切變測定方法及其裝置的制作方法

專利名稱：切變測定方法及其裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及不論是透明或不透明中的哪一個^PT對2個固體表面間或其間 的薄膜進行期望的測定的切變測^"法及其裝置，更具體而言，特別涉及(i) 進行厚度容易地變化的膜和揮發性高的液體膜等的測定的艦、簡便、通用且 精密的共振切變測^r法及其裝置、(2)通it^于W^型干涉法的表面間距離 計量，以納米等級改變二個固體表面的間隔并對其間夾入的液體薄膜.液晶薄 膜-高襯吸附層等之間的切變應力進行測定的測W法及其裝置。
背景技術：
(1)首先第l將固體表面中夾入的試樣(液體.液晶等)的剪切響應與納米等級的,的 變化^"^得知的技術，在固體表面間的摩捧潤滑以^j^體.液晶分子的定向-結 構化的理解以及控制中是重要的。M試樣的剪切響應進行測定的共振切變測定中，使單#滾面沿著水平方向振動樹^#賦予剪切，并在^^頻率附iW 該響應進行監視。將該剪切響應作為頻率的函數而繪制出的結果為M曲線。 共振頻率以及共振峰值的高度對固體表面間的^#的物性敏感并對來自測定紅夕NP的振動噪聲秘強。以往，為了精密^M掩固體表面中:feA的^^羊的剪切響應，進行如下的動 作在^i頻率附近一邊改變頻率一i^t試樣的剪切響應進行測定，由此取得 對頻率進4豫制出的共振切變曲線。例如在下述非專利文獻l中^/Hf有這樣的 技術。另外，已提出作為基于本申請發明者的提案的精密切變應力測^1^置(下 述專利文獻1 )。專利文獻1:專利第3032152號公報非專利文獻1:液晶第6巻第1號p34 - 412002(2)第2，本申請發明者已經提出可高精度JHbt納米等級的微小空間中的 流變學(rheology)游動進行測定的精密切變應力測定裝置(參照下述專 利文獻2)。另外，e^出即^^ut法透過的^ff^可以以高精度對^f間的表面力進行測定的表面力測定裝置及其方法(參照下述專利文獻3)。 專利文獻2:專利第3032152號^5H艮 專利文獻3:特開2001 -108603號7>才艮但是，在上述(1)的以往技術中，由于一邊改變振動頻率一#共振頻 率附i^t試樣的剪切響應進行測定，所以需要長時間將試樣的 為恒 定，存在難以進行厚度容易地變化的膜和揮發性高的液體薄膜的測定的問題。另夕卜，作為上述(2)的以往的技術，為了一邊以0.1納米的，率對表面間距離進fr測定一i^t表面中夾入的^4羊的粘舉性以;sj^瘵潤滑特性進仟測 定，^MI將基于使用等色序干涉條紋(feco)的光干涉法的表面間距離測定 種變共4^測^^置進^i且合的方法。該方法由于^^l透狄面的光，所以基 板以;3^14面中夾入的^#限于^過性的^^羊。特別，Bfr實用上^t限于云母，即^^，中也僅將藍寶石或玻璃的薄片(厚度為2nm左右M^J為絲。另外，雙5^型表面力測定裝置(上述專利文獻3)是測定對上下表面作用 的力的^置，無法i^f亍切變測定。發明內容本發明的目的在于提供一種不i&^是透明或者不透明中的哪一個都可 進行期望的測定的切變測W法及其裝置。 在更^^k^Ut時，鑒于上述狀況，本發明的第i目的在于提^-~種*^切變測;^法，其中， 在^#的剪切響應的測定中，對逸洋的單,'滾面的振動的衰減曲線進行傅立葉變換，取得^y0刀變曲線，從而可進行其簡便的短時間測定。