專利名稱：電阻測量系統及應用其的測量方法
技術領域：
本發明涉及一種電阻測量系統及應用其的測量方法，且特別涉及一種用以檢測機臺上不同部位間的電阻值，以檢測機臺狀況是否異常的電阻測量系統及應用其的測量方法。
背景技術：
在光電產業中，生產機臺的運作除了例行的保養維修外，基本上是以二十四小時不間斷的方式進行生產，以維持最大的產能。在生產過程中，機臺難免仍有故障或狀態異常的情況發生，往往只有在產品出現瑕疵時才能夠加以發現。
以曝光制程中所使用的掃描式曝光機為例，是以曝光平臺(chuck)承載基板以進行曝光。而曝光平臺則藉由底部所設置的多孔性材質的氣墊(airpad)，將空氣持續吹出使平臺懸浮在基座上方。請參照圖1，其示出了傳統掃描式曝光機的曝光平臺的氣墊配置示意圖。曝光平臺100的底部中央設置有六個底部氣墊110，兩側位于滑軌上方的底部共設置有四個滑軌氣墊120。此外，還包括用以與旁側保持一定間距的兩個側向氣墊130。曝光平臺100即藉由這些氣墊保持平穩且不受外界干擾的狀態，使其所承載的基板能夠精確的進行曝光。
當氣墊發生異常狀況，例如發生堵塞時，則曝光平臺100會因作用力不平衡產生傾斜，導致進行曝光的基板的曝光圖案錯誤。傳統上往往必須等到發現曝光圖案錯誤之后才知道問題產生，此時已生產出相當數量的瑕疵品而造成損失。而且接著必須在停機之后以人工逐一檢查各個氣墊，十分耗時。即使在例行保養維修工作中，也是仰賴人工逐一檢查各個氣墊，造成生產線停擺。
發明內容
有鑒于此，本發明的目的就是在提供一種電阻測量系統及應用其的測量方法，利用測量氣墊與基座之間的電阻值，判斷機臺是否發生異常，可以立即停機進行處理。因此本發明可以在機臺發生異常時的第一時間內停止作業，防止繼續生產出有瑕疵的產品。而即使氣墊的狀況未達警戒的標準，所量得的電阻值也可據以了解所連接的氣墊的狀況，在保養維修時可做為參考之用。
根據本發明的目的，提出一種電阻測量系統，應用于一機臺，機臺具有基座及承載座。承載座具有至少一第一氣墊，第一氣墊設置在承載座的底面，承載座以第一氣墊懸浮在基座上。電阻測量系統包括一電阻計，電阻計具有接地輸入端及至少一第一歐姆輸入端。接地輸入端耦接基座，第一歐姆輸入端耦接第一氣墊，電阻計測量第一氣墊及基座間的電阻值。當電阻值小于一臨界電阻值時，電阻計發出一信號以使機臺停止運作。
根據本發明的目的，提出一種電阻測量方法，應用于一機臺。機臺具有基座及承載座，承載座具有至少一第一氣墊，第一氣墊設置在承載座的底面。承載座以第一氣墊懸浮在基座上，該方法包括下列步驟首先，提供一電阻計，電阻計具有接地輸入端及至少一第一歐姆輸入端；接著，耦接接地輸入端與基座；然后，耦接第一歐姆輸入端與第一氣墊；接著，設定電阻計的臨界電阻值；然后，測量第一氣墊及基座間的一電阻值。當電阻值小于臨界電阻值時，電阻計發出一信號以使機臺停止運作。
根據本發明的目的，再提出一種電阻測量系統，應用于一機臺。機臺具有基座及承載座，承載座是以多組氣墊懸浮在基座上。電阻測量系統包括電阻測量線路、高阻計及警報器。電阻測量線路包括與多組氣墊連接的多條氣墊線路，及與基座連接的一接地線路。電阻測量線路用以測量多組氣墊和基座間的一電阻值。高阻計具有一歐姆輸入端及一接地輸入端，多條氣墊線路并聯后連接歐姆輸入端，接地線路連接接地輸入端。高阻計內具有一預設的臨界電阻值。警報器設置在機臺內并與高阻計電性連接。當電阻測量線路所測量到的電阻值小于預設的臨界電阻值時，高阻計送出一警告信號至警報器，以使機臺停止運作。
