專(zhuān)利名稱(chēng)：一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種流量傳感器，尤其涉及一種利用差動(dòng)原理測(cè)量渦街交變壓力的外置式聯(lián)動(dòng)感應(yīng)流量傳感器。
背景技術(shù)：
渦街流量傳感器是20世紀(jì)70年代發(fā)展起來(lái)的一種新型流量測(cè)量?jī)x表，它們通過(guò)熱敏、應(yīng)變、電容、超聲波等檢測(cè)方式的流量傳感器，檢測(cè)出與體積流量成正比的流體振動(dòng)頻率信號(hào)。對(duì)于渦街流量傳感器來(lái)說(shuō)，抗振性能是衡量一臺(tái)渦街流量計(jì)工業(yè)應(yīng)用好壞的一個(gè)重要指標(biāo)。工業(yè)中的振動(dòng)是普遍存在的，例如流體紊流狀態(tài)下速度脈動(dòng)、流體振蕩，以及工業(yè)管道振動(dòng)、閥門(mén)開(kāi)閉與閥心振動(dòng)等隨機(jī)因素，這都會(huì)使檢測(cè)到的頻率信號(hào)受到極大的噪聲干擾。目前國(guó)內(nèi)外較先進(jìn)的渦街流量傳感器都有一定的抗振動(dòng)能力。但這些傳感器的檢測(cè)元件都是固定在管壁上的，抵抗管道振動(dòng)的能力有限，多為感應(yīng)桿形式，而且對(duì)于不同的管道直徑通用性差。另外對(duì)于流體振動(dòng)的干擾，當(dāng)振動(dòng)噪聲的振動(dòng)方向與所測(cè)頻率信號(hào)的振動(dòng)方向平行(即同向振動(dòng))的時(shí)候，這些流量傳感器的抗干擾能力都比較弱，輸出信號(hào)會(huì)混入大量的噪聲。這種現(xiàn)象在小流量測(cè)量的時(shí)候尤其明顯。為此，也有人申請(qǐng)了專(zhuān)利“一種固定式自減振差動(dòng)流量傳感器”(ZL03228292.3)，其包括對(duì)稱(chēng)固定在平板兩面的檢測(cè)單元，每個(gè)檢測(cè)單元包括殼體，殼體內(nèi)設(shè)有通孔，通孔中間有一個(gè)把通孔等分為上下兩個(gè)對(duì)稱(chēng)區(qū)間的凸臺(tái)，通孔的兩端分別有彈性膜片密封，每個(gè)區(qū)間內(nèi)分別有壓電陶瓷片和環(huán)形絕緣質(zhì)量塊，壓電陶瓷片的一端與彈性膜片固定，上下兩個(gè)壓電陶瓷片的引線相接經(jīng)通道從平板出線孔引出。固定式自減振差動(dòng)流量傳感器是將平板深入管道內(nèi)，置于鈍體的后面，檢測(cè)單元的放置是垂直于管道的軸線的。這種結(jié)果的流量傳感器由于將平板深入到管道內(nèi)，所以其通用性不好，當(dāng)管道直徑變化時(shí)，就不能使用了，同時(shí)，檢測(cè)單元豎直放置，不利于信號(hào)的采集，對(duì)于小流量的測(cè)量上不夠精確，容易產(chǎn)生混入大量的噪聲。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，通用性好，測(cè)量的靈敏度高的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器；解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的輸出信號(hào)混入大量的噪聲，通用性不好的技術(shù)問(wèn)題。
本發(fā)明的上述技術(shù)問(wèn)題主要是通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，包括一個(gè)結(jié)構(gòu)本體和設(shè)于結(jié)構(gòu)本體底面上的檢測(cè)單元，結(jié)構(gòu)本體上設(shè)有出線孔，出線孔內(nèi)設(shè)有引線；所述的檢測(cè)單元包括殼體，殼體內(nèi)設(shè)有通孔，通孔的一端由彈性膜片密封，檢測(cè)單元有2n個(gè)，n≥2，檢測(cè)單元沿流體流動(dòng)方向處于同一水平面的并列的兩個(gè)檢測(cè)單元為一對(duì)，同一對(duì)檢測(cè)單元的通孔設(shè)置彈性膜片端相反；檢測(cè)單元上的通孔方向與流體流動(dòng)方向一致；彈性膜片的一側(cè)設(shè)有壓電陶瓷片，壓電陶瓷片內(nèi)設(shè)有電極片，電極片連接著引線，引線由出線孔引出；壓電陶瓷片與通孔壁間設(shè)有間隙，間隙內(nèi)填充有絕緣片。結(jié)構(gòu)本體整體設(shè)于流量計(jì)的管道壁內(nèi)，管道壁對(duì)應(yīng)于結(jié)構(gòu)本體處設(shè)有導(dǎo)出孔，通過(guò)在管道上的導(dǎo)出孔，使得結(jié)構(gòu)本體底面的彈性膜片能感應(yīng)到渦流的振動(dòng)，從而將產(chǎn)生信號(hào)。