專利名稱：被檢查體的外觀檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及被檢查體的外觀檢查技術(shù)，特別是涉及具有多個攝像手段的安裝基板的外觀檢查技術(shù)。
背景技術(shù)：
近年來，電子基板幾乎安裝在所有的設(shè)備上。在這些裝有電子基板的設(shè)備上，小型化、薄型化及降低價格一直是個問題，為此，廣泛地進(jìn)行高集成度設(shè)計。在實現(xiàn)這一高集成度設(shè)計的要素中，除了要充實各種設(shè)計工具、半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步外，還可列舉高密度安裝技術(shù)。這一高密度安裝的要點在于制造技術(shù)及檢查技術(shù)，曾提出過利用圖像識別技術(shù)對安裝這些零件后的印刷電路基板(以后稱‘基板’)進(jìn)行檢查的技術(shù)。
為此，例如在專利文獻(xiàn)1中提出一種兩面安裝基板的軟釬焊方法即根據(jù)對基極照射X射線所得基板兩面的圖像判定軟釬焊狀態(tài)。另外，例如在專利文獻(xiàn)2中提出一種兩面安裝基板的檢查方法，該檢查方法根據(jù)只在基板正面安裝零件的正面圖像數(shù)據(jù)和在正反面安裝零件的兩面圖像數(shù)據(jù)的差作為反面圖像數(shù)據(jù)，由實際檢查基板的兩面圖像數(shù)據(jù)，利用與該反面圖像數(shù)據(jù)的差，判定正面安裝狀態(tài)是否正常。
專利文獻(xiàn)1特開2001-50730號公報專利文獻(xiàn)2特開2002-158500號公報發(fā)明內(nèi)容雖然提出根據(jù)基板兩面的圖像判定基板安裝狀態(tài)是否正常的技術(shù)，但是并未提出能對安裝零件的基板兩面高效地進(jìn)行攝像并進(jìn)行解析的技術(shù)。對基板進(jìn)行檢查用的圖像識別即使在當(dāng)今，識別高精細(xì)的圖像仍相當(dāng)花費時間，所以更加要求縮短檢查時間。
本發(fā)明為解決上述問題而提出，其目的在于縮短基板等被檢查體的檢查時間。
為了解決上述問題，本發(fā)明一種形態(tài)的被檢查體的外觀檢查裝置，包括通過與被檢查體相對移動，掃描被檢查體一面的第1掃描單元；配置成夾著被檢查體與第1掃描單元對向，并通過與被檢查體的相對移動，掃描被檢查體另一面的第2掃描單元；以及使第1掃描單元及第2掃描單元相對移動的移動手段。移動手段在使被檢查體與第1掃描單元及第2掃描單元相對移動一次的移動工序中，第1掃描單元及第2掃描單元完成對被檢查體的掃描。根據(jù)這種實施方式，在一次的移動工序中，能對被檢查體兩面進(jìn)行掃描，縮短被檢查體的檢查時間。還有，例如，將線狀傳感器等稱為‘掃描單元’。
本發(fā)明涉及的被檢查體的外觀檢查裝置其第1掃描單元和第2掃描單元可以同步進(jìn)行一個掃描單元的執(zhí)行。根據(jù)這種實施方式能容易地掃描被檢查體外觀的兩面。
第1掃描單元可以有為了對被檢查體進(jìn)行掃描而對被檢查體照射光的第1照明手段，第2掃描單元可以有為了對被檢查體的進(jìn)行掃描而對被檢查體照射光的第2照明手段，第1照明手段和第2照明手段可以伴隨著一個掃描單位的執(zhí)行，同步進(jìn)行光的照射。根據(jù)這種實施方式容易對掃描被檢查體用的光的照射進(jìn)行控制。
第1照明手段及第2照明手段都可以具有對被檢查體照射多個入射角度的光的復(fù)合光源。第1照明手段及第2照明手段在同步進(jìn)行光的照射時，可以同時照射相同入射角度的光。根據(jù)這種實施方式，能制止由于光的干擾對另一掃描單元的掃描帶來影響。
利用本發(fā)明的外觀檢查裝置能縮短基板等被檢查體的檢查時間。
圖1為表示第1實施方式涉及的外觀檢查裝置的構(gòu)成圖。
圖2為表示第1實施方式涉及的攝像系統(tǒng)的構(gòu)成圖。
圖3為表示第1實施方式涉及的照明單元的構(gòu)成圖。
圖4為表示第1實施方式涉及的包括檢查單元即從屬PC在內(nèi)的外觀檢查裝置的構(gòu)成圖。
圖5為表示第1實施方式涉及的外觀檢查裝置的構(gòu)成示意圖。
圖6為表示第2實施方式涉及的外觀檢查裝置的構(gòu)成圖。
圖7為表示第2實施方式涉及的攝像系統(tǒng)的構(gòu)成圖。
圖8為表示第2實施方式涉及的照明單元的構(gòu)成圖。
圖9為表示第2實施方式涉及的包括檢查單元即從屬PC在內(nèi)的外觀檢查裝置的構(gòu)成圖。
圖10為表示第2實施方式涉及的外觀檢查裝置的構(gòu)成示意圖。
圖11A為舉例表示被檢查體即基板正面的俯視圖。
圖11B為舉例表示各攝像單元攝像范圍用的模式圖。
圖11C為說明存儲在作為檢查手段的各從屬PC的存儲器中的圖像數(shù)據(jù)用的模式圖。
圖12為舉例表示圖6的外觀檢查裝置的顯示器上顯示的檢查結(jié)果用的模式圖。
圖13為舉例表示在圖6的外觀檢查裝置上檢查所得的被檢查體用的模式圖。
圖14為表示圖6的外觀檢查裝置的顯示器上顯示的檢查結(jié)果的其它例子用的模式圖。
圖15為第3實施方式的外觀檢查裝置的放大立體圖。
圖16為表示圖15的外觀檢查裝置中的攝像單元的放大立體圖。
圖17為表示圖16的攝像單元中的照明單元的概要構(gòu)成圖。
圖18為第3實施方式的外觀檢查裝置的控制方框圖。
圖19為說明利用第3實施方式的外觀檢查裝置對被檢查體進(jìn)行外觀檢查的步驟用的流程圖。
圖20A為舉例表示被檢查體即基板正面的俯視圖。
圖20B為舉例表示各攝像單元攝像范圍用的模式圖。
圖20C為說明存儲在作為檢查手段的各從屬PC的存儲器中的圖像數(shù)據(jù)用的模式圖。
圖21為舉例表示在圖15的外觀檢查裝置的顯示器上顯示的檢查結(jié)果用的模式圖。
圖22為舉例表示在圖15的外觀檢查裝置上檢查所得的被檢查體用的模式圖。
圖23為表示圖15的外觀檢查裝置中顯示器上顯示的檢查結(jié)果的其它例子用的模式圖。
具體實施例方式
以下參照附圖對本發(fā)明的實施方式(以后稱‘實施方式’)進(jìn)行說明。
實施方式1圖1表示第1實施方式涉及的外觀檢查裝置200的構(gòu)成。外觀檢查裝置200具有檢查臺10、基板輸送臺50、以及攝像系統(tǒng)80等?；遢斔团_50具有支持機架52及兩根輸送軌54等。由支持機架52支持輸送軌54。
輸送軌54具有通過驅(qū)動電動機而輸送基板2的輸送帶，將載于輸送帶上的基板2一直送到檢查臺10的實質(zhì)上中央處。在輸送軌54的上方檢查臺的實質(zhì)上中央處，具有檢測基板2輸送的圖中未示出的使用光學(xué)傳感器等非接觸式傳感器的輸送傳感器，該輸送傳感器通過檢測設(shè)置在基板2的端面或基板2上的檢測孔，檢測出基板2已輸送到檢查臺10實質(zhì)上中央，使輸送帶上的基板2停止輸送。
具有支持機架52及輸送軌54的基板輸送臺50，具有設(shè)置在外觀檢查裝置200下方讓支持軸插入通過的插入通過部，通過這樣，能支持基板輸送臺50可沿與輸送軌54輸送基板2的方向垂直的方向運動。通過利用電動機的驅(qū)動，基板輸送臺50下的滾珠螺桿56旋轉(zhuǎn)移動基板輸送臺50，將基板2送向攝像系統(tǒng)80。還有，在本圖面前一側(cè)的輸送軌54上設(shè)置從上方按壓載于輸送軌54上基板2矯正基板2的形狀的夾緊裝置，輸送到檢查臺10實質(zhì)上中央的基板2利用該夾緊裝置以矯正歪斜變形的狀態(tài)，將基板2送向攝像系統(tǒng)80。
攝像系統(tǒng)80具有上部攝像系統(tǒng)80a和下部攝像系統(tǒng)80b，上部攝像系統(tǒng)80a由上部照明單元100a、第1攝像單元30a、第2攝像單元30b等構(gòu)成，下部攝像系統(tǒng)80b由下部照明單元100b、第3攝像單元30c、第2攝像單元30d等構(gòu)成(以下根據(jù)需要將上部照明單元100a和下部照明單元100b記為‘照明單元100’，將第1攝像單元30a、第2攝像單元30b、第3攝像單元30c、第2攝像單元30d記為‘?dāng)z像單元30’)。
當(dāng)利用基板輸送臺50將基板2輸送到攝像系統(tǒng)80時，由照明單元100對基板2照射光，攝像單元30對基板2的面進(jìn)行攝像。上部攝像系統(tǒng)80a設(shè)置在輸送軌54的上部，下部攝像系統(tǒng)80b設(shè)置在輸送軌54的下部，就象與上部攝像系統(tǒng)80a一起夾著被檢查體即基板2一樣。上部攝像系統(tǒng)80a和下部攝像系統(tǒng)80b之間基板2的輸送、利用照明單元100向基板2照射光、同時控制利用攝像單元30對基板2的面攝像。通過這樣，由基板輸送臺50輸送的基板2就能邊在上部攝像系統(tǒng)80b和下部攝像系統(tǒng)80b之間輸送邊能攝像，能在一次的基板輸送工序中分別完成上部攝像系統(tǒng)80a對基板2一面的攝像，以及下部攝像系統(tǒng)80b對基板2另一面的面攝像。還有，所謂一次的基板輸送工序可以是基板朝一個方向移動的工序，也可以是基板來回移動的工序。
當(dāng)利用攝像系統(tǒng)80完成對基板2的兩面攝像時，通過轉(zhuǎn)動滾珠螺桿56移動基板輸送臺50直至利用輸送軌54輸送基板2的位置，并將完成檢查的基板2送向下道工序。在有此后要進(jìn)行檢查的基板2時，與前述相同，利用輸送軌54輸送基板2直至檢查臺10實質(zhì)上中央處，同樣地對基板2進(jìn)行攝像。
圖2為表示第1實施方式涉及的攝像系統(tǒng)80的構(gòu)成圖。本實施方式中，用線狀傳感器掃描被檢查體、即基板的檢查面形成圖像，利用圖像識別判定零件的安裝狀態(tài)是否正常。向電動機輸入控制信號移動基板輸送臺50，通過與該線狀傳感器的掃描方向垂直地移動基板2，從而依次獲得每條線的圖像，以被檢查體即基板2作一維空間的運動方式完成掃描。作為外觀檢查裝置的其它型式雖然也有使檢查面在二維空間中移動并停止，反復(fù)上述動作不斷地進(jìn)行點攝像，但這種場合，通常大多是機械裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，檢查時間長。在這一點上如本實施方式那樣，利用線狀傳感器的形式則更加有利。
上部攝像系統(tǒng)80a由上部照明單元100a、上部機架36a、上部支持機架38、第1攝像單元30a、第2攝像單元30b、電動機40、中間透鏡42等構(gòu)成，下部攝像系統(tǒng)80b由下部照明單元100b、下部機架36b、第3攝像單元30c、第4攝像單元30d、中間透鏡42等構(gòu)成。
上部機架36a上放置并固定著第1攝像單元30a、第2攝像單元30b、中間透鏡42。第1攝像單元30a由第1透鏡32a、第1線狀傳感器34a構(gòu)成。第2攝像單元30b由第2透鏡32b、第2線狀傳感器34b構(gòu)成。這樣，為了對基板一側(cè)的面進(jìn)行攝像，通過設(shè)置多個攝像單元30，首先，由于能利用高清晰度對基板2攝像，所以能提高檢查精度。另外由于能將所攝圖像的圖像處理分散，所以能提高處理速度。
上部機架36a可沿本圖中基板2的輸送方向滑動地支持在上部支持機架38上，通過電動機40驅(qū)動，上部機架36a相對上部支持機架38滑動。控制對基板攝像用的攝像控制單元根據(jù)預(yù)先輸入的基板厚度數(shù)據(jù)，給出控制信號驅(qū)動電動機40，從而使上部機架36a相對上部支持機架38滑動，以便對基板2的上表面進(jìn)行攝像而對焦。
在上部攝像系統(tǒng)80a中，第1攝像單元30a及第2攝像單元30b須分擔(dān)對被檢查體、即基板2的一個面進(jìn)行攝像，與基板2的一個面對向并排設(shè)置。另外，因?qū)ξ挥诘?攝像單元30a及第2攝像單元30b兩者攝像范圍之間的基板2上的零件進(jìn)行檢查，所以決定分別配置第1透鏡32a、第1線狀傳感器34a、第2透鏡32b、第2線狀傳感器34b及中間透鏡42等，使得在兩者的攝像范圍上具有重復(fù)攝像范圍。下部攝像系統(tǒng)80b上也一樣地，第3攝像單元30c及第4攝像單元30d須分擔(dān)對被檢查體、即基板2的另一個面進(jìn)行攝像，與基板2的另一個面對向并排設(shè)置。另外，決定分別配置第3透鏡32c、第3線狀傳感器34c、第4透鏡32d、第2線狀傳感器34d及中間透鏡42等，使得在第3攝像單元30c及第4攝像單元30d兩者的攝像范圍上有重復(fù)攝像范圍。第1攝像單元30a及第2攝像單元30b、和第3攝像單元30c及第4攝像單元30d為了和攝像單元30一起通過被檢查體即基板2一次相對的移動工序?qū)?的兩面進(jìn)行攝像，而配置成夾著被檢查體即基板2而對向。
上部照明單元100a為了抑制由于相互間光的干涉造成的圖像模糊，配置在比下部照明單元100b更靠近基板輸送方向送來的一側(cè)。因此，通過基板輸送臺50輸送基板2，基板2首先移向第1線狀傳感器34a及第2線狀傳感器34b的掃描范圍的開始位置。以后，利用線狀傳感器34每對基板掃描一根線便向驅(qū)動滾珠螺桿56的電動機給出一次控制信號，基板2就前進(jìn)一根線。這樣通過線狀傳感器34對基板2輸送方向的所有長度進(jìn)行掃描，能在一道基板輸送工序中對基板2進(jìn)行兩面攝像。
圖3為表示第1實施方式涉及的照明單元100的構(gòu)成圖。照明單元100由上部照明單元100a及下部照明單元100b構(gòu)成。上部照明單元100a及下部照明單元100b由第1光源102、第2光源104、第3光源106、半透半反鏡110、丙烯酸片等構(gòu)成。分別配置成第1光源102、第2光源104、第3光源106圍著半透半反鏡110。
第1光源102由沿線狀傳感器34的掃描方向排列成大于等于被檢查體、即基板2的長度的LED(發(fā)光二極管)組構(gòu)成。第1光源102為了能對基板2照射反射光，線狀傳感器34配置在將要掃描的基板上的掃描線的正上方，在本實施方式中，第1光源102由設(shè)置在與基板2平行設(shè)置的基板上的LED組構(gòu)成。還有，為了有效地向檢查中的掃描線投射反射光，可將安裝LED組的基板從中央開始分成兩塊副基板，在各個副基板上構(gòu)成沿掃描方向排列的LED組。利用第1光源將反射光投向基板2，再利用線狀傳感器34將其檢測出來，從而能判定基板2內(nèi)零件位置偏離、次品、焊錫漬等。
第2光源104由設(shè)置在與基板2平行地配置的兩塊基板上的，沿線狀傳感器34的掃描方向排列成大于等于被檢查體、即基板2的長度的LED組構(gòu)成。安裝LED的兩塊基板沿基板輸送方向夾著掃描線配置在兩側(cè)，使得第1光源不干擾將反射光投向掃描線的光程。
第3光源106也和第2光源104一樣，由設(shè)置在與基板2平行地配置的兩塊基板上的，沿線狀傳感器34的掃描方向排列成大于等于被檢查體即基板2的長度的LED組構(gòu)成。安裝LED的兩塊基板沿基板輸送方向夾著掃描線配置在兩側(cè)，使得第1光源及第2光源不干擾對掃描線照射光的光程。利用第2光源104向基板2投射側(cè)射光，通過用線狀傳感器34將其檢測出來，從而能判定基板2內(nèi)有無焊錫搭橋、裝錯零件、以及極性相反等。
上述光源為，第1光源102照射綠光、第2光源104照射白光、第3光源106照射藍(lán)光，各光源以不同的入射角照射被檢查體即基板2。因此，照明單元100作為對被檢查體即基板2照射多個入射角度的光的復(fù)合光源起作用。之所以選第1光源102為綠色、第3光源106為藍(lán)色是由于近些年LED技術(shù)的進(jìn)步，綠色LED或藍(lán)色LED比白色LED明亮，能獲得SN比高的清晰的圖像。由于印刷電路布線板大多為綠色，所以為了利用反射光明亮地照射平面，選第1光源為綠色。另外，用激光印在IC或芯片上的文字通過從低的角度照藍(lán)色的光就變得容易辨認(rèn)，所以第3光源106為藍(lán)色。
來自第1光源102的反射光，通過半透半反110鏡向基板2的檢查面以近似零的角度投射。在本發(fā)明的實施方式中，配置成讓第1光源102形成寬度，即使在基板2彎曲時仍舊有入射角為零的反射光分量存在。來自掃描線的反射光在半透半反鏡110上反射，通過中間透鏡42射向透鏡32。