為讓本發明的上述目的、特征、和優點能更明顯易懂，下文特舉出幾項實施例，并配合附圖，作詳細說明如下。
圖1示出了傳統掃描式曝光機的曝光平臺的氣墊配置示意圖；
圖2示出了本發明實施例一的一種電阻測量系統的方塊圖；圖3示出了本發明實施例二的一種電阻測量系統的方塊圖；以及圖4示出了本發明一種應用電阻測量的警報系統運作方法流程圖。
附圖符號說明100曝光平臺110底部氣墊112、122、132氣墊線路120滑軌氣墊130側向氣墊150基座152接地線路180控制模塊200、400數字式電阻計210歐姆輸入端220、440接地輸入端300警報系統410第一歐姆輸入端420第二歐姆輸入端430第三歐姆輸入端具體實施方式
本發明是將原有的機臺加上一組電阻測量系統，測量懸浮的承載座與機臺的基座之間的電阻值。藉由電阻值的檢測判斷機臺是否發生異常，以發出警報信號或停止機臺的運作。至于詳細的實施方式請參照以下實施例。
實施例一請參照圖2，其示出了本發明實施例一的一種電阻測量系統的方塊圖。電阻測量系統應用于一機臺，例如一掃描式曝光機。掃描式曝光機具有基座150及承載座，承載座例如為圖1的曝光平臺100。曝光平臺100共具有六個底部氣墊110、四個滑軌氣墊120及兩個側向氣墊130。底部氣墊110設置在曝光平臺100的底面，滑軌氣墊120設置在曝光平臺100在滑軌(未顯示)上方的底面，側向氣墊130設置在曝光平臺100的側面上。曝光平臺100以多個底部氣墊110懸浮在基座150上。電阻測量系統包括一電阻計(高阻計)，例如一數字式電阻計200。數字式電阻計200具有接地輸入端220及一歐姆輸入端210，接地輸入端220以一接地線路152耦接基座150。本實施例中各取一底部氣墊110、滑軌氣墊120及側向氣墊130分別與氣墊線路112、122及132連接。將氣墊線路112、122及132并聯之后，耦接于歐姆輸入端210。數字式電阻計200測量并聯后的氣墊與基座150間的電阻值。當任一氣墊發生阻塞而減少出力時，阻塞的氣墊與基座150之間的距離會縮短，使得阻塞的氣墊與基座150之間的電阻值下降，因此氣墊并聯之后的電阻值也跟著下降。當電阻值小于數字式電阻計200所設定的臨界電阻值時，數字式電阻計200發出一信號A1至與數字式電阻計200耦接的警報系統300。警報系統300收到信號A1后，即發出警報通知狀態異常。此處的警報系統300可以是掃描式曝光機本身的一部份例如內部所安裝的一警報器。
此外，警報系統300更與掃描式曝光機的控制模塊180耦接。警報系統300在發出警報的同時，亦發出警告信號C1至控制模塊180，控制模塊180即停止掃描式曝光機的運作。
然而，本發明所屬的技術領域具有通常知識者，可知本發明的技術不限于此。曝光機臺100的六個底部氣墊110、四個滑軌氣墊120及兩個側向氣墊130可以部分或全部并聯后耦接歐姆輸入端210。因此只要耦接的氣墊中有任一發生阻塞，導致測量的電阻值小于臨界電阻值時，數字式電阻計200即發出信號A1至警報系統300，警報系統300即發出警報。