另夕卜，鑒于上述狀況，本發明的第2目的在于提^""種^^型切變應力測W法及其裝置，其中，使用在^il試樣為不透明的情況下可對^l間的距離進行測定的M法，可進行精密的切變應力測定。 本申請發明為了狄上述目的，(i)在^y^切變測定方法中，將輸入信號uin輸入到共振切變測定單元 的水平驅動部，針對該共振切變測定單元中的固體表面中所夾入的試樣， 使用位移計對其單側表面的振動進行檢測來作為輸出信號u。ut，并與所述輸入信號Uin—起，將所述輸出信號iu輸入到共振切變計量裝置，將變化一起進行計量，其特征在于，對所述試樣的單側表面的振動的衰減 曲線進行傅立葉變換，來取得共振切變曲線。(2) 在#^切變測定方法中，將輸入信號Uin輸入到共振切變測定單元 的水平驅動部，在固體表面間不夾入試樣而將固體表面本身作為試樣， 使用位移計對該共振切變測定單元中的試樣的單側表面的振動進行檢測 來作為輸出信號U。ut，并與所述輸入信號Uh—起，將所述輸出信號U福 輸入到共振切變計量裝置，將所述共振切變測定單元的所述試樣的剪切 響應與膜厚的變化一起進行計量，其特征在于，對所述試樣的單側表面 的振動的衰減曲線進行傅立葉變換，來取得共振切變曲線。(3) 在上述(1)記載的共振切變測定方法中，其特征在于，所述試 樣為薄膜。(4) 在上述(1)記載的共振切變測定方法中，其特征在于，所述試樣為液體。(5) 在上述(1)記載的共振切變測定方法中，其特征在于，所述試樣為液晶。(6) 在上述(1)記載的共振切變測定方法中，其特征在于，所述試樣為納米尺寸的厚度。(7) 在上述(1)或(2)記載的共振切變測定方法中，其特征在于， 通過吸附或化學修飾法對所述試樣的表面進行修飾。(8) 在上述(1)或(2)記載的共振切變測定方法中，其特征在于， 所述共振切變曲線為所述試樣的剪切響應的頻率特性。(9) 一種共振切變測定裝置，其特征在于，該共振切變測定裝置具有波形發生器；電源，與該波形發生器連接；共振切變測定單元，與 該電源連接且被輸入輸入信號Uin;位移計，與該共振切變測定單元連接； 共振切變測定裝置，與該位移計以及所述電源連接且4皮輸入輸出信號U。ut 以及輸入信號Uin，該共振切變測定裝置具有計時部、與該計時部和所述 位移計連接的傅立葉變換部、與該傅立葉變換部連接的振幅譜生成部、 振幅(U。ut/Uin)的標準部、以及共振切變曲線制成部；以及計算機，與 所述波形發生器和共振切變測定裝置連接。(10)—種雙路型切變應力測定方法，其特征在于，在該雙路型切變反射鏡，組合根據來自所述反射鏡的反射光的相位變化來對所述試樣的 表面間距離位移進行測定的雙路表面間距離測定方法和根據共振曲線來對所述試樣的粘彈性以;^擦.潤滑特性進行測定的測定法，對試樣的切變應力進行測定。(11) 一種雙路型切變應力測定裝置，其特征在于，該雙路型切變應 力測定裝置具有精密切變裝置，使試樣的上部表面保持體沿著水平方 向位移；位移計，對所述試樣的上部表面保持體的向水平方向的位移進 行檢測；由板簧構成的所述試樣的下部表面固定單元，在前端保持所述 試樣的下部表面保持體且具有在所述下部表面保持體的底面配置的反射 鏡；驅動裝置，驅動該下部表面固定單元來對所述試樣的下部表面保持 體沿著上下進行驅動；和雙路表面間距離測定單元，向所述反射鏡照射 激光光，根據來自所述反射鏡的反射光的相位變化對所述試樣的上部表 面和所述試樣的下部表面間的距離進行測定，其中，對所述試樣的上部 表面和所述試樣的下部表面間的每個距離的所述試樣的粘彈性以及摩 擦，潤滑特性進行測定。