第一端子群60A的端子60 和構成第二端子群60B的端子60接觸的探針5的后端側部分5d分別插 通于，沿著各個探針5所接觸的端子60的縱向而傾斜的后端側插通孔20。 因此，即使在檢查對象50上形成有縱向不同的多個端子60的情況下， 也能夠使探針5的前端5e確實地與端子60接觸，從而能夠對檢查對象 50進行確切的檢查。
(其他的實施形態)
上述形態，雖為本發明適宜形態的一例，但并不限定于此，在不改 變本發明主旨的范圍內可以進行各種變形。
上述形態中，在檢查對象50上形成有沿著檢查對象50的四邊而配 置為一列直線狀的多個端子60。除此之外，例如如圖9所示，也可以在 檢查對象50上形成沿著檢查對象50的四邊而配置為兩列(或兩列以上 的多列)直線狀的多個端子60。另外，如圖10所示，也可以在檢查對象 50上形成沿著檢查對象50的一邊而配置為一列(或多列)直線狀的多個 端子60。進而，也可以在檢查對象50上形成沿著檢查對象50的兩邊或 者三邊而配置為一列或多列直線狀的多個端子60。另外，也可以在檢查 對象50上形成沿著檢查對象50四邊中的至少任意一邊而配置為略圓弧 狀的多個端子60。進而，檢查對象50也可以不形成為矩形的板狀，另外， 端子60也可以以任意的排列模式而形成于檢查對象50上。
另外，在這些情況下，多個探針5的后端側部分5d,插通于沿著各 個探針5所接觸的端子60的縱向而傾斜的后端側插通孔20。
上述形態中，被形成為細長長方形形狀的端子60形成于檢查對象50 上。除此之外，例如如圖11 (A)所示，也可以使具有幅度寬的寬幅部 61a和比寬幅部61a幅度窄小的窄幅部61b的細長狀端子61形成于檢查 對象50。另外，如圖11 (B)所示，可以使田徑賽用跑道狀的細長狀端 子62形成于檢查對象50，如圖11 (C)所示，也可以使橢圓狀端子63 形成于檢查對象50。
另外，在上述形態中，X方向或Y方向為端子60的縱向、橫向，但 是也可以使相對于X方向或Y方向傾斜的方向為端子60的縱向、橫向。
上述形態中，構成第一探針群5A的探針5，如隨著從前端側支撐體 2朝向后端側支撐體3而向Y方向外側擴展那樣，插通于前端側支撐體2 及后端側支撐體3。除此之外，例如構成第一探針群5A的探針5也可以 如隨著從前端側支撐體2朝向后端側支撐體3而向Y方向內側收縮那樣， 而插通于前端側支撐體2及后端側支撐體3。
另外也可以是，作為構成第一探針群5A的探針5中的、在X方向 上相互鄰接的一方探針5，如隨著從前端側支撐體2朝向后端側支撐體3 而向Y方向外側擴展那樣，插通于前端側支撐體2及后端側支撐體3，
在X方向上相互鄰接的另一方探針5，如隨著從前端側支撐體2朝向后 端側支撐體3而向Y方向內側收縮那樣，插通于前端側支撐體2及后端 側支撐體3。也就是說，也可以如構成第一探針群5A的探針5的后端5f 被交錯排列那樣，使探針5插通于前端側支撐體2及后端側支撐體3。
同樣地，可以使構成第二探針群5B的探針5如隨著從前端側支撐體 2朝向后端側支撐體3而向X方向內側收縮那樣，插通于前端側支撐體2 及后端側支撐體3,也可以如構成第二探針群5B的探針5的后端5f被交 錯排列那樣，使探針5插通于前端側支撐體2及后端側支撐體3。
在上述形態中，由三張支撐板10~12構成前端側支撐體2。除此之外 例如，也可以由兩張以下或四張以上的支撐板構成前端側支撐體2。同樣 地，在上述形態中，由三張支撐板15 17構成后端側支撐體3，但是也可 以由兩張以下或四張以上的支撐板構成后端側支撐體3。
權利要求
1.一種檢查夾具，用于對形成有具備縱向和橫向的細長狀端子的檢查對象進行檢查，其特征在于，設有形成有前端側插通孔的前端側支撐體，相對于上述前端側支撐體通過規定的間隙而配置、且形成有后端側插通孔的后端側支撐體，以及探針，其中，前端側插通孔具有朝向上述檢查對象的探針引導方向，后端側插通孔具有相對于上述前端側插通孔的探針引導方向沿著上述縱向而傾斜的探針引導方向，探針具有被插通于上述前端側插通孔的前端側部分和被插通于上述后端側插通孔的后端側部分、以使與上述端子接觸的前端能夠在上述檢查對象側出入；上述探針的上述前端側部分相對于上述后端側部分配置于，在向上述后端側插通孔的探針引導方向傾斜的一側上偏移的位置。
2. 如權利要求1所述的檢查夾具，其特征在于， 設有分別與上述縱向不同的多個上述端子接觸的多個上述探針； 多個上述探針的上述后端側部分，被插通于沿著各個上述探針所接觸的上述端子的上述縱向而傾斜的上述后端側插通孔。
3. —種檢查夾具，用于對形成有具備縱向和橫向的細長狀端子的檢 查對象進行檢查，其特征在于，設有形成有前端側插通孔的前端側支撐體，形成有后端側插通孔、 且相對于上述前端側支撐體通過規定的間隙而配置的后端側支撐體，以 及具有與上述端子接觸的前端、被插通于上述前端側插通孔的前端側部 分及被插通于上述后端側插通孔的后端側部分的探針， 其中，前端側插通孔具有朝向上述檢查對象的探針引導方向，后端側插 通孔具有，相對于上述前端側插通孔的探針引導方向、沿著由上述縱向 和上述前端側插通孔的探針引導方向形成的平面而傾斜的探針引導方 向；在上述前端與上述端子接觸時，上述前端朝向上述前端側支撐體而 被壓入，同時，上述探針在上述前端側支撐體和上述后端側支撐體之間 彎曲。
4. 一種檢查裝置，其特征在于，設有權利要求1 3中的任意一項 所述的檢查夾具、和被導電連接于與上述探針的上述后端側部分相接的 電極的電氣檢查部。
全文摘要
本發明提供的檢查夾具，即使在形成為細長狀的檢查用端子的橫向幅度非常狹窄的情況下，也能夠對檢查對象進行確切的檢查；用于對形成有具備縱向和橫向的細長狀端子的檢查對象(50)進行檢查的檢查夾具(1)，設有形成有前端側插通孔的前端側支撐體(2)，相對于前端側支撐體(2)通過間隙而配置、且形成有后端側插通孔的后端側支撐體(3)，以及具有被插通于前端側插通孔的前端側部分和被插通于后端側插通孔的后端側部分的探針(5)，其中，前端側插通孔具有朝向檢查對象(50)的探針引導方向，后端側插通孔具有相對于前端側插通孔的探針引導方向沿著端子的縱向而傾斜的探針引導方向；探針(5)的前端側部分相對于后端側部分配置于，在向后端側插通孔的探針引導方向傾斜的一側上偏移的位置。
文檔編號G01R31/02GK101358997SQ20081014415
公開日2009年2月4日 申請日期2008年7月29日 優先權日2007年7月31日
發明者伊藤光彥, 土橋賢治 申請人:株式會社光陽科技