將其設(shè)在管道壁內(nèi)，使得對(duì)應(yīng)于不同的管道直徑都能夠通用。檢測(cè)單元內(nèi)的通孔的開(kāi)口方向沿著流體流動(dòng)方向，即管道的軸線方向，兩個(gè)彈性膜片構(gòu)成的感應(yīng)面呈水平布置，有利于信號(hào)的采集，而且穩(wěn)定性也更好。并列的一對(duì)檢測(cè)單元的兩個(gè)彈性膜片相對(duì)焊接在兩個(gè)檢測(cè)單元的不同端，即如果左側(cè)的檢測(cè)單元的彈性膜片焊接在通孔的左邊，那么右側(cè)的檢測(cè)單元的彈性膜片就焊接在通孔的右邊。同理，左側(cè)的檢測(cè)單元的彈性膜片焊接在通孔的右邊，那么右側(cè)的檢測(cè)單元的彈性膜片就焊接在通孔的左邊。此種結(jié)構(gòu)的設(shè)置才能利用差動(dòng)原理，抵消左右端相同的信號(hào)，得出正確的結(jié)論。將彈性膜片設(shè)置在不同的檢測(cè)單元上，從而才能利用差動(dòng)原理，因此檢測(cè)單元的數(shù)目一定是2n個(gè)。
作為優(yōu)選，在所述的結(jié)構(gòu)本體的底面沿流體流動(dòng)方向設(shè)有隔板，隔板的兩側(cè)分別固定有m對(duì)檢測(cè)單元，m對(duì)檢測(cè)單元水平并列設(shè)置在結(jié)構(gòu)本體的底面上，n是m的整數(shù)倍。檢測(cè)單元通過(guò)焊接在底面和隔板上而固定，隔板的兩側(cè)的m對(duì)檢測(cè)單元一字排開(kāi)，m的數(shù)目可以是1，2，3…，所有的檢測(cè)單元都位于底面上，隔板的高度與檢測(cè)單元的寬度相等或略大于檢測(cè)單元的寬度，隔板的一側(cè)一字排開(kāi)m對(duì)檢測(cè)單元，此時(shí)隔板的長(zhǎng)度大于m對(duì)檢測(cè)單元的總長(zhǎng)度。
作為優(yōu)選，在所述的結(jié)構(gòu)本體的底面沿流體流動(dòng)方向設(shè)有隔板，隔板的兩側(cè)分別固定有m對(duì)檢測(cè)單元，m對(duì)檢測(cè)單元豎直并列設(shè)置，n是m的整數(shù)倍。隔板的高度大于檢測(cè)單元的寬度的m倍，這樣在隔板的一側(cè)沿豎直方向焊接有m對(duì)檢測(cè)單元，隔板的長(zhǎng)度略大于一對(duì)檢測(cè)單元的總長(zhǎng)度。
作為優(yōu)選，所述的檢測(cè)單元的個(gè)數(shù)n為2，m為1。由四個(gè)檢測(cè)單元構(gòu)成，成本相對(duì)較低，制造簡(jiǎn)單，效果也不錯(cuò)。
通孔的另一端可以直接封閉，也可以設(shè)置預(yù)緊裝置封閉。作為優(yōu)選，通孔的另一端設(shè)有金屬預(yù)緊塊，金屬預(yù)緊塊與殼體間螺紋連接，壓電陶瓷片設(shè)在金屬預(yù)緊塊與彈性膜片之間。彈性膜片焊接在通孔的一端，另一端采用金屬預(yù)緊塊擰緊，金屬預(yù)緊塊可以是通過(guò)螺紋固定在通孔的另一端，然后再焊接固定。采用了金屬預(yù)緊塊便于裝配，而且采用了預(yù)緊，令壓電陶瓷片更緊密與彈性膜片相接。
作為優(yōu)選，一對(duì)并列設(shè)置的檢測(cè)單元中左邊的檢測(cè)單元的右端設(shè)置有彈性膜片，右邊的檢測(cè)單元的左端設(shè)置有彈性膜片。兩個(gè)檢測(cè)單元之間留有一定的空隙，兩個(gè)彈性膜片相對(duì)設(shè)置的位置是兩個(gè)檢測(cè)單元的內(nèi)側(cè)，這樣金屬預(yù)緊塊就置于兩個(gè)檢測(cè)單元的外側(cè)，方便了將金屬預(yù)緊塊擰入通孔內(nèi)，方便預(yù)緊裝置的安裝。
作為優(yōu)選，所述的檢測(cè)單元為圓柱體狀，2n個(gè)檢測(cè)單元內(nèi)的壓電陶瓷片的尺寸、質(zhì)量和靈敏度系數(shù)都相同，絕緣片為陶瓷片或云母片，呈圓環(huán)狀。
因此，本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，將傳感器置于管道內(nèi)壁內(nèi)，采用膜片感應(yīng)，對(duì)不同的管道具有通用性；而且本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器設(shè)置預(yù)緊裝置，使得彈性膜片與壓電陶瓷片緊密連接，從而有較高的測(cè)量靈敏度，在小流量時(shí)利用差動(dòng)原理仍可以輸出較強(qiáng)的檢測(cè)信號(hào)，其內(nèi)部四個(gè)檢測(cè)單元的安裝結(jié)構(gòu)具有自減振功能，有較強(qiáng)的抗干擾性和較大的量程范圍，可靠性高。