(12) 在上述(11)記載的雙路型切變應力測定裝置中，其特征在于， 根據所述試樣的共振曲線來對所述試樣的粘彈性以及摩擦.潤滑特性進行 測定。(13) 在上述(11)或(12)記載的雙路型切變應力測定裝置中，其 特征在于，所述試樣為透明試樣或不透明試樣。(14) 在上述(11)或(12)記載的*型切變應力測定裝置中，其 特征在于，所述試樣為液體薄膜。(15) 在上述(11)或(12 )記載的雙路型切變應力測定裝置中，其 特征在于，所述試樣為液晶薄膜。(16 )在上述(11)或(12 )記載的雙路型切變應力測定裝置中，其 特征在于，所述試樣為高分子.表面活性劑等吸附層、化學修飾膜。(17)在上述(11)或(12)記栽的雙路型切變應力測定裝置中，其 特征在于，所述試樣的上部表面保持體以及下部表面保持體中的一方或 兩方為不透明m。


圖l&示本發明的實施例的共振切變測定系統的示意圖。 圖2 ^示本發明的實施例的示出共振切變測定系統的共振切變測定單元 的一個例子的示意圖。圖3是示;發明的變形例的^y^切變測定系統的^y^切變測定單元的部 分結構示意圖。圖4U示本發明的實施例的^y^切變測定a^呈圖。圖5示出^^發明的^y^切變測定單itJiio:^tf^f進行測定時的單順滾 面的衰減^^動例子的圖。圖6是示出針對圖5所示的衰減振動進行本發明的傅立葉變^M^得的共振切變曲線和通過以往的方法來取得的各自的曲線的圖。圖7是表示本發明的另一實施例的雙路型切變應力測定裝置的示意圖。 圖8a示本發明的另一實施例的為了示出^^型切變應力測^^置的應用例子而使用的試樣的示意圖。圖9是本發明的另一實施例的云母表面中夾入的作為試片羊的液晶(4-cy肌o 一 4 - hexyl biphenyl， 6CB)的化學式。圖io a示本發明的另一實施例的示出^^J本發明的雙路型切變應力測^>置樹作為"的液晶(4-cyano-4-hexyl biphenyl， 6CB)進4亍測定 的結果的圖。脅實施方式在本發明的第1共振切變測定方法及其裝置中，將輸入信號Uin輸入到共振切變測定單元的壓電(piezo)元件，使用位移計對該共振切變測出信號IU，與所述輸入信號Ui:—起，將所述輸出信號U。1輸入到共振 切變計量裝置，將所述共振切變測定單元的固體表面中夾入的試樣的剪 切響應與膜厚的變化一起進行計量，其中，對所述試樣的單側表面的振 動的衰減曲線進行傅立葉變換，來取得共振切變曲線。本發明的第2雙路型切變應力測定裝置具有精密切變裝置，使試 樣的上部表面沿著水平方向位移；位移計，對該試樣的上部表面的向水 平方向的位移進行檢測；由板簧構成的所述試樣的下部表面固定單元， 在前端保持所述試樣的下部表面且具有在其底面配置的反射鏡；驅動裝 置，驅動該下部表面固定單元來對所述試樣A的下部表面沿著上下進行 驅動；以及雙路表面間距離測定單元，根據來自所迷反射鏡的反射光的 相位變化對所述試樣A的上部表面和所述試樣的下部表面間的距離進行 測定，對每個所述試樣的上部表面和所述試樣的下部表面間的距離的所 述試樣的粘彈性以及摩擦.潤滑特性進行測定。實施例子以下，對本發明的實施方式進行詳細說明。圖1是表示本發明的實施例的共振切變測定系統的示意圖，圖2是 示出該共振切變測定單元的一個例子的示意圖。