在第2光源104及第3光源106和掃描線之間設(shè)置丙烯酸片112。該丙烯酸片將來自第2光源104及第3光源106的光擴(kuò)散。由于第2光源104及第3光源106為點光源的LED的集合體，所以，如無擴(kuò)散作用則由于點狀的光攝入圖像數(shù)據(jù)有可能會對檢查精度帶來影響。
本實施方式中，按照第2光源104為白色的光、第1光源為綠色的光、第3光源為藍(lán)色的光的次序各個光源獨立地對一根掃描線三次發(fā)光，每一次發(fā)光都用線狀傳感器34掃描基板2。通過這樣，能得到各光源對基板2照射光后的狀態(tài)的圖像。
由于基板2有時會光從基板2的端部漏向?qū)ο虻恼彰鲉卧?00，另外，基板2上有時設(shè)置孔或有未被焊錫埋沒的孔殘留等情形存在，所以，從該孔對著對向的照明單元100有漏光的情形存在。當(dāng)從這樣地對向的照明單元100漏出的光由線狀傳感器34直接掃描時，就產(chǎn)生圖像模糊的現(xiàn)象，會給基板2的攝像帶來影響。因此，在本實施方式中，上部照明單元100a和下部照明單元100b沿基板的輸送方向只偏移長度L進(jìn)行配置。偏移的長度L從抑制圖像模糊的角度考慮最好大于等于50mm。
圖4為表示第1實施方式涉及的檢查單元即包括從屬PC(個人用計算機)在內(nèi)外觀檢查裝置200的構(gòu)成圖。上部攝像系統(tǒng)80a由第1攝像單元30a及第2攝像單元30b構(gòu)成，第1攝像單元30a與第1圖像處理單元130a及檢查單元即第1從屬PC140a對應(yīng)、第2攝像單元30b與第2圖像處理單元130b及第2從屬PC140b對應(yīng)。同樣，下部攝像系統(tǒng)80b由第3攝像單元30c及第4攝像單元30d構(gòu)成，第3攝像單元30c與第3圖像處理單元130c及第3從屬PC140c對應(yīng)、第4攝像單元30d與第4圖像處理單元130d及第4從屬PC140d對應(yīng)(以下，按需將第1圖像處理單元130a、第2圖像處理單元130b、第3圖像處理單元130c、第4圖像處理單元130d記為‘圖像處理單元130’，將第1從屬PC140a、第2從屬PC140b、第3從屬PC140c、第4從屬PC140d稱為‘從屬PC140’)。
各個從屬PC140經(jīng)交換中心150通過網(wǎng)絡(luò)與其它從屬PC140連接，進(jìn)行數(shù)據(jù)的收發(fā)。另外，從屬PC140也與管理單元、即主PC160連接。主PC160也與LAN(Local Area NetWork局域網(wǎng))連接，檢查結(jié)果等也能向連接LAN的其它PC發(fā)送。
各攝像單元30的線狀傳感器34，通過掃描得到的圖像送與各攝像單元30對應(yīng)的圖像處理單元130。各圖像處理單元130對送來的圖像進(jìn)行圖像處理，將圖像輸入對應(yīng)的從屬PC140。
從屬PC140具有輸入各圖像的圖像輸入口；存儲圖像數(shù)據(jù)等數(shù)據(jù)的存儲器；以及通過進(jìn)行圖像識別對基板2外觀進(jìn)行檢查的CPU(Central Processing Unit中央處理單元)等，從各圖像處理單元130向?qū)?yīng)的圖像輸入口輸入圖像。輸入圖像的各從屬PC140將圖像存入存儲器，通過解析對應(yīng)的攝像單元掃描過的圖像，首先取得識別標(biāo)志或條形碼、作為其它檢查所需的數(shù)據(jù)的公用數(shù)據(jù)。取得公用數(shù)據(jù)的從屬PC140將這一共用數(shù)據(jù)向其它所有的從屬PC140發(fā)送。收到公用數(shù)據(jù)的各從屬PC參照該公用數(shù)據(jù)對被檢查體、即基板2進(jìn)行檢查。通過這樣，各從屬PC能執(zhí)行須獨自進(jìn)行的檢查。
這一處理和生物細(xì)胞的行為一樣，所有細(xì)胞具有相同的遺傳因子，按照某個觸動只選與自己有關(guān)的指令執(zhí)行。本實施方式中，與遺傳因子相當(dāng)?shù)臑闄z查數(shù)據(jù)，細(xì)胞相當(dāng)于從屬PC140。以往主PC160要劃分檢查部位或內(nèi)容指示多個圖像處理口，但現(xiàn)在能如本實施方式那樣，各從屬PC140具有相同的檢查數(shù)據(jù)，通過只選與自己有關(guān)的部位執(zhí)行，所以能提高檢查精度，并縮短檢查時間。
圖5為第1實施方式涉及的外觀檢查裝置的構(gòu)成示意圖。第1攝像單元30a、第2攝像單元30b為利用線狀傳感器34的掃描單元，利用這些攝像單元30對基板2掃描，通過使基板2移動一根線反復(fù)掃描的動作，能完成對基板2一個面的掃描。另外，第1攝像單元30a及第2攝像單元30b一起夾著被檢查體、即基板2，配置成與上述第1攝像單元30a及第2攝像單元30b對向的第3攝像單元30c及第2攝像單元30d也是利用線狀傳感器34的掃描單元，利用所述攝像單元30對基板2掃描，通過使基板2移動一根線反復(fù)掃描的動作，能完成對基板2另一個面的掃描。
第1攝像單元30a、第2攝像單元30b、第3攝像單元30c、第4攝像單元30d分別具有第1線狀傳感器34a、第2線狀傳感器34b、第3線狀傳感器34c、第4線狀傳感器34d，利用這些線狀傳感器34的基板2的掃描由主PC160的掃描控制單元162進(jìn)行控制。
基板2被照明單元100照射光，在該狀態(tài)下各線狀傳感器34對基板2掃描。照明單元100由上部照明單元100a及下部照明單元100b構(gòu)成，各照明單元100由主PC160的照明控制單元161進(jìn)行控制。
當(dāng)1根線的掃描完成時，由基板輸送電動機58移動基板輸送臺50，使基板2移動1根線。該基板輸送電動機58的移動由主PC160的移動控制單元163進(jìn)行控制。
第1線狀傳感器34a、第2線狀傳感器34b、第3線狀傳感器34c、第4線狀傳感器34d由掃描控制單元162進(jìn)行控制，同步執(zhí)行一個掃描單位的基板2的掃描。通過這樣，線狀傳感器34的掃描能一齊進(jìn)行，在不進(jìn)行線狀傳感器34的掃描時由于靠移動控制單元163移動基板2，所以，能高效地對基板2掃描，縮短掃描時間。這里，所謂1個掃描單位是指例如從基板一側(cè)的端部開始至另一側(cè)的端部為止的一次一個方向的掃描、或一次往復(fù)掃描等線狀傳感器34能進(jìn)行的掃描單位。
另外，上部照明單元100a及下部照明單元100b由照明控制單元161控制成隨著一個掃描單位的執(zhí)行同步進(jìn)行光的照射。通過這樣，就容易控制掃描基板2用的照明。掃描控制單元162控制線狀傳感器34使其在照明單元100對基板2照射光時同步進(jìn)行基板2的掃描。
另外，上部照明單元100a及下部照明單元100b在同步進(jìn)行向基板2照射光時，同時由照明控制單元161進(jìn)行控制，使其同時向基板2照射相同顏色的光。在本實施方式中，按照第2光源104為白光、第1光源為綠光、第3光源為藍(lán)光的次序另外，上部照明單元100a及下部照明單元100b同時以相同的顏色對基板2照射相同入射角度的光。通過這樣，例如即使上部照明單元100a的照射光通過周圍零件的攝入，照射下部照明單元100b照射光的基板2的照射面，能將因光的干擾對基板2外觀檢查帶來的影響抑制在最低限度。掃描控制單元162在上部照明單元100a及下部照明單元100b同時對基板2照射第2光源104產(chǎn)生的入射角度的光時與一個掃描單位的掃描同步進(jìn)行，在同時照射第1光源產(chǎn)生的入射角度的光時又同步進(jìn)行一個掃描單位的掃描，在同時照射第3光源產(chǎn)生的入射角度的光時又同步進(jìn)行一個掃描單位的掃描，就這樣地控制各線狀傳感器34。
這樣，利用上部照明單元100a及下部照明單元100b對基板2照射光時，第1攝像單元30a通過第1透鏡32a利用第1線狀傳感器34a、而第2攝像單元30b通過第2透鏡32b利用第2線狀傳感器34b對圖像進(jìn)行掃描。另外，利用下部照明單元100b對基板2照射光時，第3攝像單元30c通過第3透鏡32c利用第3線狀傳感器34c、而第4攝像單元30d通過第4透鏡32d利用第4線狀傳感器34d對圖像進(jìn)行掃描。當(dāng)1根線的圖像掃描時，主PC160的移動控制單元163向基板輸送電動機58輸入控制信號，通過基板輸送電動機58移動基板輸送臺50，使基板2移動1根線。
通過掃描所得的圖像，由第1攝像單元30a攝得的圖像發(fā)送給第1圖像處理單元130a、由第2攝像單元30b攝得的圖像發(fā)送給第2圖像處理單元130b、由第3攝像單元30c攝得的圖像發(fā)送給第3圖像處理單元130c、由第4攝像單元30d攝得的圖像發(fā)送給第4圖像處理單元130d。各圖像處理單元130對收到的圖像進(jìn)行圖像處理，第1圖像處理單元130a向第1從屬PC140a的存儲器141a發(fā)送進(jìn)行圖像處理后的圖像并進(jìn)行存儲、第2圖像處理單元130b向第2從屬PC140b的存儲器141b發(fā)送進(jìn)行圖像處理后的圖像并進(jìn)行存儲、第3圖像處理單元130c向第3從屬PC140c的存儲器141c發(fā)送進(jìn)行圖像處理后的圖像并進(jìn)行存儲、第4圖像處理單元130d向第4從屬PC140d的存儲器141d發(fā)送進(jìn)行圖像處理后的圖像并進(jìn)行存儲。
各從屬PC140的解析單元142在存在各存儲器141的圖像中，在其它的從屬PC140上對檢查基板2所需的公用數(shù)據(jù)進(jìn)行解析，所謂公用數(shù)據(jù)是指例如設(shè)置在基板2上的，表示基板2的位置的識別標(biāo)志的位置數(shù)據(jù)、通過解析設(shè)置在基板2上的條形碼等的識別標(biāo)志得到的基板2的系列號或生產(chǎn)年月日等識別數(shù)據(jù)、跨越第1攝像單元30a及第2攝像單元30b攝得的零件圖像、以及其它檢查基板2所需的數(shù)據(jù)。
利用解析單元142解析圖像，當(dāng)取得檢查基板2所需的公用數(shù)據(jù)時，將公用數(shù)據(jù)存入存儲器141，并向其它從屬PC140發(fā)送公用數(shù)據(jù)。
接收到公用數(shù)據(jù)的從屬PC140的解析單元142參照收到的公用數(shù)據(jù)，對存儲在存儲器141的圖像進(jìn)行解析，根據(jù)判定基準(zhǔn)存儲單元存儲的判定基準(zhǔn)檢查基板2。通過這樣，在利用多個攝像單元30對基板2進(jìn)行攝像，并利用與每一個攝像單元對應(yīng)設(shè)置的從屬PC140檢查基板2時，由于各從屬PC140能共享公用數(shù)據(jù)，所以能提高基板的檢查精度，并能縮短檢查時間。
還有，存儲在各從屬PC的存儲器的，拍攝基板2后的圖像或識別標(biāo)志的位置數(shù)據(jù)等的公用數(shù)據(jù)等、以及從屬PC140進(jìn)行的基板2的檢查結(jié)果送主PC160。主PC160根據(jù)基板2的圖像或基板2的檢查結(jié)果，按需在基板2的異常部位等畫面上進(jìn)行顯示等。
本發(fā)明不限于上述各實施方式，作為本發(fā)明的實施方式將各實施方式的各要素作適當(dāng)組合也是有效的。另外，根據(jù)從事這項技術(shù)的人員的知識也能對各實施方式添加各種設(shè)計變更等變形，添加這些變形后的實施方式也能包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。以下，列舉所述的例子。
攝像單元30可以不是利用線狀傳感器34掃描基板2，而是利用CCD傳感器等依次對規(guī)定范圍的圖像進(jìn)行拍攝。通過這樣，能方便地對基板2的圖像進(jìn)行攝像。
攝像單元30及對應(yīng)的從屬PC140也可以在要檢查的基板2的一面的上部及要檢查的另一面的下部各配置一個。通過這樣，能減少從屬PC140的數(shù)量，能降低成本。
也可以將基板2固定，移動照明單元100或攝像單元30。通過這樣，在對基板2攝像時，以穩(wěn)定保持基板的狀態(tài)，實現(xiàn)攝像單元30和基板2的相對移動。
實施方式2首先，說明與第2實施方式有關(guān)的背景技術(shù)。近年來，雖然電子基板安裝在各種各樣的設(shè)備上，但在這種裝有電子基板的設(shè)備上，實現(xiàn)小型化、薄型化始終是個問題，從這一點出發(fā)，要求提高電子基板的密度。而且在實現(xiàn)電子基板的高密度安裝上，高精度地檢查基板上零件的安裝狀態(tài)成為重要的工作，以往，為了高精度地檢查零件安裝后的印刷電路板(以下稱‘基板’)，曾提出利用圖像識別技術(shù)的檢查裝置(例如參照專利文獻(xiàn)3)。另外，也知道有以下的外觀檢查系統(tǒng)，該系統(tǒng)利用LAN連接多臺外觀檢查裝置和作為管理計算機的PC(個人用計算機)，和該外觀檢查裝置的檢查結(jié)果一起將其它外觀檢查裝置的檢查結(jié)果作為最終檢查結(jié)果存在特定的外觀檢查裝置，將該最終檢查結(jié)果作為對于同一塊基板的單一的最終檢查結(jié)果，在PC的監(jiān)視畫面上顯示(例如參照專利文獻(xiàn)4)。再有，以互不相干的方式能同時對基板兩面安裝的零件進(jìn)行檢查的外觀檢查裝置(例如參照專利文獻(xiàn)5)。
專利文獻(xiàn)3特公平7-120421號公報專利文獻(xiàn)4特開平11-118439號公報專利文獻(xiàn)5特開2003-99758號公報但是，成為外觀檢查裝置的檢查對象的被檢查體，正在年年多樣化，即使同一種的被檢查體，在攝像方向上厚度或高度尺寸不相同的被檢查體也越來越多。因此，在執(zhí)行高精度的檢查上，要構(gòu)成一種能與被檢查體在攝像方向上的尺寸變化對應(yīng)的外觀檢查裝置。
所以，第2實施方式的目的在于提供一種即使被檢查體在攝像方向上尺寸發(fā)生變化，仍能高精度地檢查的外觀檢查裝置。
下面對于解決與第2實施方式有關(guān)的課題用的手段進(jìn)行說明。本實施例的外觀檢查裝置的特點為在檢查被檢查體的外觀用的外觀檢查裝置上，具有攝像手段，該手段擁有能對被檢查體攝像，根據(jù)被檢查體在攝像方向上的尺寸不改變圖像倍率，對被檢查體對焦的對焦機構(gòu)。
該外觀檢查裝置的攝像手段具有根據(jù)被檢查體在攝像方向上的尺寸不改變圖像倍率對被檢查體對焦的對焦機構(gòu)。因而根據(jù)這一外觀檢查裝置，即使被檢查體在攝像方向上尺寸發(fā)生變化仍能對被檢查體對焦獲得清晰的被檢查體圖像，所以，能執(zhí)行高精度檢查。
此時，最好對焦機構(gòu)根據(jù)被檢查體厚度相應(yīng)改變與被檢查體間的焦距。所述的構(gòu)成例如最適于基板等有大約一定厚度的被檢查體的檢查。
另外，攝像手段包括對被檢查體正面攝像的正面一側(cè)攝像手段；以及對被檢查體反面攝像的反面一側(cè)攝像手段，最好正面一側(cè)攝像手段和反面一側(cè)攝像手段中至少任何一種手段都具有對焦機構(gòu)。
即正反兩面都成為檢查對象的被檢查體基本上正面及反面的任何一面相對對應(yīng)的攝像手段都被定位，所以對焦機構(gòu)只要對正面一側(cè)攝像手段和反面一側(cè)攝像手段中任何一種手段進(jìn)行設(shè)置即可。
利用本實施方式，即使被檢查體在攝像方向上尺寸發(fā)生變化，仍能執(zhí)行高精度的檢查。
