專利名稱：基于光波導體的用于x射線或伽瑪射線的檢測器模塊的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于X射線或伽瑪射線的檢測器模塊，其中入射的X射線或伽瑪射線通過一種或多種轉換材料被轉換為光學射線。
背景技術：
本發明的檢測器模塊首先用于例如在醫學成像中使用的計算機斷層造影設備，以獲得患者的身體內部的圖像。計算機斷層造影設備首先包括用于產生X射線的裝置、X射線檢測器和患者臥榻，利用患者臥榻可以在檢查期間使檢查對象沿著系統軸、即Z軸在檢查空間中移動。用于產生X射線的裝置產生X射線束，其從一個圍繞檢查空間旋轉的X焦點發出。在檢查空間的斷層平面(X-Y平面)中垂直于系統軸的扇形展開的X射線束在檢查時穿過檢查對象的一個斷層，例如是患者的體層，并且觸及到設置在X射線焦點對面的X射線檢測器的檢測器元件上。X射線束穿過患者身體斷層的角度以及患者臥榻的可能位置在用計算機斷層造影設備拍攝圖像時通常連續變化。
旋轉的X射線焦點對于第3代計算機斷層造影設備來說由與X射線檢測器一樣固定在圍繞檢查空間旋轉的旋轉框架上的X射線管產生。旋轉框架的旋轉速度在近幾年不斷提高，從而在記錄圖像時達到更快的掃描速度。但對于計算機斷層造影設備的新應用，如對心臟和血管血流的檢查，還要求更高的掃描速度。在第3代計算機斷層造影設備中，由于機械穩定性和安全性的原因而達到了極限，該極限基于運動的質量以及由此產生的大的加速度力而不允許旋轉框架的旋轉速度再有明顯的升高。因此近來增加所采用的X射線檢測器的行數，以便能在旋轉框架的每次旋轉中采集更大的體積。但這增加了檢測器的重量和成本。
DE10302565A1公開了另一種計算機斷層造影設備，其中同時采用兩個X射線管和兩個X射線檢測器。但這種結構也增大了旋轉部件的重量和計算機斷層造影設備的總成本。
為了避免旋轉部件近年來公開了第5代計算機斷層造影設備，其中用于產生X射線的裝置和X射線檢測器都靜止地設置。在這種計算機斷層造影設備中采用一個目標，其至少部分地將計算機斷層造影的檢查空間包含在一個平面中。在該目標上產生圍繞檢查空間運動的X射線焦點，從該焦點發射出X射線。計算機斷層造影設備由此完全沒有機械運動的X射線管。在此，該目標完全地或至少在大于180°的角度上圍繞檢查空間展開。X射線檢測器按照同樣的方式完全或者在至少180°的角度上包括檢查空間。例如US4158142或US4352021展示了第5代計算機斷層造影設備，其中目標和X射線檢測器分別完全或在210°的角度上包括檢查空間。
在幾乎所有計算機斷層造影設備中，都將檢測器模塊用作具有基本上平行結構的X射線檢測器。入射的X射線在此對于每個檢測器元件或者說每個檢測器通道被直接或間接地通過光學射線轉換為電信號。在直接設置于檢測器元件上的電路中對該電信號進行積分和數字化。接著將數字數據通過高速滑環從計算機斷層造影設備的旋轉部件傳遞到靜止部件，并在圖像計算機中進行圖像再現。由于該平行結構，檢測器成本與檢測器通道數或檢測器行數成正比地增加。因此第5代計算機斷層造影設備中多行檢測器模塊的成本很高。
發明內容
本發明要解決的技術問題是提供一種用于X射線或伽瑪射線的檢測器模塊，其可以用多行檢測器以很小的成本實現，具有很輕的重量并且尤其適用于第3代或第5代計算機斷層造影設備。
本發明還涉及這種檢測器模塊在計算機斷層造影設備中的有利應用。