在該圖中，1為波形發生 器，2為與波形發生器1連接的電源，3為與電源2連接且輸入作為輸入 信號的輸入電壓Uin的共振切變測定單元，4為與共振切變測定單元3連 接的位移計、例如靜電電容位移計，5為與靜電電容位移計4以及電源2 連接且輸入作為輸出信號的輸出電壓U。w以及輸入電壓Uin的共振切變計 量裝置，該共振切變計量裝置5由計時部5A、傅立葉變換部5B、振幅 譜生成部5C、振幅(U。ut/Uin)的標準部[以Uin (co)以及U一的標準化 部5D、以及共振切變曲線制成部5E構成。6為與共振切變計量裝置5連接的個人計算機(PC) 6，該個人計算機(PC) 6與波形發生器1連 接。另外，作為上述的位移計，還可以使用應變儀。在圖2中，10為共振切變測定單元(在圖1中與共振切變測定單元 3對應)，ll為懸臂，12為盤支座(disc holder), 13為白光，14為固定在 盤支座12上的下部J4良，15為作為對上部表面沿著水平方向進行驅動的 水平驅動部的4分割壓電元件，16為固定在該4分割壓電元件15的底部 的上部M, 17為支撐4分割壓電元件15的板簧。18為對板簧17的水 平方向位移厶x進行計量的靜電電容位移計(探針)(與圖1中的靜電電 容位移計4對應)，19為成為剪切響應的測定對象的試樣(固體、液體、 液晶等)。另外，此處，液體不限于單一成分，還可以是包括2種以上的 分子團或膠體分散系的各種溶液。另外，作為上述的水平驅動部，還可 以4吏用電動才幾。圖3 "示本發明的變形例的^y^切變測定系統的共振切變測定單元的部*構示意圖。在該例子中，還可以將^本身詔力^#21、 22，不像圖2所示那樣在基 板間夾入試樣，就能夠對^# ( ) 21和^# ( ) 22的相互的摩擦(潤 滑)特'ltii行測定。圖4為該^#>切變測定$;1^呈圖。(1) 首先，向壓電元件(圖2的4分割壓電元件15)輸入圖1所示的振幅 電壓Ui 的正弦波(角頻率(0 )(步驟Sl )。(2) 取得輸出電壓U加t U)(步驟S2)。 (3 )使輸入電壓Uin停止(步驟S3 )。(4 )取得輸出電壓UU和經過時間(步驟S4 )。 (5 )進行傅立葉變換(步驟S5 )。 (6)輸出振幅鐠(步驟S6)。(7 )以輸出電壓U。ut( 0))以及輸入電壓Uin來進行標準化(步驟S7 )。 (8)輸出共振切變曲線(步驟S8)。當在上述的共振切變測定單元上設置試樣并進行測定時，試樣的單 側表面的衰減振動描繪出圖5那樣的曲線。此處，橫軸表示經過時間，縱軸表示振動的振幅。在該衰減振動中 進行通過以下的式子所表示的傅立葉變換，+00 )= [/(,)n (i)取得該振幅謙，從而取得共振切變曲線。此處，w表示角振動數，F (O))表示所取得的傅立葉i普，f(t)表示衰減振動，t表示時間。以下，示出針對^^切變曲線通ii^發明的共振切變測^r法來測定的結^fpit過以往的方法取得的結果。圖6是示出針對圖5所示的衰減振動進行本發明的傅立葉變^t^得的共振切變曲線和通過以往的方法i^得的各自的曲線的圖。橫軸表示試樣的單,恢面的振動數，縱軸表示振動振幅，通i^t切變測定 單元的壓電器附加的輸入電壓(Ujn )和使用靜電電容計測定的輸出電壓(UOUT) 之比:J^4示。以往的方法是一個點一個點地對與^^動頻率對應的單#滾面的響應進行測定的方法。圖6示出本發明是可更良好地對與頻率對應的單#滾面的響應進行測定，且可以以短時間連續地對與寬范圍的振動頻率對應的試樣的 單#滾面的響應進行測定的方法。