專利名稱：通過移動散斑干涉儀來研究表面振動的方法和裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及研究物體，尤其涉及研究表面上或表面中的位移。本發明可應用于任何表面，例如機器部件、諸如金屬板之類的產品(來檢測缺陷)、或者如窗玻璃之類受到振動的表面。本發明還尤其可應用于地球表面(如海床)的運動，用來地震探查。
背景技術：
本發明利用相干光(如激光)和干涉儀來研究瞬時或在一段時間的位移。在本申請人的共同待審的英國專利申請No.0402914.6和WO04/003589中已經構思了這些技術，這兩個都與地震探查有關。本發明可應用得更廣泛。
在較早的情況中，該技術涉及緊密跟蹤快干涉儀信號來精確地計算物體的位移。要求高的采樣頻率，并且在綜合大量單獨的順序記錄之后求出位移。在本申請中，系統不跟蹤快干涉儀信號，而是實際上跟蹤系統中的慢信號。這大大簡化了系統的設計，并且要求的組件不那么昂貴。
發明內容
根據本發明，提供了一種使用干涉儀研究表面的方法，其中，在該表面與該干涉儀之間存在相對運動，該運動具有總速度Vtot，該總速度Vtot包括橫向或側向分量Vt和縱向分量Vl，該方法包括將相干光的物體光束引到該表面上的測量位置，其中該表面與該測量位置之間存在相對運動；沿基本上在橫向方向上延伸的線布置干涉儀上的檢測器陣列，所述檢測器被配置為檢測具有表示不同的靈敏度方向的不同角方向的光射線；產生與該物體光束至少部分相干的相干光的參考光束；將該參考光束與從該表面反射的物體光束結合，來產生提供關于該表面與該干涉儀之間的相對運動的信息的散斑圖案中的交叉干涉；用檢測器檢測所述散斑圖案和所述交叉干涉圖案；確定所述陣列中的哪個檢測器對該運動的總速度Vtot具有零或最小靈敏度，從而識別具有與Vtot正交的靈敏度方向線的檢測器；監視具有零或最小靈敏度的檢測器隨時間的變化，從而確定由Vl的變化引起的Vtot的方向隨時間的變化；以及確定Vl隨時間的變化。
最好，物體光束和參考光束是從干涉儀發出的。干涉儀可以在橫向方向上持續運動，而表面可以在橫向方向以外的方向上相對間歇地運動。
本發明還可以擴展到用于執行本發明方法的裝置，以及通過執行本發明的方法而產生的報告。
本發明可以以多種方式付諸實踐，并且下面將參照附圖作為示例描述一些實施例，其中圖1是示出本發明總的原理的示意圖；圖2是接收的信號可能沿著檢測器線出現的一種方式的圖示；圖3是圖2所示的曲線的變更形式；圖4是類似于圖1的圖，示出本發明應用到海床上的地震信號檢測；圖5示出使用光元件來修改該系統；圖6示出替換實施例；圖7更具體地示出檢測器的靈敏度線；圖8更具體地示出在海床上的地震信號檢測；圖9示出本發明中使用的兩個替代透鏡配置；圖10示出使用參考光束的相位調制來補償干涉儀的運動；以及圖11示出本發明在3維測量方面的應用。
具體實施例方式
參照圖1，激光束如圖1所示沿著線擴展來照射被研究物體(OUI)。OUI可以是海床或其它物體，如旋轉機器部件的表面。
測量位置(可以是一點，但這里是OUI的表面上的一條線)和干涉儀(光學頭)之間存在相對運動。該相對運動具有如圖1所示的橫向速度分量Vt還有縱向速度分量Vl。在實際的測量情形中，可以是OUI在運動，或者可以是干涉儀在運動，或者兩者都運動。為了簡單起見，將該運動描述為就像是僅僅OUI在運動。假設速度分量對于沿著該物體上的激光線上的所有點是相同或近似相同的。激光線將通常具有有限的長度(從毫米到米)，或者在特定應用中它可以在遠距離上連續。
首先，本發明用于檢測縱向速度分量Vl隨時間的變化(AC電平)。根據激光束的方向和OUI振動(波)的方向，Vl可以具有該平面之外和進入OUI表面的分量。OUI可以是平的或彎曲的表面。