本發明的用于X射線或伽瑪射線的檢測器模塊包括一個或多個光學光波導體段，它們相鄰地排列形成一個或多個檢測器行，并且相互串行地光學連接。光波導體段包含一種或多種轉換物質，用于將入射的X射線或伽瑪射線轉換為光學射線。在檢測器模塊的替換實施方式中，光波導體段構造成在沿著光波導體段的各個相鄰的區域內在X射線或伽瑪射線入射時產生不同波長的光學射線。光波導體段由此在該方式中具有位置編碼，從而可以基于在連接的光波導體段的尾部出現的光學射線的波長推導出該光學射線的形成地點。優選對構成一個檢測器行的每個光波導體段都這樣編碼，使得在光波導體段的不同區域內產生不同波長的光學射線。這可以通過改變該光波導體段中所采用的轉換材料來實現。優選形成不同檢測器行的光波導體段結構相同。在此不同的行可以通過光學射線從光波導體中出現的不同時刻來區分。通過這種方式還可以在形成檢測器行的光波導體段中形成不同的子段，這些子段分別被相同地編碼。在此也可以通過從光波導體中出現的時刻來確定光學射線所源自的形成區域或子段。
在本發明的檢測器模塊的第二替換實施方式中，作為轉換材料采用可被光激勵的磷，如由放射學、例如由US4258264所公開的那樣。這種材料存儲關于到達的X射線的強度的信息并在用光線、尤其是合適波長的激光進行激勵時又作為光射線給出該信息。由此在該檢測器模塊的第二替換實施方式中，可以通過用合適波長的光線或激光掃描各檢測器行來順序讀取關于入射的X射線或伽瑪射線的強度的信息。位置信息在此通過激光射線在光波導體段上的當前到達點來獲得。
本發明的檢測器模塊在兩種實施方式中都根據光收集器的原理工作。入射的X射線或伽瑪射線在光波導體段中被吸收并通過光波導體材料中包含的轉換材料、例如閃爍器材料或磷轉換為光學射線。在光串行互連的光波導體段中產生和傳導的光學射線在連接的光波導體的輸出端被引入分辨各頻率和/或時間的光測量裝置。根據檢測器模塊的實施的不同，可以利用到達的光學射線的頻率和/或時間位置確定該光學射線沿著光波導體段的形成地點。對于頻率分辨率，最簡單的情況下采用根據頻率對光學射線進行空間上的分束并成像到光電檢測器陣列、如CCD陣列上的光柵。
本發明的檢測器模塊可以非常有利的用作第3代計算機斷層造影設備的X射線檢測器，因為即使檢測器行的數量很大也能具有很小的重量并以很少的成本實現。尤其是對于圖像的記錄只需要一個例如以光柵和CCD陣列形式的光測量裝置，該光測量裝置另外設置在計算機斷層造影設備的靜止部件上。光學射線在此可以從連接的光波導體段通過光學滑環直接傳遞到靜止部件。由于成本很低，這樣的檢測器模塊還可突出地用于具有部分環檢測器或全環檢測器的第5代計算機斷層造影設備，或者用于具有多個X射線源和X射線檢測器的系統。
因此，尤其是對于圍繞檢測器空間的檢測面覆蓋了360°的全環檢測器可以非常簡單和成本低廉的實現。為此在本發明的檢測器模塊中螺旋形地設置單個光波導體，從而使各個螺旋道形成檢測器行。每個檢測器行的成本在此比目前采用的檢測器模塊要低得多。
各個光波導體段垂直于其縱軸的延伸對應于本發明的檢測器模塊中檢測器行的寬度，也就是在用于計算機斷層造影設備時是一個斷層的厚度。(虛擬)檢測器元件的長度對于位置編碼的光波導體來說取決于所產生的光學射線在整個光波導體段的長度上的波長變化的大小以及可以在光測量裝置中對不同波長進行區分的分辨率。在可激勵的磷材料的情況下，檢測器元件的長度通過所讀取的激光射線的位置分辨率給出。
優選所采用的光波導體段具有矩形的橫截面形狀，從而光波導體段可以直接相鄰地設置，以形成多行檢測器模塊。在部分環形的檢測器模塊中，各光波導體段在此通過光偏轉元件、優選為棱鏡在末端相互串行連接，從而形成一個連接的光波導體。當然還可以并行驅動多個這樣的檢測器模塊，但是應該對每個檢測器模塊設置一個單獨的光測量裝置。