以下，參照附圖對實施本實施方式的最佳形態(tài)進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖11為表示第2實施方式的外觀檢查裝置的放大立體圖。圖中示出的外觀檢查裝置1200包括檢查臺1010、基板輸送臺1050、正面一側(cè)攝像裝置1080a及反面一側(cè)攝像裝置1080b(以下，為方便起見稱它們?yōu)椤當(dāng)z像裝置1080’)等?；遢斔团_1050具有支持機架1052及支持在該支持機架1052上的兩根輸送軌1054等。對于輸送軌1054，設(shè)置利用圖中未示出的電動機驅(qū)動并輸送作為被檢查體的基板1002的輸送帶(圖中未示出)，作為被檢查體的基板1002利用該輸送帶一直輸送至檢查臺1010的實質(zhì)上中央處。另外輸送軌1054的上方設(shè)置檢測基板1002的輸送的光傳感器等非接觸式傳感器即輸送傳感器(圖中未示出)，當(dāng)利用該輸送傳感器一旦檢測出基板1002端面或設(shè)置在基板1002上的檢測孔等時，就判斷基板1002已輸送到檢查臺1010的實質(zhì)上中央，停止利用輸送帶輸送基板1002。還有本實施方式的基板1002是安裝IC芯片或所謂連接器的各種電子零件的電子基板，其正面一側(cè)稱為反流(リフロ-)面，其反面一側(cè)稱為DIP面。
另外，基板輸送臺1050具有設(shè)置在外觀檢查裝置1200下方讓導(dǎo)向軸插入通過的插入通過部，利用該導(dǎo)向軸支持基板輸送臺1050可沿與輸送軌1054輸送基板1002的方向垂直的方向自由移動。再通過利用輸送電動機1058驅(qū)動基板輸送臺1050和滾珠螺桿1056結(jié)合，通過使該送料螺桿(滾珠螺桿)1056旋轉(zhuǎn)使基板輸送臺1050移動將基板1002送向攝像裝置1080。還有，在圖11面前一側(cè)的輸送軌1054上設(shè)置從上方按壓載于其上的基板1002矯正基板1002的形狀的圖中未示出的夾緊裝置。
圖12為表示外觀檢查裝置1200中攝像裝置1080的放大立體圖。如圖中所示，在攝像裝置1080中包括從上方對被檢查體、即基板1002的正面即反流面一側(cè)攝像用的正面一側(cè)攝像裝置1080a、和從下方對基板1002的反面即DIP面一側(cè)攝像用的反面一側(cè)攝像裝置1080b。如圖12所示，正面一側(cè)攝像裝置1080a配置在輸送軌1054的上方，反面一側(cè)攝像裝置1080b配置在在輸送軌1054的下方和正面一側(cè)攝像裝置1080a一起被檢查體、即基板1002夾在其間。
正面一側(cè)攝像裝置1080a具有正面照明單元1100a、正面一側(cè)支持機架1036a、基架1038、第1攝像單元1030a、第2攝像單元1030b、調(diào)焦電動機1040、中間透鏡1042等。另外，反面一側(cè)攝像裝置1080b具有反面照明單元1100b、反面一側(cè)支持機架1036b、第3攝像單元1030c、第4攝像單元1030d、中間透鏡1042等。以下，為說明方便，將第1攝像單元1030a、第2攝像單元1030b、第3攝像單元1030c、第4攝像單元1030d統(tǒng)稱為‘?dāng)z像單元1030’，正面一側(cè)照明單元1100a、反面一側(cè)照明單元1100b統(tǒng)稱為‘照明單元1100’。
如圖12所示，第1攝像單元1030a、第2攝像單元1030b、及中間透鏡1042固定在正面一側(cè)支持機架1036a上，第1攝像單元1030a包括第1透鏡1032a及第1線狀傳感器1034a，第2攝像單元1030b包括第2透鏡1032b、及第2線狀傳感器1034b。上述第1攝像單元1030a及第2攝像單元1030b為了對被檢查體、即基板1002的正面攝像并排設(shè)置在基板1002的上方。另外，第1透鏡1032a、第1線狀傳感器1034a、第2透鏡1032b、第2線狀傳感器1034b、及中間透鏡1042的設(shè)置部位設(shè)定成使第1攝像單元1030a及第2攝像單元1030b的攝像范圍重復(fù)。這樣，通過利用多個攝像單元1030a、1030b，首先能以高清晰度對基板1002的正面攝像，并能提高檢查精度。另外，通過利用多個攝像單元1030a、1030b，分散執(zhí)行所攝圖像的處理，也能使檢查速度提高。
另外，本實施方式中，正面一側(cè)攝像裝置1080a的正面一側(cè)支持機架1036a能沿基板2的輸送方向滑動自如地支持在基架1038上，利用調(diào)焦電動機1040能使正面一側(cè)支持機架1036a相對基架1038移動。即通過使調(diào)焦電動機1040動作，從而能使固定在正面一側(cè)支持機架1036a上的第1攝像單元1030a、第2攝像單元1030b、以及中間透鏡1042相對基架1038一體地移動。
另一方面，反面一側(cè)攝像裝置1080b的第1攝像單元1030a、第2攝像單元1030b、以及中間透鏡1042固定在位于基架1038等下方的反面一側(cè)支持機架1036b上。反面一側(cè)攝像裝置1080b的第3攝像單元1030c及第4攝像單元1030d為了對被檢查體、即基板1002的反面攝像，并排設(shè)置在基板1002的下方。反面一側(cè)攝像裝置1080b的第3透鏡1032c、第3線狀傳感器1034c、第4透鏡1032d、第4線狀傳感器1034d及中間透鏡1042的設(shè)置部位也規(guī)定成使第3攝像單元1030c、第4攝像單元1030d的攝像范圍重復(fù)。
圖13為表示攝像單元1080中照明單元1100的概要構(gòu)成圖。照明單元1100包括正面一側(cè)攝像裝置1080a的正面一側(cè)照明單元1100a、及反面一側(cè)攝像裝置1080b的反面一側(cè)照明單元1100b。正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b分別具有第1光源1102、第2光源1104、第3光源1106、半透半反鏡1110、及丙烯酸片1112等，第1光源1102、第2光源1104及第3光源1106設(shè)置成包圍半透半反鏡1110。
第1光源1102由沿對應(yīng)的第1及第2線狀傳感器1034a、34b或34c、1034d的掃描方向的綠色LED(發(fā)光二極管)組構(gòu)成，綠色LED組的并排長度大于等于被檢查體、即基板1002的寬度。正面一側(cè)照明單元1100a的第1光源1102配置在正面一側(cè)攝像裝置1080a的線狀傳感器1034a、34b的基板1002上的掃描線的正上方，從上向下實質(zhì)上垂直地對被檢查體、即基板1002照射光。與此相反，反面一側(cè)照明單元1100b的第1光源1102配置在反面一側(cè)攝像裝置1080b的線狀傳感器1034C、34d的基板1002上的掃描線的正下方，從下向上實質(zhì)上垂直地對被檢查體即基板1002照射光。
來自第1光源1102的光(反射光)通過半透半反鏡1110對基板1002的檢查面以近似零的入射角進(jìn)行投射。本實施方式中，使第1光源1102形成寬度，考慮到即使基板1002彎曲時仍舊有入射角為零那樣的反射光分量存在。來自基板1002(掃描線)的反射光在半透半反鏡1110上進(jìn)行反射，通過對應(yīng)的中間透鏡1042射入對應(yīng)的第1及第2透鏡1032a、32b或第3及第4透鏡1032c、32d。這樣，來自第1光源1102的所有的反射光全部投在基板1002上，通過用線狀傳感器1034對其檢測，從而能判定基板1002內(nèi)零件位置偏離、次品、焊錫漬等。還有，為了高效地向掃描線照射光，可以在中央將LED組用的基板分成兩個副基板，在各個副基板上并排設(shè)置LED組。
第2光源1104由沿與對應(yīng)的第1及第2線狀傳感器1034a、34b或34c、1034d的掃描方向并排設(shè)置的白色LED(發(fā)光二極管)組構(gòu)成，白色LED組的并排設(shè)置長度大于等于被檢查體、即基板1002的寬度。各照明單元1100a及1100b分別有雙體的第2光源1104，這些雙體的第2光源1104各自的投射光為了不干擾從第1光源1102射向掃描線的光程，在基板1002的輸送方向的掃描線兩側(cè)各配置一個體。
第3光源1106由沿與對應(yīng)的第1及第2線狀傳感器1034a、34b或34C、1034d的掃描方向并排設(shè)置的藍(lán)色LED(發(fā)光二極管)組構(gòu)成，藍(lán)色LED組的并排設(shè)置長度大于等于被檢查體、即基板1002的寬度。各照明單元1100a及1100b分別有四個體的第3光源1106，這些四個體的第3光源1106各自的投射光為了不干擾從第1光源1102及第2光源1104射向掃描線的光程，在基板1002的輸送方向的掃描線兩側(cè)各配置兩個體。
如上所述，第1光源1102照射綠色的光、第2光源1104照射白色的光、第3光源1106照射藍(lán)色的光。因而，各照明單元1100a、100b作為對被檢查體、即基板1002照射多種顏色的光的復(fù)合光源起作用。因為綠色LED或藍(lán)色LED能發(fā)出比白色LED明亮的光，所以通過選第1光源1102為綠色光源，同時選第3光源1106為藍(lán)色光源，從而能獲得SN比高的清晰的圖像。另外，由于印刷電路布線板大多著色成綠色，所以，若選第1光源為綠色光源，則利用反射光能明亮地照射平面。再有通過選第3光源1106為藍(lán)色光源，從低的角度對裝在基板1002上的IC芯片或連接器等零件照射藍(lán)色的光就能容易地識別零件上激光打印的文字等。
本實施方式中，在第2光源1104及第3光源1106和掃描線之間，設(shè)置使第2光源1104及第3光源1106來的光擴(kuò)散用的丙烯酸片1112。通過這樣，作為第2光源1104及第3光源1106即使使用點光源的LED集合體，依舊能利用上述擴(kuò)散作用，抑制由于點狀的光攝入圖像數(shù)據(jù)而影響檢查精度。另外，本實施方式中，按照白色光源即第2光源1104、綠色光源即第光源1102、藍(lán)色光源即第3光源1106的次序各光源獨立地對一根掃描線發(fā)光三次，每一次發(fā)光用線狀傳感器1034對基板1002進(jìn)行掃描。通過這樣，能得到在各光源1102、104及106對基板1002照射光的狀態(tài)下的圖像。
還有，有時也在被檢查體即基板1002上設(shè)置孔，或焊錫未完全填入應(yīng)堵塞的孔，在這樣的情況下，有時光會從一側(cè)的照明單元1100通過該孔漏向另一側(cè)。而且，從一側(cè)的照明單元1100漏向另一側(cè)的光當(dāng)利用線狀傳感器1034直接掃描時，就會產(chǎn)生所謂圖像模糊的現(xiàn)象。也會對基板1002的攝像帶來不良影響。因此，在本實施方式中，正面一側(cè)照明單元1100a和反面一側(cè)照明單元1100b沿基板的輸送方向相互僅偏離距離L進(jìn)行配置。即，本實施方式中，從圖13可知，正面一側(cè)照明單元1100a配置在比反面一側(cè)照明單元1100b更靠近基板輸送方向送來的一側(cè)。從抑制圖像模糊的角度考慮偏離，長度L最好大于等于50mm。
圖14為上述外觀檢查裝置1200的控制方框圖。如圖中所示，正面一側(cè)攝像裝置1080a的第1攝像單元1030a中的第1線狀傳感器1034a通過第1圖像處理單元1130a連接作為檢查手段的第1從屬PC1140a，正面一側(cè)攝像裝置1080a的第2攝像單元1030b中的第2線狀傳感器1034b通過第2圖像處理單元1130b連接第2從屬PC1140b。這些第1從屬PC1140a及第2從屬PC1140b作為與正面一側(cè)攝像裝置1080a對應(yīng)的正面一側(cè)檢查手段起作用。
同樣，反面一側(cè)攝像裝置1080b的第3攝像單元1030c中的第3線狀傳感器1034c通過第3圖像處理單元1130c連接第3從屬PC1140c，反面一側(cè)攝像裝置1080b的第4攝像單元1030d中的第4線狀傳感器1034d通過第4圖像處理單元1130d連接第4從屬PC1140d。這些第3從屬PC1140c及第4從屬PC1140b作為與反面一側(cè)攝像裝置1080b對應(yīng)的反面一側(cè)檢查手段起作用。以下，為便于說明，將第1圖像處理單元1130a～第4圖像處理單元1130d統(tǒng)稱為‘圖像處理單元1130’，將第1從屬PC1140a～第4從屬PC1140d統(tǒng)稱為‘從屬PC1140’。各圖像處理單元1130對利用對應(yīng)的攝像單元1030拍攝的圖像進(jìn)行處理生成圖像數(shù)據(jù)。
各從屬PC1140a～140d除了CPU、ROM、RAM外，還有存儲從對應(yīng)的圖像處理單元1130a～1130d送來的圖像數(shù)據(jù)等的存儲器1141a～1141d。另外在各從屬PC1140a～140d上還構(gòu)筑利用上述CPU等對存儲器1141a～1141d所存的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行解析及檢查的解析單元1142a～1142d。再有，各從屬PC1140a～140d還具有作為檢查合格與否的判定基準(zhǔn)存儲解析單元1142a～1142d解析用的檢查數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫1143a～1143d、或收發(fā)各種數(shù)據(jù)的收發(fā)單元1144a～1144d等。
從屬PC1140a～1140d的收發(fā)單元1144a～1144d分別通過交換中心1150與其它的從屬PC1140連接相互能進(jìn)行數(shù)據(jù)通信。另外，從屬PC1140a～1140d通過交換中心1150也連接主PC1160，通過這樣，主PC1160也能和各從屬PC1140a～1140d之間進(jìn)行數(shù)據(jù)通信。主PC1160具有CPU、ROM、RAM、存儲器、輸入輸出接口等，作為外觀檢查裝置1200全體的管理手段起作用。主PC1160上利用CPU等構(gòu)筑焦點控制單元1161、照明控制單元1162、掃描控制單元1163及輸送控制單元1164。另外，主PC1160還具有顯示控制單元1165、及進(jìn)行各種數(shù)據(jù)收發(fā)的收發(fā)單元1166。如圖14所示，利用顯示控制單元1165控制顯示最終檢查結(jié)果的顯示器1170，收發(fā)單元1166連接上述交換中心1150。
焦點控制單元1161控制設(shè)置在正面一側(cè)攝像手段1080a的調(diào)焦電動機1040。而且，在本實施方式中，利用焦點控制單元1161、調(diào)焦電動機1040、及正面一側(cè)支持機架1036a和基架1038間的滑動機構(gòu)，構(gòu)成不改變圖像倍率對被檢查體的基板1002對焦用的對焦機構(gòu)。另外，照明控制單元1162控制正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b，掃描控制單元1163控制利用正面一側(cè)攝像裝置1080a的第1線狀傳感器1034a及第2線狀傳感器1034b以及反面一側(cè)攝像裝置1080b的第3線狀傳感器1034c及第4線狀傳感器1034d對被檢查體的掃描。再有，輸送控制單元1164控制輸送電動機1058，由輸送控制單元1164控制放在輸送軌1054(輸送帶)上的被檢查體、即基板1002的移動、或基板1002移動1根掃描線等。
還有，主PC1160的收發(fā)單元1166也可通過LAN(Local Area NetWork局域網(wǎng))與其它PC等連接，通過這樣，能從主PC1160將檢查結(jié)果等提供給所述其它PC。另外主PC1160還連接圖中未示出的鍵盤或鼠標(biāo)等輸入手段，通過所述的鍵盤等用戶能進(jìn)行數(shù)據(jù)輸入、或操作外觀檢查裝置1200。
以下，參照圖10～圖14說明利用上述外觀檢查裝置1200對被檢查體的外觀進(jìn)行檢查的步驟。
圖10為說明利用上述外觀檢查裝置1200對基板1002的外觀進(jìn)行檢查的步驟用的流程圖。該圖表示同時對經(jīng)過正面反流工序及反面DIP工序，安裝有IC芯片或連接器等零件的基板1002的正反面進(jìn)行檢查的步驟。如圖中所示，在檢查基板1002時，主PC160的焦點控制單元1161從檢查前預(yù)先輸入的基板信息(檢查數(shù)據(jù))，取得基板1002的厚度信息(S10)。此外，基板1002的厚度也可以由用戶利用鍵盤或鼠標(biāo)輸入主PC160。當(dāng)取得基板1002的厚度時，主PC160的焦點控制單元1161從存儲在規(guī)定存儲區(qū)域的調(diào)焦表中讀出與在S10輸入的基板1002的厚度信息對應(yīng)的正面一側(cè)支持機架1036a對于基架1038的移動量(例如0.3～2.0mm左右)，同時控制調(diào)焦電動機1040使正面一側(cè)支持機架1036a只移動讀出的移動量L(S12)。
