專(zhuān)利名稱(chēng)：鉻版表面膜層微小缺陷針孔的檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光掩?；A(chǔ)材料一絡(luò)版，尤其涉及對(duì)鉻版表面膜層微小缺 陷針孔的檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
鉻版是用于制造光掩模的基礎(chǔ)材料，它是用玻璃或人造石英玻璃基板經(jīng)過(guò)
研磨，拋光，清洗后用濺射或蒸發(fā)方法鍍2—3層鉻的化合物制造而成的。如果 膜層沒(méi)有鍍好就會(huì)產(chǎn)生針孔影響光掩模的質(zhì)量。
近年隨著薄膜微電子技術(shù)的發(fā)展，特別是液晶顯示器件(LCD)，薄膜晶體 管(TFT)，等離子顯示器件(PDP)的發(fā)展使大尺寸的光掩膜(200mraX200mm以 上)的應(yīng)用越來(lái)越大。因此對(duì)鉻版的尺寸和品質(zhì)要求越來(lái)越高，隨著鉻版的尺 寸擴(kuò)大，對(duì)鉻版主要微小缺陷針孔的檢測(cè)越來(lái)越困難。以往的針孔檢測(cè)方法， 檢驗(yàn)人員用手持顯微鏡檢測(cè)。如果要檢測(cè)一塊400mmX450mm的鉻版的5um以上 的針孔要用50倍左右的顯微鏡每次檢測(cè)大約40咖2的面積，檢測(cè)一塊鉻版大約 需要8小時(shí)，而且?guī)?lái)嚴(yán)重污染，存在檢測(cè)人員誤差等。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種檢測(cè)快速、準(zhǔn)確并能適用于大面積鉻版表面膜 層微小缺陷針孔的檢測(cè)方法。
本發(fā)明提供的這種鉻版表面膜層微小缺陷針孔的檢測(cè)方法，包括如下步驟
(1) 建立標(biāo)準(zhǔn)樣(2) 確定待測(cè)鉻版的有效區(qū)；
(3) 用智能工業(yè)攝像機(jī)以微米級(jí)精度準(zhǔn)確移動(dòng)并逐一連續(xù)不斷地拍攝到所 述有效區(qū)的每個(gè)部分；
(4) 用智能工業(yè)攝像機(jī)將步驟(3)獲得的圖片分成以每8平方毫米不少于 200萬(wàn)像素，并將每份像素分成256個(gè)亮度等級(jí)，得到高精度拍攝圖片；
(5) 智能工業(yè)攝像機(jī)將步驟(4)獲得的每份高精度拍攝圖片與標(biāo)準(zhǔn)樣圖進(jìn) 行比較；
(6) 對(duì)在測(cè)鉻版的缺陷位置、個(gè)數(shù)、大小予以顯示。本發(fā)明這種檢測(cè)方法速度相當(dāng)快，對(duì)400mmX 450mm的絡(luò)版進(jìn)行檢測(cè)5um以 上針孔只需15分鐘，相對(duì)人工檢測(cè)速度提高了 32倍。而且用本發(fā)明方法檢測(cè) 沒(méi)有人眼視覺(jué)誤差，非常準(zhǔn)確并且對(duì)鉻版沒(méi)有污染因此本發(fā)明尤其適用于大面 積鉻版表面膜層的檢測(cè)。
圖1是實(shí)施本發(fā)明方法的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是用本發(fā)明方法拍攝的標(biāo)準(zhǔn)樣圖。 圖3是用本發(fā)明方法實(shí)時(shí)檢測(cè)鉻版拍攝的有針孔缺陷的圖。
具體實(shí)施例方式
從圖1可以看出用本發(fā)明方法檢測(cè)鉻版應(yīng)具備智能工業(yè)攝像機(jī)和檢測(cè)臺(tái)板， 我們可以用本發(fā)明方法選擇沒(méi)有缺陷的圖片建立標(biāo)準(zhǔn)樣圖(見(jiàn)圖2)，并將它存 于智能工業(yè)攝像機(jī)的主計(jì)算機(jī)內(nèi)，然后將待檢測(cè)的鉻版放在檢測(cè)臺(tái)板上，按照 以下步驟對(duì)待測(cè)絡(luò)版進(jìn)行檢測(cè)
(1) 操作人員向智能工業(yè)攝像機(jī)的主計(jì)算機(jī)輸入待測(cè)鉻版的長(zhǎng)度和寬度， 由主計(jì)算機(jī)計(jì)算出待測(cè)鉻版的有效區(qū)，并將該有效區(qū)分成n份，每份大小2X4 毫米，然后將此信息發(fā)送給智能工業(yè)攝像機(jī)的機(jī)器人(robot)的計(jì)算機(jī)；
