專利名稱：封閉式氣浮導軌的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種封閉式氣浮導軌，是利用流體力學的作用而使工件能平穩的 處于非接觸式的可移動裝置，尤其是其能運用于高精密儀器測量的系統，如三坐標測 量儀器、輪廓測量儀器等。
背景技術：
目前，精密儀器上使用最多的，利用流體力學作用而使被測工件(或測量用的傳 感器類)可動，這樣使測量得以完成的氣浮類的可動導軌，均是憑借氣體的浮力使可 動部件運動，再依靠可動部分的本身自重，使可動(運動)部件保持平穩。但是相應 的問題隨之而來，因為氣源的不穩定、可動部件的重力不足等因素就導致了氣浮可動 部件的運動不平穩，由此不穩定所帶來測量數據不可靠的問題。實用新型內容要解決的技術問題為了避免現有技術的不足之處，克服現有氣浮可動部件的運動不平穩，以及由此 不穩定所帶來的測量數據不可靠的問題，本實用新型提出一種封閉式氣浮導軌。我們 對于目前的氣浮類導軌進行了重新的設計，采用封閉氣浮導軌的測量儀，減少了因為 氣源的變化，及可動部件的本身自重而產生的測量錯誤。使得精密儀器將不再依靠可 動部件的自重，來保持可動部分的平穩運動。影響測量數據的不準確因素，就減少了， 從而提高了測量的可靠性。技術方案本實用新型提出的封閉式氣浮導軌，包括導軌和輸氣用的導管組成的氣路，技術 特征在于所述的導軌有兩個上導軌5、兩個中導軌6、兩個下導軌8以及定導軌7;上導軌5與中導軌6和下導軌8組成對稱形狀的C形狀，兩個C形狀的裝置口對口 ， 通過載物臺4連接而圍住定導軌7;所述的上導軌5、中導軌6和下導軌8的內部設計 有氣流通道，在C形狀的組合中相互連通，兩個上導軌之間采用氣路導管10連接貫 通；所述的導軌內的氣流通道相對定導軌7的一側均設計了氣嘴3;進氣路1設計在定導軌7的下端。所述的上導軌5上的氣流通道為均勻分布在該導軌內的通孔。所述的中導軌6上的氣流通道為均勻分布在該導軌內的一段通孔，上端與下端與外部不連通。所述的下導軌8上的氣流通道為均勻分布在該導軌內的一段通孔，與中導軌6連 接的一側與外部連通，另一側與外部不連通。所述上導軌5、中導軌6和下導軌8上分布的通孔的均勻度、尺寸一致。 有益效果本實用新型提出一種封閉式氣浮導軌，使得精密測量儀器的測量，不因為氣源的 變化，及可動部件的本身自重而產生的測量錯誤，得以解決。在精密儀器的測量系統 中使用我們的封閉式氣浮導軌，那么精密儀器將不再依靠可動部件的自重，來保持可 動部分的平穩運動。影響測量數據的不準確因素減少了，從而提高了測量的可靠性。
圖l:實施例正視圖 圖2:實施例側視圖 圖3:實施例俯視圖l-2-螺釘；3-氣嘴；4-載物臺；5-上導軌；6-中導軌；7-定導軌；8-下導軌；9-支撐平臺； 10-氣路導管；虛線為氣流通道，箭頭所示為氣流走向。
具體實施方式
現結合附圖對本實用新型作進一步描述 圖示為實施例的封閉式氣浮導軌的示意圖。圖一為正視圖，圖中箭頭所示為進氣示意。其中有螺釘把中導軌與上導軌、下導 軌相連接，在各導軌中有氣路相對應連接。圖二為側視圖，進氣孔中的氣流經氣路進入導軌，再流向各個氣嘴，氣流經氣嘴 噴出，如示意圖所示。其中有螺釘固定載物臺于上導軌上平面，定導軌與支撐平臺固 定。圖三為俯視圖，上、中、下各導軌對稱布置于定導軌的上、左右、下四個平面。 其中兩個上導軌之間由通氣的導管連接各氣路，使之相通。在本實施例中的氣路導管是用聚乙烯管字制作的，這種管子與各上導軌的氣路通 過特別制作的接頭連接形成圖三中所示的氣路導管。本實施例的中導軌長度為180，厚度為12，寬度為54。在寬度平面上均布有安裝 用的螺釘、堵頭、氣嘴等孔位。在裝配好上、下導軌后，所有的氣孔02.5將正對上 導軌、下導軌中的氣路形成氣路通道。