檢測器元件的線基本上布置在與橫向速度分量Vt相同的方向上，如圖1所示。每個檢測器元件也可以用檢測器陣列或橫向檢測器線替代，這使得能夠對于在圖1中的檢測器線上的每個位置在幾個檢測器元件上進行平均。或者，可以使用整個全場(full field)檢測器陣列。檢測器元件或檢測器陣列還被一個或多個參考光束照射，參考光束與從OUI反射的物體光至少部分相干(圖1中未示出參考光束)。在檢測器線的前面，存在成像透鏡或透鏡系統或者其它成像光學器件例如曲面鏡等。成像光學器件將OUI上的激光線成像到檢測器的線上。
除了物體表面上的激光線，也可以有沿著物體上的類似線上掃描的掃描激光點。我們還可以照射物體表面上整個場(尤其是在使用全場檢測器陣列時)，從而將物體被照射的部件成像到檢測器陣列。
照射OUI的激光束也可以匯聚或發散，焦點在離源不同距離處，包括OUI下面或上面的點。但是最好，用于物體照射的激光源位于圖1的透鏡的孔徑中或孔徑附近。這意味著照射和觀察的方向是平行的。激光束可以以不同角方向指向OUI。
縱向速度分量Vl的改變意味著總速度Vtot的方向將改變。使用本發明，我們檢測Vtot的方向隨時間的改變，并從而檢測縱向速度分量Vl隨時間的改變。
位于沿著檢測器線或者檢測器陣列中的特定位置上的干涉儀中的每個檢測器元件具有其自己特定的靈敏度方向。圖1中的線SDL表示類似于此的線或方向。干涉儀和激光束以角方向放置和布置，使得至少一個檢測器或一組檢測器具有與速度Vtot正交的靈敏度方向線SDL。如果將全場檢測器陣列與全場物體照射一起使用，則將有穿過該陣列且全部具有與速度Vtot正交的靈敏度方向的檢測器線。
具有與速度Vtot正交的靈敏度線SDL的檢測器元件將對于速度Vtot沒有靈敏度。具有其它靈敏度方向的所有其它檢測器元件將拾取速度Vtot的較小或較大的部分。
干涉儀中的每個檢測器元件檢測物體光與參考光之間的干涉，并且由下式給出檢測器元件上的強度I=Iref+Iobj+2·μ·Iref·Iobj·cos(αdiff+αdisp)---(1)]]>其中，I是檢測器元件上的總光強度，Iref是參考光強度，Iobj是物體光強度，μ是0與1之間的因子，并且取決于光的相干性等，αdiff是物體光與參考光之間的初始光相位差，αdispl是由于物體位移而引起的額外的光相位差。
等式(1)也可以寫為I＝Iback+Imod·cos(αdiff+αdisp)(2)其中Iback是背景電平，Imod是調制電平。
當我們具有圖1所示的速度為Vtot的運動時，對于給定檢測器元件的相位αdispl將以相位速度ω變化，這取決于該檢測器元件的靈敏度方向線SDL與速度Vtot的方向之間的角度。如果對于特定檢測器元件該角度等于或非常接近90度，則該檢測器元件的相位αdispl將不變化，或者將改變地很少或很慢。對于具有其它靈敏度方向的其它檢測器元件，相位αdispl將變化，并且當SDL線相對于度Vtot的方向從90度起偏離越來越多時，αdispl將變化地越快。
從等式(2)可以看出，當相位αdispl隨著時間變化時檢測器上的強度I將被正弦調制。這意味著靈敏度方向(SDL)與速度方向Vtot方向呈90度或接近90度的檢測器與具有其它靈敏度方向的檢測器相比，將具有緩慢調制的強度。在下面，我們將靈敏度方向SDL與速度Vtot呈90度的檢測器稱為“零檢測器”。通常，零檢測器隨時在改變位置，從而隨著時間推移，檢測器線上或檢測器陣列中的不同檢測器將被標識為零檢測器。
本發明的主要原理是檢測和定位零檢測器，即，定位強度I變化相對較慢的檢測器位置。這例如可以通過下面的方式之一來完成1.通過以快采樣頻率采樣檢測器或檢測器陣列，并且計算信號與先前采樣的差別。如果我們調用來自檢測器S的電或數字信號，我們將有S(t)＝K·I(t)(3)其中，S是來自檢測器的信號(電或數字)，K是常數，t是時間，I是檢測器上的強度。
