專利名稱：焦點檢測單元和使用其的折射率測定裝置與非接觸溫度計的制作方法
技術領域：
本發明涉及焦點檢測單元和使用其的折射率測定裝置與非接觸溫度計。
背景技術：
作為以往的折射率測定裝置，已提出了例如在特開2000-28526號中所記載的折射率測定裝置。
而且，作為以往的非接觸溫度計，已提出了例如特公平5-66976號中所記載的非接觸溫度計。
即，特開2000-28526號中公開了一種利用陣列波導光柵型波長合分波器(下面稱為AWG)的液體折射率測定器。在該液體折射率測定器中，對來自光源40的光，在槽30中沒有液體時，由頻譜分析儀檢測出中心波長λC0。另一方面，在槽30中填充了液體時，由于僅產生液體的折射率大小的相位調制，因此檢測出中心波長λC1。通過求出該頻譜分析儀檢測出的頻譜的中心波長λC0、λC1，可以計算出槽中填充的液體的折射率。
此外，特公平5-66976號中公開的非接觸溫度計對環境溫度進行測定。這里，利用了如下現象形成有衍射光柵的石英基板由于熱膨脹而變形，衍射光柵的光柵常數隨之發生變化。
但是，由于AWG依賴于使用的波長，因此很難測定寬波長范圍的折射率。此外，AWG、頻譜分析儀非常昂貴。
因此，在使用特開2000-28526號中公開的AWG的折射率測定器中，難以以低價格實現寬范圍的波長測定。
此外，石英基板的熱膨脹系數非常小，在4×10-5左右。因此，由溫度變化引起的光斑(spot)位置P的變化量ΔP之比低至4×10-5左右。因此，在專利文獻2公開的溫度計中，只能得到5℃左右的分辨率。
并且，以往，在每次測定折射率、測定環境溫度時，使用上述的特開2000-28526號、特公平5-66976號中記載的各個測定裝置，因此測定裝置的成本提高，而且還出現容納測定裝置的地方增多等的問題。
發明內容
本發明是針對上述問題而提出的，目的是提供一種容易地測定折射率、溫度等不同的物理量的單元。
此外，目的是提供一種與以往相比，能夠以低價格測定寬波長范圍的折射率的折射率測定裝置、能夠高精度地測定溫度的非接觸溫度計。
另外，目的是提供一種能夠簡單地進行這些折射率測定和非接觸溫度測定的切換的裝置。
為了達到上述目的，本發明的焦點檢測單元的特征在于，具有光源單元，其射出準直光；被測光學單元，其具有形成了保持光學部件和液體的空間的透明容器；照射單元，其具有衍射光學元件，并配置在上述光源單元與上述被測光學單元之間；光斑位置檢測部件，其配置在上述被測光學單元的后側焦平面附近；運算部件，其使用經上述光斑位置檢測部件檢測出的光斑位置，計算上述被測光學單元中的透鏡與液體的合成焦點距離。
本發明的折射率測定裝置的特征在于，具有上述焦點檢測單元；和計算上述光學元件和上述液體中的任意一個的未知的折射率的折射率計算部件，上述折射率計算部件根據上述合成焦點距離、上述光學元件和上述液體中的任意一個的已知的折射率，計算上述未知的折射率。
本發明的非接觸溫度計的特征在于，具有上述焦點檢測單元和溫度計算部件，上述溫度計算部件根據上述合成焦點距離、上述光學元件的折射率和上述液體的折射率，計算被測光學單元周圍的溫度。
根據本發明，可高精度并且簡單地得到由透鏡等光學元件和液體構成的單元的合成焦點距離。此外，通過組合焦點檢測單元和折射率計算處理或溫度計算處理，可以用1個焦點檢測單元，簡單地進行高精度的折射率測定和非接觸溫度測定的切換。而且，如果采用本發明的焦點檢測單元的結構，則可以不使用以往折射率測定中必要的AWG、頻譜分析儀。因此，如果采用本發明的焦點檢測單元的結構，則可大幅度降低進行折射率測定和非接觸溫度測定時的成本。
并且，根據使用本發明的焦點檢測單元的折射率測定裝置，將來自光源單元的準直光照射到上述被測光學單元上的照射部件，不象以往的AWG等那樣限制使用的波長范圍。因此，可進行寬波長范圍(可見光區域～通信波長區域)的折射率測定。
