包括電暈放電電離元件的離子遷移率譜儀的制作方法

專利名稱：包括電暈放電電離元件的離子遷移率譜儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及包括電暈放電電離元件的離子遷移率譜儀。
背景技術(shù)：
在本領(lǐng)域中知道離子遷移率譜測(cè)定的首字母縮寫IMS(相同的首字母縮寫也用于實(shí)施該技術(shù)的儀器，在該情況下表示“離子遷移率譜儀”)。受到IMS分析的樣品通常是包括待分析氣體或蒸汽的載氣通過(guò)在合適的條件下操作，可在載氣中探測(cè)出氣體或蒸汽的皮克量級(jí)(pg，即10-12克)的數(shù)量，或萬(wàn)億分之幾量級(jí)(ppt，等價(jià)于每1012個(gè)樣品氣體分子中一個(gè)分析物質(zhì)分子)的濃度。IMS技術(shù)通常在例如機(jī)場(chǎng)中用于物質(zhì)如爆炸物或毒品的定性分析，因?yàn)樗鼘?duì)這些物質(zhì)的快速探測(cè)。在使該技術(shù)對(duì)這些目的特別有用的特征中有它的非常高的靈敏性、獲得結(jié)果的速度，以及儀器有限的尺寸和成本。在美國(guó)專利5,420,424、5,457,316、5,955,886和6,229,143 B1中公開了利用到這些的IMS儀器和分析方法。
圖1在橫截面視圖中顯示構(gòu)成IMS儀器的主要元件。儀器由腔室C構(gòu)成，一般地是圓柱形，分成反應(yīng)區(qū)RZ和分離區(qū)DZ。腔室C在一端具有待分析氣體的入口IS并在相對(duì)端具有帶電粒子探測(cè)器D(后者連接到用于收集形成IMS譜的數(shù)據(jù)的儀器電子設(shè)備，沒有顯示)。腔室C裝備有兩個(gè)額外端口DI和OC，分別用作本領(lǐng)域中稱作“漂移氣”的氣體的入口，以及漂移氣和樣品所形成的混合物的腔室出口漂移氣構(gòu)成離子在其中移動(dòng)并允許分離它們的氣態(tài)裝置。在圖中顯示了對(duì)應(yīng)于最通常操作模式的配置，其中漂移氣運(yùn)動(dòng)的方向跟離子的方向相反，但在跟離子運(yùn)動(dòng)方向相同的方向上引導(dǎo)漂移氣流的情況中，可將端口DI和OC反過(guò)來(lái)。樣品通過(guò)以示意形式表示為元件IM的電離元件進(jìn)入到腔室C中。
通過(guò)氣態(tài)流或可能通過(guò)合適的電場(chǎng)將由元件IM形成的離子物質(zhì)攜帶到反應(yīng)區(qū)RZ中，其中形成對(duì)應(yīng)于分析下的氣體中存在的分子的離子物質(zhì)。由于比存在的其他物質(zhì)的濃度高幾個(gè)數(shù)量級(jí)的載氣分子的濃度，主要發(fā)生所述分子的電離，并形成所謂的“反應(yīng)物離子”，然后反應(yīng)物離子的電荷根據(jù)存在的其他物質(zhì)的電子或質(zhì)子親和力或根據(jù)它們的電離勢(shì)重新分布到其他物質(zhì)上?？梢詤⒖?994年出版的G.A.Eiceman和Z.Karpas的書“離子遷移率譜測(cè)定”中關(guān)于作為離子遷移率譜測(cè)定技術(shù)基礎(chǔ)的(相當(dāng)復(fù)雜的)電荷轉(zhuǎn)移原理的說(shuō)明。
通過(guò)柵格G將反應(yīng)區(qū)RZ跟分離區(qū)DZ分開，當(dāng)被電激活時(shí)柵格G阻止反應(yīng)區(qū)RZ中存在的離子進(jìn)入DZ區(qū)；反之亦然，當(dāng)將柵格短暫地退激活時(shí)(幾百微秒量級(jí)的時(shí)間)，RZ區(qū)中存在的離子的一部分可穿到分離區(qū)DZ(也稱作“漂移區(qū)”)中。由于合適的電場(chǎng)先前在DZ區(qū)中形成的離子加速向探測(cè)器，同時(shí)由于漂移氣的存在減慢下來(lái)；這兩種反作用的共存造成根據(jù)它們的電荷、質(zhì)量和尺寸值的多種離子分離，導(dǎo)致在探測(cè)器上不同的到達(dá)時(shí)間(本領(lǐng)域中稱作漂移時(shí)間)以及隨之發(fā)生的電荷峰的形成。通過(guò)解釋作為時(shí)間函數(shù)的由這些峰的全體組成的譜，通過(guò)適當(dāng)?shù)男?zhǔn)測(cè)試，推斷在檢查下的樣品中搜尋的某些物質(zhì)的存在是可能的。