現在，看信號S的時間頻率，我們將發現具有最低頻率的S的檢測器表示零檢測器。
2.通過使用具有相對較慢的采樣頻率和相對較長的每次采樣的曝光時間的檢測器。這樣，具有比該檢測器在時間上所能分辨(resolve)的更快的強度波動的檢測器將不會給出或者給出相對較低的信號S波動(低幅度)，這是因為強度波動將被平均化。換而言之，信號S不能跟上強度I的快速調制。圖2示出關于沿著檢測器線看去信號是什么樣子的例子。根據圖2所示的正弦函數，在信號S幅度降低的同時，通過增加與零檢測器的距離來增加信號S的頻率。等式(3)對于該方法不適用，除非檢測器元件接近零檢測器，因為這些檢測器的強度波動將慢到足夠檢測器進行分辨。零檢測器可以通過沿著檢測器線(見圖2)空間濾波、以及通過對隨時間的波動進行分析來標識和定位。
3.通過合并上述方法的方法，其中分析檢測器的時間頻率以及信號幅度。
從OUI反射的物體光由于OUI的表面粗糙和激光的高相干特性而通常將具有散斑性質。這也在圖2的曲線中看出。當干涉儀相對于OUI運動或者相反時，作為運動的結果，散斑通常將在空間上去相干，并且等式(3)中的Iobj和αdiff將隨著時間變化。從等式中看出，這些隨機變化將產生強度波動，但至少對于遠離零檢測器的檢測器，這些隨機強度波動由于相對物體運動Vtot而通常將比強度變化更慢。上面提到的隨機波動可以用來獲得平均效應，導致更平滑的強度曲線，見圖3，其中我們還過濾和校正了該信號。可以通過平均來自若干相鄰檢測器元件或檢測器陣列的信號來獲得平均效應，或者可以通過在時域上平均來獲得平均。平均或平滑效應可以使得更容易檢測和定位零檢測器的準確位置。如果在沿著檢測器線的若干或許多點上采樣圖3的曲線，則可以使用計算“重心”(＝零檢測器)的算法。Iobj和αdiff的去相干的速度取決于激光束的形狀、大小和焦距(參照前一專利)。
圖4示意性示出本發明如何應用于海床上的地震信號檢測。干涉儀沿著虛線運動，并且只要我們具有單一頻率、具有圖中所示的幅度的穩定狀態地震信號，穿過海床運動的測量點的總(相對)速度就在圖中的向量VtotA和向量VtotB之間變化。零檢測器將在檢測器線上的位置A和B之間變動。如果橫向速度Vt為1m/s并且地震幅度在50Hz下是100納米，則縱向速度幅度將為31.4微米/s，并且總速度Vtot的方向將以+/-0.0018度變化。在位于海床上方5米的干涉儀和0.3米的OUI上的激光線長度、以及50mm的檢測器陣列長度的情況下，檢測器線上的位置A和B之間的距離將大約是26微米，它典型地是具有7微米像素尺寸的4個像素距離。
關于零檢測器的檢測的記錄算法的例子可以如下
1.以給定采樣頻率從沿著檢測器線的所有檢測器元件i獲得信號Si(t)(t＝時間)。
2.對所有像素計算Si(t)隨時間的變化Si(t)/t。
3.對于所有像素在一段時間上對Si(t)/t求和并求平均，并且也可以在若干相鄰像素上求平均。這些相鄰像素中的一些也可以位于橫向上，如圖x中所示。
4.沿著檢測器線執行空間濾波，以找到零檢測器的位置。
還可以使用其它算法，其中使用沿著檢測器線的信號S的時間估計來定位零檢測器。
本發明還可以使用1維“位置敏感檢測器”來分辨強度運動的小的變化(零檢測器的小運動)。位置敏感檢測器可以是基于若干相鄰檢測器元件之間的耦合或相關技術，并且這樣可以增加靈敏度。
為了將物體上的30cm激光線成像到5米距離處的50mm檢測器線，可以使用大約0.7米的焦距。透鏡和檢測器線之間的光程將相對較大，但可以使用鏡或其它光學元件來獲得具有較小的總尺寸的折線光路，見圖5。
也可以通過在檢測器線前面使用不同的透鏡或透鏡系統或者其它成像元件來增加或降低系統的靈敏度。也可以使用曲面鏡。我們也可以將系統與2個或更多檢測器線并排組合，其中一個系統可以在檢測器前面有不同透鏡系統，而其它檢測器線可以具有不同的透鏡或成像系統。這樣，一個檢測器系統可以具有高靈敏度；而其它檢測器具有較低靈敏度，但對于地震幅度以及對于整個干涉儀和激光束方向的未對準與速度方向Vtot相比具有較大的動態范圍。在實際設計中，透鏡或成像元件可以在一個方向上長，而在另一橫向上窄。