此外，根據使用本發明的焦點檢測單元的非接觸溫度計，根據被測光學單元的合成焦點距離來計算被測光學單元周圍的溫度。因此，與以往的根據溫度變化率小的玻璃的焦點距離來計算溫度的情況相比，能以10～100倍以上的高精度進行計算。
從下面結合附圖對優選實施例的具體描述中，本發明的這些特征和優點將更加清楚。
圖1是本發明的實施例1的焦點檢測單元的概略結構圖；圖2是實施例1的焦點檢測單元的部分斜視圖；圖3是對實施例1的焦點檢測單元中的被測光學單元的合成焦點距離進行測定的原理說明圖；圖4是表示實施例1的焦點檢測單元中在被測光學單元3的后側焦平面FB附近各衍射光的光強度相對于光斑位置的分布的曲線；圖5是圖1的光斑位置檢測部件的局部放大圖；圖6是用于對計算光學單元的合成焦點距離的計算進行說明的說明圖；圖7A和7B是實施例1的焦點檢測單元中的被測光學單元的變形例的平面圖和側面圖；圖8是本發明的實施例2的焦點檢測單元的概略結構圖；圖9是使用實施例3的焦點檢測單元的非接觸溫度計的概略結構圖；圖10是表示作為實施例2的被測光學元件中使用的液體的水、酒精、丙酮的折射率相對于溫度而變化的曲線；圖11是表示實施例2的焦點檢測單元中的被測光學單元的合成焦點距離相對于溫度而變化的曲線；圖12是表示折射率測定裝置的一個已有例子的概略結構圖。
具體實施例方式
首先，在說明實施例之前，說明本發明的作用效果。
如果采用本發明的焦點檢測單元的結構，可高精度地、容易地求出被檢查光學單元的合成焦點距離或光學元件的焦點距離。此外，根據本發明，通過在運算部件中組合折射率計算部件，可進行高精度的折射率測定。此外，通過組合溫度計算部件，可進行高精度的非接觸溫度測定。還有，可用1個焦點檢測單元，通過切換簡單地進行高精度的折射率測定和非接觸溫度測定。
而且，如果采用本發明的結構，則可以不使用以往折射率測定中必要的AWG、頻譜分析儀。因此，采用本發明的結構，可以大幅度降低進行折射率測定和非接觸溫度測定時的成本。
并且，根據使用本發明的焦點檢測單元的折射率測定裝置，照射單元將來自光源單元的準直光衍射并照射到被測光學單元上。因此，不象以往的AWG那樣限制使用的波長范圍，可進行寬波長范圍(可見光區域～通信波長區域)的折射率測定。
此外，根據使用本發明的焦點檢測單元的非接觸溫度計，根據被測光學單元的合成焦點距離、光學元件的折射率和液體的折射率來計算被測光學單元周圍的溫度。
已有技術(特公平5-66976號)的方法利用了由于石英基板的熱膨脹而使衍射光柵的光柵常數發生變化的現象。但是，由于石英基板的熱膨脹系數非常小，在4×10-5左右。因此，由溫度變化引起的光斑位置P的變化量ΔP之比低至4×10-5左右。正如在后面還要詳細描述的那樣，在使用包含液體的被測光學單元的本發明的非接觸溫度計中，被測光學單元包含液體的情況與不包含液體的情況相比，被測光學單元的焦點距離的溫度變化率增大10～100倍左右。光斑位置的變化與焦點距離成比例，因此與以往的方法相比，能以10～100倍以上的高精度計算溫度。
下面使用
本發明的實施例。
實施例1圖1是本發明的實施例1的焦點檢測單元的概略結構圖。圖2是實施例1的焦點檢測單元的局部斜視圖。
實施例1的焦點檢測單元具有射出平行光束的光源單元1、由衍射光柵21構成的偏轉單元2、圓柱透鏡34、被測光學單元3、光斑位置檢測部件4和運算部件5。
將衍射光柵21配置成將入射光束衍射到y方向上的狀態。
如圖2所示，被測光學單元3具有玻璃小室(glass cell)31。并且，可在其內部填充液體32并配置棒狀透鏡33。此外，圖2的例子中，棒狀透鏡33僅在y方向上具有光學倍率。因此，本實施例中，在光路中配置有在X方向上具有倍率的圓柱透鏡34。通過這種結構，使來自被測光學單元3的光聚光并形成點狀光。