圖1是本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器的主視圖。
圖2是本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器的仰視圖。
圖3是本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器的應(yīng)用原理圖。
圖4是本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器的應(yīng)用原理圖的側(cè)視圖。
圖5是本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器隔板兩側(cè)各設(shè)有多對(duì)檢測(cè)單元的示意圖；圖6是本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器另一種隔板兩側(cè)各設(shè)有多對(duì)檢測(cè)單元的示意圖。
其中流體流動(dòng)方向?yàn)閄。
具體實(shí)施事例下面通過(guò)實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說(shuō)明。
實(shí)施例1如附圖1、2、3和4所示，一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，包括一個(gè)結(jié)構(gòu)本體7和設(shè)于結(jié)構(gòu)本體7底端上的兩對(duì)檢測(cè)單元6，結(jié)構(gòu)本體7置于傳感器的管道11壁內(nèi)，管道11壁上設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)壓孔12，檢測(cè)單元6通過(guò)導(dǎo)壓孔12感受旋渦發(fā)生體的交變應(yīng)力，結(jié)構(gòu)本體7置于傳感器管道11壁內(nèi)，使得傳感器的通用性更好。結(jié)構(gòu)本體7的底面13上設(shè)有一塊沿流體流動(dòng)方向X，也就是沿管道11的軸線方向設(shè)置的隔板10，隔板10的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)的各分布著一對(duì)檢測(cè)單元6，檢測(cè)單元6呈圓柱狀，隔板10的高度與檢測(cè)單元6的直徑相同。檢測(cè)單元6包括殼體9，在殼體9內(nèi)設(shè)有通孔，通孔的軸線方向與流體流動(dòng)方向X平行。隔板10一側(cè)的兩個(gè)檢測(cè)單元6沿流體流動(dòng)方向X并列焊接在隔板10上，兩個(gè)檢測(cè)單元6間設(shè)有間隙14。構(gòu)成間隙14的是兩個(gè)檢測(cè)單元6的通孔的兩個(gè)端面，此兩端端面上設(shè)有彈性膜片8。通孔上與彈性膜片8相對(duì)的另一端設(shè)有金屬預(yù)緊塊4，金屬預(yù)緊塊4通孔螺紋擰接在通孔上，然后焊接固定。在金屬預(yù)緊塊4和彈性膜片8間設(shè)有壓電陶瓷片3，壓電陶瓷片3的中部設(shè)有電極片2，電極片2的上端連接著出線孔1，將由彈性膜片8感應(yīng)到的信號(hào)輸出。在壓電陶瓷片3與殼體9間設(shè)有間隙，間隙內(nèi)填充有絕緣片5，絕緣片5呈圓環(huán)狀包裹著壓電陶瓷片3，絕緣片5采用云母片構(gòu)成。
本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器B安裝在渦街流量計(jì)中旋渦發(fā)生體A上方略偏后的位置，隔板與旋渦發(fā)生體的中軸線平行。當(dāng)一恒穩(wěn)流流經(jīng)旋渦發(fā)生體時(shí)，在其后側(cè)會(huì)產(chǎn)生旋渦，從兩側(cè)交替發(fā)出，形成兩列并排的渦街，稱(chēng)為卡門(mén)渦街。該渦街會(huì)產(chǎn)生交替的P1、P2交變壓力，通過(guò)導(dǎo)壓孔12使P1、P2交變壓力直接作用在該渦街流量傳感器的兩個(gè)檢測(cè)單元5的彈性膜片2上，使壓電陶瓷片3產(chǎn)生交變電荷。這時(shí)四個(gè)電極片8會(huì)分別輸出正弦信號(hào)，設(shè)左側(cè)單元輸出信號(hào)為S1和S1’，右側(cè)為S2和S2’，這四個(gè)信號(hào)有以下關(guān)系①隔板同側(cè)的兩個(gè)信號(hào)幅值和相位都相等，即S1＝S1’，S2＝S2’；②隔板不同側(cè)的兩組信號(hào)相位相差180°；③四個(gè)信號(hào)的頻率相等。