另外，才鵬本發明，可#^#(固體、液體、液晶等)仏2個固體絲 間， 一邊狄其厚度，一ii^耕的粘彈I"生變化、摩瘵潤滑特性、"^羊和固體 絲的結合強度等進^W。另外，還可以將^L^身iU餅，不在其間夾 入^#，而能夠對相互的摩擦(潤滑)棒l!iit行測定。另夕卜，還可以通過吸附 或化學《,法LB (Langmuir.Brochette ) ##法1等樹該表面進^(辨。另 夕卜，不僅僅使單,滾面沿著水平方向振動，還可以4汰面沿著垂直方向振動來 對淑羊的頻率響應斷測定。才鵬本發明，無需如以往技，樣按照1個1個點M^^動頻率下的剪切響應進行測定，就可以以短時間簡《組準確^W4y^切變曲線進行測定。接下來，對本發明的另一實施例的雙路型切變應力測定進行說明。 圖7;l^示^^發明的實施例的雙i^型切變應力測定^^置的示意圖。 在該圖中，31為共振切變測定單元，32為對上部表面沿著7JC平方向進行 驅動的4分割壓電元件，33為支撐4分割壓電元件32的板簧，34為對板簧33的水平方向位移Ax進^S十量的靜電電容位移計(探針)，35為固定在4分割 壓電it件32的il部的上部^。另外，固定鄉A的下部表面^#體42的單元40 ^L簧41的前端絲 A的下部表面##體42,在該下部表面^#體42的下面配置有^4t鏡43。 另一方面，^L簧41的基部具有對該板簧41沿著上下進行驅動的驅動裝置[例 如，電動機(未圖示)。另外，51為^^表面間距離測;t^置，具有fct^源52;衍射艦53, 被來自該、^Ub原52的fc^，并分離成計量^p絲光；壓電元件54， 對該衍射雄53進糊整；透鏡55，接受來自衍射細53的光；固^4t鏡 56,接受作為該激光光的,分的基準光；衍射光柵57，再次經由透鏡55接的底面的反射鏡43^的計量光；光電^l管58，接受來自該衍射iW57的 光；以;^個/^計^f;L59，與壓電元件54和光電二極管58連接。由于這樣構成，^^^^表面間距離測^* 置51樹夾入^# A的表面間的距離的變^iie^測定，#^=羊A的上部表面安^j，j精密切變^yi^定單元31上，對餅的粘舉性以^f瘵潤滑棒ftii行測定，由此，可精密^ii行切 變應力測定。圖8是為了示出本發明的雙路型切變應力測定裝置的應用例子而使用的試 樣的示意圖，圖9是作為該試樣的液晶(4 - cyano -4 - hexylbiphenyl， 6CB) 的化學式，圖10是示出^^本發明的X5U^型切變應力測^置;JMt作為該試 樣的液晶(4-cyano-4-hexyl biphenyl ， 6CB)進行測定的M曲線的圖。3口圖8所示，在作為試樣的液晶(4-cyano-4-hexyl biphenyl， 6CB) 61的上下配置云母62、 63。即，配置^^作為上部M 35的云母62和作為 下部表面保持體42的云母63之間夾入作為試樣的液晶61 。該云母表面中夾入的作為^f羊的液晶(4 - cyano - 4 - hexyl biphenyl ， 6CB)的化學式如圖9所示。在圖io中，橫軸表示^#上部的表面的角振動數"-1)，縱軸表示針對精度切變#^則定單元的壓電元件的輸入電壓(Ui )和由靜電電容位移計測定的 輸出電壓(UQUt)之比。除了對作為^^羊的液晶進行測定得出的結果以夕卜，為了對以不夾入作為"^#的液晶而離開^#體的表面的狀態測定的結果空氣中 (分離側)I、和使##體的表面接觸來測定的結果空氣中(云母—云母接觸)I進行t嫩而進^彌繪。