光斑位置檢測部件4配置在被測光學單元3的后側焦平面FB附近。并且，具有針孔41、透鏡42、光電元件43、工作臺44、自動驅動元件45和控制裝置46。針孔41配置在后側焦平面FB附近。工作臺44保持著針孔41、透鏡42和光電元件43。自動驅動元件45使工作臺44在與光軸垂直的方向(箭頭方向)上移動。控制裝置46控制自動驅動元件45的驅動。在這種結構中，向被測光學單元3照射的準直光透過被測光學單元3。然后，該光經過針孔41、透鏡42，在光電元件43上形成光斑。因此，通過光斑位置檢測部件4可檢測出光斑位置。
運算部件5可計算棒狀透鏡33和液體32的合成焦點距離。在進行該計算時，使用經光斑位置檢測部件4檢測出的光斑位置。
接著，使用圖3說明測定被測光學單元3的合成焦點距離的原理。
在本實施例中，偏轉單元2由衍射光柵21構成。從光源單元1射出的平行光束入射到衍射光柵21時，在y方向上產生多個衍射光。此外，為了簡單起見圖3中僅表示出0次衍射光和±1次衍射光。
各衍射光經被測光學單元3會聚在后側焦平面FB附近。如上所述，圖3的例子中，被測光學單元3僅在y方向上具有倍率。因此，作為圓柱透鏡34，使用在x方向上具有倍率的透鏡。
其結果是在后側焦平面FB附近產生各衍射光的光斑。圖4是表示各衍射光的光強度相對于光斑位置的分布的曲線。該光斑位置是被測光學單元3的后側焦平面FB附近。圖4中，p表示0次衍射光的光斑與±1次衍射光的光斑的間隔。
接著說明根據各衍射光的光斑間隔p求出被測光學單元3的合成焦點距離的方法。通過運算部件5進行合成焦點距離的計算。
設衍射光柵的空間頻率為s、從光源單元1射出的光的波長為λ，則0次衍射光與±1次衍射光所成衍射角θ可用下面的式(1)表示。
θ＝sin-1sλ(1)設被測光學單元3的合成焦點距離為f，則±1次衍射光與0次衍射光的光斑間隔p(下面簡稱為間隔p)可如下式(2)表示。
p＝ftanθ (2)即，如果求出±1次衍射光的光斑位置，則可容易地從式(2)計算出被測光學單元3的合成焦點距離。
接著使用圖5說明光斑位置檢測部件4對各衍射光的光斑位置的測定。圖5是圖1的光斑位置檢測部件4的局部放大圖。
針孔41、透鏡42、光電元件43被固定在工作臺44上。此外，經控制裝置46驅動自動驅動元件45。由此，針孔41、透鏡42、光電元件43可同時在y方向上移動。
針孔41和光電元件43相對透鏡42為共軛關系。因此，透過針孔41的光由光電元件43接收。從而，由光電元件43檢測出針孔41位置處的光強度。此外，圖5中示出檢測出0次衍射光的狀態。
通過自動驅動元件45使工作臺44在與光軸垂直的方向(這里是y方向)順序移動。并且，在各光斑位置處，測定透過針孔41的光強度。這樣，如圖4所示，可得到光強度相對于工作臺移動量(光斑位置)的曲線。如上所述，圖中的間隔p表示0次衍射光和±1次衍射光的光斑間隔。
接著描述使用本實施例的焦點檢測單元的折射率測定裝置(下面簡稱為折射率確定裝置)。如上所述，在運算部件5中，求出被測光學單元3的合成焦點距離。因此，具有根據該被檢查光學單元3的合成焦點距離計算棒狀透鏡33或液體32的折射率的計算處理部件(程序)。從而，可實現發揮折射率測定裝置功能的結構。
該計算處理部件是折射率計算部件。其是與運算部件5獨立的運算部件。但是，也可以是運算部件5的一部分。對該折射率計算部件的、即用被測光學單元3的合成焦點距離計算棒狀透鏡33的折射率或液體32的折射率的步驟進行說明。
被測光學單元3的玻璃小室31是將平行平板粘貼而成的，不具有光學倍率。因此，被測光學單元3的合成焦點距離僅由棒狀透鏡33的形狀和折射率以及液體32的折射率決定。
使用圖6說明光學單元3的合成焦點距離的計算。此外，玻璃小室31是平行平板，不具有光學倍率。因此，幾乎不對合成焦點距離產生作用，因此這里可忽視掉。