如上所述，構(gòu)成正面一側(cè)攝像裝置1080a的攝像系統(tǒng)(光學(xué)系統(tǒng))的第1及第2線狀傳感器1034a、34b、第1及第2透鏡1032a、32b、中間透鏡1042等，都定位并固定在正面一側(cè)支持機架1036a上。因而，在S12當(dāng)正面一側(cè)支持機架1036a相對基架1038移動時，與被檢查體、即基板間的焦距，也就是從中間透鏡1042的端面至半透半反鏡1110的距離x1001，和從半透半反鏡1110至基板1002正面的距離x1002之和(參照圖12)就變化，所以能不改變圖像倍率對基板1002進(jìn)行對焦。這樣，外觀檢查裝置1200具有根據(jù)被檢查體、即基板1002在攝像方向上的尺寸，即，基板1002的厚度相應(yīng)改變與基板1002間焦距(x1001十x2)的對焦機構(gòu)。這一結(jié)果，利用外觀檢查裝置1200，即使基板1002的厚度發(fā)生變化，依舊能對基板1002的正面對焦獲得清晰的圖像，所以能進(jìn)行高精度檢查。
如上所述，當(dāng)S12的對焦處理一結(jié)束，主PC160的輸送控制單元1164就使基板輸送臺1050開始向攝像單元1080輸送基板1002(S14)。本實施方式中，如上所述，正面一側(cè)照明單元1100a配置在比反面一側(cè)照明單元1100b更靠近基板1002送來的一側(cè)。因此，基板1002首先由基板輸送臺1050一直移至正面一側(cè)攝像裝置1080a的第1線狀傳感器1034a及第2線狀傳感器1034b的掃描范圍的開始位置。然后，當(dāng)基板1002輸送到正面一側(cè)攝像裝置1080a的第1線狀傳感器1034a及第2線狀傳感器1034b的掃描范圍的開始位置時，主PC1160的照明控制單元1162開始控制正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b對基板1002的照射，主PC1160的掃描控制單元1163開始利用正面一側(cè)攝像裝置1080a的第1及第2攝像單元1030a、30b及反面一側(cè)攝像裝置1080b的第3及第4攝像單元1030c、30d對基板1002的正反面攝像(S16)。
在S16，當(dāng)開始用各攝像裝置1080a、80b進(jìn)行攝像時，第1線狀傳感器1034a、第2線狀傳感器1034b、第3線狀傳感器1034c、第4線狀傳感器1034d由掃描控制單元1163控制，同步進(jìn)行基板1002的一個掃描單位的掃描。即在利用正面一側(cè)照明單元1100a對基板1002的正面照射光時，第1攝像單元1030a的第1線狀傳感器1034a通過中間透鏡1042及第1透鏡1032a，另外，第2攝像單元1030b的第2線狀傳感器1034b通過中間透鏡1042及第2透鏡1032b分別對圖像掃描。再有，在利用反面一側(cè)照明單元1100b對基板1002的正面照射光時，第3攝像單元1030c的第3線狀傳感器1034c通過中間透鏡1042及第3透鏡1032c，另外，第4攝像單元1030d的第4線狀傳感器1034d通過中間透鏡1042及第4透鏡1032d分別對圖像掃描。這樣，通過利用線狀傳感器1034a～34d，從而能二維地使檢查面移動·停止，與反復(fù)進(jìn)行上述動作依次進(jìn)行點攝像的構(gòu)成相比，使機構(gòu)簡化，同時還能縮短檢查時間。
然后，主PC1160的輸送控制單元1164每利用第1～第4線狀傳感器1034a～34d掃描1根線，就向驅(qū)動送料滾珠螺桿56的輸送電動機1058給出一次控制信號，使基板1002前進(jìn)1根線。通過這樣，就能利用第1～第4線狀傳感器1034a～34d一齊進(jìn)行掃描，在不能利用第1～第4線狀傳感器1034a～34d進(jìn)行掃描的時刻由于能利用輸送控制單元1164移動基板1002，所以能高效地對基板1002進(jìn)行掃描，縮短檢查時間。還有，所謂一個掃描單位是指例如從基板1002的一端向另一端的一個方向上的一次掃描、或一次來回掃描的線狀傳感器1034a～34d能執(zhí)行的掃描單位。
通過這樣，當(dāng)?shù)?～第4線狀傳感器1034a～34d對基板1002的輸送方向上的全長掃描時，就能在一道基板輸送工序中對基板1002的正反面攝像。也就是，利用基板輸送臺1050將基板1002輸送到正面一側(cè)攝像裝置1080a和反面一側(cè)攝像裝置1080b之間，其間，在一道的基板輸送工序中分別由正面一側(cè)攝像裝置1080a對基板1002的正面攝像，反面一側(cè)攝像裝置1080b對基板1002的反面攝像。還有，所謂一道的基板輸送工序可以是基板1002在一個方向上的輸送工序，也可以是基板1002的來回輸送工序。
然而，本實施方式中，在各攝像單元1080a、80b對基板1002的攝像中，照明控制單元1162控制正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b使它們隨著一掃描單元的執(zhí)行同步進(jìn)行光的照射，掃描控制單元1163控制第1～第4線狀傳感器1034a～1034d，在正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b對基板1002照射光時使對基板1002的掃描同步進(jìn)行。
具體地說，照明控制單元1162控制正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b使它們同時對基板1002同步照射同色的光。另外，本實施方式中，例如白色光源的第2光源1104、緣色光源的第1光源1102、藍(lán)色光源的第3光源1106按上述次序動作，正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b按照上述次序?qū)?002照射白色光、綠色光、藍(lán)色光。通過這樣，例如即使正面一側(cè)照明單元1100a照射的光由于攝入周圍零件而漏到反面一側(cè)照明單元1100b照射的基板1002的反面上，仍舊能將光的干擾對檢查結(jié)果的不良影響抑制在最低限度。
然后，主PC1160的掃描控制單元1163在從正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b的第2光源1104對基板1002同時照射白色光時，使各線狀傳感器1034a～34d同步進(jìn)行一個掃描單位的掃描。另外，掃描控制單元1163在從正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b的第1光源1102對基板1002同時照射綠色光時再使各線狀傳感器1034a～34d同步進(jìn)行一個掃描單位的掃描，在從正面一側(cè)照明單元1100a及反面一側(cè)照明單元1100b的第3光源1106對基板1002同時照射藍(lán)色光時再使各線狀傳感器1034a～34d同步進(jìn)行一個掃描單位的掃描。
如上所述，在利用各攝像單元1080a、80b對基板1002攝像時，利用第1攝像單元1030a的第1線狀傳感器1034a取得的圖像送第1圖像處理單元1130a、利用第2攝像單元1030b的第2線狀傳感器1034b取得的圖像送第2圖像處理單元1130b、利用第3攝像單元1030c的第3線狀傳感器1034c取得的圖像送第3圖像處理單元1130c、利用第4攝像單元1030d的第4線狀傳感器1034d取得的圖像送第4圖像處理單元1130d。
各圖像處理單元1130a～130d對從對應(yīng)的線狀傳感器1034a～34d收到的圖像，進(jìn)行圖像處理。然后，第1圖像處理單元1130a將圖像處理后的圖像數(shù)據(jù)向第1從屬PC1140a的存儲器1141a發(fā)送并進(jìn)行存儲、第2圖像處理單元1130b將圖像處理后的圖像數(shù)據(jù)向第2從屬PC1140b的存儲器1141b發(fā)送并進(jìn)行存儲、同樣第3圖像處理單元1130c將圖像處理后的圖像數(shù)據(jù)向第3從屬PC1140c的存儲器1141c發(fā)送并進(jìn)行存儲、第4圖像處理單元1130d將圖像處理后的圖像數(shù)據(jù)向第4從屬PC1140d的存儲器1141d發(fā)送并進(jìn)行存儲。
當(dāng)利用正面一側(cè)攝像裝置1080a及反面一側(cè)攝像裝置1080b對基板1002的攝像結(jié)束時，主PC1160的輸送控制單元1164通過向輸送電動機1058提供指令信號，使送料螺桿56旋轉(zhuǎn)，移動基板輸送臺1056將完成攝像的基板1002輸向下道工序。
另一方面，當(dāng)被檢查體、即基板1002的圖像數(shù)據(jù)存入各從屬PC1140a～140d的存儲器1141a～141d時，各從屬PC1140a～140d的解析單元1142a～142d對存入各個存儲器1141a～141d的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行解析，在其它的從屬PC1140a～140d上在檢查基板1002時進(jìn)行需要的數(shù)據(jù)交換(S18)。在S18在從屬PC1140a～140d間交換的數(shù)據(jù)，包括例如表示作為設(shè)置在基板1002上的定位基準(zhǔn)的識別標(biāo)志的位置的數(shù)據(jù)、解析設(shè)置在基板1002上的條形碼等識別標(biāo)志得到的基板1002的系列號或在對有生產(chǎn)年月日等的數(shù)據(jù)的基板1002檢查時在從屬PC1140a～140d上應(yīng)能公用的數(shù)據(jù)(以下稱為‘公用數(shù)據(jù)’)、或利用第1攝像單元1030a及第2攝像單元1030b、第3攝像單元1030c及第4攝像單元1030d拍攝的零件的圖像數(shù)據(jù)。
以下，邊參照圖11邊對所述的S18中圖像數(shù)據(jù)的解析/交換進(jìn)行說明。圖11A為舉例表示被檢查體、即基板1002的正面的俯視圖，以下，對關(guān)于基板1002的正面的圖像數(shù)據(jù)的解析及公用數(shù)據(jù)的共享進(jìn)行說明。如圖11A所示，在基板1002上形成成為基板1002定位基準(zhǔn)的第1識別標(biāo)志1004a及第2識別標(biāo)志1004b。另外，在圖11A舉例示出的基板1002近似中央部位上安裝第1零件1006和第2零件1008，使它們跨越正面一側(cè)攝像裝置1080a的第1攝像單元1030a的攝像范圍和第2攝像單元1030b攝像范圍。還有，雖然圖中未示出，但在基板1002上設(shè)置記錄著各種數(shù)據(jù)的條形碼。
從圖11A可知基板1002的圖中左邊一半的區(qū)域由第1攝像單元1030a進(jìn)行攝像，另一方面，圖中右邊一半的區(qū)域由第2攝像單元1030b進(jìn)行攝像。因此，基板1002的第1識別標(biāo)志1004a由第1攝像單元1030a進(jìn)行攝像，其圖像數(shù)據(jù)存入第1從屬PC1140a的存儲器1141a。另外，基板1002的第2識別標(biāo)志1004b由第2攝像單元1030b進(jìn)行攝像，其圖像數(shù)據(jù)存入第2從屬PC1140b的存儲器1141b。通過這樣，與第1攝像單元1030a對應(yīng)的從屬PC1140a在解析存儲在存儲器1141a的圖像數(shù)據(jù)時，從識別標(biāo)志的圖像數(shù)據(jù)取得其位置數(shù)據(jù)。同樣，與第2攝像單元1030b對應(yīng)的從屬PC1140b在解析存儲在存儲器1141b的圖像數(shù)據(jù)時，從識別標(biāo)志的圖像數(shù)據(jù)取得其位置數(shù)據(jù)。然后，第1從屬PC1140a將第1識別標(biāo)志1004a的位置數(shù)據(jù)作為公用數(shù)據(jù)，向其它從屬PC1140b、140c及140d發(fā)送，第2從屬PC1140b將第2識別標(biāo)志1004b的位置數(shù)據(jù)作為公用數(shù)據(jù)，向其它從屬PC1140a、140c及140d發(fā)送。
其結(jié)果，在外觀檢查裝置1200上，即使基板1002在輸送軌1054上稍微傾斜、或基板1002的位置在掃描方向或輸送方向上稍些偏移設(shè)置，成為基板1002的定位基準(zhǔn)的第1識別標(biāo)志1004a及第2識別標(biāo)志1004b的位置數(shù)據(jù)作為公用數(shù)據(jù)在各從屬PC1140a～140d上共享，所以，各從屬PC1140a～140d即使在對應(yīng)的攝像單元1030a～30d的攝像范圍不包括識別標(biāo)志，或者只包括識別標(biāo)志的一部分時，仍能掌握基板1002的位置或姿勢。
另一方面，從圖11A可知在正面一側(cè)攝像裝置1080a上，無論在第1攝像單元1030a和第2攝像單元1030b的任何一個上都象未發(fā)生不能攝像的區(qū)域那樣，規(guī)定第1攝像單元1030a的攝像范圍和第2攝像單元1030b的攝像范圍在圖11A上如用雙點劃線表示那樣部分重復(fù)。同樣，在反面一側(cè)攝像裝置1080b上，規(guī)定第3攝像單元1030c的攝像范圍和第4攝像單元1030d的攝像范圍部分重復(fù)。這里，試以正面一側(cè)攝像裝置1080a為例進(jìn)行說明，如圖11B所示，第1攝像單元1030a的攝像范圍，從基板1002的圖中左端起至稍過基板1002的掃描方向上的中心線的圖中右邊為止。與此相反，第2攝像單元1030b的攝像范圍，從基板1002的圖中右端起至稍過基板1002的掃描方向上的中心線的圖中左邊為止。
而且，在本實施方式中，對于如在圖11A等舉例示出的第1零件1006或第2零件1008那樣，跨越多個攝像單元1030的攝像范圍配置的基板1002上的零件，規(guī)定為由與攝像范圍內(nèi)包括該零件中心部位在內(nèi)的攝像單元1030對應(yīng)的從屬PC1140進(jìn)行檢查。即，從圖11A等可知，第1零件1006其中心部位屬于第1攝像單元1030a的攝像范圍，所以對第1零件1006的檢查由與第1攝像單元1030a對應(yīng)的作為檢查單元的第1從屬PC1140a執(zhí)行。與此相反，第2零件1008其中心部位屬于第2攝像單元1030b的攝像范圍，所以對第2零件1008的檢查由與第2攝像單元1030b對應(yīng)的作為檢查單元的第2從屬PC1140b執(zhí)行。
這一情況，從圖11B可知在利用與第1攝像單元1030a對應(yīng)的第1圖像處理單元1130a將圖像數(shù)據(jù)存入從屬PC1140a的存儲器1141a的時刻，從屬PC1140a就不保持其檢查對象即第1零件1006的全部圖像數(shù)據(jù)。同樣，在利用與第2攝像單元1030b對應(yīng)的第2圖像處理單元1130b將圖像數(shù)據(jù)存入從屬PC1140b的存儲器1141b的時刻，從屬PC1140b就不保持其檢查對象即第2零件1008的全部圖像數(shù)據(jù)。
因此，各從屬PC1140a～140d在執(zhí)行圖像數(shù)據(jù)的解析中，當(dāng)識別未成為自己的檢查對象的零件的圖像數(shù)據(jù)時，對承擔(dān)該零件的檢查的從屬PC1140a～140d(或其它的所有從屬PC1140)發(fā)送該圖像數(shù)據(jù)。即，在圖11的例子的基礎(chǔ)上，第1從屬PC1140a的存儲器1141a就包含第2零件1008的部分圖像數(shù)據(jù)，所述的第2零件1008的圖像數(shù)據(jù)從第1從屬PC1140a送給承擔(dān)第2零件1008的檢查的第2從屬PC1140b，第2從屬PC1140b將該圖像數(shù)據(jù)存儲在存儲器1141b。另外，第2從屬PC1140a的存儲器1141b就包含第1零件1006的部分圖像數(shù)據(jù)，所述的第1零件1006的圖像數(shù)據(jù)從第2從屬PC1140b送給承擔(dān)第1零件1006的檢查的第1從屬PC1140a，第1從屬PC1140a將該圖像數(shù)據(jù)存儲在存儲器1141a。這樣，從屬PC1140a及從屬PC1140b如圖11C所示，取得自己承擔(dān)檢查的零件缺失的圖像數(shù)據(jù)。
