面向集成電路測試的測試數據轉換方法

專利名稱：面向集成電路測試的測試數據轉換方法
技術領域：
本發明涉及一種能夠實現集成電路測試數據批量轉換的方法，尤 其涉及一種面向大規模集成電路測試的實際需求，能夠自動實時地將
ASCII碼的J750測試數據批量轉換為其它數據格式的方法，屬于集成
電路測試技術領域。
背景技術：
在集成電路制造過程中，測試是必須但又是耗時而昂貴的過程， 它是保證集成電路性能、質量的關鍵手段之一。40年來，隨著集成電 路發展到第四代，集成電路測試機也從最初測試小規模集成電路發展 到測試中規模、大規模和超大規模集成電路，到了八十年代，超大規 模集成電路測試機進入全盛時期。
目前，集成電路測試機已經進入第四代，測量對象為VLSI，可測 管腳數高達1024個，功能測試圖形速率高達lOOMHz，測試圖形深度 可達4M以上。測試機的智能化水平進一步提高，具備與計算機輔助設 計(CAD)連接能力，利用自動生成測試圖形向量，并加強了數字系統 與模擬系統的融合。從1970年仙童(Fair child)公司形成Sentry系 列以來，繼而形成系列的還有泰克(Tektronix)公司的3200系列， 泰瑞達(Teradyne)公司的J750系列等。
在國內，美國泰瑞達(Teradyne)公司針對微處理器測試需求的 J750系列集成電路測試機得到了廣泛的應用。J750是一個將1024個 數字通道完全整合到一個測試頭的"零占地"系統，具有強大的并行 測試能力和超過95%的并行測試效率，能夠覆蓋國內現階段設計公司 開發設計的產品。因此，很多國內客戶用這款測試機作為產品量產的 測試機器。但是，由于泰瑞達公司沒有為J750開發完全的軟件來支持 生產測試數據的處理，而只是提供了一些接口。所以業界沒有一個統 一的標準方法來轉換生成的測試數據。有的公司根據自己的實際情況 寫了一些簡單的腳本完成一些簡單的功能，不僅通用性差，也很難移
植和擴展。這一缺陷在最新推出的J750Ex測試機中仍然沒有得到有效
的解決。

發明內容
鑒于現有技術所存在的不足，本發明的目的是提供一種面向集成
電路測試的測試數據轉換方法。該方法針對目前業界通用的J750系列測 試機實現，能夠將ASCII碼的J750測試數據批量轉換為用戶所需的其 它數據格式。
為實現上述的發明目的，本發明采用下述的技術方案 一種面向集成電路測試的測試數據轉換方法，針對J750系列測試 機實施，其特征在于包括如下步驟
(1) 將所述測試機輸出的原始數據文件按照預定的路徑存放，并且按 照預定的格式生成新建數據文件的文件名；
(2) 根據原始數據文件中的內容，在所述新建數據文件中填寫相關
項；
(3) 在多個芯片并行測試的情況下，首先在所述新建數據文件的列標 題處填寫預定數據項，然后啟動多線程掃描原始數據中同一個坐標的不 同測試項得出的數據，分別填寫在對應的測試名稱下。
其中，所述步驟(l)中，所述原始數據中包括原始測試數據和復測數 據，所述該原始測試數據放置在Test Data/Device/Lot/Data目錄之下， 所述復測數據放置在Test Data/ Device/Lot/Retest目錄之下。
所述步驟(l)中，通過記事本程序打開所述原始數據文件，識別該項 測試起始時的日期和時間、任務名稱和節點名稱，再從Lot log文件中 得到晶片的信息，把這些信息拆分并整合，得出新建數據文件的文件名。
所述步驟(2)中，根據原始數據文件中的內容，在所述新建數據文件 中填寫相關項，確定行標題和列標題。
所述步驟(3)中，所述預定數據項包括但不限于坐標、地點、ID序列、 自動識別產生的測試名稱以及最后測試結果信息。
所述數據轉換方法在執行前，通過讀取wafer log日志文件，判斷 此片數據是否已經處理；如果已經進行處理則放棄該數據，轉而進行下 一批待處理數據的處理；如果還未進行處理則判斷是否有需要進行復測 的數據文件，然后按先原始數據、再復測數據的順序讀取數據文件，獲 取數據并把數據寫入臨時文件中。
所述數據轉換方法在執行完畢后，在wafer log日志文件中寫入表 示數據轉換完畢的信息。
本發明所提供的測試數據轉換方法能夠批量處理測試過程中產生的
ASCII數據，可以做到完全自動化，無人工干預，定時完成數據處理。


下面結合附圖和具體實施方式
對本發明作進一步的說明。
圖1是在J750系列測試機中，用于放置測試數據的目錄示意圖2為Lot log文件中晶片信息的示意圖3是本測試數據轉換方法中，判斷Lot目錄下的數據是否已經 處理的流程示意圖4通過讀取wafer log日志文件判斷數據是否已經處理的流程示 意圖5是在數據未曾處理的情況下，通過讀取data文件獲取數據并 把數據寫入臨時文件的流程示意圖6執行數據批量轉換的流程示意圖。