下面結合附圖和實施例在不作限制的情況下再次詳細解釋本發明的檢測器模塊。在此示出圖1示出檢測器模塊的光波導體段的設置例子；圖2示出檢測器模塊的光波導體段的彩色位置編碼的例子；圖3示出檢測器模塊的光波導體段的螺旋形設置的例子；圖4示出讀取包含可激勵的磷材料的光波導體的例子；圖5示出讀取包含可激勵的磷材料的光波導體的另一個例子；圖6示出檢測器模塊的包含具有用于對光波導體進行位置編碼的不同發射波長的可激勵磷材料的光波導體段的例子；圖7示出具有螺旋形設置的光波導體的檢測器模塊的另一個例子。
具體實施例方式
圖1示出根據本發明的檢測器模塊1的例子，其中多個具有矩形橫截面的光波導體段2相鄰設置，使得它們形成多個檢測器行。整個檢測器模塊1在此針對計算機斷層造影設備中的應用而在一個半徑下彎曲，該半徑對應于計算機斷層造影設備中采用的X射線檢測器至X射線源的X射線焦點4的距離。各個光波導體段2分別在其末端通過圖中未示出的光棱鏡相互連接。通過這種方式形成貫穿形式的光波導體，在其末端5出現通過入射的X射線產生的光學射線。在圖1中示出棱錐性的X射線束3，與在運行計算機斷層造影設備時到達這樣的檢測器模塊上的一樣。X射線通過光波導體段2的轉換材料被轉換為光學射線，其由于通過連接的光波導體段形成的貫穿性光學通道根據射線是在哪個檢測器行中產生的而在不同的時間出現在光波導體的末端5。通過對光波導體段2的彩色編碼，可以通過所接收的光學射線的波長推導出在每個檢測器行內的形成地點。
圖2以示意圖示出這種光波導體段2的彩色編碼的例子，X射線束3到達該光波導體段2。在此光波導體段2在左邊摻有將X射線轉換成紅色波長范圍中的光學射線的閃爍器材料。在右邊采用一種將入射的X射線轉換為藍色波長范圍內的光學射線的閃爍器材料。在這兩端之間對光波導體段2進行摻雜，使得通過該光波導體段產生的光學射線從紅色的波長范圍連續推移到藍色波長范圍。這可以通過用合適的閃爍器微粒沿著光波導體段線性變化地摻入光波導體材料來實現。
在光波導體段2的不同位置上發射的光到達光波導體段2的末端5，并由緊湊的光測量系統6測量。基于以沿著光波導體進行線性變化的摻入閃爍器材料的形式產生的線性位置編碼，可以區分從沿著光波導體段的不同虛擬像素或者說檢測器元件到達的光學射線。所示出的梯度對應于沿著光波導體段的線性位置移動通過閃爍器材料發射的光的波長。在本例中，光測量系統6包括具有頻率分辨率的分光計，其與沿著光波導體段的波長變化相適應。在最簡單的情況下，該分光計由聚焦透鏡7、將到達的光的頻譜在空間上分開的利特羅(Littrow)光柵8、以及諸如CCD帶的線性光電檢測器陣列9組成，在該線性光電檢測器陣列上對空間上分開的光進行成像。
在擴展方式中，每個虛擬像素、也就是每個具有不同波長的區域也可以實現為共振空穴。為此在光波導體段、例如光纖的光纖核中接入一個局部共振光柵9，其中光柵周期通過光波導體段的長度改變，并且分別與此處發射的光的必需波長局部匹配。每個虛擬像素在這種情況下形成具有X射線的DFB(分布式反饋)激光器作為激勵源。DFB激光器不需要末端反射并具有大約0.2nm的波長選擇性。
圖3以極度示意的方式示出光波導體的螺旋形設置，通過它形成相鄰的光波導體段2(在該圖中相互拉出地顯示)。在該實施方式中，如圖2中的彩色位置編碼和到達光測量裝置的光學射線的時間序列都要被利用。來自不同檢測器行的射線(＝螺旋道)在不同的時刻到達光測量裝置。
這樣的檢測器模塊尤其適用于采用脈沖式X射線源的第5代計算機斷層造影設備。脈沖持續時間必須小于光沿著一個螺旋道傳播所需的時間(大約15ns)。這樣的X射線源例如可以是產生激光的棱鏡，其發射X射線，或者是具有可用激光激活的光電導管的X射線管。
