專利名稱：靜電電容型加速度傳感器及其制造方法
技術領域：
本發明涉及一種靜電電容型加速度傳感器及其制造方法。
背景技術：
加速度傳感器作為物理量的檢測裝置，被廣泛地應用于各種機械產業領域中，并且也被用作數字設備用的輸入裝置。根據檢測方向，加速度傳感器可分為1軸型和3軸型等，作為檢測形式，可以列舉壓阻型、壓電型、靜電電容型等。作為本發明的靜電電容型加速度傳感器，具有位移電極，或者在本身為金屬制成、作為共用電極的隔膜的一個表面接合重錘，在隔膜的兩側經由用于確保電極空間的墊片，層疊靜電電容檢測用的電極基板而構成。其作用是，借助于承受加速度的重錘所產生的慣性力，隔膜產生變形，由此隔膜和電極基板之間的靜電電容發生變化，所以能夠根據其靜電電容的變化來檢測出例如3軸方向的加速度。這樣的靜電電容型加速度傳感器在特開2000-249609等中被公開。
構成加速度傳感器的重錘的重量和力矩等因素對檢測靈敏度有較大影響，而且對傳感器的高度有影響。即，如果重錘的軸長較長，則傳感器的高度將增大。檢測靈敏度隨著力矩的增大而提高，所以使軸長變長，對于這一點是有好處的，但反之，將產生傳感器變高、難以滿足小型化要求的問題。
發明內容
本發明提供一種能夠確保檢測靈敏度，同時能夠降低傳感器高度、有效地實現小型化的靜電電容型加速度傳感器及其制造方法。
本發明的靜電電容型加速度傳感器，靜電電容檢測用電極基板夾著墊片而分別層疊在隔膜的兩側，在隔膜的一個表面上固定有重錘，該重錘穿過在與該一個表面相向的一個電極基板上形成的通孔，其特征在于，重錘具有軸部，該軸部穿過一個電極基板的通孔，并被固定在隔膜上；以及頭部，該頭部配置在一個電極基板的外表面側，其直徑比通孔大。
本發明的重錘具有軸部和頭部，軸部穿過一個電極基板的通孔，并被固定在隔膜上，頭部的直徑比通孔的大，所以其直徑比軸部的大，并被配置在一個電極基板的外表面側。頭部形成為扁平狀，從而與單純為圓柱狀的重錘相比，在重量相同的情況下，顯著地降低了其高度，因此，可以確保檢測靈敏度，同時抑制了傳感器本身的高度，從而能夠實現小型化。
本發明的重錘包括這樣的形式，即頭部上與隔膜相向的部分，形成為圓錐狀，該圓錐狀隨著從軸部側的內周部向外周部，逐漸遠離隔膜。在該形式中，在重錘承受加速度，隔膜發生變形，重錘隨之發生傾斜運動時，可以有效地防止頭部與隔膜的干涉。
此外，還可以列舉使軸部和頭部分體形成，在制造工序的中間或最終階段將兩者固定在一起的形式。在該情況下，通過使頭部比軸部重，可以增大力矩，提高檢測靈敏度。為了增大力矩，在材質相同的情況下，可以采用使頭部的體積比軸部的大的方法，除此之外，還可以列舉使兩者的材質不同，使頭部的材質的比重比軸部的材質的比重大的方法。例如，用樹脂制造軸部，用金屬制造頭部，即使同樣用金屬制造，通過用不銹鋼制造軸部，用黃銅制造頭部，也可以使頭部比軸部重。
本發明的靜電電容型加速度傳感器的制造方法，該靜電電容型加速度傳感器的靜電電容檢測用電極基板夾著墊片而分別層疊在隔膜的兩側，在隔膜的一個表面上固定有重錘，該重錘穿過在與該一個表面相向的一個電極基板上形成的通孔，其特征在于，重錘具有軸部，該軸部穿過通孔，并被固定在隔膜上；以及頭部，該頭部配置在一個電極基板的外表面側，其直徑比通孔大，在將該重錘固定在隔膜上時，使軸部穿過一個電極基板的通孔，然后將該軸部固定在隔膜上。