如果在成像系統與檢測器之間或者在成像系統外部上安裝反射鏡，則將通過如圖5所示傾斜這些反射鏡中的一個或多個來調節檢測器元件的靈敏度方向線。如果干涉儀以隨著時間變化的角位置運動，則因此可能需要調節靈敏度方向。
檢測器線或檢測器陣列或位置敏感檢測器線可以長或短，如果(最好)使用若干激光束和成像系統的話，它可以從幾微米到幾米。
如果使用具有不同靈敏度的兩個或若干平行的檢測器線，則可以使用最不敏感的檢測器線系統(具有最高的動態范圍)來調節具有較高靈敏度的其它檢測器線的靈敏度方向，從而它們可以找到它們各自的零檢測器，并且在其有限的動態范圍內工作。
本發明也可以通過使用上面提到的對反射鏡的動態操縱來使用靈敏度方向的動態操縱。對反射鏡的操縱通過來自如上所述的一個或多個平行的檢測器線的反饋信號控制，從而零檢測器位置在所使用的一個或多個檢測器線中的檢測器線上差不多保持恒定。這樣，操縱反饋信號將給出關于地震信號的信息。
地震信號的測量可以具有幾秒的持續時間，以相對較高的地震幅度開始，然后幅度降低。在測量周期期間，可以調節和改變本發明的動態范圍和靈敏度。這可以通過使用兩個或更多個檢測器線，或者通過改變或調節檢測器線前面的光學元件來完成。
圖6示出本發明的另一設計。
在這種情況下，激光束被導向被研究物體(OUI)來照射表面上的單個點(圖6中的測量點)。激光束可以匯聚或發散，其焦點在離源不同的距離處，包括OUI下面或上面的點。光束也可以具有不同的形狀(圓、矩形等)，并且光束也可以被聚焦到表面下面的線，而不是點。
檢測器元件的線被布置在基本上與圖6所示的橫向速度分量Vt相同的方向上。和前面一樣，每個檢測器元件可以被檢測器陣列替代。檢測器元件或檢測器陣列也可以被與從OUI反射的物體光至少部分相干的一個或多個參考光束(圖6中沒有示出參考光束)照射。從OUI上的測量點反射的光也可以被反射鏡反射或被其它元件或其它器件引導，從而檢測器線或檢測器陣列可以以圖6所示以外的方式物理放置和幾何布置。
在圖6中，示出了零平面(zero plane)。這是空間中通過測量點并且與速度向量Vtot正交的平面。和前面一樣，位于沿著檢測器線的特定位置上的每個檢測器元件具有它自己特定的靈敏度方向。圖6中的線SDL表示類似于此的線或方向。
干涉儀和激光束以角方向放置和布置，使得檢測器線上的至少一個檢測器或檢測器陣列具有與零平面平行并且實際上位于零平面中的靈敏度方向線SDL。利用圖6所示的布置，檢測器元件的靈敏度方向不是從測量點(OUI上的激光點)到該檢測器元件的線。檢測器元件的靈敏度方向如圖7所示。
具有零平面中的靈敏度線SDL的檢測器元件對速度Vtot將不具有靈敏度，但具有其它靈敏度方向的所有其它檢測器元件將拾取速度Vtot的較小或較大部分。光強度的等式對于該光學配置與前面配置是相同的，因此等式(1)和(2)仍然有效。
圖8示意性示出本發明如何應用于海床上的地震信號檢測。只要我們具有如圖所示的具有幅度的單一頻率穩定狀態地震信號，在海床上運動的測量點的總(相對)速度就在圖中的向量VtotA和VtotB之間變化。零檢測器將在檢測器線上的位置A與B之間變動。如果橫向速度Vt是1m/s，并且地震幅度在50Hz下是100納米，則縱向速度幅度將是31.4微米/s，并且總速度Vtot的方向將以+/-0.0018度變化。如果干涉儀位于海床上方5米，則檢測器線上的位置A與B之間的距離將是314微米，它典型地是具有7微米像素尺寸的40個像素距離。