在該檢測器模塊中，從光波導體中在每個X射線脈沖期間射出波長可變的光學射線脈沖的時間序列。時間上首次到達的射線脈沖來自與光波導體末端最近的螺旋道，后面緊跟著來自第二螺旋道的光學射線脈沖，依此類推。利用時間分辨的頻譜分析儀、如超高速掃描照相機以＜15ns的時間分辨率區分來自不同螺旋道的光學信號。在最簡單的情況下超高速掃描照相機由聚焦透鏡7、利特羅光柵和光電檢測器矩陣10組成，在該光電檢測器矩陣上光學射線由光柵8將頻譜在空間上分開地成像。光電檢測器矩陣10具有至少等于螺旋道數量的行數，并且每行的像素的數量至少等于每個螺旋道的虛擬像素的數目。在積分周期內很多X射線脈沖到達檢測器模塊，使得通過在此獲得的且頻譜分開的光脈沖被在各光電檢測器行中積分。
圖4示出可以在本發明的檢測器模塊中采用的光波導體段2的另一個例子。光波導體段2在此摻有可被激勵的磷材料，如在放射醫學中已知的。可被激勵的磷材料將X射線能量存儲一段無限的時間，并在被光激勵時發射出與存儲的X射線劑量成正比的光學射線。在傳統放射醫學的范圍內，用波長為633nm或在600到700nm范圍內的紅光激勵這樣的磷材料，其中次級發射在波長為390nm或300到500nm的范圍內。該技術的優點在于激勵光的功率放大了被發射的光信號。
在圖4的例子中，除了具有可激勵的磷材料的光波導體段之外還具有一種特殊的激勵光波導體11，其設置在光波導體段2旁邊。通過為激勵激光器14的耦合的激勵激光產生沿著激勵光波導體11移動的去耦合位置，可以在各瞬時去耦合位置12激勵光波導體段2的磷材料以發射光學射線。通過這種方式可以通過局部照射來相繼讀取光波導體段2的各個虛擬像素。在此利用X射線的照射和讀取可以同時或連續地進行。
為了產生移動的去耦合位置可以采用不同的技術。在如圖4的例子中所示的技術中，聲學轉換器13與激勵光波導體11耦合。該聲學轉換器13產生很短的聲脈沖，通過該脈沖在光波導體11中產生臨時光柵結構，該光柵結構沿著光波導體11傳播。這樣選擇光柵周期和聲學頻率，使得它們與耦合的激光的波長匹配，從而激光在該光柵位置處從光波導體射出。激光在激勵光波導體中傳播，然后在各瞬時光柵位置從光波導體中射出。在該位置激光到達相鄰的光波導體段2并在那里激勵磷材料以發射存儲的X射線能量作為可見光。在該例中，聲學脈沖和激光在相反的方向上在激勵光波導體11中傳播。
在融化的硅玻璃中的聲音速度是6m/ms。因此光波導體的最大長度對400μs的積分周期被限制為2.4m。需要具有更大聲音速度的材料用于更長的光波導體段。在檢測器模塊具有螺旋形光波導體的情況下，恰好包括一個螺旋道的激勵光波導體就足以。該光波導體可以同時激勵檢測器模塊的所有螺旋道。在這種情況下采用其時間分辨率足以區分相繼從不同螺旋道的激勵位置到達的光學射線的光電檢測器。激勵激光器14在此應該脈沖式地運行，并且其脈沖持續時間低于光在一個螺旋道中傳播所需的時間(約15ns)。
圖5示出具有可激勵磷材料的光波導體段2的另一個實施例，其中用特殊構成的激勵光波導體11進行讀取。激勵光波導體11在此具有永久的且在其長度上連續周期變化的光柵結構。該光柵結構這樣構成，使得其在激勵光波導體11的每個縱向位置上滿足針對另一個波長的共振條件，其中傳入光波導體的具有該波長的激光的一部分在該縱向位置從激勵光波導體11中射出。在此在運行期間在一個波長范圍內周期性地確定波長可確定的激光16。通過該波長掃描，激勵光波導體11中的去耦合位置相應于在長度上改變的光柵周期而移動。可確定激光16的每個波長因此響應具有磷材料的光波導體段2的另一個虛擬像素。如果傳入光波導體11中的激光的波長達到所構成的光柵的光柵周期，則光柵在該位置偏轉到具有磷材料的光波導體段2，并激勵磷材料以發射光學射線。通過這種方式，通過激光16的周期性波長確定重復地相繼讀取光波導體段2的各個虛擬像素。