餅的表面間距離的橫實^^示該距離下的^y^峰值。 艦，對于表面間距離，當^^驅動裝置樹下部表面^#體向上方進行驅動時，將表面間距離沒有變化的點定義為Onm。錄表面間距離變化，XC^到共 振曲線的變化。存在多個Onm的"^值的現絲示表面距離恒U負荷U變化 的情況。另外，才娘本發明，可#^# (液體、固體、液晶等)夾入2個固體絲 間， 一邊使其厚度狄， 一狄耕的粘彈性變化、摩瘵潤滑特性、^#和固 ^^J^的結合強;l等i^ftW。另夕卜，還可以將^i^身i^餅，不在^ 間夾入餅，而對相互的摩擦(潤滑)掙Iiii幹測定。另夕卜，還可以通過吸附 或化學if^法[LB (Langmuir.Brochette法)1等樹該表面進#(！^。另外，由于^^激光的^t光，所以無需^Jfeit:iti^以及^^羊，即使在 使用不透明1^L以及不透明試樣的情況下，也可以對表面間距離進行測定，在 各距離下對^^羊的粘萍性以^^瘵潤滑特'l!ii^f測定。另外，本發明不限于上述實施例，可才Nt本發明的宗旨進行^ft變形，不將這些^MC明的范圍排出。 產業上的可利用性本發明的第1共振切變測^r法特別適用于固體表面間的具有納米等級的 厚度的液體薄膜的物性的簡^JL準確的計量。本發明的第2雙路型切變應力測^置可利用為可使用用于對不透明皿^置，與第l共振切變測定方法同樣地，適用于固體表面間的具有納米等級 的厚度的液體薄膜的物性的簡使JL準確的計量。
權利要求
1.一種共振切變測定方法，在該共振切變測定方法中，將輸入信號Uin輸入到共振切變測定單元的水平驅動部，針對該共振切變測定單元中的固體表面中所夾入的試樣，使用位移計對其單側表面的振動進行檢測來作為輸出信號Uout，并與所述輸入信號Uin一起，將所述輸出信號Uout輸入到共振切變計量裝置，將所述共振切變測定單元的固體表面中所夾入的試樣的剪切響應與膜厚的變化一起進行計量，其特征在于，對所述試樣的單側表面的振動的衰減曲線進行傅立葉變換，來取得共振切變曲線。
2. —種共振切變測定方法，在該#^切變測定方法中，將輸入信號Uin 輸入到共振切變測定單元的水平驅動部，在固體表面間不夾入試樣而將 固體表面本身作為試樣，使用位移計對該共振切變測定單元中的試樣的單側表面的振動進行檢測來作為輸出信號U。ut，并與所述輸入信號Uin — 起，將所述輸出信號U。ut輸入到共振切變計量裝置，將所述共振切變測定單元的所述試樣的剪切響應與膜厚的變化一起進行計量，其特征在于， 對所述試樣的單側表面的振動的衰減曲線進行傅立葉變換，來取得共振 切變曲線。
3. 根據權利要求l所述的共振切變測定方法，其特征在于，所述試樣為薄膜。
4. 根據權利要求l所述的共振切變測定方法，其特征在于，所述試 樣為液體。
5. 根據權利要求l所述的共振切變測定方法，其特征在于，所述試 樣為液晶。
6. 根據權利要求1所述的共振切變測定方法，其特征在于，所述試 樣為納米尺寸的厚度。
7. 根據權利要求1或2所述的共振切變測定方法，其特征在于，通 過吸附或化學修飾法對所述試樣的表面進行修飾。
8. 根椐權利要求1或2所述的共振切變測定方法，其特征在于，所述共振切變曲線為所述試樣的剪切響應的頻率特性。