具體實施例方式
本發明所提供的測試數據轉換方法主要針對現有J750系列測試機實 現，其核心的技術思想在于從J750系列測試機所輸出的ASCII碼格式 的輸出文件中提取相關信息，按照用戶需要的數據格式進行相應的數據 處理，批量生成符合用戶格式要求的數據文件。
J750系列測試機的輸出數據格式為基于ASCII碼的文本文件，輸出 數據包括的信息有泖J試時間、Job Name、 Operator、 Tester Name、Channel map以及每顆芯片的X、 Y坐標、IDString、測試結果等。在本專利申請 中，用data文件表示J50的輸出數據，BHTC文件表示經過數據轉換的文 件，MAP文件表示生成的wafer (晶片)map文件。
下面詳細介紹本測試數據轉換方法的具體實施步驟。
首先，按照規定的路徑存放測試的原始數據，并且按照規定的格式 生成文件名。
圖1是在J750系列測試機中，用于放置測試數據的目錄示意圖。 在J750系列測試機進行測試之后，需要被轉換的測試數據分為兩類， 一類是原始測試數據。該原始測試數據放置在Test Data/Device/Lot/ Data目錄之下；另外一類是復測數據，該復測數據放置在Test Data/ Device/Lot/Retest目錄之下。此處將Teradyne J750測試機隨時產生的
測試數據按照規定的路徑存放，并且按照規定的格式生成文件名的處理 方式不需要操作員為大量的檢測數據設置存儲路徑和文件名，降低了操 作員的工作量，避免了操作員的誤操作，提高了工作效率。
J750系列測試機的輸出數據都是采用ASCII碼的文件，該文件可以 通過記事本程序打開。文件打開后，自動識別該項測試起始時的date & time (日期和時間)，job name (任務名稱)，node name (節點名稱)， 在本目錄下新建記事本文檔，文件名則根據這三個信息的內容按照預定 格式要求編寫。
例如，在原始數據的Job Name自動獲取任務名(例如 Hed0409_bv65—8Site—Sortl)，再從Lot log文件中得到圖2所示關于 wafer (晶片)的信息，之后把這些信息拆分并整合，得出文件名
(Hed0409—h6x7273一bv65—90_Sortl—01. bhtc)。
圖3是本測試數據轉換方法中，判斷Lot目錄下的數據是否已經 處理的流程示意圖。處理過程從步驟101開始，進入Test Data目錄
(步驟201)后開始遍歷Test Data目錄下的文件或目錄，對每一個 進行判斷(步驟202)，如果是文件就返回步驟201，如果是目錄就到 步驟301。如果跳到步驟301，這說明找到一種Device的測試數據目 錄，進入Device目錄后，開始遍歷Device目錄下的文件或目錄，也 對每一個進行判斷(步驟302)，如果是文件，就跳回到步驟301，如 果是目錄說明找到一個新的批次的數據就到步驟303，這時需要通過 讀Lot log日志文件(Lot log日志文件是一個對已經完成整個批次 數據處理的批號進行記錄的文件)檢査此批次的數據是否已經做過數 據處理，如果已經完成數據處理，那么跳回到步驟301進行下一批次。 如果沒有就到步驟401進入此批次的目錄下。
在判斷數據是否已經得到處理的過程中，可以通過設置時鐘控件 自動在規定的時間間隔內執行上述的檢查判斷工作，從而實時檢查數 據是否需要更新。
圖4是本測試數據轉換方法中，通過讀取wafer log日志文件判斷 數據是否已經處理的流程示意圖。首先在步驟401，開始查找Lot目錄下 是否存在data目錄，如果不存在說明此文件夾不是存放數據目錄，就跳 回到步驟401，如果存在就進入data目錄。到步驟501，開始遍歷data 目錄下的文件，也對每一個文件進行判斷(步驟502)，如果不是data文
件，就跳回到步驟501，如果是data文件跳到步驟503獲取Device Name (設備名稱)、Test Type (測試類型)、Test Time (測試時間)和Wafer ID(晶片ID)信息，這時需要到步驟504通過讀wafer log日志文件(wafer log日志文件是一個對已經完成數據處理的晶片進行記錄的文件)檢查此 片的數據是否已經做過數據處理，如果已經完成數據處理，那么跳回 到步驟501進行下一片數據處理。