此外利用該光學配置，我們可以使用“位置敏感檢測器”來分辨強度運動的小的變化(零檢測器的小運動)。該配置與第一配置之間的主要差別在于，沒有使用成像光學器件，并且檢測器元件線通常將更長。
然而，也可以通過如圖9所示在檢測器前面使用負透鏡或正透鏡或透鏡系統或其它成像元件，增加或降低該第二配置的靈敏度。也可以使用曲面鏡。而且在這種情況中，我們也可以將系統與2個或更多檢測器線并排組合，其中一個系統在檢測器前面可以具有不同的透鏡系統(或者沒有透鏡)，而其它檢測器線具有不同的透鏡或成像系統。
和前面一樣，檢測器線或檢測器陣列或位置敏感檢測器可長可短；它可以從幾微米到幾米，或者甚至沿續幾百米的距離，如果(優選)使用幾個激光束的話。如果檢測器線的長度有限，則零檢測器位置可能在檢測器陣列的線外終止，從而該線上沒有檢測器元件成為零檢測器。在這種情況下，可以調節激光束的方向，直到將零檢測器位置變到檢測器元件線的范圍(長度)內為止。此外，如果朝著檢測器線的光在到達檢測器之前通過反射鏡反射，則可以傾斜這些反射鏡來獲得系統的適當的靈敏度方向。
使用該第二配置，對激光束的動態操縱成為可能，其中對光束的操縱通過來自如上所述的一個或多個平行的檢測器線的反饋信號控制，從而零檢測器位置在所使用的一個或多個檢測器線中的檢測器線上差不多保持恒定。和前面一樣，操縱反饋信號將給出關于地震信號的信息。最好僅在一個方向上控制激光束，即基本上在與速度Vtot相同的方向上，該方向通常也是與檢測器線相同或幾乎相同的方向。
一般而言，與前面參照圖1描述的系統不同，圖6中的系統隨著到OUI距離的增加，將具有較高的靈敏度，但是較小的動態范圍。當零檢測器區域將隨著距離增加而變寬時，到OUI的距離可以由系統使用來自檢測器線的數據S得到。
第二配置與第一配置相比的一個缺點在于，干涉儀和OUI之間距離的改變可能給出沿著檢測器線上的假信號。這些假信號可能較小，但如果該系統是配置為分辨非常小的幅度，那么這個差錯源可能是個限制因素。
相位調制如果(第一和第二配置)系統的激光束和靈敏度方向拾取干涉儀或OUI的一大部分運動，則可以使用參考光束的相位調制來對其進行補償，見圖10。這在上面提到的英國專利申請No.0402914.6中描述。
如果干涉儀的相對的大部分運動被系統拾取，那么這意味著速度Vl變大，從而Vl可以具有大的恒定(“DC”)分量，其上面有小的“AC”分量。可以通過使用參考光束的相位調制來移除Vl的大DC分量。相位調制實際上意味著我們在檢測器線上向旁邊(向左或向右)移動圖3的曲線。另一種表達的方式是說，當使用參考的相位調制時，零線或零平面與總速度Vtot之間的角度變得不同于90度。
如果例如以相對于干涉儀的傳播方向向前或向后的角度引導激光束(參照圖4和圖8)，則速度Vl將得到較小或較大的“DC”電平。在這種情況下，可以使用相位調制來對其進行補償。
使用相位調制，我們在系統上施加了“合成”縱向速度。如果我們模擬具有給定幅度和頻率的正弦變化的速度Vl，并且如果我們在該同一頻率下得出檢測器線上的相應零檢測器“幅度”，則我們可以實際上從該數據計算橫向速度Vt。
3維測量如果例如使用三個類似圖1和/或圖6中的單元的獨立單元，本發明可用于測量空間3維位移。圖11示出這樣的一個例子，其中3維測量海床中的地震信號。圖中的每個激光束可以是如前面所述的激光束或激光線。使用圖11所示的配置，在指向速度方向的單元中將需要相位調制。
假設OUI振蕩(波)的波長大于OUI上激光束中的靈敏度線照射的位置之間的距離。
如果我們有大量象圖1所示的系統，以大系統陣列運動，那么我們可以實現在大面積海床上的測量。我們也可以使用組合系統，其中從相同照射線或照射點反射的光可以被不同的相鄰檢測器系統拾取，以獲得具有不同靈敏度方向的測量。
權利要求