(2) 由機(jī)器人帶動(dòng)智能工業(yè)攝像機(jī)的CCD相機(jī)及鏡頭以微米級(jí)精度準(zhǔn)確移 動(dòng)，即將待測(cè)鉻版分成數(shù)千到數(shù)十萬(wàn)份，連續(xù)不斷拍攝到鉻版的各個(gè)部分，機(jī) 器人的計(jì)算機(jī)不斷將CCD相機(jī)所在的位置報(bào)告給主計(jì)算機(jī)，同時(shí)CCD相機(jī)的微 處理器將相應(yīng)位置的拍攝信息發(fā)送給主計(jì)算機(jī)，為了彌補(bǔ)robot的精度進(jìn)行了部 分邊緣重疊處理。
(3) 用智能工業(yè)攝像機(jī)的CCD相機(jī)和鏡頭將步驟(2)獲得的圖片分成每2 X4毫米面積內(nèi)200萬(wàn)像素，并將每份像素分成256個(gè)亮度等級(jí)，得到高精度拍 攝圖片(見(jiàn)圖3)，將該拍攝圖片信息傳輸?shù)街悄芄I(yè)攝像機(jī)的主計(jì)算機(jī)；
(4) 智能工業(yè)攝像機(jī)的主計(jì)算機(jī)將步驟(3)獲得的高精度拍攝圖片與標(biāo)準(zhǔn) 樣圖進(jìn)行比較，并將每張圖的位置及結(jié)果自動(dòng)記錄，同時(shí)對(duì)有缺陷針孔的圖片 及針孔的面積、大小、位置信息進(jìn)行保存；
(5) 主計(jì)算機(jī)將在測(cè)鉻版缺陷位置、個(gè)數(shù)、每個(gè)缺陷的大小以面積為單位 顯示，如果需要精確知道針孔的形狀，可以打開(kāi)主計(jì)算機(jī)保存的缺陷圖片并放 大0-100倍進(jìn)行觀(guān)察。
權(quán)利要求
1、一種鉻版表面膜層微小缺陷針孔的檢測(cè)方法，包括如下步驟(1)建立標(biāo)準(zhǔn)樣圖；(2)確定待測(cè)鉻版的有效區(qū)；(3)用智能工業(yè)攝像機(jī)以微米級(jí)精度準(zhǔn)確移動(dòng)并逐一連續(xù)不斷地拍攝到所述有效區(qū)的每個(gè)部分；(4)用智能工業(yè)攝像機(jī)將步驟(3)獲得的圖片分成以每8平方毫米不少于200萬(wàn)像素，并將每份像素分成256個(gè)亮度等級(jí)，得到高精度拍攝圖片；(5)智能工業(yè)攝像機(jī)將步驟(4)獲得的每份高精度拍攝圖片與標(biāo)準(zhǔn)樣圖進(jìn)行比較；(6)對(duì)在測(cè)鉻版的缺陷位置、個(gè)數(shù)、大小予以顯示。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)方法，其特征在于所述步驟(2)中還應(yīng)將 有效區(qū)分成n份，每份大小2X4毫米。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種鉻版表面膜層微小缺陷針孔的檢測(cè)方法，該方法包括如下步驟建立標(biāo)準(zhǔn)樣圖；確定待測(cè)鉻版的有效區(qū)；用智能工業(yè)攝像機(jī)以微米級(jí)精度準(zhǔn)確移動(dòng)并逐一連續(xù)不斷地拍攝到所述有效區(qū)的每個(gè)部分；用智能工業(yè)攝像機(jī)將圖片分成以每8平方毫米不少于200萬(wàn)像素，并將每份像素分成256個(gè)亮度等級(jí)，得到高精度拍攝圖片；將所獲得的高精度拍攝圖片與標(biāo)準(zhǔn)樣圖進(jìn)行比較；對(duì)在測(cè)鉻版的缺陷位置、個(gè)數(shù)、大小予以顯示。本發(fā)明這種檢測(cè)方法速度相當(dāng)快，并且沒(méi)有人眼視覺(jué)誤差，非常準(zhǔn)確并且對(duì)鉻版沒(méi)有污染，適用于大面積鉻版表面膜層微小缺陷的檢測(cè)。
文檔編號(hào)G01N21/88GK101451960SQ20081010756
公開(kāi)日2009年6月10日 申請(qǐng)日期2008年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月23日
發(fā)明者峰 丁, 陳社城 申請(qǐng)人:湖南普照信息材料有限公司