圖5是本測試數據轉換方法中，在數據未曾處理的情況下，通過 讀取data文件獲取數據并把數據寫入臨時文件的流程示意圖。如果通 過wafer log日志文件判斷此片晶片的數據沒有處理，那么到步驟403， 判斷此批號下面是否存在retest目錄，如果不存在，就到步驟505。如 果存在，就到步驟601進入retest目錄，檢査是否此片晶片的復測數據， 如果沒有，就跳到步驟505，如果有，找出此片晶片的所有復測數據，按 時間先后順序排序。進入步驟505到配置文件中檢査是否有此設備的相 關信息，如果不存在就輸出錯誤日志到error log(步驟507)，然后跳到 步驟401。如果存在，從配置文件中找出此設備的相關信息(步驟506)， 根據設備的相關信息，按先原始數據，再復測數據的順序讀取data文件， 獲取數據并把數據寫入臨時文件中(步驟508)。
圖6是本測試數據轉換方法中，執行數據批量轉換的流程示意圖。 在步驟509中，從臨時文件讀取數據按要求輸出需要的相關格式的文件， 最后到步驟510寫入相關的信息到wafer log日志文件。在此數據批量 轉換過程中，可以將Teradyne J750測試機產生的文本格式的ASCII測 試數據轉換成客戶需要格式的數據，裝換后信息量不變，存儲空間減小， 而且轉換后的數據可以導入excel,利用excel工具進行數據分析，為進 行檢測數據分析提供了便利。另外，將Teradyne J750測試機產生的文 本格式的測試數據自動定時轉換成wafer map,轉換生成的wafer map可 以代替掃描探針臺生成的wafer map,從而實現自動存儲。
在執行數據批量轉換之前，要根據測試數據文檔中的內容，在新建 記事本中填寫相關項，確定行標題和列標題。值得一提的是，因為兩個 文檔的數據項不一致，某些信息較為零散或者集中，需要集合或拆分原 始數據以便達到客戶對文檔的要求，這就要求原始數據的信息字段分配 固定。
舉例說在原始數據中同時測試的8個site的ID String表示為Coordinated-43Y16—X-42Y16—X_41Y16_X-40Y16—X-39Y16_X-38Y16—X-3
7Y16_X-36Y16
ID String:061114_0001977—Ol一Coordinate 但是在客戶文檔中將這8個芯片拆分開，ID String設為
X 1Y I Site| ID Strings
—43|16|0I 061114000197701-043+016
在多個芯片并行測試的情況下，原始數據是按照多個不同坐標芯片 的多項測試為一組進行記錄的。用于執行本發明所述方法的數據轉換程 序需要把這些分散、凌亂的數據重新組合起來寫進客戶文檔。因此，首 先在文檔寫上坐標、Site (地點)、ID Strings (ID序列)、自動識別產 生的測試名稱，以及最后測試結果等信息填寫到列標題處。之后啟動多 線程掃描原始數據中同一個坐標的不同測試項得出的數據，分別填寫在 對應的測試名稱下。如果一個待測芯片的每一項測試均為pass (通過)， 在測試結果一欄填寫pass;反之若其中一項或多項測試fail (失敗)導 致隨后的測試不能進行，則在缺測項里以*號代替，并且將該消息傳遞給 測試結果，使它設為fail。這種標志方法能夠保證客戶文檔中的測試數 據準確、易懂，而不會產生串行或缺值。
這一步驟是本測試數據轉換方法的核心步驟，其核心在于將測試機 產生的每一項原始測試數據填寫到以芯片在整個晶片中的坐標為行，測 試項序號為列的交叉點上。
例如，對于提供原始數據的DATA文件，其中的數據經過信息提取和 數據處理，轉換成用戶所需格式的文件(命名為BHTC文件)中的數據， 其對應關系舉例如下
例1:
MTA文件中的數據
Coordinated-35Y34—X-34Y34_X-33Y34_X-32Y34_X-31Y34_X-30Y34 —X-29Y34一X-28Y34
ID String:061114_0001977—01—Coordinate 對應BHTC文件中的數據
X IY ISite| ID Strings
—35|34|0 I 061114000197701-035+034
例2:
DATA文件中的數據
Site Bin
0 1 對應BHTC文件中的數據 Bin| X IY I Sitel
1| - 35134|0 I
例3:
MTA文件中的數據
NumberSiteTest NamePinChannelMeasured
00cont_gndmrst136-500.6259 mV
10cont—gndmc Ik9-499.8950 mV
160cont—vdd1012656.2770 mV
170cont一vdd10217655.5902 mV
180Idd一rstO兩2153. 8121 uA
NumberSiteResultTestNams
190PASSSortl