設液體的折射率為N1，棒狀透鏡33的第一面的曲率半徑、第二面的曲率半徑、面間隔、折射率分別為r1、r2、d、N2。這樣，被測光學單元3的合成焦點距離f可用下式(3)表示。
1/f=(N2-N1)(1r1-1r2)+(N2-N1)2r1r2-dN2---(3)]]>如果利用該式(3)對液體32的折射率N1或棒狀透鏡33的折射率N2進行求解，則可分別用式(4)和式(5)表示。因此，在液體32的折射率N1未知的情況下，在式(3)中，如果事先求出N1以外的量，則可從式(4)計算出折射率。此外，在棒狀透鏡33的折射率N2未知的情況下，如果事先分別求出N2以外的量，則可從式(5.1)、(5.2)計算出折射率。
N1=N2--b+b2-4ac2a---(4)]]>a＝d/N2r1r2b＝(1/r1-1/r2)c＝-1/fN2=-B+B2-4AC2A,A≠0---(5.1)]]>N2=-CB,A=0---(5.2)]]>A＝d/r1r2+1/r1-1/r2B＝-N1(1/r1-1/r2)-2N1d/r1r2-1/fC＝N12d/r1r2通過該方法，給出求出的水的折射率和玻璃的折射率的結果。
首先，進行求出水的折射率的說明。
光源單元中配置有射出波長632.8nm的光的光源。因此，從波長632.8nm光源單元1射出波長632.8nm的準直光。偏轉部件2是衍射光學部件。具體來說，由具有10根/mm的光柵間隔的衍射光柵構成。此時，±1次衍射光的衍射角度為0.363°。
作為玻璃小室31，使用石英玻璃。棒狀透鏡33是市場銷售的棒狀透鏡。具體來說，曲率半徑r1＝2.499mm、r2＝-2.499mm、面間隔d＝4.998mm、折射率N2＝1.51509。此外，液體32使用水(N1＝1.33174)。
由自動驅動元件45移動工作臺44。此時，設以移動步幅0.1μm來移動工作臺44。這樣，求出圖4所示的各衍射光的光強度。接著，由運算部件5進行根據式(2)的運算。其結果是被測光學單元3的合成焦點距離f為f＝7.739±0.0056mm。根據該合成焦點距離使用式(4)計算水的折射率，則得到1.3317±0.00013。該結果非常接近文獻值1.33174。
假設棒狀透鏡33的玻璃折射率未知，從f＝7.739±0.0056mm和式(5)求出棒狀透鏡33的玻璃折射率。這樣，得到1.51505±0.00020。這是非常接近記載值1.51509的值。
這樣，本實施例的折射率測定裝置，在本實施例的焦點檢測單元中具有本方法的折射率計算部件。根據該折射率測定裝置，可正確測定透鏡、液體的折射率。
此外，在該折射率測定裝置中，不象以往例子的AWG那樣限制使用的波長范圍。因此，根據該折射率測定裝置，僅改變光源單元1就可測定寬波長范圍(可見光區域～通信波長區域)的折射率。此外，在測定折射率時，不需要進行象在已有例子的折射率測定裝置中在AWG上形成V槽那樣的透鏡加工。
還有，根據該折射率測定裝置，與已有例子的折射率測定裝置相比，由于不需要AWG、頻譜分析儀等高價光學元件和光學設備，因此可實現低價格。
此外，本實施例中，使用了棒狀透鏡33，但如圖7A和圖7B所示，也可以是旋轉對稱的透鏡330。在該情況下，透鏡330使用保持夾具35配置在玻璃小室內。在該情況下，也可以與使用棒狀透鏡33時同樣地測定透鏡330或液體32的折射率。此外，該情況下，透鏡330在xy方向具有倍率，因此來自被測光學單元3的光形成點狀光。從而不需要圓柱透鏡34。
此外，在透鏡的焦點距離測定中，在焦點距離短的情況下，出現精度降低的問題。其結果是在焦點距離短的情況下，難以根據焦點距離的測定來計算透鏡的折射率。但是，如本實施例1所示，通過浸入在液體32中，可使作為被測光學單元3的合成焦點距離比棒狀透鏡33和透鏡330單體的焦點距離長。因此，可進行正確的焦點距離測定，可以計算出折射率。