如上所述，當(dāng)結(jié)束圖像數(shù)據(jù)的解析/交換時，各從屬PC1140a～140d的解析單元1142a～1142d分別利用存在數(shù)據(jù)庫1143a～1143d的檢查數(shù)據(jù)，檢查自己承擔(dān)的基板1002的區(qū)域(S20)。這里，外觀檢查裝置1200中，作為檢查合格與否的判定基準(zhǔn)的檢查數(shù)據(jù)對于裝在被檢查體、即基板1002上的IC芯片或連接器等各種零件與正面一側(cè)攝像裝置1080a和反面一側(cè)攝像裝置1080b的攝像方向?qū)?yīng)分別準(zhǔn)備多個。
也就是說，以往的外觀檢查裝置中，基本上沒有對基板正反面同時進(jìn)行檢查，所以在外觀檢查裝置上，不必根據(jù)攝像單元的攝像方向相應(yīng)識別流動(フロ-)、DIP或手工焊接(日文—手付け)等‘焊接形式’。與此相反，本實施方式的外觀檢查裝置1200中，為了同時檢查被檢查體、即基板1002的正反面，對裝在基板1002上的各零件正面用檢查數(shù)據(jù)和反面用檢查數(shù)據(jù)至少準(zhǔn)備一個。正面用檢查數(shù)據(jù)和反面用檢查數(shù)據(jù)，由在檢查中表示為合格的‘焊接形狀’等的圖像數(shù)據(jù)及數(shù)值數(shù)據(jù)組成，分別具有根據(jù)與零件對應(yīng)的焊盤形狀，相應(yīng)識別流動、DIP或手工焊接等‘焊接形式’用的識別符。
關(guān)于各零件正面用檢查數(shù)據(jù)，存儲在與正面一側(cè)攝像裝置1080a對應(yīng)的從屬PC1140a及140b中的、承擔(dān)該零件的檢查的單元的數(shù)據(jù)庫1143a或143b中，關(guān)于各零件反面用檢查數(shù)據(jù)，存儲在與反面一側(cè)攝像裝置1080b對應(yīng)的從屬PC1140c及140d中的、承擔(dān)該零件的檢查的單元的數(shù)據(jù)庫1143c或143d中。但存儲在承擔(dān)基板1002正面檢查的從屬PC1140a及140b的數(shù)據(jù)庫1143a或143b中的正面用檢查數(shù)據(jù)可以為同一數(shù)據(jù)。同樣，存儲在承擔(dān)基板1002反面檢查的從屬PC1140c及140d的數(shù)據(jù)庫1143c或143d中的反面用檢查數(shù)據(jù)可以為同一數(shù)據(jù)。
通過這樣，外觀檢查裝置1260中，通過利用這些正面用及反面用檢查數(shù)據(jù)、以及用正面一側(cè)攝像裝置1080a和反面一側(cè)攝像裝置1080b得到的基板1002的圖像數(shù)據(jù)，能同時從幾個方向、即從正面一側(cè)和反面一側(cè)對在正面一側(cè)有反流面同時在反面一側(cè)有DIP面的基板1002高精度地進(jìn)行檢查。還有，上述正面用及反面用檢查數(shù)據(jù)，可以分別逐個地輸入各從屬PC1140a～140d的數(shù)據(jù)庫1143a～1143d。另外，所有正面用及反面用檢查數(shù)據(jù)，可以一齊輸入主PC1160，各從屬PC1140a～140d也可以從主PC1160取得自己所要的檢查數(shù)據(jù)。
這樣，外觀檢查裝置1200中，各從屬PC1140a～140d解析存儲在存儲器1141a～141d的圖像數(shù)據(jù)，共享該結(jié)果得到的識別標(biāo)志、條形碼、或其它檢查所要的數(shù)據(jù)、即公用數(shù)據(jù)，同時還相互交換檢查所需的圖像數(shù)據(jù)。然后，各從屬PC1140a～140d利用公用數(shù)據(jù)、圖像數(shù)據(jù)、及存入各數(shù)據(jù)庫1143a～143d的檢查數(shù)據(jù)分別對被檢查體即基板1002進(jìn)行檢查。
上述各從屬PC1140a～140d的動作實質(zhì)上和生物細(xì)胞的行為相同，即，所有細(xì)胞具有相同的遺傳因子，按照某個觸動只選與自己有關(guān)的指令執(zhí)行。將該思想用于本實施方式中，上述的公用數(shù)據(jù)相當(dāng)于遺傳因子，上述的從屬PC1140a～140d相當(dāng)于細(xì)胞。而且，本實施方式中，主PC1160將檢查部位或內(nèi)容分配給各從屬PC1140a～140d，各從屬PC1140自主地處理圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行檢查，代替指示。其結(jié)果，外觀檢查裝置1200中，將對基板1002的檢查分?jǐn)偨o多個從屬PC1140a～140d讓它們承擔(dān)，提高對基板1002的檢查精度，同時還能縮短檢查時間。
當(dāng)S20的檢查完成時，各從屬PC1140a～140d應(yīng)該故相互共享檢查結(jié)果，向其它的從屬PC1140及主PC1160發(fā)送表示各自檢查結(jié)果的數(shù)據(jù)(S22)。另外，存在各從屬PC1140a～140d的存儲器1141a～141d中的識別標(biāo)志的位置數(shù)據(jù)等公用數(shù)據(jù)，也發(fā)給主PC1160。而且主PC1160的顯示控制單元1165按照來自CPU的指令，根據(jù)預(yù)先輸入的基板1002的CAD數(shù)據(jù)、或從各從屬PC1140a～140d收到的數(shù)據(jù)，將關(guān)于被檢查體即基板1002的檢查結(jié)果在顯示器1170的畫面1171上顯示出來(S24)。
圖12為舉例表示在顯示器1170的畫面1171上顯示的檢查結(jié)果的模式圖。如圖中所示，本實施方式的外觀檢查裝置1200中，利用顯示控制單元1165能在顯示器1170的畫面1171上同時顯示對被檢查體、即基板1002正面的檢查結(jié)果及對被檢查體即基板1002反面的檢查結(jié)果。另外，顯示控制單元1165，如圖12所示，能將各從屬PC1140a～140d的檢查結(jié)果、判定為不合格的部位(零件)以能和合格部位明確地識別出來的形式在畫面1171上顯示。通過這樣，用戶即使不特意地操作鼠標(biāo)等，也能同時掌握被檢查體正面和反面的檢查結(jié)果。這樣，利用外觀檢查裝置1260在迅速對被檢查體、即基板1002的正反兩面進(jìn)行檢查后，能同時向用戶提供基板1002正面及反面的檢查結(jié)果，所以更加便于用戶的使用。
還有，在被檢查體有圖13中舉例示出的縫紉孔或V形槽1002a等在零件安裝后能切斷的形式的基板1002A時，各從屬PC1140a～140d的檢查結(jié)果以如圖14例示的形式可在顯示器1170的畫面1171上顯示出來。即，如圖13所例示，在零件安裝后，對分成No.1001～NO.1004四個區(qū)域的基板1002A，各從屬PC1140a～140d的檢查結(jié)果，例如在判定區(qū)域No.1004的正反面存在不良部位的情況下，主PC1160的顯示控制單元1165就在顯示器1170的畫面1171上只顯示包括不良部位在內(nèi)的區(qū)域No.1004的正反面。這樣，作為檢查手段的各從屬PC1140a～140d的檢查結(jié)果，即使作為顯示手段的顯示器1170只顯示存在不良部位的被檢查體、即基板1002A的區(qū)域的正反面，仍舊能極大地便于用戶的使用。
如上所述，當(dāng)在顯示器1170上顯示各從屬PC1140a～140d的檢查結(jié)果時，主PC1160判定是否存在同種的被檢查體(S26)，在判斷出同種即要檢查和檢查結(jié)束的基板1002相同厚度的基板1002的情況下(S1026中的Yes)，再度進(jìn)行S1014～S24的處理。另外，主PC1160在判斷不存在同種的被檢查體的情況下(S1026中的No)，使外觀檢查裝置1200的檢查結(jié)束。
以上，對實施本實施方式用的合適的實施例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于上述的實施例，當(dāng)然根據(jù)從事這項技術(shù)的人員的知識可以作各種改進(jìn)或變更，但這些變形例均包括在本實施方式的范圍內(nèi)。以下，舉例表示這些變形例。
即，各攝像單元1030a～1030d可以不是利用線狀傳感器1034a～34d掃描被檢查體、即基板1002，而是利用CCD傳感器等依次對規(guī)定范圍的圖像掃描。即使采用這樣的構(gòu)成，也能容易地對基板1002的圖像攝像。
另外，可以在基板1002的正面一側(cè)、即基板1002的上方，以及基板1002的反面一側(cè)、即基板1002的下方，各設(shè)一組攝像單元1030及與其對應(yīng)的從屬PC1140。通過這樣，能減少攝像單元1030及從屬PC1140的數(shù)量，降低成本。此時，由于上述公用數(shù)據(jù)在檢查基板1002正面的從屬PC1140和檢查基板1002反面的從屬PC1140之間收發(fā)，所以，例如即使在基板1002一面的面上沒有識別標(biāo)志等，只要在另一面的面上有識別標(biāo)志，就能利用其位置數(shù)據(jù)，通過這樣，能簡化基板1002的構(gòu)成。
再有，在將基板1002固定好的狀態(tài)下，可以移動照明單元1100或包括攝像單元1030在內(nèi)的攝像裝置1080。由此，在對基板1002攝像時，能以穩(wěn)定地保持基板1002的狀態(tài)實現(xiàn)攝像裝置1080和基板1002間的相對移動。
另外，上述的公用數(shù)據(jù)從從屬PC1140向主PC1160發(fā)送后，主PC1160可以向各從屬PC1140發(fā)送。通過這樣，能容易地實現(xiàn)各從屬PC1140和主PC1160共享公用數(shù)據(jù)。
再有，上述實施方式中，只在正面一側(cè)攝像裝置1080a上設(shè)置對焦機構(gòu)，但根據(jù)被檢查體的形狀等，可以在正面一側(cè)攝像裝置1080a及反面一側(cè)攝像裝置1080b上都設(shè)置對焦機構(gòu)。
還有，上述實施方式中，對同時檢查被檢查體、即基板1002正反面的步驟進(jìn)行了說明，但也可以在同時顯示被檢查體正反面檢查結(jié)果時，在別的工序中取得對被檢查體正面檢查的結(jié)果及對被檢查體反面檢查的結(jié)果。另外，被檢查體正面檢查的結(jié)果及對被檢查體反面檢查的結(jié)果中的任何一個，也可以由別的外觀檢查裝置來取得。
再有，在上述實施方式中，以由用戶輸入對焦所要的基板厚度的形式進(jìn)行說明，但不限于此。即可以將基板厚度信息預(yù)先做在被檢查體、即基板的條形碼上，在對該條形碼攝像·解析時進(jìn)行對焦。
而且，上述實施方式涉及的外觀檢查裝置，當(dāng)然也能用于反流前檢查等。
實施方式3首先對第3實施方式的背景技術(shù)進(jìn)行說明。近年來，雖然電子基板安裝在各種各樣的設(shè)備上，但在這種裝有電子基板的設(shè)備上，實現(xiàn)小型化、薄型化始終是個問題，從這一點出發(fā)，要求提高電子基板的密度。而且在實現(xiàn)電子基板的高密度安裝上，高精度地檢查基板上零件的安裝狀態(tài)成為重要的工作，以往，為了高精度地檢查零件安裝后的印刷電路板(以下稱‘基板’)，曾提出利用圖像識別技術(shù)的檢查裝置(例如參照專利文獻(xiàn)6)。另外，也知道有以下的外觀檢查系統(tǒng)，該系統(tǒng)利用LAN連接多臺外觀檢查裝置和作為管理計算機的PC(個人用計算機)，和該外觀檢查裝置的檢查結(jié)果一起將其它外觀檢查裝置的檢查結(jié)果作為最終檢查結(jié)果存在特定的外觀檢查裝置，將該最終檢查結(jié)果作為對于同一塊基板的單一的最終檢查結(jié)果在PC的監(jiān)視畫面上顯示(例如參照專利文獻(xiàn)7)。再有，以互不相干的方式能同時對基板兩面安裝的零件進(jìn)行檢查的外觀檢查裝置(例如參照專利文獻(xiàn)8)。
專利文獻(xiàn)6特公平7-120421號公報專利文獻(xiàn)7特開平11-118439號公報專利文獻(xiàn)8特開2003-99758號公報以下，對第3實施方式要解決的課題進(jìn)行說明。在上述的現(xiàn)有的外觀檢查裝置中，檢查結(jié)果通常在顯示器的畫面上進(jìn)行顯示，但此時，由于檢查結(jié)果的顯示形式，用戶還是要操作鼠標(biāo)等直至看見所要的結(jié)果。即，從便于用戶使用的角度考慮，現(xiàn)有的外觀檢查裝置在檢查結(jié)果的顯示方法上尚有待于改進(jìn)。尤其是關(guān)于被檢查體正反面的檢查結(jié)果的顯示上，還要作些改進(jìn)便于用戶掌握。
所以，本實施方式的目的在于提供一種外觀檢查裝置，該裝置能以易于掌握被檢查體的檢查結(jié)果的形式進(jìn)行顯示，更便于用戶使用。
下面，對解決本實施方式的課題用的手段進(jìn)行說明。本實施方式的外觀檢查裝置的特點為在檢查被檢查體的外觀用的外觀檢查裝置上，包括顯示被檢查體的檢查結(jié)果的顯示手段；在顯示手段上同時顯示被檢查體正面的檢查結(jié)果、以及被檢查體反面的檢查結(jié)果的結(jié)果顯示控制手段。
該外觀檢查裝置中，能同時在顯示手段上顯示與正反面存在檢查對象的被檢查體有關(guān)的被檢查體正面的檢查結(jié)果、以及被檢查體反面的檢查結(jié)果。通過這樣，用戶即使不特意地進(jìn)行操作，仍能同時掌握被檢查體正面和反面的檢查結(jié)果，所以，能更加便于用戶的使用。還有被檢查體正面的檢查結(jié)果、以及被檢查體反面的檢查結(jié)果可以在別的工序中取得，也可以實質(zhì)上同時地取得。另外，被檢查體正面的檢查結(jié)果、以及被檢查體反面的檢查結(jié)果中的任一個也可以利用其它的外觀檢查裝置取得。
另外，還包括拍攝被檢查體正面的正面一側(cè)攝像手段；要與正面一側(cè)攝像手段對應(yīng)設(shè)置，根據(jù)利用正面一側(cè)攝像手段得到的被檢查體的圖像數(shù)據(jù)對被檢查體進(jìn)行檢查的正面一側(cè)檢查手段；拍攝被檢查體反面的反面一側(cè)攝像手段；以及與反面一側(cè)攝像手段對應(yīng)設(shè)置，根據(jù)利用反面一側(cè)攝像手段得到的被檢查體的圖像數(shù)據(jù)對被檢查體進(jìn)行檢查的反面一側(cè)檢查手段，最好結(jié)果顯示控制手段接受來自正面一側(cè)顯示手段及反面一側(cè)顯示手段各手段的檢查結(jié)果，在顯示手段上同時顯示對正面的檢查結(jié)果及對反面的檢查結(jié)果。
采用這樣的構(gòu)成，能利用一臺外觀檢查裝置快速地對被檢查體的正反兩面進(jìn)行檢查，而且通過同時向用戶提供被檢查體正面和反面的檢查結(jié)果，從而能便于用戶使用。
還有，最好正面一側(cè)攝像手段和反面一側(cè)攝像手段實質(zhì)上同時地對被檢查體進(jìn)行攝像。
通過這樣，能同時對被檢查體正反面進(jìn)行檢查，提高檢查效率。
利用本實施方式能以易于掌握利用外觀檢查裝置對被檢查體進(jìn)行檢查的結(jié)果的形式進(jìn)行顯示，能更加便于用戶操作。
以下，參照附圖對實施本實施方式用的實施例進(jìn)行說明。