在根據圖6的本發明的檢測器模塊的另一個實施方式中，采用可被激勵的磷材料，其根據在光波導體段2中的縱向位置產生不同波長的光學射線。該次級發射取決于磷材料的組成，并且可以在300到700nm之間的波長范圍內變化。在本例中，沿著光波導體段產生彩色梯度，從而沿著光波導體段2的每個虛擬像素在激勵磷材料時發射另一種波長的光學射線。在波長分辨率為0.2nm時，對于沿著光波導體段2的2320個虛擬像素來說需要454nm的波長范圍來改變次級發射，在波長分辨率為0.1nm時需要232nm的波長范圍。這種光波導體段2的所有像素同時用激勵激光器14的激光來激勵，該激光從相鄰設置的、有空隙的激勵光波導體17射出。該激勵光波導體17可以構造為有空隙的光纖，其具有很多射出耦合的激光的散射點。
對發射的光學射線的采集利用由分光計(利特羅光柵8和光電檢測器18)構成的光測量系統，該分光計具有與沿著光波導體段2的彩色分辨率相匹配的波長分辨率。X射線的照射和讀取過程可以同時進行。此外還可以在該實施例中將光柵結構設置到光波導體段2中，該光柵結構的作用為DFB激光器。DFB激光器在此通過激勵光而被激勵。該激勵光由此用于加強磷發射。
最后圖7示出另一個例子，其中光波導體段2通過螺旋形設置的光波導體形成。在該例中光波導體也具有可被激勵的磷材料，其存儲入射的X射線能量直到由于激光的入射而被重新發射出。在此產生的X射線的脈沖持續時間也小于發射的光穿過一個螺旋道所需時間。在每次X射線照射之后將產生非常短的激光脈沖的讀取激光器19耦合到光波導體中。所述脈沖持續時間確定了虛擬像素的大小。5ps的脈沖持續時間說明縱向像素分辨率為1mm。在該激勵脈沖沿著光波導體傳播期間，激勵脈沖觸發存儲的X射線能量作為光學射線，該光學射線沿著相反的方向傳播并到達光電檢測器18。每個局部光脈沖都以取決于所觸發的像素與光電檢測器18之間距離的延遲到達光電檢測器18。該延遲也包括激勵脈沖需要傳播到相應像素位置的時間。在合適的時間分辨率下，光電檢測器18可以將來自沿著光波導體的不同像素位置的脈沖區分開來。這樣的時間分辨率例如用光學高速示波器或超高速掃描照相機實現。可選地，還可以由光學光纖放大器(OFA)21放大虛擬像素的光學信號，其中對該光纖放大器21另外采用一個激勵激光器20。光學放大是無噪聲的，還可以進行對數轉換以減小動態范圍，該對數轉換是將超高速照相機用作光電檢測器18所必需的。
本發明的檢測器模塊的特殊優點在于，光波導體段2或光波導體的輸出端可以直接與將虛擬檢測器像素的被放大了的光學信號直接傳遞到CT旋轉框架的靜止部件的光學滑環連接。這種光學滑環的例子可引用WO03/069392A2。在這種情況下，完全電被動的檢測器模塊與電被動的光學滑環連接，從而第3代計算機斷層造影設備用電無源的旋轉X射線檢測器實現。被放大的光學信號首先在靜止部件中被解碼和數字化。這顯著減小了旋轉部件上的檢測器零件的重量。所有用于檢測的電組件都可以設置在靜止部件上。這降低了成本、重量和EMI問題(EMI電磁干擾)以及旋轉框架上的檢測器所需的空間。
權利要求
1.一種用于X射線或伽瑪射線的檢測器模塊，包括一個或多個光波導體段(2)，這些光波導體段(2)相鄰地排列形成一個或多個檢測器行，并且相互串行地光學連接，其中，光波導體段(2)包含一種或多種轉換物質，用于將入射的X射線或伽瑪射線(3)轉換為光學射線，并且光波導體段構造成在沿著光波導體段(2)的各個相鄰的區域內在X射線或伽瑪射線(3)入射時產生不同波長的光學射線。
2.一種用于X射線或伽瑪射線的檢測器模塊，包括一個或多個光波導體段(2)，這些光波導體段(2)相鄰地排列形成一個或多個檢測器行，并且相互串行地光學連接，其中，光波導體段(2)包含可被光激勵的磷物質，用于將入射的X射線或伽瑪射線(3)轉換為光學射線。