離子從提供入口IS的一端向探測(cè)器D的傳輸是因?yàn)殡姌OE1，E2，…，En所產(chǎn)生的電場(chǎng)的存在。
通常依靠放射性鎳同位素63Ni發(fā)射的β輻射發(fā)生樣品的電離。該元素的存在引起某些安全問(wèn)題，因?yàn)轱@然地不能“關(guān)閉”放射源，從而總是發(fā)射致電離從而潛在危險(xiǎn)的輻射。因?yàn)樵撎卣鳎煞浅Ｏ拗菩缘膰?guó)際條例規(guī)定具有基于63Ni的源的IMS儀器的存放和運(yùn)輸。
為克服該問(wèn)題提出的解決方法之一是用電暈放電源代替放射源。該電離源包括兩個(gè)電極，一個(gè)一般地是針形的，并且在它們之間放入氣態(tài)媒介，在兩個(gè)電極上施加合適的電勢(shì)差，在其間產(chǎn)生高的電場(chǎng)，能夠從兩個(gè)電極的一個(gè)中拔出電子并使它們加速向另一個(gè)電極；這些高能電子使沿著它們的路徑遇到的氣體分子電離。
例如在美國(guó)專利5,420,424、5,684,300、6,100,698和6,225,623 B1中公開在也是IMS類型的分析儀器中使用的基于電暈放電的電離源。在這些專利所公開的儀器中，在由載氣和必須要確定其存在的痕量氣體或蒸汽的混合物構(gòu)成的樣品中直接產(chǎn)生放電；發(fā)現(xiàn)這些儀器適合于常規(guī)IMS應(yīng)用，其中如上所述，分析的主要目的是物質(zhì)如爆炸物和毒品的存在的定性確定。
但是，目前已有對(duì)將該技術(shù)也用于定量分析，特別地用于在微電子行業(yè)中使用的超純氣體的分析的越來(lái)越多的關(guān)注。在美國(guó)專利6,740,873B2中以及在全部以申請(qǐng)者名義的、公開裝備有63Ni電離源的常規(guī)儀器的使用的公開國(guó)際專利申請(qǐng)WO 02/052255、WO 02/054058、WO02/090959、WO 02/090960、WO 02/099405、WO 2004/010131和WO2004/027410中報(bào)導(dǎo)該應(yīng)用的例子。如在這些公開中描述的，定量IMS分析非常復(fù)雜，特別是當(dāng)必須確定樣品中同時(shí)存在的幾種雜質(zhì)的濃度時(shí)，并且需要“精細(xì)”知識(shí)和開始活動(dòng)的所有參數(shù)的控制。
在該類型分析中其控制具有極其重要性的參數(shù)是由放電形成的等價(jià)于在源的兩個(gè)電極之間直接產(chǎn)生的離子流的原離子的數(shù)量。除了源的幾何參數(shù)之外，離子流還依賴于在電極之間存在的氣體的組成。因?yàn)槿缢f(shuō)的，在現(xiàn)有技術(shù)儀器中在樣品氣體中直接產(chǎn)生放電，并且因?yàn)樵趯?shí)際分析中，由于氣態(tài)雜質(zhì)的類型和數(shù)量的可能變化，樣品氣體的組成隨時(shí)間波動(dòng)，使用現(xiàn)有技術(shù)的儀器保證對(duì)應(yīng)于原離子的離子流和總電荷的量是常數(shù)是不可能的。因此，以定量分析為基礎(chǔ)的用公式表示關(guān)于該電荷在雜質(zhì)之中如何分布的計(jì)算是不可能的。結(jié)果是現(xiàn)有技術(shù)的裝備有電暈放電的IMS儀器不適合于特別是多組分類型的定量分析。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，并且特別地提供適合于在氣態(tài)樣品中同時(shí)存在所有雜質(zhì)的定量IMS分析中使用的電暈放電電離源。