圖15為表示本實施方式的外觀檢查裝置放大立體圖。圖中示出的外觀檢查裝置2200包括檢查臺2010、基板輸送臺2050、正面一側(cè)攝像裝置2080a及反面一側(cè)攝像裝置2080b(以下為便于說明稱它們?yōu)椤當(dāng)z像裝置2080’)等?；遢斔团_2050具有支持機架2052及支持在該支持機架2052上的兩根輸送軌2054等。對于輸送軌2054，設(shè)置利用圖中未示出的電動機驅(qū)動并輸送作為被檢查體的基板2002的輸送帶(圖中未示出)，作為被檢查體的基板2002，利用該輸送帶一直輸送至檢查臺2010的實質(zhì)上中央處。另外，輸送軌2054的上方設(shè)置檢測基板2002的輸送的光傳感器等非接觸式傳感器、即輸送傳感器(圖中未示出)，當(dāng)利用該輸送傳感器一旦檢測出基板2002端面或設(shè)置在基板2002上的檢測孔等時，就判斷基板2002已輸送到檢查臺2010的實質(zhì)上中央，停止利用輸送帶輸送基板2002。還有本實施方式的基板2002是安裝IC芯片或所謂連接器的各種電子零件的電子基板，其正面一側(cè)稱為反流(リフロ-)面，其反面一側(cè)稱為DIP面。
另外，基板輸送臺2050具有設(shè)置在外觀檢查裝置2200下方讓導(dǎo)向軸插入通過的插入通過部，利用該導(dǎo)向軸支持基板輸送臺2050可沿與輸送軌2054的輸送基板2002的方向垂直的方向自由移動。再通過利用輸送電動機2058驅(qū)動基板輸送臺2050和滾珠螺桿2056結(jié)合，通過使該輸送螺桿(滾珠螺桿)2056旋轉(zhuǎn)使基板輸送臺2050移動將基板2002送向攝像裝置2080。還有，在圖15面前一側(cè)的輸送軌2054上設(shè)置從上方按壓載于其上的基板2002矯正基板2002的形狀的圖中未示出的夾緊裝置。
圖16為表示外觀檢查裝置2200中攝像裝置2080的放大立體圖。如圖中所示，在攝像裝置2080中包括從上方對被檢查體、即基板2002的正面即反流面一側(cè)攝像用的正面一側(cè)攝像裝置2080a、以及從下方對基板1002的反面即DIP面一側(cè)攝像用的反面一側(cè)攝像裝置2080b。如圖16所示，正面一側(cè)攝像裝置2080a配置在輸送軌2054的上方，反面一側(cè)攝像裝置2080b配置在在輸送軌2054的下方和正面一側(cè)攝像裝置2080a一起被檢查體、即基板2002夾在其間。
正面一側(cè)攝像裝置2080a具有正面照明單元2100a、正面一側(cè)支持機架2036a、基架2038、第1攝像單元2030a、第2攝像單元2030b、調(diào)焦電動機2040、中間透鏡2042等。另外，反面一側(cè)攝像裝置2080b具有反面照明單元2100b、反面一側(cè)支持機架2036b、第3攝像單元2030c、第4攝像單元2030d、中間透鏡2042等。以下，為說明方便，將第1攝像單元2030a、第2攝像單元2030b、第3攝像單元2030c、第4攝像單元2030d統(tǒng)稱為‘?dāng)z像單元2030’，正面一側(cè)照明單元2100a、反面一側(cè)照明單元2100b統(tǒng)稱為‘照明單元2100’。
如圖16所示，第1攝像單元2030a、第2攝像單元2030b、及中間透鏡2042固定在正面一側(cè)支持機架2036a上，第1攝像單元2030a包括第1透鏡2032a及第1線狀傳感器2034a，第2攝像單元2030b包括第2透鏡2032b、及第2線狀傳感器2034b。上述第1攝像單元2030a及第2攝像單元2030b為了對被檢查體即基板2002的正面攝像并排設(shè)置在基板2002的上方。另外，第1透鏡2032a、第1線狀傳感器2034a、第2透鏡2032b、第2線狀傳感器2034b、及中間透鏡2042的設(shè)置部位設(shè)定成使第1攝像單元2030a及第2攝像單元2030b的攝像范圍重復(fù)。這樣，通過利用多個攝像單元2030a、2030b，首先能以高清晰度對基板2002的正面攝像，并能提高檢查精度。另外，通過利用多個攝像單元2030a、2030b，也能使檢查速度提高。
另外，本實施方式中，正面一側(cè)攝像2080a的正面一側(cè)支持機架2036能沿基板2的輸送方向滑動自如地支持在基架2038上，利用調(diào)焦電動機2040能使正面一側(cè)支持機架2036a相對基架2038移動。即，通過使調(diào)焦電動機2040動作，從而能使固定在正面一側(cè)支持機架2036a上的第1攝像單元2030a、第2攝像單元2030b、以及中間透鏡2042相對基架2038一體地移動。
另一方面，反面一側(cè)攝像裝置2080b的第1攝像單元2030a、第2攝像單元2030b、以及中間透鏡2042固定在位于基架2038等下方的反面一側(cè)支持機架2036b上。反面一側(cè)攝像裝置2080b的第3攝像單元2030c及第4攝像單元2030d為了對被檢查體、即基板2002的反面攝像，并排設(shè)置在基板2002的下方。反面一側(cè)攝像裝置2080b的第3透鏡2032c、第3線狀傳感器2034c、第4透鏡2032d、第4線狀傳感器2034d以及中間透鏡2042的設(shè)置部位，也規(guī)定成使第3攝像單元2030c、第4攝像單元2030d的攝像范圍重復(fù)。
圖17為表示攝像裝置2080中照明單元2100的概要構(gòu)成圖。照明單元2100包括正面一側(cè)攝像裝置2080a的正面一側(cè)照明單元2100a、以及反面一側(cè)攝像裝置2080b的反面一側(cè)照明單元2100b。正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b分別具有第1光源2102、第2光源2104、第3光源2106、半透半反鏡2110、及丙烯酸片2112等，第1光源2102、第2光源2104及第3光源2106設(shè)置成包圍半透半反鏡2110。
第1光源2102由沿對應(yīng)的第1及第2線狀傳感器2034a、34b或34c、2034d的掃描方向的綠色LED(發(fā)光二極管)組構(gòu)成，綠色LED組的并排長度大于等于被檢查體、即基板2002的寬度。正面一側(cè)照明單元2100a的第1光源2102配置在正面一側(cè)攝像裝置2080a的線狀傳感器2034a、34b的基板2002上的掃描線的正上方，從上向下實質(zhì)上垂直地對被檢查體、即基板2002照射光。與此相反，反面一側(cè)照明單元2100b的第1光源2102配置在反面一側(cè)攝像裝置2080b的線狀傳感器2034C、34d的基板2002上的掃描線的正下方，從下向上實質(zhì)上垂直地對被檢查體、即基板2002照射光。
來自第1光源2102的光(反射光)，通過半透半反鏡2110對基板2002的檢查面以近似零的入射角投射。本實施方式中，使第1光源2102形成寬度，考慮成即使基板2002彎曲時仍舊有入射角為零那樣的反射光分量存在。來自基板2002(掃描線)的反射光在半透半反鏡2110上反射，通過對應(yīng)的中間透鏡2042射入對應(yīng)的第1及第2透鏡2032a、32b或第3及第4透鏡2032c、32d。這樣，來自第1光源2102的所謂的反射光全部投在基板2002上，通過用線狀傳感器2034對其檢測，從而能判定基板2002內(nèi)零件位置偏離、次品、焊錫漬等。還有，為了高效地向掃描線照射光，可以在中央將LED組用的基板分成兩個副基板，在各個副基板上并排設(shè)置LED組。
第2光源2104由沿與對應(yīng)的第1及第2線狀傳感器2034a、34b或34c、2034d的掃描方向并排設(shè)置的白色LED(發(fā)光二極管)組構(gòu)成，白色LED組的并排設(shè)置長度大于等于被檢查體、即基板2002的寬度。各照明單元2100a及2100b分別有雙體的第2光源2104，這些雙體的第2光源2104各自的投射光為了不干擾從第1光源2102射向掃描線的光程，在基板2002的輸送方向的掃描線兩側(cè)各配置一個體。
第3光源2106由沿與對應(yīng)的第1及第2線狀傳感器2034a、34b或34c、2034d的掃描方向并排設(shè)置的藍(lán)色LED(發(fā)光二極管)組構(gòu)成，藍(lán)色LED組的并排設(shè)置長度大于等于被檢查體、即基板2002的寬度。各照明單元2100a及2100b分別有四個體的第3光源2106，這些四個體的第3光源2106各自的投射光為了不干擾從第1光源2102及第2光源2104射向掃描線的光程，在基板2002的輸送方向的掃描線兩側(cè)各配置兩個體。
如上所述，第1光源2102照射綠色的光、第2光源2104照射白色的光、第3光源2106照射藍(lán)色的光。因而，各照明單元2100a、200b作為對被檢查體、即基板2002照射多種顏色的光的復(fù)合光源起作用。因為綠色LED或藍(lán)色LED能發(fā)出比白色LED明亮的光，所以通過選第1光源2102為綠色光源，同時選第3光源2106為藍(lán)色光源，從而能獲得SN比高的清晰的圖像。另外，由于印刷電路布線板大多著色成綠色，所以，若選第1光源為綠色光源，則利用反射光能明亮地照射平面。再有通過選第3光源為藍(lán)色光源，從低的角度對裝在基板2上的IC芯片或連接器等零件照射藍(lán)色的光就能容易地識別零件上用激光打印的文字等。
本實施方式中，在第2光源2104及第3光源2106和掃描線之間，設(shè)置使第2光源2104及第3光源2106來的光擴(kuò)散用的丙烯酸片2112。通過這樣，作為第2光源2104及第3光源2106即使使用點光源的LED集合體，也能利用上述擴(kuò)散作用，抑制由于點狀的光攝入圖像數(shù)據(jù)而影響檢查精度。另外，本實施方式中，按照白色光源即第2光源2104、綠色光源即第光源2102、藍(lán)色光源即第3光源2106的次序各光源獨立地對一根掃描線發(fā)光三次，每一次發(fā)光用線狀傳感器2034對基板2002掃描。通過這樣，能得到在各光源2102、104及106對基板2002照射光的狀態(tài)下的圖像。
還有，有時也在被檢查體、即基板2002上設(shè)置孔，或焊錫未完全填入應(yīng)堵塞的孔，在這樣的情況下，有時光會從一側(cè)的照明單元2100通過該孔漏向另一側(cè)。而且，從一側(cè)的照明單元2100漏向另一側(cè)的光、當(dāng)利用線狀傳感器2034直接掃描時，就產(chǎn)生圖像模糊的現(xiàn)象。也會對基板2002的攝像帶來不良影響。因此，在本實施方式中，正面一側(cè)照明單元2100a和反面一側(cè)照明單元2100b沿基板的輸送方向相互僅偏離距離L進(jìn)行配置。即，本實施方式中，從圖17可知，正面一側(cè)照明單元2100a配置在比反面一側(cè)照明單元2100b靠接近基板輸送方向送來的一側(cè)。從抑制圖像模糊的角度考慮偏離長度L最好大于等于50mm。
圖18為上述外觀檢查裝置2200的控制方框圖。如圖中所示，正面一側(cè)攝像裝置2080a的第1攝像單元2030a中的第1線狀傳感器2034a，通過第1圖像處理單元2130a連接作為檢查手段的第1從屬PC2140a，正面一側(cè)攝像裝置2080a的第2攝像單元2030b中的第2線狀傳感器2034b，通過第2圖像處理單元2130b連接第2從屬PC2140b。這些第1從屬PC2140a及第2從屬PC2140b作為與正面一側(cè)攝像裝置2080a對應(yīng)的正面一側(cè)檢查手段起作用。
同樣，反面一側(cè)攝像裝置2080b的第3攝像單元2030c中的第3線狀傳感器2034c，通過第3圖像處理單元2130c連接第3從屬PC2140c，反面一側(cè)攝像裝置2080b的第4攝像單元2030d中的第4線狀傳感器2034d，通過第4圖像處理單元2130d連接第4從屬PC2140d。這些第3從屬PC2140c及第4從屬PC2140b作為與反面一側(cè)攝像裝置2080b對應(yīng)的反面一側(cè)檢查手段起作用。以下，為便于說明，將第1圖像處理單元2130a～第4圖像處理單元2130d統(tǒng)稱為‘圖像處理單元2130’，將第1從屬PC2140a～第4從屬PC2140d統(tǒng)稱為‘從屬PC2140’。各圖像處理單元2130對利用對應(yīng)的攝像單元2030攝得的圖像進(jìn)行處理生成圖像數(shù)據(jù)。
各從屬PC2140a～140d除了CPU、ROM、RAM外，還有存儲從對應(yīng)的圖像處理單元2130a～130d送來的圖像數(shù)據(jù)等的存儲器2141a～141d。另外在各從屬PC2140a～140d上，還構(gòu)筑利用上述CPU等對存儲器141a～2141d所存的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行解析及檢查的解析單元2142a～142d。再有，各從屬PC2140a～140d還具有作為檢查是否合格的判定基準(zhǔn)存儲解析單元2142a～142d解析用的檢查數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫1143a～1143d、或收發(fā)各種數(shù)據(jù)的收發(fā)單元2144a～144d等。
從屬PC2140a～140d的收發(fā)單元2144a～144d分別通過交換中心2150與其它的從屬PC2140連接成相互能進(jìn)行數(shù)據(jù)通信。另外，從屬PC2140a～140d通過交換中心2150也連接主PC2160，通過這樣，主PC2160也能和各從屬PC2140a～140d之間進(jìn)行數(shù)據(jù)通信。主PC2160具有CPU、ROM、RAM、存儲器、輸入輸出接口等，作為外觀檢查裝置2200全體的管理手段起作用。主PC2160中，利用CPU等構(gòu)筑焦點控制單元2161、照明控制單元2162、掃描控制單元2163以及輸送控制單元2164。另外，主PC2160還具有顯示控制單元2165、以及進(jìn)行各種數(shù)據(jù)收發(fā)的收發(fā)單元2166。如圖18所示，利用顯示控制單元2165控制顯示最終檢查結(jié)果的顯示器2170，收發(fā)單元2166與上述交換中心2150連接。
焦點控制單元1161控制設(shè)置在在正面一側(cè)攝像裝置2080a的調(diào)焦電動機2040。而且，在本實施方式中，利用焦點控制單元2161、調(diào)焦電動機2040、以及正面一側(cè)支持機架2036a和基架2038間的滑動機構(gòu)，構(gòu)成不改變圖像倍率對被檢查體的基板2002對焦用的對焦機構(gòu)。另外，照明控制單元2162控制正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b，掃描控制單元2163控制利用正面一側(cè)攝像裝置2080a的第1線狀傳感器2034a及第2線狀傳感器2034b以及反面一側(cè)攝像裝置2080b的第3線狀傳感器2034c及第4線狀傳感器2034d對被檢查體的掃描。再有，輸送控制單元2164控制輸送電動機2058，由輸送控制單元2164控制放在輸送軌2054(輸送帶)上的被檢查體、即基板2002的移動、或基板2002移動1根掃描線等。
還有，主PC2160的收發(fā)單元2166也可通過LAN(Local Area NetWork局域網(wǎng))與其它PC等連接，通過這樣，能從主PC2160將檢查結(jié)果等給所述其它PC。另外主PC2160還連接圖中未示出的鍵盤或鼠標(biāo)等輸入手段，通過所述的鍵盤等用戶能進(jìn)行數(shù)據(jù)輸入、或操作外觀檢查裝置2200。
以下，參照圖19～圖23說明利用上述外觀檢查裝置2200對被檢查體的外觀進(jìn)行檢查的步驟。
圖19為說明利用上述外觀檢查裝置2200對基板2002的外觀進(jìn)行檢查的步驟用的流程圖。該圖表示同時對經(jīng)過正面反流工序及反面DIP工序安裝有IC芯片或連接器等零件的基板2002的正反面進(jìn)行檢查的步驟。如圖中所示，在檢查基板2002時，主PC2160的焦點控制單元2161，從檢查前預(yù)先輸入的基板信息(檢查數(shù)據(jù))取得基板2002的厚度信息(S10)。還有基板2002的厚度也可以由用戶利用鍵盤或鼠標(biāo)輸入主PC2160。當(dāng)取得基板2002的厚度時，主PC2160的焦點控制單元2161從存在規(guī)定存儲區(qū)域的調(diào)焦表中讀出與在S10輸入的基板2002的厚度信息對應(yīng)的正面一側(cè)支持機架2036a對于基架2038的移動量(例如0.3～2.0mm左右)，同時控制調(diào)焦電動機2040使正面一側(cè)支持機架2036a只移動讀出的移動量L(S12)。
