專利名稱：圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種檢測儀，尤其涉及一種圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀。
背景技術：
隨著全球光盤存儲、光電子、微電子產業的迅速發展，激光光盤母盤基片、集成電路掩膜版基片、各類圓形超高質量表面光學基片在該領域的應用越來越大。在這些超高質量表面要求的光盤母盤基片的生產過程中，需要對這些產品的各類尺寸誤差進行全面檢測。“光盤母盤玻璃基片平面度”質量指標對產品的應用十分重要，直接影響到光盤行業大批量產品生產的使用效果。
在以往的平面度檢驗測試中，常使用“激光平面干涉儀”(如中科院光機所制PG15-J4型激光平面干涉儀)測量光圈的方法，雖然精度高達0.2～0.3um，但對于大規模生產使用不便，影響生產效率；特別是在研磨階段，毛面不能檢測；并且對于大面積大尺寸(如φ160～φ240mm)和超薄型(外經/厚度＝10∶1～200∶1)的光盤母盤基片測量十分困難(光圈變形無法數清)，并無法實行數字化直讀。
發明內容
本實用新型需要解決的技術問題是提供了一種圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀，旨在解決上述的缺陷。
為了解決上述技術問題，本實用新型是通過以下技術方案實現的本實用新型包括一個三角形工作臺面，在所述的三角形工作臺面上分別安置三個圓座，每個圓座上安置一個可轉動的小鋼球；在所述的三角形工作臺面的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座；在所述的三角形工作臺面的中心位置孔下方安置了一臺千分表；與現有技術相比，本實用新型的有益效果是克服了各類規格圓形光盤母盤基片由于玻璃自重而產生的變形影響測量精度的不利因素，使測量精度大大提高達到0.001mm；特別適應于常用大面積(如φ160～φ240mm)超薄型易變形的圓形光盤母盤玻璃基片(外經/厚度＝10∶1～200∶1)；不僅操作方便，檢查直觀，而且工作效率極高，十幾秒種即可從千分表中讀出數值。
圖1是本實用新型的主視圖；圖2是圖1中K處的放大圖；圖3是本實用新型的俯視圖；具體實施方式
以下結合附圖與具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細描述由圖1、圖2、圖3可見本實用新型包括一個三角形工作臺面3，在所述的三角形工作臺面3上分別安置三個圓座1，每個圓座1上安置一個可轉動的小鋼球11；在所述的三角形工作臺面3的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座2；在所述的三角形工作臺面3的中心位置孔下方安置了一臺千分表4；所述的圓座1可以分級調整，與其相應的小滾珠軸承連固定座2也作分級調整；所述的級可以是2或3或4；在本實用新型的底座上方有一三角形工作臺面，利用三點決定一個平面的科學原理中部分布三個固定小圓座上分別安放可轉動的金屬小球(使平板玻璃成點接觸定位)，并且三小圓座的相對距離是可以分級調整的，以適應不同直徑大小圓形光盤基片5的測量要求，另外，在三角形工作臺面的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座，它的用途是起旋轉測量的靠山作用，三組滾動軸承的相對位置亦可分級調整的，以適應不同直徑基片的測量要求。
在工作臺面中心位置孔下方安置了一臺千分表(精度為1um)，利用標準平面樣板(平面度等于0.5um)。校準零位后放上被測工件(圓形光盤母盤玻璃基片)，轉動工件便可測量它的平面度，千分表讀數直觀、方便、實用。
測量各類直徑圓片玻璃時可以將被測工件擱置在三定位金屬球上，邊緣分別靠在相應的三滾珠軸承滾動面上(小滾珠軸承連固定座2)，工件轉動靈活(按不同直徑分別采用三組定位球及軸承位置)。
由于采用了本實用新型大大提高了檢驗工件平面度的精度和工作效率，使光盤母盤玻璃基片生產行業的規范生產得以順利進行。
權利要求1.一種圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀，其特征在于包括一個三角形工作臺面(3)，在所述的三角形工作臺面(3)上分別安置三個圓座(1)，每個圓座(1)上安置一個可轉動的小鋼球(11)；在所述的三角形工作臺面(3)的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座(2)；在所述的三角形工作臺面(3)的中心位置孔下方安置了一臺千分表(4)。
2.根據權利要求1所述的圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀，其特征在于所述的圓座(1)可以分級調整，與其相應的小滾珠軸承連固定座(2)也作分級調整；所述的級可以是2或3或4。
專利摘要本實用新型涉及一種圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀，包括一個三角形工作臺面(3)，在所述的三角形工作臺面(3)上分別安置三個圓座(1)，每個圓座(1)上安置一個圓球(11)；在所述的三角形工作臺面(3)的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座(2)；在所述的三角形工作臺面(3)的中心位置孔下方安置了一臺千分表(4)；克服了各類規格圓形光盤母盤基片由于玻璃自重而產生的變形影響測量精度的不利因素，使測量精度大大提高達到0.001mm；特別適應于常用大面積(如φ160～φ240mm)超薄型易變形的圓形光盤母盤玻璃基片(外經/厚度＝10∶1～200∶1)；不僅操作方便，檢查直觀，而且工作效率極高，十幾秒種即可從千分表中讀出數值。
文檔編號G01B3/22GK2814329SQ20052004109
公開日2006年9月6日 申請日期2005年4月22日 優先權日2005年4月22日
發明者應永偉, 周德林 申請人:上海申菲激光光學系統有限公司