為了組裝采用本發明構成的加速度傳感器，即重錘固定在隔膜的一個表面，電極基板經由墊片而層疊在隔膜兩側的結構的加速度傳感器，曾采用了現有技術中的工序，即在將重錘接合在隔膜上之后，在隔膜兩側層疊墊片和電極基板。如果采用這樣的工序，為了層疊重錘側的電極基板，由于首先要將重錘固定在隔膜上，所以需要在電極基板上形成用于穿過重錘的通孔，使重錘穿過該通孔，然后進行重疊。但是，如果如本發明的重錘那樣，具有軸部和直徑比該軸部大的頭部，則通孔的直徑需要比頭部的大。因此，形成有該通孔的電極基板的檢測電極的面積本身變小，由此會導致檢測靈敏度下降的問題。
因此，如本發明的制造方法那樣，在將重錘固定在隔膜上時，使軸部穿過一個電極基板的通孔，然后將該軸部固定在隔膜上，這樣，只要將通孔的直徑設定為可穿過軸部的尺寸即可。因此，不必將穿過重錘的通孔擴大為使頭部穿過的尺寸，其結果是，可以確保電極基板的檢測電極的面積，同時能夠確保檢測靈敏度。
作為上述本發明的制造方法的具體實施例，可以列舉這樣的工序，即使軸部穿過一個電極基板的通孔之后，將墊片、隔膜、墊片、另一個電極基板按照該順序層疊在該一個電極基板上。
此外，作為另一個具體實施例，可以列舉這樣的工序，即電極基板夾著墊片而分別層疊在隔膜的兩側，然后使重錘的軸部穿過一個電極基板的通孔，并將該軸部固定在隔膜上。在這樣的制造方法的情況下，如果在與隔膜的沒有固定重錘的表面相向的另一個電極基板的與隔膜對應的部分上，形成重錘固定運動作業用孔，利用該作業用孔來將重錘的軸部固定在隔膜上，則容易將軸部固定在隔膜上，所以是優選的。另外，作為軸部向隔膜的固定方法，其隨兩者的材質不同而不同，但可以列舉焊接、粘結、熔接等。
此外，本發明的制造方法的特征在于，使構成重錘的上述軸部和頭部分體形成，在將該重錘固定在隔膜上時，首先將軸部固定在隔膜上，接下來使電極基板夾著上述墊片而分別層疊在隔膜的兩側，然后將頭部固定在軸部上。采用該制造方法，可以獲得與上述制造方法同樣的作用效果。
在上述任意一種制造方法中，在對著隔膜的重錘軸部的固定部分上形成凸部，另一方面，在隔膜上形成用于確定該凸部嵌合位置的嵌合孔，在將軸部固定在隔膜上時，使凸部嵌合在嵌合孔中，由此，容易使重錘相對于隔膜定位。
圖1是在本發明第一實施方式的加速度傳感器上連接有電路基板的狀態的背面圖。
圖2是圖1的II-II剖視圖。
圖3是第一實施方式的隔膜的俯視圖。
圖4是第一實施方式的墊片的俯視圖。
圖5A和圖5B是第一實施方式的上側電極基板的內表面圖、外表面圖。
圖6A和圖6B是第一實施方式的下側電極基板的內表面圖、外表面圖。
圖7是第一實施方式的重錘的局部剖面側視圖。
圖8是第一實施方式的鉚釘的局部剖面側視圖。
圖9A～圖9F是按順序表示第一實施方式的加速度傳感器的檢測單元組裝工序的圖。
圖10A～圖10F是按順序表示本發明第二實施方式的加速度傳感器的檢測單元組裝工序的圖。
圖11A～圖1F是按順序表示本發明第三實施方式的加速度傳感器的檢測單元組裝工序的圖。
具體實施例方式
以下參照附圖，對本發明的實施方式進行說明。