另外，如果棒狀透鏡33和透鏡330的焦點距離長，則不需要玻璃小室31、液體32。該情況下，也可以通過直接測定透鏡的焦點距離來計算折射率。
實施例2圖8是本發明的實施例2的焦點檢測單元的概略結構圖。
實施例2是實施例1的變形例，將攝像元件47用作光斑位置檢測部件4。將攝像元件47配置在被測光學單元3的后側焦平面FB附近時，得到圖8B的光斑圖案。運算部件5根據該各衍射光的光斑坐標求出光斑間隔p，計算被測光學單元3的合成焦點距離。此外，合成焦點距離計算以后的折射率計算處理與實施例1相同。
還有，優選攝像元件47使用CCD、CMOS傳感器等。還有，光斑位置檢測部件4也可以是PSD(位置檢測元件)。此時，可以設置為依次將光斑照射到PSD上的結構。
實施例3圖9是使用本發明的實施例3的焦點檢測單元的非接觸溫度計的概略結構圖。
實施例3的非接觸溫度計具有輸出平行光束的光源單元1、由衍射光柵21構成的偏轉單元2、被測光學單元3、光斑位置檢測部件4和運算部件5。
被測光學單元3采用了可在玻璃小室31內部填充液體32的結構。而且，采用了可以配置透鏡331、保持透鏡331的保持夾具(相當于圖7的保持夾具35，未示出)的結構。
光斑位置檢測部件4具有針孔41、透鏡42、光電元件43、工作臺44、自動驅動元件45和控制裝置46。針孔41配置在被測光學單元3的后側焦平面FB附近。工作臺44保持著針孔41、透鏡42和光電元件43。自動驅動元件45使工作臺44在與光軸垂直的方向上移動。控制裝置46控制自動驅動元件45。
在實施例3中，玻璃小室31、透鏡331、液體32的曲率半徑、面間隔、折射率全部已知。此外，液體32的折射率的溫度依賴性也已知。
將被測光學單元3配置在要求出內部溫度的環境6內部。并且，環境6具有內部可傳導光的透過平行平板61、62。
此外，作為運算部件5，設置有溫度計算部件。這里，溫度計算部件與運算部件5分開設置。通過該溫度計算部件，使用被測光學單元的合成焦點距離，求出環境6內部溫度。此外，溫度計算部件也可以組裝到運算處理部件5中。
接著，示出使用溫度計算處理部件以非接觸方式測定環境6內部溫度的步驟。
其中，假定環境6內部的全部部件都是相同溫度。
一般地，玻璃的折射率的溫度變化率約為10-6，而液體大2個數量級。圖10中表示出水、酒精、丙酮的折射率的溫度變化。這里，光源波長為589.3nm。
假定各自的折射率相對溫度幾乎成線性變化，則各自的折射率的溫度變化率為水1×10-4、酒精4×10-4、丙酮5.4×10-4。
這里，由于玻璃的折射率的溫度變化與液體相比很小，因此忽略玻璃的折射率的溫度變化。設溫度T時的液體32的折射率為N2(T)。這樣，根據式(3)，圖9的被測光學單元3的合成焦點距離f(T)如下面的式(3T)所示。
1/f(T)=(N2-N1(T))(1r1-1r2)+(N2-N1(T))2r1r2-dN2---(3T)]]>圖10中，設液體32使用折射率的溫度變化率最大的丙酮。并且，從式(3T)求出被測光學單元3的合成焦點距離。式(3T)的值如下所示。其中，折射率是波長為589.3nm時的值。
r1＝31.11mmr2＝∞d＝2.05mmN1(T)＝-5.4188×10-4T+1.3694N2(T)＝1.51626將上述值代入式(3T)，求出被測光學單元3的合成焦點距離的溫度變化，結果如圖11所示。可以知道如果以溫度20℃的焦點距離為基準，則10℃時產生+3.5％的變化、35℃時產生-5％的變化。
因此，如圖9所示，將被測光學單元3設置在要測定溫度的環境6內部，求出其合成焦點距離。這樣，可以從圖10的曲線求出環境6的內部溫度。此外，將圖10的曲線視為線性，用一次式進行近似。這樣，可得到式(6)的關系式。因此，也可以在該式(6)中代入被測光學單元3的合成焦點距離來求出溫度T。