根據(jù)本發(fā)明使用特征在于包括電暈放電源作為電離元件的離子遷移率譜儀獲得這個(gè)和其他目的，電暈放電源包括第一腔室，具有待分析氣體的入口以及在所述第一腔室限定的內(nèi)部空間和IMS譜儀的反應(yīng)區(qū)之間的至少一個(gè)第一溝通口；第二腔室，包含在所述第一腔室中，具有超純氣體或超純氣體混合物的入口以及在所述第一和第二腔室之間的至少一個(gè)第二溝通口；一對(duì)電極，至少一個(gè)是針形的，布置在所述第二腔室中；以這種幾何關(guān)系布置所述這對(duì)電極和第二開口，使得在電暈放電區(qū)和IMS儀器的離子探測(cè)器之間沒有光程。
發(fā)明者已發(fā)現(xiàn)如果在可與樣品的載氣相同或不同的超純氣體中而不是像向前知道的那樣在樣品內(nèi)部產(chǎn)生放電，那么可以克服在定量IMS(單或多組成)分析中源自電暈放電源的使用的上述缺點(diǎn)。以這樣的方式操作，在源中產(chǎn)生的離子流的強(qiáng)度(因此原離子的量)僅依賴于這對(duì)電極的幾何構(gòu)造、氣體壓力、溫度以及電極間施加的電勢(shì)差的值；因?yàn)殡姌O的幾何是固定的，因此是恒定的，通過(guò)將其他三個(gè)所述參數(shù)保持恒定，保證原離子流的恒定性是可能，如已說(shuō)過(guò)的這是能夠用IMS儀器實(shí)施定量分析的基本要求。在下面的描述中，其中產(chǎn)生放電的超純氣體也將限定為輔助氣體；輔助氣體也可以包括不妨礙分析的超純氣體的混合物。


將在下面參考附圖進(jìn)一步詳細(xì)地描述本發(fā)明，其中圖1顯示IMS儀器的示意橫截面視圖；圖2顯示根據(jù)本發(fā)明的電暈放電電離源的一般實(shí)施方案的橫截面視圖；圖3顯示本發(fā)明的電暈放電電離源的優(yōu)選實(shí)施方案的橫截面視圖；以及圖4顯示分別用本發(fā)明的和現(xiàn)有技術(shù)的電離元件工作獲得的兩個(gè)IMS譜。
具體實(shí)施例方式
先前已描述了圖1。本發(fā)明的目的在于替換圖1的電離元件IM中的放射性63Ni。
圖2顯示本發(fā)明的最一般形式的電暈放電源。源200包括第一腔室201，由第一壁202限定，具有允許在源中產(chǎn)生的離子流進(jìn)IMS儀器的測(cè)量腔室的第一開口203；第二腔室204，由第二壁205限定，具有允許在第二腔室中產(chǎn)生的離子流向第一腔室的至少一個(gè)第二開口206；第一針形電極207和第二電極208(具有任何幾何構(gòu)造)，布置在第二腔室中；將輔助氣體引入第二腔室的入口209；以及將樣品引入第一腔室的入口210。使用該配置，以及通過(guò)以輔助氣體和樣品之間流速和/或壓力的合適比率或者以開口203和206的尺寸之間的適當(dāng)比率操作，避免樣品擴(kuò)散到腔室204中是可能的，使得其中僅存在超純輔助氣體，從而保證原離子的恒定流產(chǎn)生。由輔助氣體的運(yùn)動(dòng)將這樣形成的原離子(連同自由基和亞穩(wěn)粒子)通過(guò)開口206攜帶到第一腔室201的區(qū)211中，在那里發(fā)生跟樣品的完全混合；由于該混合，原離子將它們的電荷轉(zhuǎn)移給樣品中存在的氣體分子。然后，樣品、輔助氣體和離子物質(zhì)的混合物通過(guò)開口203流進(jìn)IMS儀器的反應(yīng)區(qū)RZ，在那里繼續(xù)電荷轉(zhuǎn)移的反應(yīng)，并且形成對(duì)應(yīng)于待確定的雜質(zhì)的離子物質(zhì)。
從美國(guó)專利5,485,016中已知道通過(guò)電暈放電在輔助氣體中形成離子；但是，該文獻(xiàn)涉及具有在大氣壓力下的電離的質(zhì)譜儀，并且這涉及關(guān)于本發(fā)明的在結(jié)構(gòu)和功能上的顯著差異。在根據(jù)所述專利的儀器中，在保持大氣壓力的區(qū)中發(fā)生電離，然而離子分離區(qū)處于高真空下。為了維持該條件，必需盡可能限制中性物質(zhì)從電離區(qū)流到分離區(qū)，通過(guò)放置在兩者之間的盡可能小的孔，以及通過(guò)使用使離子向分離區(qū)的提取達(dá)到最大化的靜電透鏡的幾何獲得該結(jié)果；在該幾何中，針形電極、離子從放電室流到跟樣品混合的區(qū)的開口，以及離子從所述混合區(qū)流到儀器的分離區(qū)的開口必需沿著儀器的軸線排列。