(1)第一實施方式圖1是在第一實施方式的靜電電容型加速度傳感器1上連接有電路基板2的狀態的背面圖，圖2是圖1的II-II剖視圖。本實施方式的加速度傳感器1是檢測XYZ這3個方向的加速度的3軸型傳感器，如圖2所示，加速度傳感器1具有隔膜10、層疊在該隔膜10兩面上的墊片20、20和電極基板30、40、以及與該隔膜10接合的重錘50。這些部件是加速度檢測用的主要部件，它們構成了檢測單元1A。在以下的說明中，基于圖2所示的配置，根據需要，將電極基板30、40稱為上側電極基板30、下側電極基板40。
隔膜10由不銹鋼等具有導電性、并且可彈性變形的金屬制成的薄板構成，兼作獨立的共用電極，如圖3所示，形成為近似正方形狀。在隔膜10的中心，形成有重錘50定位用的榫接孔(嵌合孔)11。在該加速度傳感器1中，隔膜10的平面方向為XY平面，與隔膜10的平面方向正交、通過重錘50中心的軸為Z軸。在隔膜10的外周部，點對稱地形成有多個圓弧狀狹縫12。狹縫12最外周部分的內側構成為彈性變形部分，隔膜10與該彈性變形部分的中心接合。此外，在一對對角部的附近，形成有圓形的定位孔13。在四個角部附近的規定位置，形成有圓形的銷釘孔14，這些銷釘孔14中的幾個與狹縫12的最外周部分連通。
墊片20也是由不銹鋼等金屬制成的薄板構成的，如圖4所示，其外形為正方形狀，內側的孔21為近似圓形的框狀薄板。該墊片20層疊在隔膜10的兩面，在墊片20上形成圓形的定位孔23和銷釘孔24，在墊片20處于層疊狀態下，這些孔與隔膜10的定位孔13和銷釘孔14同心狀地對齊。
各電極基板30、40由絕緣性材料形成為正方形狀，具有足夠的剛性，在中心分別形成有圓形的中心孔31、41。上側電極基板30的中心孔31是用于使后述的重錘50的軸部52通過的孔，其孔徑被設定為限制重錘50傾斜運動的直徑。另一方面，下側電極基板40的中心孔41是在將重錘50焊接在隔膜10上時使用的作業用孔。這些電極基板30、40將隔膜10夾在中間而分別層疊在隔膜10的兩側。圖5A、圖5B分別示出了上側電極基板30內表面(與隔膜10相向的表面)和外表面，圖6A、圖6B分別示出了下側電極基板40內表面和外表面。
如圖5A所示，在上側電極基板30內表面，形成有被點對稱地圖案化的檢測電極32。檢測電極32分為用于檢測X方向位移的X方向檢測電極、用于檢測Y方向位移的Y方向檢測電極、用于檢測Z方向位移的Z方向檢測電極。另一方面，如圖5B所示，在其外表面，與檢測電極32對應，形成有被圖案化為適當形狀的多個布線電極33。作為布線電極33，除了與內表面的X方向檢測電極、Y方向檢測電極、Z方向檢測電極對應的電極之外，還形成有接地用的電極。此外，如圖6A、圖6B所示，在下側電極基板40的內表面和外表面上，同樣形成有多個檢測電極42和多個布線電極43。在每個電極基板30、40上，對應的檢測電極和布線電極(檢測電極32和布線電極33、檢測電極42和布線電極43)分別由導通孔34、44導通。
在各電極基板30、40上，分別形成有銷釘孔35、45，在各電極基板30、40層疊在隔膜10上的狀態下，這些銷釘孔與隔膜10和墊片20的定位孔13、23和銷釘孔14、24同心狀地對齊。并且，在各電極基板30、40外表面上的銷釘孔35、45的周圍，作為布線電極33、43圖案的一部分，分別形成有環狀的端子33a、43a。銷釘孔35、45的直徑被設定為與上述定位孔13、23的直徑相同。另外，這些端子33a、43a和各電極32、33、42、43是通過例如對銅箔進行蝕刻處理而形成的。