3.根據權利要求2所述的檢測器模塊，其特征在于，將至少一個用于讀取可被光激勵的磷材料的光波導體(11)這樣設置在一個或多個光波導體段(2)上，使得用耦合到該光波導體(11)中的光線通過沿著該用于讀取的光波導體(11)移動的去耦合位置來激勵所述可被光激勵的磷材料，以局部發射光學射線。
4.根據權利要求3所述的檢測器模塊，其特征在于，所述用于讀取的光波導體(11)具有一個在該光波導體(11)的長度上變化的光柵，使得所述移動的去耦合位置通過改變耦合到所述光波導體(11)中的光線的波長來實現。
5.根據權利要求3所述的檢測器模塊，其特征在于，所述用于讀取的光波導體(11)與聲學轉換器(13)連接，由該聲學轉換器通過在光波導體(11)中產生聲波來實現所述移動的去耦合位置。
6.根據權利要求1所述的檢測器模塊，其特征在于，所述轉換材料是閃爍器材料。
7.根據權利要求1所述的檢測器模塊，其特征在于，所述轉換材料是可被光激勵的磷材料。
8.根據權利要求7所述的檢測器模塊，其特征在于，至少一個用于讀取可被光激勵的磷材料、給出垂直于自身的縱軸的耦合進的光線的光的光波導體(17)這樣設置在一個或多個光波導體段(2)上，使得通過耦合到該光波導體(17)中的光線激勵所述可被光激勵的磷材料，以發射光學射線。
9.根據權利要求1、6至8中任一項所述的檢測器模塊，其特征在于，所述光波導體段(2)包含DFB光柵結構(9)，其沿著光波導體段(2)對應于各要產生的不同波長的光學射線而變化。
10.根據權利要求1、6至9中任一項所述的檢測器模塊，其特征在于，所述光波導體段(2)這樣構成，在沿著每個光波導體段(2)的不同區域內在X射線或伽碼射線(3)入射時產生不同波長的光學射線。
11.根據權利要求1至10中任一項所述的檢測器模塊，其特征在于，所述光波導體段(2)通過光偏轉元件在光波導體段(2)的末端相互光連接。
12.根據權利要求1至10中任一項所述的檢測器模塊，其特征在于，所述光波導體段(2)是螺旋形設置、且形成計算機斷層造影設備的360°旋轉的檢測面的光波導體的子段。
13.根據權利要求1至12中任一項所述的檢測器模塊，其特征在于，所述光波導體段(2)具有矩形的橫截面形狀。
14.根據權利要求1至13中任一項所述的檢測器模塊，其特征在于，所述不同檢測器行的光波導體段(2)的結構相同。
15.一種根據權利要求1至14中任一項所述的檢測器模塊在計算機斷層造影設備中的應用。
16.根據權利要求15所述的應用，其中所述檢測器模塊的輸出端與頻率分辨的和/或時間分辨的光測量裝置(6)連接。
17.根據權利要求15所述的應用，其中所述檢測器模塊設置在計算機斷層造影設備的旋轉部件上，并且檢測器模塊的輸出端與用于將產生的光學射線傳遞到計算機斷層造影設備的靜止部件的光學滑環連接，在該靜止部件上設置了頻率分辨和/或時間分辨的光測量裝置(6)。
18.根據權利要求15至17中任一項所述的應用，其中光學射線在多個檢測器行中通過用于順序光激勵可被光激勵的磷材料的裝置(11，13，14，16，17，19)而被觸發。
全文摘要
本發明涉及一種用于X射線或伽瑪射線的檢測器模塊，包括一個或多個光波導體段(2)，這些光波導體段(2)相鄰地排列形成一個或多個檢測器行，并且相互串行地光學連接。光波導體段(2)包含一種或多種轉換物質，用于將入射的X射線或伽瑪射線(3)轉換為光學射線，并且光波導體段構造成在沿著光波導體段(2)的各個相鄰區域內在X射線或伽瑪射線(3)入射時產生不同波長的光學射線。本發明的檢測器模塊可以價廉地用很多檢測器行來實現并具有很小的重量。
文檔編號G01N23/04GK1853567SQ20061007549
公開日2006年11月1日 申請日期2006年4月20日 優先權日2005年4月20日
發明者斯蒂芬·波佩斯庫 申請人:西門子公司