實施例二請參照圖3，其示出了本發明實施例二的一種電阻測量系統的方塊圖。本實施例與實施例一的主要不同之處，在于數字式電阻計400具有第一歐姆輸入端410、第二歐姆輸入端420及第三歐姆輸入端430。并各取一底部氣墊110、滑軌氣墊120及側向氣墊130分別與第一歐姆輸入端410、第二歐姆輸入端420及第三歐姆輸入端430耦接。也就是說，數字電阻計400可用以分別測量底部氣墊110、滑軌氣墊120及側向氣墊130與基座150之間的電阻值。因此當底部氣墊110與基座150之間的電阻值小于數字式電阻計400內預設的臨界電阻值時，數字式電阻計400發出信號A1至警報系統300，警報系統300即發出警報。同樣的原理，當滑軌氣墊120及側向氣墊130與基座150之間的電阻值小于預設的臨界電阻值時，數字式電阻計400分別發出信號A2及信號A3至警報系統300，使警報系統300發出警報。而警報系統300可設計成接收到不同的信號時，發出不一樣的警報，可以藉此得知是那個歐姆輸入端連接的氣墊發生異常。因此本實施例可以更有效率的找出發生異常狀況的氣墊，以利于狀況排除。
然而本發明所屬的技術領域具有通常知識者，可知本發明的技術不限于此。如果數字式電阻計具有更多獨立的歐姆輸入端，足以個別耦接六個底部氣墊110、四個滑軌氣墊120及兩個側向氣墊130時，則數字式電阻計可以根據每個接墊發生異常狀況時發出不同的信號。警報系統可據以發出不同的警報并停止掃描式曝光機的運作。本實施例可更有效率地找出發生問題的氣墊進行狀況排除。
請參照圖4，其示出了本發明一種應用電阻測量的警報系統運作方法流程圖，并使用實施例一圖2的電阻測量系統作說明。首先，如步驟11所示，提供數字式電阻計200。數字式電阻計200具有歐姆輸入端210及接地輸入端220。
接著，如步驟12所示，以接地線路152耦接接地輸入端220及基座150。
然后，如步驟13所示，一底部氣墊110、一滑軌氣墊120及一側向氣墊130分別與氣墊線路112、122及132連接且并聯之后與歐姆輸入端210耦接。
接著，如步驟14所示，設定數字式電阻計200的臨界電阻值。
然后，如步驟15所示，測量并聯的氣墊與基座150之間的電阻值。
接著，如步驟16所示，耦接數字式電阻計200及警報系統300。
然后，如步驟17所示，當電阻值小于數字式電阻計200所設定的臨界電阻值時，數字式電阻計200發出信號A1至警報系統300，警報系統300根據信號A1發出警報。
接著，如步驟18所示，警報系統300發出警告信號C1至掃描式曝光機，使掃描式曝光機停止運作。
此外，本警報系統的運作方法亦可使用實施例二圖3的電阻測量系統。主要差異在于步驟17中，當底部氣墊110、滑軌氣墊120或側向氣墊130所耦接的第一歐姆輸入端410、第二歐姆輸入端420或第三歐姆輸入端430所量得的電阻值小于預設的臨界電阻值時，數字式電阻計400分別發出信號A1、A2或A3至警報系統300，警報系統300可根據不同信號發出不同的警報并停止掃描式曝光機的運作。
本發明上述實施例所揭露的電阻測量系統及應用其的測量方法，應用一電阻計測量曝光機的基座與曝光平臺的氣墊之間的電阻值，一旦氣墊發生異常狀況導致電阻值小于所設定的臨界電阻值，則電阻計發出信號給耦接的警報系統發出警報。而警報系統可進一步與曝光機的控制模塊連接，在警報發出的同時發出警告信號通知控制模塊停止曝光機的運作。而即使氣墊的狀況未達警戒的標準，所量得的電阻值也可據以了解所連接的氣墊的狀況，在保養維修時可做為參考。
綜上所述，雖然本發明已以幾項實施例揭露如上，然其并非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和范圍內，當可作各種的更動與潤飾。因此，本發明的保護范圍當視后附的申請專利范圍所界定者為準。
權利要求