重錘50是由不銹鋼等金屬制成的，如圖7所示，圓盤狀的頭部51和從該頭部51一個表面的中心開始正交并延伸的圓柱狀軸部52形成一個整體，呈近似蘑菇型。頭部51的軸部52一側形成為圓錐狀，該圓錐部51a的厚度約為頭部51整體厚度的1/2。在軸部52的端部，形成有用于與隔膜10的榫接孔11嵌合的榫部(凸部)52b。軸部52的直徑具有比電極基板30、40的中心孔31、41直徑小的尺寸，頭部51的直徑具有比中心孔31、41的直徑足夠大的尺寸。
上述隔膜10、兩個墊片20和兩個電極基板30、40如圖2所示層疊，被具有導電性的鉚釘60彼此固定在一起。鉚釘60如圖8所示，在鍔部61的兩側形成有長銷釘部62和短銷釘部(延長部)63，長銷釘部62的端部形成為圓筒狀，在這里形成鉚接部62a。各銷釘部62、63的外徑相同，被設定為幾乎可無間隙地嵌合在隔膜10和墊片20的定位孔13、23以及各電極基板30、40的銷釘孔35、45中的尺寸。
以下參照圖9A～圖9F，對層疊隔膜10、兩個墊片20和電極基板30、40，使用鉚釘60將它們固定在一起，然后將重錘50接合在隔膜10上，從而獲得檢測單元1A的工序進行說明。
首先，在內表面朝上的上側電極基板30上重疊墊片20，然后在墊片20上重疊隔膜10(圖9A～圖9C)。接下來，在隔膜10上重疊墊片20，然后在墊片20上重疊內表面朝下的下側電極基板40(圖9D～圖9E)。在與隔膜10和墊片20的定位孔13、23對應的、對角兩處的下側電極基板40的銷釘孔45中插入鉚釘60的長銷釘部62，然后使長銷釘部62穿過墊片20、隔膜10、墊片20的各定位孔13、23、13以及上側電極基板30的銷釘孔35，直到鍔部61與下側電極基板40的外表面接觸。這樣，通過使2根鉚釘60貫穿對角部分，隔膜10、兩個墊片20和電極基板30、40成為彼此位置固定的層疊體。另外，在該工序中，也可以首先使鉚釘60穿過上側電極基板30的銷釘孔35，然后按順序貫穿墊片20等而組裝層疊體。
接下來，如圖2所示，使貫穿了上述層疊體的2根鉚釘60的鍔部61保持與下側電極基板40外表面接觸的狀態，將從上側電極基板30外表面突出的鉚接部62a壓扁，從而借助于鉚釘60而將層疊體鉚接固定。接著，從下側電極基板40的剩余的銷釘孔45，將鉚釘60同樣插入處于對齊并形成1個孔狀態的墊片20、隔膜10、墊片20的定位孔23、13、23以及上側電極基板30的銷釘孔35中。然后，如圖2所示，對壓扁的鉚接部62a和上側電極基板30的端子33a、鍔部61和下側電極基板40的端子43a分別進行錫焊，從而使由隔膜10、兩個墊片20和各電極基板30、40構成的層疊體完全固定。
接下來，使軸部52朝上放置重錘50，然后將軸部52穿過上側電極基板30的中心孔31，使榫部52b與榫接孔11嵌合。由此，重錘50被定位在隔膜10的中心。然后，利用下側電極基板40的中心孔41，將榫部52b焊接在隔膜10上(圖9F)。
通過以上工序，完成了檢測單元1A的組裝，電極基板30、40的彼此對應的端子33a、43a，借助于鉚釘60而確保了導通。接下來，如圖2所示，將框狀導向件70夾在上側電極基板30上，從重錘50一側蓋上蓋80，然后使蓋80的爪81彎曲，與下側電極基板40的外表面卡合，從而得到加速度傳感器1。