200PASSCPTEST_0
對應BHTC文件中的數據
Site|test0|testl|testl6|testl7|testl8|testl9|test20| 0卜500. 6259卜499. 8950 | 656. 2770 | 655. 5902 | 153. 8121 | PASS | PASS |
例4:
DATA文件中的數據
Number Site Result Test Name
19 1 FAIL Sortl
后面項的數據沒有。 對應BHTC文件中的數據
Site I test 19 I test20|test211test22|test23 | 1 |* | * |**** |* |* | 其中缺少的數據用*代替。當實現到步驟404時，說明完成一片晶片的數據處理，檢査此數據 是否是這一批的最后一片數據，如果不是就跳到步驟401，如果是就跳到 步驟304。當跳到步驟304時，說明當前一個批次的晶片數據已經處理完 成，檢查是否是最后一個lot,如果不是就跳到步驟301，如果是就跳到 步驟203。當跳到步驟203時，說明當前設備下所有的數據已經完成，然 后檢查時候還有其他設備，如果有，就跳到步驟201，如果沒有，就退出 數據轉換工作。
上面雖然通過實施例描繪了本發明，但本領域普通技術人員知道， 本發明有許多變形和變化而不脫離本發明的精神，所附的權利要求將包 括這些變形和變化。
權利要求
1.一種面向集成電路測試的測試數據轉換方法，針對J750系列測試機實施，其特征在于包括如下步驟(1)將所述測試機輸出的原始數據文件按照預定的路徑存放，并且按照預定的格式生成新建數據文件的文件名；(2)根據原始數據文件中的內容，在所述新建數據文件中填寫相關項；(3)在多個芯片并行測試的情況下，首先在所述新建數據文件的列標題處填寫預定數據項，然后啟動多線程掃描原始數據中同一個坐標的不同測試項得出的數據，分別填寫在對應的測試名稱下。
2. 如權利要求1所述的面向集成電路測試的測試數據轉換方法， 其特征在于所述步驟(l)中，所述原始數據中包括原始測試數據和復測數據，所 述該原始測試數據放置在Test Data/Device/Lot/ Data目錄之下，所述 復測數據放置在Test Data/ Device/Lot/Retest目錄之下。
3. 如權利要求1所述的面向集成電路測試的測試數據轉換方法， 其特征在于所述步驟U)中，通過記事本程序打開所述原始數據文件，識別該項 測試起始時的日期和時間、任務名稱和節點名稱，再從Lot log文件中 得到晶片的信息，把這些信息拆分并整合，得出新建數據文件的文件名。
4. 如權利要求1所述的面向集成電路測試的測試數據轉換方法， 其特征在于所述步驟(2)中，根據原始數據文件中的內容，在所述新建數據文件 中填寫相關項，確定行標題和列標題。
5. 如權利要求1所述的面向集成電路測試的測試數據轉換方法，其特征在于所述步驟(3)中，所述預定數據項包括但不限于坐標、地點、ID序列、 自動識別產生的測試名稱以及最后測試結果信息。
6. 如權利要求1所述的面向集成電路測試的測試數據轉換方法，其特征在于 所述數據轉換方法在執行前，通過讀取wafer log日志文件，判斷 此片數據是否已經處理；如果已經進行處理則放棄該數據，轉而進行下 一批待處理數據的處理；如果還未進行處理則判斷是否有需要進行復測的數據文件，然后按先原始數據、再復測數據的順序讀取數據文件，獲 取數據并把數據寫入臨時文件中。
7.如權利要求1所述的面向集成電路測試的測試數據轉換方法， 其特征在于所述數據轉換方法在執行完畢后，在wafer log日志文件中寫入表 示數據轉換完畢的信息。
全文摘要
本發明公開了一種面向集成電路測試的測試數據轉換方法，針對J750系列測試機實施，包括如下步驟(1)將所述測試機輸出的原始數據文件按照預定的路徑存放，并且按照預定的格式生成新建數據文件的文件名；(2)根據原始數據文件中的內容，在所述新建數據文件中填寫相關項；(3)在多個芯片并行測試的情況下，首先在所述新建數據文件的列標題處填寫預定數據項，然后啟動多線程掃描原始數據中同一個坐標的不同測試項得出的數據，分別填寫在對應的測試名稱下。本方法能夠批量處理測試過程中產生的數據，可以做到完全自動化，無需人工干預。
文檔編號G01R31/28GK101364219SQ200710120008
公開日2009年2月11日 申請日期2007年8月6日 優先權日2007年8月6日
發明者煒 劉, 吉國凡, 博 孫, 楊 孫, 琳 張, 慧 王, 石志剛, 趙智昊, 鄭忠林, 蘭 金, 希 陳 申請人:北京華大泰思特半導體檢測技術有限公司