f(T)＝-0.6672T+210.74(6)接著對溫度的測定精度進行說明。溫度的測定精度由被測光學單元3的合成焦點距離的測定精度決定。因此，首先說明合成焦點距離的測定精度。
圖9中，可根據0次衍射光和±1次衍射光的光斑間隔、光斑位置檢測部件4的自動驅動元件45的步幅之比，估計合成焦點距離的測定精度。設間隔p的測定誤差為Δp，根據式(2)，合成焦點距離f(T)的測定誤差Δf(T)可如式(2’)所示來表示。
Δf(T)＝Δp/tanθ (2’)此外，根據式(6)，可得到如下所示的合成焦點距離的測定誤差Δf(T)與溫度的誤差ΔT的關系。
ΔT＝-Δf(T)/0.6672 (6’)可以認為光斑位置檢測部件4的間隔p的測定誤差Δp與自動驅動元件45的步幅大致相同。最近，出現步幅約為0.1μm的市售工作臺，因此設該Δp＝0.1μm。而且，設光源單元1的光源波長為λ＝589.3nm、衍射光柵21空間頻率為10根/mm。這樣，根據式(2’)、(6’)，得到ΔT＝0.023℃的值。
已有例子的溫度的測定精度約為5℃。由此可知，根據使用實施例3的焦點檢測裝置的非接觸溫度計，可達到已有例子的200倍以上的精度。
此外，作為光斑位置檢測部件4，也可以象實施例2那樣使用攝像元件47。
另外，可以選擇性地將上述各實施例的焦點檢測單元和折射率計算處理部件或溫度計算處理部件進行組合。或者，上述各實施例的焦點檢測單元中，可以選擇性在運算裝置5中組合折射率計算處理部件和溫度計算處理部件。這樣，可以用1個焦點檢測單元，簡單地進行折射率測定和非接觸溫度測定的切換。
權利要求
1.一種焦點檢測單元，具有光源單元，其射出準直光；被測光學單元，其具有形成了保持光學部件和液體的空間的透明容器；偏轉單元，其具有衍射光學元件，并配置在上述光源單元與上述被測光學單元之間；光斑位置檢測部件，其配置在上述被測光學單元的后側焦平面附近；運算部件，其使用經上述光斑位置檢測部件檢測出的光斑位置，計算上述被測光學單元中的透鏡與液體的合成焦點距離。
2.根據權利要求1所述的焦點檢測單元，衍射光學部件具有1維的周期結構。
3.根據權利要求1所述的焦點檢測單元，上述光斑位置檢測部件具有針孔、透鏡和光檢測器，將上述針孔、上述透鏡和上述光檢測器配置成使上述針孔和上述光檢測器為共軛的位置關系。
4.根據權利要求2所述的焦點檢測單元，上述光斑位置檢測部件具有移動機構，該移動機構移動上述針孔、上述透鏡和上述光檢測器。
5.根據權利要求1所述的焦點檢測單元，上述光斑位置檢測部件具有光檢測器，該光檢測器自身可以檢測入射光的位置。
6.一種折射率測定裝置，具有權利要求1所述的焦點檢測單元；和計算上述光學元件和上述液體中的任意一個的未知的折射率的折射率計算部件，上述折射率計算部件根據上述合成焦點距離、上述光學元件和上述液體中的任意一個的已知的折射率，計算上述未知的折射率。
7.一種非接觸溫度計，具有權利要求1所述的焦點檢測單元和溫度計算部件，上述溫度計算部件根據上述合成焦點距離、上述光學元件的折射率和上述液體的折射率，計算被測光學單元周圍的溫度。
全文摘要
本發明提供一種焦點檢測單元和使用其的折射率測定裝置與非接觸溫度計，該焦點檢測單元具有射出準直光的光源單元；由具有透光性的容器和設置在該容器內的透鏡以及液體所構成的被測光學單元；將來自上述光源單元的光衍射并照射到上述被測光學單元的照射部件；配置在上述被測光學單元的后側焦平面附近、檢測通過透過上述被測光學單元所形成的光斑位置的光斑位置檢測部件；使用該光斑位置檢測部件檢測出的光斑位置計算上述被測光學單元的透鏡與液體的合成焦點距離的運算部件。
文檔編號G01N21/41GK1601244SQ20041007975
公開日2005年3月30日 申請日期2004年9月21日 優先權日2003年9月22日
發明者雙木滿 申請人:奧林巴斯株式會社