通過(guò)后端調(diào)理電路把這四個(gè)信號(hào)處理成(S1+S1’)-(S2+S2’)，這樣利用差動(dòng)輸出就可以獲得規(guī)則的正弦信號(hào)，即使是在小流量的時(shí)候，輸出信號(hào)也較強(qiáng)，擴(kuò)大了流量傳感器的量程范圍。
當(dāng)流體由于管道振動(dòng)、閥門(mén)開(kāi)啟等隨機(jī)因素的影響，發(fā)生流體振蕩時(shí)，會(huì)導(dǎo)致彈性膜片8或傳感器殼體產(chǎn)生跟隨振動(dòng)。因?yàn)楦舭?0同側(cè)兩個(gè)檢測(cè)單元6的彈性膜片8的安裝方向是相反的，所以同側(cè)兩個(gè)檢測(cè)單元6中的壓電陶瓷片3會(huì)分別受壓和受拉，這使得兩個(gè)壓電陶瓷片3分別產(chǎn)生相等的正負(fù)電荷信號(hào)，假設(shè)為X1(+)和X2(-)。在信號(hào)合成時(shí)，同側(cè)的兩個(gè)信號(hào)相加X(jué)1+X2，干擾振動(dòng)所產(chǎn)生的電荷信號(hào)會(huì)相互抵消，從而傳感器起到了自減振作用。
另外，對(duì)于流體脈動(dòng)引起的流體振動(dòng)，它在管道中是一列隨著流動(dòng)方向傳播的平面波，它引起的壓力以相同的方向同時(shí)作用在流量傳感器隔板10兩側(cè)的檢測(cè)單元6上，屬于同向振動(dòng)干擾，同向振動(dòng)的干擾信號(hào)會(huì)在輸出信號(hào)合成(S1+S1’)-(S2+S2’)中相互抵消，這樣有效的消除了流體脈動(dòng)對(duì)檢測(cè)信號(hào)的干擾。因此，本發(fā)明的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器具有很高的抗振性，適用于液體、氣體、蒸汽等流體的流量測(cè)量。
實(shí)施例2如附圖5所示，一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，包括結(jié)構(gòu)本體7，結(jié)構(gòu)本體7的底面13設(shè)有隔板10，隔板10的兩邊的水平方向各焊接有兩對(duì)檢測(cè)單元6，兩對(duì)檢測(cè)單元6沿管道11軸線方向列在一排，相鄰兩個(gè)檢測(cè)單元6間均設(shè)有間隙，隔板的長(zhǎng)度大于四個(gè)檢測(cè)單元的總長(zhǎng)度，隔板的高度與檢測(cè)單元的直徑相同。其余與實(shí)施例1同。
實(shí)施例3如圖6所示，一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，包括結(jié)構(gòu)本體7，結(jié)構(gòu)本體7的底面13設(shè)有隔板10，隔板10的兩邊的垂直方向各焊接有兩對(duì)檢測(cè)單元6，這兩對(duì)檢測(cè)單元6沿管道11的徑向方向排列，隔板的長(zhǎng)度略大于兩個(gè)檢測(cè)單元6的總長(zhǎng)度，隔板的高度大于檢測(cè)單元6的直徑的2倍。其余與實(shí)施例1同。
權(quán)利要求
1.一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，包括一個(gè)結(jié)構(gòu)本體(7)和設(shè)于結(jié)構(gòu)本體(7)底面(13)上的檢測(cè)單元(6)，結(jié)構(gòu)本體(7)上設(shè)有出線孔(1)，出線孔(1)內(nèi)設(shè)有引線；檢測(cè)單元(6)包括殼體(9)，殼體(9)內(nèi)設(shè)有通孔，通孔的一端由彈性膜片(8)密封，其特征在于所述的檢測(cè)單元(6)有2n個(gè)，n≥2，檢測(cè)單元(6)沿流體流動(dòng)方向處于同一水平面的并列的兩個(gè)檢測(cè)單元(6)為一對(duì)，同一對(duì)檢測(cè)單元(6)的通孔設(shè)置彈性膜片(8)端相對(duì)或相反；檢測(cè)單元(6)上的通孔方向與流體流動(dòng)方向一致；彈性膜片(8)的一側(cè)設(shè)有壓電陶瓷片(3)，壓電陶瓷片(3)內(nèi)設(shè)有電極片(2)，電極片(2)上連接著引線，引線由出線孔(1)引出；壓電陶瓷片(3)與通孔壁間設(shè)有間隙，間隙內(nèi)填充有絕緣片(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，其特征在于在所述的結(jié)構(gòu)本體(7)的底面(13)沿流體流動(dòng)方向設(shè)有隔板(10)，隔板(10)的兩側(cè)分別固定有m對(duì)檢測(cè)單元(6)，m對(