如上所述，構(gòu)成正面一側(cè)攝像裝置2080a的攝像系統(tǒng)(光學(xué)系統(tǒng))的第1及第2線狀傳感器2034a、34b、第1及第2透鏡2032a、32b、中間透鏡2042等都定位并固定在正面一側(cè)支持機架2036a上。因而，在S12當(dāng)正面一側(cè)支持機架2036a相對基架2038移動時，與被檢查體、即基板間的焦距，也就是從中間透鏡2042的端面至半透半反鏡2110的距離x2001，和從半透半反鏡2110至基板2002正面的距離x2002之和(參照圖16)就變化，所以能不改變圖像倍率對基板2002進(jìn)行對焦。這樣，外觀檢查裝置2200具有根據(jù)被檢查體、即基板2002在攝像方向上的尺寸，即基板2002的厚度相應(yīng)改變和基板2002間焦距(x2001+x2)的對焦機構(gòu)。其結(jié)果，利用外觀檢查裝置2200，即使基板2002的厚度發(fā)生變化，依舊能對基板2002的正面對焦獲得清晰的圖像，所以能進(jìn)行高精度的檢查。
如上所述，當(dāng)S12的對焦處理一結(jié)束，主PC2160的輸送控制單元2164就使基板輸送臺2050開始向攝像單元2080輸送基板2002(S14)。本實施方式中，如上所述，正面一側(cè)照明單元2100a配置在比反面一側(cè)照明單元2100b更靠近基板2002送來的一側(cè)。因此，基板2002首先利用基板輸送臺2050一直移至正面一側(cè)攝像裝置2080a的第1線狀傳感器2034a及第2線狀傳感器2034b的掃描范圍的開始位置。然后，當(dāng)基板2002輸送到正面一側(cè)攝像裝置2080a的第1線狀傳感器2034a及第2線狀傳感器2034b的掃描范圍的開始位置時，主PC2160的照明控制單元2162開始控制正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b對基板2002的照射，主PC2160的掃描控制單元1163開始利用正面一側(cè)攝像裝置2080a的第1及第2攝像單元2030a、30b及反面一側(cè)攝像裝置2080b的第3及第4攝像單元2030c、30d對基板2002的正反面攝像(S16)。
在S16，當(dāng)開始用各攝像單元2080a、80b進(jìn)行攝像時，第1線狀傳感器2034a、第2線狀傳感器2034b、第3線狀傳感器2034c、第4線狀傳感器2034d由掃描控制單元2163控制，使其同步進(jìn)行基板2002的一個掃描單位的掃描。即在利用正面一側(cè)照明單元2100a對基板2002的正面照射光時，第1攝像單元2030a的第1線狀傳感器2034a通過中間透鏡2042及第1透鏡2032a，另外，第2攝像單元2030b的第2線狀傳感器2034b通過中間透鏡2042及第2透鏡2032b分別對圖像進(jìn)行掃描。再有，在利用反面一側(cè)照明單元2100b對基板2002的正面照射光時，第3攝像單元2030c的第3線狀傳感器2034c通過中間透鏡2042及第3透鏡2032c，另外，第4攝像單元2030d的第4線狀傳感器2034d通過中間透鏡2042及第4透鏡2032d分別對圖像進(jìn)行掃描。這樣，通過利用線狀傳感器2034a～34d，從而能二維地使檢查面移動·停止，與反復(fù)進(jìn)行上述動作依次進(jìn)行點攝像的構(gòu)成相比，使機構(gòu)簡化，同時還能縮短檢查時間。
然后，主PC2160的輸送控制單元2164每利用第1～第4線狀傳感器2034a～34d掃描1根線，就向驅(qū)動送料螺桿56的輸送電動機2058給出一次控制信號，使基板2002前進(jìn)1根線。通過這樣，就能利用第1～第4線狀傳感器2034a～2034d一齊進(jìn)行掃描，在不能利用第1～第4線狀傳感器2034a～2034d進(jìn)行掃描的時刻由于能利用輸送控制單元2164移動基板2002，所以能高效地對基板2002進(jìn)行掃描，縮短檢查時間。還有，所謂一個掃描單位系指例如從基板2002的一端向另一端的一個方向上的一次掃描、或一次來回掃描的線狀傳感器21034a～34d能執(zhí)行的掃描的單位。
通過這樣，當(dāng)?shù)?～第4線狀傳感器2034a～34d對基板2002的輸送方向上的全長掃描時，就能在一道基板輸送工序中，對基板2002的正反面進(jìn)行攝像。也就是，利用基板輸送臺2050將基板2002輸送到正面一側(cè)攝像裝置2080a和反面一側(cè)攝像裝置2080b之間，其間，在一道的基板輸送工序中，分別由正面一側(cè)攝像裝置2080a對基板2002的正面進(jìn)行攝像，反面一側(cè)攝像裝置2080b對基板2002的反面進(jìn)行攝像。還有，所謂一道的基板輸送工序，可以是基板2002在一個方向上的輸送工序，也可以是基板2002的來回輸送工序。
然而，本實施方式中，在各攝像裝置2080a、80b對基板2002的攝像之中，照明控制單元2162控制正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b使它們隨著一個掃描單元的執(zhí)行同步進(jìn)行光的照射，掃描控制單元2163控制第1～第4線狀傳感器2034a～34d，在正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b對基板1002照射光時同步進(jìn)行基板1002的掃描。
具體地說，照明控制單元2162控制正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b使它們同時對基板2002同步照射同色的光。另外，本實施方式中，例如白色光源的第2光源2104、緣色光源的第1光源2102、藍(lán)色光源的第3光源2106按上述次序動作，正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b按照上述次序?qū)?002照射白色光、綠色光、藍(lán)色光。通過這樣，例如即使正面一側(cè)照明單元2100a照射的光由于攝入周圍的零件而漏到反面一側(cè)照明單元2100b照射的基板2002的反面上，仍舊能將光的干擾對檢查結(jié)果的不良影響抑制在最低限度。
然后，主PC2160的掃描控制單元2163在從正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b的第2光源2104對基板2002同時照射白色光時，使各線狀傳感器2034a～34d同步進(jìn)行一個掃描單位的掃描。另外，掃描控制單元2163在從正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b的第1光源2102對基板2002同時照射綠色光時再使各線狀傳感器2034a～34d同步進(jìn)行一個掃描單位的掃描，在從正面一側(cè)照明單元2100a及反面一側(cè)照明單元2100b的第3光源2106對基板2002同時照射藍(lán)色光時，再使各線狀傳感器2034a～34d同步進(jìn)行一個掃描單位的掃描。
如上所述，在利用各攝像單元2080a、80b對基板2002攝像時，利用第1攝像單元2030a的第1線狀傳感器2034a取得的圖像，送到第1圖像處理單元2130a、利用第2攝像單元2030b的第2線狀傳感器2034b取得的圖像，送到第2圖像處理單元2130b、利用第3攝像單元2030c的第3線狀傳感器2034c取得的圖像，送到第3圖像處理單元2130c、利用第4攝像單元2030d的第4線狀傳感器2034d取得的圖像，送到第4圖像處理單元2130d。
各圖像處理單元2130a～130d執(zhí)行從對應(yīng)的線狀傳感器2034a～34d收到的圖像的圖像處理。然后，第1圖像處理單元2130a將圖像處理后的圖像數(shù)據(jù)向第1從屬PC2140a的存儲器2141a發(fā)送并進(jìn)行存儲、第2圖像處理單元2130b將圖像處理后的圖像數(shù)據(jù)向第2從屬PC2140b的存儲器2141b發(fā)送并進(jìn)行存儲、同樣第3圖像處理單元2130c將圖像處理后的圖像數(shù)據(jù)向第3從屬PC2140c的存儲器2141c發(fā)送并進(jìn)行存儲、第4圖像處理單元2130d將圖像處理后的圖像數(shù)據(jù)向第4從屬PC2140d的存儲器2141d發(fā)送并進(jìn)行存儲。
當(dāng)利用正面一側(cè)攝像裝置2080a及反面一側(cè)攝像裝置2080b對基板2002的攝像結(jié)束時，主PC2160的輸送控制單元2164通過向輸送電動機2058提供指令信號使送料螺桿56旋轉(zhuǎn)，從而移動基板輸送臺2056讓完成攝像的基板2002輸向下道工序。
另一方面，當(dāng)被檢查體即基板2002的圖像數(shù)據(jù)存入各從屬PC2140a～140d的存儲器2141a～141d時，各從屬PC2140a～140d的解析單元2142a～142d對各個存入存儲器2141a～141d的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行解析，在其它的從屬PC2140a～140d上在檢查基板2002時進(jìn)行需要的數(shù)據(jù)交換(S18)。在S18在從屬PC2140a～140d間交換的數(shù)據(jù)包括例如表示作為設(shè)置在基板2002上的定位基準(zhǔn)的識別標(biāo)志的位置的數(shù)據(jù)、解析設(shè)置在基板2002上的條形碼等識別標(biāo)志得到的基板2002的系列號或在對有生產(chǎn)年月日等的數(shù)據(jù)的基板2002檢查時在從屬PC2140a～140d上應(yīng)能公用的數(shù)據(jù)(以下稱為‘公用數(shù)據(jù)’)、或利用第1攝像單元2030a及第2攝像單元2030b、第3攝像單元2030c以及第4攝像單元2030d拍攝的零件的圖像數(shù)據(jù)。
以下，邊參照圖20邊對所述的S18中圖像數(shù)據(jù)的解析/交換進(jìn)行說明。圖20A為舉例表示被檢查體、即基板2002的正面的俯視圖，以下對關(guān)于基板2002的正面的圖像數(shù)據(jù)的解析及公用數(shù)據(jù)的共享進(jìn)行說明。如圖20A所示，在基板2002上形成成為基板1002定位基準(zhǔn)的第1識別標(biāo)志2004a及第2識別標(biāo)志2004b。另外，在圖20A舉例示出的基板1002近似中央部位上安裝第1零件2006和第2零件2008使它們跨越正面一側(cè)攝像裝置2080a的第1攝像單元2030a的攝像范圍和第2攝像單元2030b攝像范圍。還有雖然圖中未示出，但在基板2002上設(shè)置記錄著各種數(shù)據(jù)的條形碼。
從圖20A可知基板2002的圖中左邊一半的區(qū)域由第1攝像單元2030a攝像，另一方面，圖中右邊一半的區(qū)域由第2攝像單元2030b攝像。因此，基板2002的第1識別標(biāo)志2004a由第1攝像單元2030a攝像，其圖像數(shù)據(jù)存入第1從屬PC2140a的存儲器2141a。另外，基板2002的第2識別標(biāo)志2004b由第2攝像單元2030b攝像，其圖像數(shù)據(jù)存入第2從屬PC2140b的存儲器2141b。通過這樣，與第1攝像單元2030a對應(yīng)的從屬PC2140a在解析存儲在存儲器2141a的圖像數(shù)據(jù)時，從識別標(biāo)志的圖像數(shù)據(jù)取得其位置數(shù)據(jù)。同樣，與第2攝像單元2030b對應(yīng)的從屬PC2140b在解析存儲在存儲器2141b的圖像數(shù)據(jù)時，從識別標(biāo)志的圖像數(shù)據(jù)取得其位置數(shù)據(jù)。然后，第1從屬PC2140a將第1識別標(biāo)志1004a的位置數(shù)據(jù)作為公用數(shù)據(jù)向其它從屬PC2140b、140c及140d發(fā)送，第2從屬PC2140b將第2識別標(biāo)志2004b的位置數(shù)據(jù)作為公用數(shù)據(jù)向其它從屬PC2140a、140c及140d發(fā)送。
其結(jié)果，在外觀檢查裝置2200上，即使基板2002在輸送軌2054上稍微傾斜、或基板2002的位置在掃描方向或輸送方向上稍些偏移設(shè)置，成為基板2002的定位基準(zhǔn)的第1識別標(biāo)志2004a及第2識別標(biāo)志2004b的位置數(shù)據(jù)作為公用數(shù)據(jù)在各從屬PC2140a～140d上共享，所以各從屬PC2140a～140d即使在對應(yīng)的攝像單元2030a～30d的攝像范圍不包括識別標(biāo)志，或者只包括識別標(biāo)志的一部分時，仍能掌握基板2002的位置或姿勢。
另一方面，從圖20A可知在正面一側(cè)攝像裝置2080a上，無論在第1攝像單元2030a和第2攝像單元2030b的任何一個上，都如未發(fā)生不能攝像的區(qū)域那樣，規(guī)定第1攝像單元2030a的攝像范圍和第2攝像單元2030b的攝像范圍在圖20A上，如用雙點劃線表示的那樣部分重復(fù)。同樣，在反面一側(cè)攝像裝置2080b上，規(guī)定第3攝像單元2030c的攝像范圍和第4攝像單元2030d的攝像范圍部分重復(fù)。這里，以正面一側(cè)攝像裝置2080a為例進(jìn)行說明，如圖20B所示，第1攝像單元2030a的攝像范圍從基板2002的圖中左端起至稍過基板2002的掃描方向上的中心線的圖中右邊為止。與此相反，第2攝像單元2030b的攝像范圍從基板2002的圖中右端起至稍過基板2002的掃描方向上的中心線的圖中左邊為止。
而且，在本實施方式中，對于如在圖20A等舉例示出的第1零件2006或第2零件2008那樣，跨越多個攝像單元2030的攝像范圍配置的基板2002上的零件，規(guī)定為由與攝像范圍內(nèi)包括該零件中心部位在內(nèi)的攝像單元1030對應(yīng)的從屬PC1140進(jìn)行檢查。即由圖20A等可知，第1零件2006其中心部位屬于第1攝像單元2030a的攝像范圍，所以對第1零件2006的檢查由與第1攝像單元2030a對應(yīng)的作為檢查單元的第1從屬PC2140a執(zhí)行。與此相反，第2零件2008其中心部位屬于第2攝像單元2030b的攝像范圍，所以對第2零件2008的檢查由與第2攝像單元2030b對應(yīng)的作為檢查單元的第2從屬PC2140b執(zhí)行。
這時，從圖20B可知在利用與第1攝像單元2030a對應(yīng)的第1圖像處理單元2130a將圖像數(shù)據(jù)存入從屬PC2140a的存儲器2141a的時刻，從屬PC2140a就不保持其檢查對象即第1零件2006全部圖像數(shù)據(jù)。同樣，在利用與第2攝像單元2030b對應(yīng)的第2圖像處理單元2130b將圖像數(shù)據(jù)存入從屬PC2140b的存儲器2141b的時刻，從屬PC2140b就不保持其檢查對象即第2零件2008全部圖像數(shù)據(jù)。