1.一種電阻測量系統，應用于一機臺，該機臺具有一基座及一承載座，該承載座具有至少一第一氣墊，該第一氣墊設置在該承載座的底面，該承載座以該第一氣墊懸浮在該基座上，該電阻測量系統包括一電阻計，該電阻計具有一接地輸入端及至少一第一歐姆輸入端，該接地輸入端耦接該基座，該第一歐姆輸入端耦接該第一氣墊，該電阻計測量該第一氣墊及該基座間的一第一電阻值；其中，當該第一電阻值小于一臨界電阻值時，該電阻計發出一第一信號至該機臺，使該機臺停止運作。
2.如權利要求1所述的電阻測量系統，其中，該承載座具有一第二氣墊，該第一氣墊與該第二氣墊并聯后耦接該第一歐姆輸入端。
3.如權利要求2所述的電阻測量系統，其中，該第二氣墊設置在該承載座的一側面。
4.如權利要求1所述的電阻測量系統，其中，該電阻計更包括一第二歐姆輸入端，該承載座更包括一第二氣墊，該第二歐姆輸入端耦接該第二氣墊，該電阻計測量該第二氣墊及該基座間的一第二電阻值；其中，當該第二電阻值小于該臨界電阻值時，該電阻計發出一第二信號至該機臺，使該機臺停止運作。
5.如權利要求4所述的電阻測量系統，其中，該電阻計更耦接一警報系統，該警報系統接收該第一信號或該第二信號后發出警報。
6.如權利要求1所述的電阻測量系統，其中，該電阻計為一數字式電阻計。
7.如權利要求1所述的電阻測量系統，其中，該機臺為一掃描式曝光機。
8.如權利要求1所述的電阻測量系統，其中，該電阻計更耦接一警報系統，該警報系統接收該第一信號后發出警報。
9.一種電阻測量方法，應用于一機臺，該機臺具有一基座及一承載座，該承載座具有至少一第一氣墊，該第一氣墊設置在該承載座的底面，該承載座以該第一氣墊懸浮在該基座上，該方法包括提供一電阻計，該電阻計具有一接地輸入端及至少一第一歐姆輸入端；耦接該接地輸入端與該基座；耦接該第一歐姆輸入端與該第一氣墊；設定該電阻計發一臨界電阻值；測量該第一氣墊及該基座間發一第一電阻值；以及當該第一電阻值小于一臨界電阻值時，該電阻計發出一第一信號至該機臺，使該機臺停止運作。
10.如權利要求9所述的電阻測量方法，其中，該承載座具有一第二氣墊，該方法更包括并聯該第一氣墊與該第二氣墊后，耦接該第一歐姆輸入端。
11.如權利要求9所述的電阻測量方法，其中，該電阻計更包括一第二歐姆輸入端，該承載座更包括一第二氣墊，該方法更包括耦接該第二歐姆輸入端及該第二氣墊；以及測量該第二氣墊及該基座間的一第二電阻值；以及當該第二電阻值小于該臨界電阻值時，該電阻計發出一第二信號至該機臺，使該機臺停止運作。
12.如權利要求11所述的電阻測量方法，更包括耦接該電阻計及一警報系統；以及當該警報系統接收到該第一信號或該第二信號時，該警報系統發出警報。
13.如權利要求9所述的電阻測量方法，更包括耦接該電阻計及一警報系統；以及當該警報系統接收到該第一信號時，該警報系統發出警報。
14.如權利要求13所述的電阻測量方法，其中，該警報系統更耦接該機臺，該方法更包括該警報系統發出一警告信號至該機臺，使該機臺停止運作。
全文摘要
一種電阻測量系統，應用于一機臺，機臺具有基座及承載座。承載座具有至少一第一氣墊，第一氣墊設置在承載座的底面，承載座以第一氣墊懸浮在基座上。電阻測量系統包括一電阻計，電阻計具有接地輸入端及至少一第一歐姆輸入端。接地輸入端耦接基座，第一歐姆輸入端耦接第一氣墊，電阻計測量第一氣墊及基座間的電阻值。當電阻值小于一臨界電阻值時，電阻計發出一信號以使機臺停止運作。
文檔編號G01R27/02GK1862389SQ200610087800
公開日2006年11月15日 申請日期2006年6月7日 優先權日2006年6月7日
發明者蔡承衛 申請人:友達光電股份有限公司