duì)檢測(cè)單元(6)水平并列設(shè)置在結(jié)構(gòu)本體(7)的底面(13)上，n是m的整數(shù)倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，其特征在于在所述的結(jié)構(gòu)本體(7)的底面沿流體流動(dòng)方向設(shè)有隔板(10)，隔板(10)的兩側(cè)分別固定有m對(duì)檢測(cè)單元(6)，m對(duì)檢測(cè)單元(6)豎直并列設(shè)置，n是m的整數(shù)倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，其特征在于所述的n為2，m為1。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，其特征在于通孔的另一端設(shè)有金屬預(yù)緊塊(4)，金屬預(yù)緊塊(4)與殼體(9)間螺紋連接，壓電陶瓷片(3)設(shè)在金屬預(yù)緊塊(4)與彈性膜片(8)之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，其特征在于通孔的另一端設(shè)有金屬預(yù)緊塊(4)，金屬預(yù)緊塊(4)與殼體(9)間螺紋連接，壓電陶瓷片(3)設(shè)在金屬預(yù)緊塊(4)與彈性膜片(8)之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，其特征在于一對(duì)并列設(shè)置的檢測(cè)單元(6)中左邊的檢測(cè)單元(6)的右端設(shè)置有彈性膜片(8)，右邊的檢測(cè)單元(6)的左端設(shè)置有彈性膜片(8)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的所述的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，其特征在于一對(duì)并列設(shè)置的檢測(cè)單元(6)中左邊的檢測(cè)單元(6)的右端設(shè)置有彈性膜片(8)，右邊的檢測(cè)單元(6)的左端設(shè)置有彈性膜片(8)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，其特征在于所述的檢測(cè)單元(6)為圓柱體狀，2n個(gè)檢測(cè)單元內(nèi)(6)的壓電陶瓷片(3)的尺寸、質(zhì)量和靈敏度系數(shù)都相同，絕緣片(5)為陶瓷片或云母片，呈圓環(huán)狀。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器，其特征在于所述的檢測(cè)單元(6)為圓柱體狀，2n個(gè)檢測(cè)單元內(nèi)(6)的壓電陶瓷片(3)的尺寸、質(zhì)量和靈敏度系數(shù)都相同，絕緣片(5)為陶瓷片或云母片，呈圓環(huán)狀。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種流量傳感器，尤其涉及一種利用差動(dòng)原理測(cè)量渦街交變壓力的外置式聯(lián)動(dòng)感應(yīng)流量傳感器。其包括一個(gè)結(jié)構(gòu)本體和設(shè)于結(jié)構(gòu)本體底面上的檢測(cè)單元，檢測(cè)單元有2n個(gè)，n≥2，檢測(cè)單元沿流體流動(dòng)方向處于同一水平面的并列的兩個(gè)檢測(cè)單元為一對(duì)，同一對(duì)檢測(cè)單元的通孔設(shè)置彈性膜片端相反；檢測(cè)單元上的通孔方向與流體流動(dòng)方向一致；彈性膜片的一側(cè)設(shè)有壓電陶瓷片，壓電陶瓷片內(nèi)設(shè)有電極片，電極片連接著引線，引線由出線孔引出；壓電陶瓷片與通孔壁間設(shè)有間隙，間隙內(nèi)填充有絕緣片。本發(fā)明提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，通用性好，測(cè)量的靈敏度高的外置式多點(diǎn)感應(yīng)流量傳感器；解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的輸出信號(hào)混入大量的噪聲，通用性不好的技術(shù)問(wèn)題。
文檔編號(hào)G01F1/32GK1982853SQ20051006194
公開(kāi)日2007年6月20日 申請(qǐng)日期2005年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月12日
發(fā)明者區(qū)宇輝, 宋開(kāi)臣, 張圣賓 申請(qǐng)人:杭州術(shù)通高端儀器有限公司