如果在IMS譜儀中采用，該配置將出現(xiàn)嚴(yán)重的缺點(diǎn)，因?yàn)樵陔姇灧烹娭羞€產(chǎn)生光子由于電暈放電源的軸向幾何，光子將進(jìn)入IMS儀器的分離區(qū)中，并在所述區(qū)中產(chǎn)生不是源自反應(yīng)區(qū)中所建立的平衡的離子；此外，光子將撞擊探測(cè)器，并由于光電效應(yīng)產(chǎn)生被探測(cè)器讀取為離子流的“偽”電流，這降低測(cè)量的信號(hào)/噪聲比；這兩種效應(yīng)將增加測(cè)量不確定性。
美國(guó)專利5,218,203公開可用于包括IMS的各種分析儀器的電離元件。在該情況中輔助氣體和樣品的入口通過(guò)樣品在內(nèi)管的兩個(gè)同心管，并且這說(shuō)明了兩種氣體必須經(jīng)歷可能的最小混合；為了電荷轉(zhuǎn)移，依靠合適的電場(chǎng)通過(guò)樣品流引導(dǎo)只是輔助氣體中產(chǎn)生的離子；為了防止樣品和輔助氣體混合，在層流的條件下將兩種氣體引入到系統(tǒng)中，并且為了獲得該效果，沿著氣體的入口線提供用于消除湍流的合適擴(kuò)散裝置。反之，在本發(fā)明的情況中，輔助氣體和樣品和混合是獲得期望結(jié)果的基本特征。除此之外，在所述專利中，說(shuō)到使用電暈放電源或放射源的任一個(gè)是可能的，但后者是優(yōu)選的，因?yàn)槌穗x子之外電暈放電源還產(chǎn)生自由基和亞穩(wěn)粒子；這些額外的電離元素是所述專利的目的不希望的，其中唯一的電離機(jī)制是輔助氣體中產(chǎn)生的離子跟樣品的物理接觸，因?yàn)樽杂苫騺喎€(wěn)粒子的形成可能引起對(duì)樣品電流的不期望有的貢獻(xiàn)，因此引起執(zhí)行分析的實(shí)際不可能性。相反，本發(fā)明專門涉及電暈放電源的使用，而且在該情況中自由基或亞穩(wěn)離子的存在不產(chǎn)生問(wèn)題，而甚至可以用來(lái)增加儀器的靈敏度。
圖3顯示本發(fā)明的電暈放電源的優(yōu)選實(shí)施方案的橫截面視圖。
在該情況中，源300直接裝配到構(gòu)成如圖1中所示IMS儀器的腔室C的一端的壁301上。內(nèi)壁制造成基本是圓柱形的部件302和基本是平面的部件302’形成源的第二腔室303；在腔室303中，提供針形電極304；電極304饋通儀器的壁301并連接到外部電子設(shè)備；電極304依靠可由塑料、陶瓷或玻璃質(zhì)材料制成的絕緣元件305關(guān)于儀器的壁電隔離。在該優(yōu)選變體中，相對(duì)電極由限定第二腔室的壁構(gòu)成，并且至少在部件302’中由跟外部電連接的導(dǎo)電材料制成。在壁301中，形成用于跟導(dǎo)管306連接的開口，用作輔助氣體到第二腔室303的入口。另一個(gè)外壁307連同部件302限定第一腔室308。在壁301中形成用于跟導(dǎo)管309連接的開口，用作樣品氣體到第一腔室308的入口。在跟部件302’相鄰的區(qū)域中，部件302提供一系列開口310、310’，它們?cè)试S輔助氣體、離子以及由于放電在其中形成的其他電離元素如自由基和亞穩(wěn)離子流向第一腔室(由彎曲箭頭指示在該區(qū)中輔助氣體的流動(dòng)方向)。圍繞開口310、310’的腔室308的區(qū)域形成混合區(qū)，其中在腔室303中由放電形成的原離子、自由基和亞穩(wěn)原子跟樣品起反應(yīng)并將電荷轉(zhuǎn)移到其中存在的氣態(tài)分子。腔室308具有圓暈形式的開口311，用于電離樣品到IMS儀器的RZ區(qū)的轉(zhuǎn)移。分立的開口310、310’可以用連接壁302和302’的網(wǎng)或過(guò)濾器代替。