1.一種使用干涉儀研究表面的方法，其中，在該表面與該干涉儀之間存在相對運動，該運動具有總速度Vtot，該總速度Vtot包括橫向或側向分量Vt和縱向分量Vl，該方法包括將相干光的物體光束引到該表面上的測量位置，其中該表面與該測量位置之間存在相對運動；沿基本上在橫向方向上延伸的線布置干涉儀上的檢測器陣列，所述檢測器被配置為檢測具有表示不同的靈敏度方向的不同角方向的光射線；產生與該物體光束至少部分相干的相干光的參考光束；將該參考光束與從該表面反射的物體光束結合，來產生提供關于該表面與該干涉儀之間的相對運動的信息的散斑圖案中的交叉干涉；用檢測器檢測所述散斑圖案和所述交叉干涉圖案；確定所述陣列中的哪個檢測器對該運動的總速度Vtot具有零或最小靈敏度，從而識別具有與Vtot正交的靈敏度方向線的檢測器；監視具有零或最小靈敏度的檢測器隨時間的變化，從而確定由Vl的變化引起的Vtot的方向隨時間的變化；以及確定Vl隨時間的變化。
2.如權利要求1所述的方法，其中，所述物體光束和所述參考光束是從干涉儀發出的。
3.如權利要求1或2所述的方法，其中，所述干涉儀在橫向方向上持續運動，并且該表面在與橫向方向不同的方向上相對間歇地運動。
4.如前述任何一項權利要求所述的方法，其中，所述相干光束是激光束。
5.如權利要求4所述的方法，其中，物體光束被擴展以照射被研究物體。
6.如前述任何一項權利要求所述的方法，其中，所述測量位置是被研究物體的表面上的點或線。
7.如前述任何一項權利要求所述的方法，其中，該陣列中的每個檢測器包括基本上平行于橫向方向、或者基本上與橫向方向成直角延伸的檢測器線。
8.如權利要求1到7中任何一項所述的方法，其中，所述檢測器采用全場檢測器陣列的形式。
9.如前述任何一項所述的方法，其中，在由成像光學器件對光束進行成像之后緊接著由檢測器檢測該光束。
10.如權利要求9所述的方法，其中，所述成像光學器件包括透鏡系統或曲面鏡。
11.如前述任何一項權利要求所述的方法，其中，所述被研究物體是海床或旋轉的機器部件。
12.一種用于研究表面的干涉儀，其中該表面與該干涉儀之間存在相對運動，該運動具有總速度Vtot，該總速度Vtot包括橫向或側向分量Vt和縱向分量Vl，該干涉儀包括相干光的物體光束源，被配置成將物體光束引到該表面上的測量位置；基本上在橫向方向上延伸的線中的、在該干涉儀上的檢測器陣列，所述檢測器被配置為檢測具有表示不同的靈敏度方向的不同角方向的光射線；相干光的參考光束源，被配置為產生與物體光束至少部分相干的參考光束，該參考光束源被配置為將參考光束與從該表面反射的物體光束結合，來產生提供關于該表面與該干涉儀之間的相對運動的信息的散斑圖案中的交叉干涉，所述檢測器被配置為檢測所述散斑圖案和所述交叉干涉圖案；用于確定所述陣列中的哪個檢測器對該運動的總速度Vtot具有零或最小靈敏度從而使得能夠識別具有與Vtot正交的靈敏度方向線的檢測器的裝置；用于監視具有零或最小靈敏度的檢測器隨時間的變化從而可以確定由Vl的變化引起的Vtot的方向隨時間的變化的裝置；以及用于確定Vl隨時間的變化的裝置。
13.如權利要求12所述的干涉儀，其中，每個檢測器元件包括單獨的檢測器的線。
14.如權利要求13所述的干涉儀，其中，該線與橫向檢測器線平行或橫穿該橫向檢測器線，并且如權利要求12到13中任何一項所述的參數，其中所述檢測器包括全場檢測器陣列。
15.如權利要求12到14中任何一項所述的干涉儀，包括在所述檢測器線前面的成像光學器件。
16.如權利要求15所述的方法，其中，所述成像光學器件包括成像透鏡、透鏡系統或曲面鏡。
全文摘要
一種使用干涉儀研究表面的方法，其中，在該表面與該干涉儀之間存在相對運動，該運動具有總速度V
文檔編號G01V1/20GK101023377SQ200580031612
公開日2007年8月22日 申請日期2005年8月3日 優先權日2004年8月4日
發明者保羅·邁德和, 伊奧夫·維克哈根 申請人:斯塔特石油公開有限公司