9. 一種共振切變測定裝置，其特征在于，該共振切變測定裝置具有 波形發生器；電源，與該波形發生器連接；共振切變測定單元，與該電 源連接且被輸入輸入信號Uin;位移計，與該共振切變測定單元連接；共 振切變測定裝置，與該位移計以及所述電源連接且被輸入輸出信號U。ut 以及輸入信號Uin，該共振切變測定裝置具有U)計時部、(b) 與該計時部和所述位移計連接的傅立葉變換部、(c) 與該傅立葉變換部連接的振幅譜生成部、(d) 振幅(U。ut/Uin)的標準部、以及(e) 共振切變曲線制成部；以及(f)計算機，與所述波形發生器和共振切變測定裝置連接。
10. —種雙路型切變應力測定方法，其特征在于，在該雙路型切變i射鏡，組合根據來自所i反射鏡的反射光的相:變化來對所述試樣的表面間距離位移進行測定的雙路表面間距離測定方法和根據共振曲線來 對所迷試樣的粘彈性以及摩擦.潤滑特性進行測定的測定法，對試樣的切 變應力進行測定。
11. 一種雙路型切變應力測定裝置，其特征在于，該雙路型切變應 力測定裝置具有(a) 精密切變裝置，使試樣的上部表面保持體沿著水平方向位移；(b) 位移計，對所述試樣的上部表面保持體的向水平方向的位移進 行檢測；(c) 由板簧構成的所述試樣的下部表面固定單元，在前端保持所述 試樣的下部表面保持體且具有在所述下部表面保持體的底面配置的反射 鏡；(d) 驅動裝置，驅動該下部表面固定單元來對所述試樣的下部表面 保持體沿著上下進行驅動；和(e) 雙路表面間距離測定單元，向所述反射鏡照射激光光，根據來下部表面間的距離進行測定，其中，(f )對所述試樣的上部表面和所述試樣的下部表面間的每個距離的 所述試樣的粘彈性以及摩擦.潤滑特性進行測定。
12. 根據權利要求11所述的雙路型切變應力測定裝置，其特征在于， 根據所述試樣的共振曲線來對所述試樣的粘彈性以及摩擦.潤滑特性進 行測定。
13. 根據權利要求11或12所述的雙路型切變應力測定裝置，其特 征在于，所述試樣為透明試樣或不透明試樣。
14. 根據權利要求11或12所述的雙路型切變應力測定裝置，其特 征在于，所述試樣為液體薄膜。
15. 根據權利要求11或12所述的雙路型切變應力測定裝置，其特 征在于，所述試樣為液晶薄膜。
16. 根據權利要求11或12所述的雙路型切變應力測定裝置，其特 征在于，所述試樣為高分子.表面活性劑等吸附層、化學修飾膜。
17. 根據權利要求11或12所述的雙路型切變應力測定裝置，其特 征在于，所述試樣的上部表面保持體以及下部表面保持體中的一方或兩 方為不透明M。
全文摘要
本發明提供一種共振切變測定方法，其在試樣的剪切響應的測定中，對試樣的單側表面的振動的衰減曲線進行傅立葉變換，來取得共振切變曲線，從而可進行其簡便的短時間測定。在共振切變測定方法中，將輸入信號U_in輸入到共振切變測定單元的水平驅動部，使用位移計對該共振切變測定單元中的固體表面中夾入的試樣的單側表面的振動進行檢測來作為輸出信號U_out，與所述輸入信號U_in一起，將所述輸出信號U_out輸入到共振切變計量裝置，將所述共振切變測定單元的固體表面中夾入的試樣的剪切響應與膜厚的變化一起進行計量，其中，使用傅立葉變換部(5B)對所述試樣的單側表面的振動的衰減曲線進行傅立葉變換，來取得共振切變曲線。另外，提供一種雙路型切變應力測定裝置，其使用可對不透明基板間的距離進行測定的雙路法可進行精密的切變應力測定。
文檔編號G01N11/00GK101278184SQ200680036158
公開日2008年10月1日 申請日期2006年9月27日 優先權日2005年9月28日
發明者佐久間博, 栗原和枝, 水上雅史 申請人:獨立行政法人科學技術振興機構