如前所述，根據(jù)本發(fā)明，防止第一腔室(201；308)中存在的樣品氣體進(jìn)入第二腔室(204；303)中以保證在后者中不存在雜質(zhì)是必需的?？梢酝ㄟ^(guò)控制輔助氣體(FA)和樣品氣體(FC)的流、各自壓力，以及兩個(gè)腔室之間開口(206；310，310’)的整體尺寸和通向IMS儀器的反應(yīng)區(qū)RZ的開口(203；311)的整體尺寸之間的比例實(shí)現(xiàn)該條件。通過(guò)本領(lǐng)域技術(shù)人員可及的這些參數(shù)的適當(dāng)選擇，根據(jù)兩個(gè)腔室之間的所述開口，氣流總是從所述腔室的第二個(gè)(204；303)朝向第一個(gè)(201；308)是可能的。
另外，使用本發(fā)明的儀器，可以通過(guò)合適地選擇針形電極(207；304)、相對(duì)電極(208；302’)，以及反應(yīng)腔室的第一電極(E1)的電勢(shì)，從源中提拔出離子和激發(fā)的中性物質(zhì)(自由基和亞穩(wěn)物質(zhì))或者只有后者，從而提供操作員可用于分析的另一個(gè)控制參數(shù)。
最后，可通過(guò)將電極之間的電勢(shì)差或電流保持恒定而使用本發(fā)明的電暈放電電離。第一種情況(恒定電勢(shì)差)是最常用的操作模式。但是，由于例如在第二腔室中氧化物質(zhì)的存在，隨著時(shí)間電極可能經(jīng)歷表面變化；這些物質(zhì)可以是輔助氣體中存在的雜質(zhì)(即使超純氣體也總是包含某些痕量雜質(zhì))，或者例如可能是氧化氣體的輔助氣體，或者其中有氧化物的氣體的混合物。電極的這些化學(xué)表面改變導(dǎo)致在恒定電勢(shì)差下工作時(shí)電流的改變(一般是降低的情況)。在恒定電流下工作允許消除該時(shí)間遷移效應(yīng)。
將在下面的非限制性實(shí)例中進(jìn)一步詳細(xì)描述本發(fā)明。這些實(shí)例描述用來(lái)指導(dǎo)本領(lǐng)域技術(shù)人員如何實(shí)踐本發(fā)明并顯示實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的最佳考慮方式的一些實(shí)施方案。用于試驗(yàn)的IMS儀器具有如圖1中示意顯示的幾何，其中反應(yīng)區(qū)的長(zhǎng)度(從電極E1到柵格電極Eg)等于6cm，并且分離區(qū)的長(zhǎng)度(從電極Eg到探測(cè)器D)等于8cm。在儀器的腔室中施加的電場(chǎng)總是等于130V/cm。柵格G的開通時(shí)間在兩個(gè)試驗(yàn)中都是200微秒(μs)。從初步指示性試驗(yàn)中知道，在這些條件下，試驗(yàn)中存在的物質(zhì)的漂移時(shí)間一般地在15至30毫秒(ms)。不同物質(zhì)的相應(yīng)峰的強(qiáng)度以伏特(V)給出；由儀器電子設(shè)備執(zhí)行將探測(cè)器D直接測(cè)量的電流到伏特的轉(zhuǎn)換。
實(shí)例1執(zhí)行具有下面名義雜質(zhì)組成的氦氣樣品的分析(從Bergamo，Italy的公司SIAD提供的混合氣缸開始)1±0.1ppb的水，1±0.1ppb的氧氣，1±0.1ppb的氫氣，1±0.1ppb的一氧化碳，1±0.1ppb二氧化碳，以及1±0.1甲烷，使用氬氣作為輔助氣體。
用SIAD提供的依靠通過(guò)校準(zhǔn)孔用超純氦氣稀釋的包含大約5ppm全部雜質(zhì)的經(jīng)鑒定氣缸開始而獲得這些濃度。
IMS譜儀裝備有圖3中說(shuō)明類型的電暈放電電離元件IM。在元件中，電極304的尖端和電極302’之間的距離是2.5mm；部件302和302’用柵格結(jié)合，使得腔室303和腔室308之間的開口的總尺寸等于40mm2，同時(shí)開口311具有90mm2的總面值。在1050hPa的壓力下以500cc/min的流速通過(guò)開口306將輔助氣體提供到腔室303中；在1025hPa的壓力下以500cc/min的流速通過(guò)開口309將樣品提供到腔室308中；同時(shí)在關(guān)于離子的運(yùn)動(dòng)的逆流中使用漂移氣氬氣，以2000cc/min通過(guò)端口DI流入IMS腔室中。