2-M3深6的螺釘孔將用于與拖動整個封閉式氣 浮導軌的動力系統連接用，以使整個系統平穩移動。本實施例中導軌有兩個上導軌5、兩個中導軌6、兩個下導軌8以及定導軌7;上 導軌5與中導軌6和下導軌8組成對稱形狀的C形狀，兩個C形狀的裝置口對口，通 過載物臺4連接而圍住定導軌7，組合成封閉狀態。所述的上導軌5的氣流通道為均 勻分布在該導軌內的通孔。中導軌6的氣流通道為均勻分布在該導軌內的一段通孔， 上端與下端與外部不連通。下導軌8的的氣流通道為均勻分布在該導軌內的一段通孔， 與中導軌6連接的一側與外部連通，另一側與外部不連通。上導軌5、中導軌6和下 導軌8上分布的通孔的均勻度、尺寸一致，并在C形狀的組合中相互連通，兩個上導 軌之間采用氣路導管10連接貫通。在導軌內的氣流通道相對定導軌7的一側均設計了 氣嘴3，進氣路1設計在定導軌7的下端。圖二所示，氣嘴被壓入上導軌、中導軌、下導軌與導軌中的氣路形成節流裝置， 以致氣流在壓力作用下可噴涌而出，與定導軌形成有反作用力，促使上、中、下導軌 組成的載物臺可以沿著定導軌平穩移動。具體的應用是，帶有一定壓力的氣體通過位于一中導軌的進氣孔進入裝置的氣路 中，進入氣路的氣體先進行分道，然后通過各個氣道，進入到上、中、下三類導軌中， 氣體憑借壓力通過分布于三類導軌中氣嘴，急速噴出形成氣膜。上、中、下導軌三類 導軌與定導軌在此氣膜的反作用力下浮起，浮起的導軌在上、中、下對稱布置的作用 下，平穩地隨作用于其上的力而運動。要么工件布置于載物臺(可動部件)上，要么 傳感器布置于載物臺(可動部件)上，就可進行詳細的測量了。
權利要求1.一種封閉式氣浮導軌，包括導軌和輸氣用的導管組成的氣路，其特征在于所述的導軌有兩個上導軌(5)、兩個中導軌(6)、兩個下導軌(8)以及定導軌(7)；上導軌(5)與中導軌(6)和下導軌(8)組成對稱形狀的C形狀，兩個C形狀的裝置口對口，通過載物臺(4)連接而圍住定導軌(7)；所述的上導軌(5)、中導軌(6)和下導軌(8)的內部設計有氣流通道，在C形狀的組合中相互連通，兩個上導軌之間采用氣路導管(10)連接貫通；所述的導軌內的氣流通道相對定導軌(7)的一側均設計了氣嘴(3)；進氣路(1)設計在定導軌(7)的下端。
2. 根據權利要求1所述的封閉式氣浮導軌，其特征在于所述的上導軌(5)上的氣流通道為均勻分布在該導軌內的通孔。
3. 根據權利要求1所述的封閉式氣浮導軌，其特征在于所述的中導軌(6)上的氣流通道為均勻分布在該導軌內的一段通孔，上端與下端與外部不連通。
4. 根據權利要求1所述的封閉式氣浮導軌，其特征在于所述的下導軌(8)上的氣流通道為均勻分布在該導軌內的一段通孔，與中導軌(6)連接的一側與外部連通，另一側與外部不連通。
5. 根據權利要求1~4所述的封閉式氣浮導軌，其特征在于所述上導軌(5)、中導 軌(6)和下導軌(8)上分布的通孔的均勻度、尺寸一致。
專利摘要本實用新型涉及一種封閉式氣浮導軌，技術特征在于由上導軌、中導軌、下導軌等組成的封閉式可以氣浮的導軌機械裝置。此裝置就是由六個導軌組成，形如兩個C形的機械裝置，此C形裝置圍繞一定導軌并由一載物臺相連接，連同定導軌組成形如封閉式的導軌裝置。此裝置中的三種導軌(共六個)有可通連的氣路，在各氣路的出口處有氣嘴，在氣路中通有帶有一定壓力的氣流。在氣流壓力作用下，上導軌、中導軌、下導軌與定導軌間形成反作用力，在這種作用力下載物臺就可以在定導軌上平穩移動。此平穩移動不受載物臺的所在重物及氣流壓力的影響，此平穩移動被應用于三坐標測量儀、形狀測量儀、粗糙度測量儀等精密儀器中提高了儀器的測量精度。
文檔編號G01D11/00GK201107050SQ20072012639
公開日2008年8月27日 申請日期2007年11月16日 優先權日2007年11月16日
發明者白九成, 雷文澤 申請人:西安東風儀表廠