因此，各從屬PC2140a～140d在執(zhí)行圖像數(shù)據(jù)的解析中，當(dāng)識別未成為自己的檢查對象的零件的圖像數(shù)據(jù)時，對承擔(dān)當(dāng)該零件的檢查的從屬PC2140a～140d(或其它的所有從屬PC2140)發(fā)送該圖像數(shù)據(jù)。即，在圖20的例子的基礎(chǔ)上，第1從屬PC2140a的存儲器2141a就包含第2零件2008的部分圖像數(shù)據(jù)，所述的第2零件2008的圖像數(shù)據(jù)從第1從屬PC2140a送給承擔(dān)第2零件2008的檢查的第2從屬PC2140b，第2從屬PC2140b將該圖像數(shù)據(jù)存儲在存儲器2141b。另外，第2從屬PC2140a的存儲器2141b包含第1零件2006的部分圖像數(shù)據(jù)，所述的第1零件2006的圖像數(shù)據(jù)從第2從屬PC2140b送給承擔(dān)第1零件2006的檢查的第1從屬PC2140a，第1從屬PC2140a將該圖像數(shù)據(jù)存儲在存儲器2141a。這樣，從屬PC2140a及從屬PC2140b如圖20C所示，取得自己承擔(dān)檢查的零件缺失的圖像數(shù)據(jù)。
如上所述，當(dāng)結(jié)束圖像數(shù)據(jù)的解析/交換時，各從屬PC2140a～140d的解析單元2142a～1142d分別利用存在數(shù)據(jù)庫2143a～143d的檢查數(shù)據(jù)，檢查自己承擔(dān)的基板2002的區(qū)域(S20)。這里，外觀檢查裝置2200中，作為檢查是否合格的判定基準(zhǔn)的檢查數(shù)據(jù)，對于裝在被檢查體、即基板2002上的IC芯片或連接器等各種零件與正面一側(cè)攝像裝置2080a和反面一側(cè)攝像裝置2080b的攝像方向?qū)?yīng)分別準(zhǔn)備多個。
即，以往的外觀檢查裝置中，基本上沒有對基板正反面同時進(jìn)行檢查，所以在外觀檢查裝置上，不必根據(jù)攝像單元的攝像方向相應(yīng)識別流動、DIP或手工焊接等‘焊接形式’。與此相反，本實施方式的外觀檢查裝置2200中，為了同時檢查被檢查體即基板2002的正反面，對裝在基板2002上的各零件正面用檢查數(shù)據(jù)和反面用檢查數(shù)據(jù)至少準(zhǔn)備一個。正面用檢查數(shù)據(jù)和反面用檢查數(shù)據(jù)由在檢查中表示為合格的‘焊接形狀’等的圖像數(shù)據(jù)及數(shù)值數(shù)據(jù)組成，分別具有根據(jù)與零件對應(yīng)的焊盤的形狀，相應(yīng)識別流動、DIP或手工焊接等‘焊接形式’用的識別符。
關(guān)于各零件正面用檢查數(shù)據(jù)，存儲在與正面一側(cè)攝像裝置2080a對應(yīng)的從屬PC2140a及140b中的、承擔(dān)該零件的檢查的單元的數(shù)據(jù)庫2143a或143b中，關(guān)于各零件反面用檢查數(shù)據(jù)，存儲在與反面一側(cè)攝像裝置2080b對應(yīng)的從屬PC2140c及140d中的，承擔(dān)該零件的檢查的單元的數(shù)據(jù)庫2143c或143d中。但存儲在承擔(dān)基板2002正面檢查的從屬PC2140a及140b的數(shù)據(jù)庫2143a或143b中的正面用檢查數(shù)據(jù)可以為同一數(shù)據(jù)。同樣，存儲在承擔(dān)基板2002反面檢查的從屬PC2140c及140d的數(shù)據(jù)庫2143c或143d中的反面用檢查數(shù)據(jù)可以為同一數(shù)據(jù)。
通過這樣，外觀檢查裝置2260中，通過利用這些正面用及反面用檢查數(shù)據(jù)、以及正面一側(cè)攝像裝置2080a和反面一側(cè)攝像裝置2080b得到的基板2002的圖像數(shù)據(jù)，能同時在幾個方向上即從正面一側(cè)和反面一側(cè)，對在正面一側(cè)有反流面同時在反面一側(cè)有DIP面的基板2002高精度地進(jìn)行檢查。還有，上述正面用及反面用檢查數(shù)據(jù)，可以分別逐個地輸入各從屬PC2140a～140d的數(shù)據(jù)庫2143a～143d。另外，所有正面用及反面用檢查數(shù)據(jù)，可以一齊輸入主PC2160，各從屬PC2140a～140d也可以從主PC2160取得自己所要的檢查數(shù)據(jù)。
這樣，外觀檢查裝置2200中，各從屬PC2140a～140d解析存儲在存儲器2141a～141d的圖像數(shù)據(jù)，共享該結(jié)果得到的識別標(biāo)志、條形碼、或其它檢查所要的數(shù)據(jù)即公用數(shù)據(jù)，同時還相互交換檢查所需的圖像數(shù)據(jù)。然后，各從屬PC2140a～140d利用公用數(shù)據(jù)、圖像數(shù)據(jù)、及存入各數(shù)據(jù)庫2143a～143d的檢查數(shù)據(jù)分別對被檢查體、即基板2002進(jìn)行檢查。
上述各從屬PC2140a～140d的動作實質(zhì)上和生物細(xì)胞的行為一樣，即所有細(xì)胞具有相同的遺傳因子，按照某個觸動只選與自己有關(guān)的指令執(zhí)行。將該思想用于本實施方式中，上述的公用數(shù)據(jù)相當(dāng)于遺傳因子，上述的從屬PC2140a～140d相當(dāng)于細(xì)胞。而且，本實施方式中，主PC2160將檢查部位或內(nèi)容分配給各從屬PC2140a～140d，各從屬PC2140自主地處理圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行檢查，代替指示。其結(jié)果，外觀檢查裝置2200中，將對基板2002的檢查分?jǐn)偨o多個從屬PC2140a～140d讓它們承擔(dān)，提高對基板2002的檢查精度，同時還能縮短檢查時間。
當(dāng)S20的檢查完成時，各從屬PC2140a～140d應(yīng)相互共享檢查結(jié)果，向其它的從屬PC2140及主PC2160發(fā)送表示各自檢查結(jié)果的數(shù)據(jù)(S22)。另外，存在各從屬PC2140a～140d的存儲器2141a～141d中的識別標(biāo)志的位置數(shù)據(jù)等公用數(shù)據(jù)也發(fā)給主PC2160。而且主PC2160的顯示控制單元2165按照來自CPU的指令，根據(jù)預(yù)先輸入的基板2002的CAD數(shù)據(jù)、或從各從屬PC2140a～140d收到的數(shù)據(jù)，將關(guān)于被檢查體、即基板2002的檢查結(jié)果在顯示器2170的畫面2171上顯示出來(S24)。
圖21為舉例表示在顯示器2170的畫面2171上顯示的檢查結(jié)果的模式圖。如圖中所示，本實施方式的外觀檢查裝置2200中，利用顯示控制單元2165能在顯示器2170的畫面2171上同時顯示對被檢查體、即基板2002正面的檢查結(jié)果及對被檢查體、即基板2002反面的檢查結(jié)果。另外，顯示控制單元2165，如圖21所示，能將各從屬PC2140a～140d的檢查結(jié)果、判定為不合格的部位(零件)以能和合格部位明確地識別出來的形式在畫面2171上顯示。通過這樣，用戶即使不特意地操作鼠標(biāo)等，也能同時掌握被檢查體正面和反面的檢查結(jié)果。這樣，利用外觀檢查裝置2200在快速對被檢查體、即基板2002的正反兩面進(jìn)行檢查后，能同時向用戶提供基板002正面及反面的檢查結(jié)果，所以更加便于用戶的使用。
還有，在被檢查體有圖22中舉例表示的縫紉孔或V形槽2002a等在零件安裝后能切斷的形式的基板2002A時，各從屬PC2140a～140d的檢查結(jié)果以如圖23所例示的形式可在顯示器2170的畫面2171上顯示出來。即，如圖22所示，在零件安裝后，對分成No.2001～NO.2004四個區(qū)域的基板2002A，各從屬PC2140a～140d的檢查結(jié)果例如在判定區(qū)域No.2004的正反面存在不良部位的情況下，主PC2160的顯示控制單元2165就在顯示器2170的畫面2171上只顯示包括不良部位在內(nèi)的區(qū)域No.2004的正反面。這樣，作為檢查手段的各從屬PC2140a～140d的檢查結(jié)果，即使作為顯示手段的顯示器2170只顯示存在不良部位的被檢查體、即基板2002A的區(qū)域的正反面，也能極大地便于用戶的使用。
如上所述，當(dāng)在顯示器2170上顯示各從屬PC2140a～140d的檢查結(jié)果時，主PC2160判定是否存在同種的被檢查體(S26)，在判斷出同種即要檢查和檢查結(jié)束的基板2002相同厚度的基板2002的情況下(S2026中的Yes)，再次進(jìn)行S2014～S24的處理。另外，主PC2160在判斷不存在同種的被檢查體的情況下(S2026中的No)，使外觀檢查裝置2200的檢查結(jié)束。
以上，對實施本實施方式用的合適的實施例進(jìn)行了說明，但本實施方式不限于上述的實施例，當(dāng)然根據(jù)從事這項技術(shù)的人員的知識可以作各種改進(jìn)或變更，但這些變形例均包括在本實施方式的范圍內(nèi)。以下，舉例表示這些變形例。
即，各攝像單元2030a～30d可以不是利用線狀傳感器2034a～34d掃描被檢查體即基板2002，而是利用CCD傳感器等依次對規(guī)定范圍的圖像掃描。即使采用這樣的構(gòu)成，也能容易地對基板2002的圖像攝像。
另外，可以在基板2002的正面一側(cè)、即基板2002的上方，以及基板2002的反面一側(cè)、即基板2002的下方，各設(shè)一組攝像單元2030及與其對應(yīng)的從屬PC2140。通過這樣，能減少攝像單元2030及從屬PC2140的數(shù)量，降低成本。此時，由于上述公用數(shù)據(jù)在檢查基板2002正面的從屬PC2140和檢查基板2002反面的從屬PC2140之間收發(fā)，所以，例如即使在基板2002一面的面上沒有識別標(biāo)志等，只要在另一面的面上有識別標(biāo)志，就能利用其位置數(shù)據(jù)，通過這樣，能簡化基板2002的構(gòu)成。
再有，在將基板2002固定好的狀態(tài)下，可以移動照明單元2100或包括攝像單元2030在內(nèi)的攝像裝置2080。由此，在對基板2002攝像時，能以穩(wěn)定地保持基板2002的狀態(tài)實現(xiàn)攝像裝置2080和基板2002間的相對移動。
另外，上述的公用數(shù)據(jù)從從屬PC2140發(fā)送到主PC2160后，主PC2160也可以向各從屬PC2140發(fā)送。通過這樣，能容易地實現(xiàn)各從屬PC2140和主PC2160共享公用數(shù)據(jù)。
再有，上述實施方式中，只在正面一側(cè)攝像裝置2080a上設(shè)置對焦機構(gòu)，但根據(jù)被檢查體的形狀等，可以在正面一側(cè)攝像裝置2080a及反面一側(cè)攝像裝置2080b上都設(shè)置對焦機構(gòu)。
還有，上述實施方式中，對同時檢查被檢查體即基板2002正反面的步驟進(jìn)行了說明，但也可以在同時顯示被檢查體正反面檢查結(jié)果時，在別的工序中取得對被檢查體正面檢查的結(jié)果及對被檢查體反面檢查的結(jié)果。另外，被檢查體正面檢查的結(jié)果及對被檢查體反面檢查的結(jié)果中的任何一個，也可以由別的外觀檢查裝置來取得。
再有，在上述實施方式中，以由用戶輸入對焦所要的基板厚度的形式進(jìn)行說明，但不限于此。即可以將基板厚度信息預(yù)先做在被檢查體、即基板的條形碼上，在對該條形碼攝像·解析時進(jìn)行對焦。
而且，上述實施方式涉及的外觀檢查裝置當(dāng)然也能用于反流前檢查等。
權(quán)利要求
1.一種被檢查體的外觀檢查裝置，其特征在于，包括通過與被檢查體相對移動，掃描被檢查體一面的第1掃描單元；配置成夾著被檢查體與第1掃描單元對向，并通過與被檢查體的相對移動，掃描被檢查體另一面的第2掃描單元；以及使所述第1掃描單元及所述第2掃描單元與被檢查體相對移動的移動手段，所述移動手段在使被檢查體與所述第1掃描單元及所述第2掃描單元相對移動一次的移動工序中，所述第1掃描單元及所述第2掃描單元完成對被檢查體的掃描。
2.如權(quán)利要求1所述的被檢查體的外觀檢查裝置，其特征在于，所述第1掃描單元及所述第2掃描單元同步進(jìn)行一個掃描單位的執(zhí)行。
3.如權(quán)利要求1或2所述的被檢查體的外觀檢查裝置，其特征在于，包括為了所述第1掃描單元對被檢查體進(jìn)行掃描而對被檢查體照射光的第1照明手段；為了所述第2掃描單元對被檢查體進(jìn)行掃描而對被檢查體照射光的第2照明手段，所述第1照明手段及所述第2照明手段伴隨著一個掃描單位的執(zhí)行，同步進(jìn)行光的照射。
4.如權(quán)利要求3所述的被檢查體的外觀檢查裝置，其特征在于，所述第1照明手段及第2照明手段都具有對被檢查體照射多個入射角度的光的復(fù)合光源，所述第1照明手段及第2照明手段同步進(jìn)行光的照射時，還同時照射相同入射角度的光。
5.一種外觀檢查裝置，用于檢查被檢查體的外觀，其特征在于，包括攝像手段，該攝像手段具有能對所述被檢查體進(jìn)行攝像，根據(jù)所述被檢查體攝像方向的尺寸不改變圖像倍率并對所述被檢查體進(jìn)行對焦的對焦機構(gòu)。
6.如權(quán)利要求5所述的外觀檢查裝置，其特征在于，所述對焦機構(gòu)根據(jù)所述被檢查體的厚度，相應(yīng)改變與所述被檢查體間的焦距。
7.如權(quán)利要求5或6所述的外觀檢查裝置，其特征在于，所述攝像手段包括對所述被檢查體的正面進(jìn)行攝像的正面一側(cè)攝像手段；以及對所述被檢查體的進(jìn)行反面攝像的反面一側(cè)攝像手段，所述正面一側(cè)攝像手段和所述反面一側(cè)攝像手段中，至少任一個手段具有所述對焦機構(gòu)。
8.一種外觀檢查裝置，用于檢查被檢查體的外觀，其特征在于，包括顯示對所述被檢查體的檢查結(jié)果的顯示手段；以及在所述顯示手段上同時顯示對所述被檢查體正面的檢查結(jié)果與對所述被檢查體反面的檢查結(jié)果的結(jié)果顯示控制手段。
9.如權(quán)利要求8所述的外觀檢查裝置，其特征在于，還包括對所述被檢查體的正面進(jìn)行攝像的正面一側(cè)攝像手段；與所述正面一側(cè)攝像手段對應(yīng)設(shè)置，并根據(jù)利用所述正面一側(cè)攝像手段得到的所述被檢查體的圖像數(shù)據(jù)，對被檢查體進(jìn)行檢查的正面一側(cè)檢查手段；對所述被檢查體的反面進(jìn)行攝像的反面一側(cè)攝像手段；以及與所述反面一側(cè)攝像手段對應(yīng)設(shè)置，并根據(jù)利用所述反面一側(cè)攝像手段得到的所述被檢查體的圖像數(shù)據(jù)，對被檢查體進(jìn)行檢查的反面一側(cè)檢查手段，所述結(jié)果顯示控制手段從所述正面一側(cè)檢查手段及反面一側(cè)檢查手段的各手段接受檢查結(jié)果，在所述顯示手段上同時顯示對所述正面的檢查結(jié)果和對所述反面的檢查結(jié)果。
10.如權(quán)利要求9所述的外觀檢查裝置，其特征在于，所述正面一側(cè)攝像手段和所述反面一側(cè)攝像手段能實質(zhì)上同時地對所述被檢查體進(jìn)行攝像。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種被檢查體的外觀檢查裝置，其目的在于縮短基板等被檢查體的檢查時間。在基板(2)的外觀檢查裝置上，第1攝像單元(30a)及第2攝像單元(30b)通過與基板(2)作相對運動，從而對基板(2)的一面進(jìn)行掃描。第3攝像單元(30c)及第4攝像單元(30d)配置成夾著基板(2)與第1攝像單元(30a)及第2攝像單元(30b)對向，通過與基板(2)作相對運動，從而對基板(2)的另一面進(jìn)行掃描。基板輸送電動機(58)使攝像單元(30)的各單元與基板(2)相對移動。在基板輸送電動機(58)使攝像單元(30)的各個單元與基板(2)相對移動的一次的移動工序中，攝像單元(30)的各個單元完成對基板(2)的掃描。
文檔編號G01B11/24GK1808058SQ20051000355
公開日2006年7月26日 申請日期2005年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月24日
發(fā)明者秋山吉宏 申請人:株式會社先機