在電極304和302’之間，保持1800V的電勢(shì)差，并且電極304處于較高電勢(shì)。在這些條件中，Ar+離子、亞穩(wěn)Ar*物質(zhì)，以及較小程度的中子(其有限的貢獻(xiàn)是由于兩個(gè)腔室之間存在小的光程)被引入第一腔室308中；這些物質(zhì)不能電離樣品的載氣He，從而輔助氣體的氬分子發(fā)生第一電荷轉(zhuǎn)移，并且最后從這些轉(zhuǎn)移到樣品中存在的雜質(zhì)上。在圖4的曲線1(具有較大線寬的曲線)中說(shuō)明作為試驗(yàn)結(jié)果獲得的譜。在附圖的曲線中，每個(gè)峰歸因于最簡(jiǎn)單的關(guān)聯(lián)離子，雖然儀器中真實(shí)存在的物質(zhì)一般由跟中性分子可變地關(guān)聯(lián)的這些離子構(gòu)成。
實(shí)例2(比較)重復(fù)樣品1的試驗(yàn)，保持所有條件不變，除了使用放置在腔室303中的具有10毫居里放射性的放射源63Ni獲得輔助氣體的電離而不供電給電極304和302’之外。作為結(jié)果獲得的譜在圖4中報(bào)告為曲線2(圖中較細(xì)的曲線)。
從圖4中的兩個(gè)曲線的考察可以看到，本發(fā)明的電暈放電電離源的使用允許再現(xiàn)通過(guò)使用常規(guī)63Ni源用相同氣體的另外樣品所獲得的譜(兩個(gè)譜之間的最小限度差異是由于兩個(gè)相繼試驗(yàn)中樣品的組成的稍微波動(dòng))，因此允許執(zhí)行使用放射源已經(jīng)是可能的多組分分析，但沒有跟使用后者相關(guān)的問(wèn)題。
權(quán)利要求
1.一種離子遷移率譜儀，其特征在于包括電暈放電源(200；300)作為電離元件，該電暈放電源包括第一腔室(201；308)，具有待分析氣體的入口(210；309)以及在所述第一腔室限定的內(nèi)部空間和IMS譜儀的反應(yīng)區(qū)之間的至少一個(gè)第一溝通口(203；311)；第二腔室(204；303)，包含在所述第一腔室中，具有用于超純氣體或超純氣體的混合物的入口(209；306)、以及在所述第一和第二腔室之間的至少一個(gè)第二溝通口(206；310，310’)；一對(duì)電極(207，208；304，302’)，其中至少一個(gè)(207；304)是針形的，它們布置在所述第二腔室中；以這樣的幾何關(guān)系布置所述電極對(duì)和第二開口，使得在電暈放電區(qū)和IMS儀器的離子探測(cè)器之間沒有光程。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的離子遷移率譜儀，還包括允許保持所述電極對(duì)之間的恒定電勢(shì)差的電子電路。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的離子遷移率譜儀，還包括允許保持所述電極對(duì)之間的恒定電流的電子電路。
全文摘要
公開了一種離子遷移率譜儀，其中電離元件是電暈放電源(300)，其包括第一腔室(308)，具有待分析氣體的入口(309)和在第一腔室的內(nèi)部空間和譜儀的反應(yīng)區(qū)之間的至少一個(gè)第一溝通口(311)；第二腔室(303)，包含于第一腔室中，具有超純氣體或超純氣體的混合物的入口(306)和在第一和第二腔室之間的至少一個(gè)第二溝通口(310，310’)；一對(duì)電極(304，302’)，至少一個(gè)(304)是針形的，它們布置在第二腔室中，并且以這樣的幾何關(guān)系布置這對(duì)電極和第二開口，使得在電暈放電區(qū)和IMS譜儀的離子探測(cè)器之間沒有光程。本發(fā)明的儀器允許再現(xiàn)裝備有
文檔編號(hào)G01N27/68GK1950698SQ200580013805
公開日2007年4月18日 申請(qǐng)日期2005年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月27日
發(fā)明者羅伯特·杰安南托尼奧, 盧卡·毛瑞, 馬爾科·厄巴奴, 安東尼奧·伯納希 申請(qǐng)人:工程吸氣公司