如上所述，在本實施方式的加速度傳感器1上連接有電路基板2。該電路基板2例如是將檢測電極32、42產生的電荷轉換為電壓，并進行運算、放大的部件，如圖1和圖2所示，被層疊在加速度傳感器1的下側電極基板40一側。電路基板2形成為與各電極基板30、40大致相同尺寸的矩形，在其與下側電極基板40相向的內表面上配置有IC芯片90。此外，在其內表面上形成有用于輸出X、Y、Z方向加速度的檢測電流的未圖示輸出端子、電源用和接地用端子，在這些端子上連接有從外表面側插入并鉚接在銷釘孔91中、進而被錫焊連接的端子銷釘92。此外，在電路基板2的與上述鉚釘60對應的部分上，形成有銷釘孔93，在外表面的銷釘孔93的周圍，如圖1所示，形成有與下側電極基板40外表面側的各端子43a對應的輸入端子94。
電路基板2如圖2所示，使安裝有IC芯片90的內表面側朝向下側電極基板40，使與各電極基板30、40的各端子33a、43a連接的鉚釘60的短銷釘部63插入銷釘孔93中，并使鍔部61保持與其內表面接觸的狀態，使短銷釘部63與輸入端子94錫焊連接，由此，以層疊在加速度傳感器1上的狀態下進行連接。
以上是本實施方式的加速度傳感器1的構成，如果采用該加速度傳感器1，借助于承受加速度的重錘50所產生的慣性力，隔膜10發生彈性變形，由此，隔膜10與上側電極基板30和下側電極基板40的間隔發生變化。由該變化而產生的靜電電容的增減，作為檢測電極32、42產生的電荷變化而被檢測出來，從而檢測出基于該電荷的3軸方向的加速度。
在隔膜10和各電極基板30、40之間，由墊片20確保了允許隔膜10彈性變形的電極空間。此外，承受加速度的重錘50由于隔膜10的彈性變形而傾斜運動，但由于形成有圓錐部51a，所以有效地防止了對上側電極基板30的干涉。此外，由于軸部52與中心孔31干涉，重錘50傾斜運動的范圍受到限制，所以即使在被施加超過容許值的大加速度的情況下，也不會損壞重錘50和隔膜10等。
采用上述實施方式的加速度傳感器1，重錘50形成為由穿過上側電極基板30的中心孔31而被固定在隔膜10上的軸部52、以及與軸部52形成為一個整體而配置在上側電極基板30外表面側的頭部51構成的蘑菇狀。由于該重錘50的頭部51形成為圓盤狀，所以與單純為圓柱狀的重錘相比，在重量相同的情況下，能夠大大降低其高度。因此，確保了檢測靈敏度，同時降低了加速度傳感器1本身的高度，從而實現了小型化。另外，在上述實施方式中，雖然在重錘50的頭部51上形成圓錐部51a，但只要頭部51是扁平狀，那么該圓錐部51a也不是必須的，例如可以是單純的圓盤形狀。
此外，采用圖9A～圖9F所示的檢測單元1A的組裝方法，在層疊隔膜10、兩個墊片20和電極基板30、40，并使用鉚釘60將這些部件固定之后，通過將重錘50的軸部52焊接在隔膜10上，就將重錘50與隔膜10接合在一起了。這樣，在最終階段，由于使重錘50的軸部52穿過上側電極基板30的中心孔31而與隔膜10接合，所以只要使上側電極基板30的中心孔3的直徑設定為軸部52可穿過的尺寸即可。因此，沒有必要將用于穿過重錘50的中心孔31擴大到可使頭部51穿過的尺寸。其結果是，可以確保各電極基板30、40的檢測電極32、42的面積，從而能夠確保檢測靈敏度。
(2)第二實施方式作為本發明的第二實施方式，圖10A～圖10F示出了上述檢測單元1A的組裝工序的另一個實施例。在該情況下，首先，使內表面朝上的上側電極基板30的中心孔31穿過軸部52朝上設置的重錘50的軸部52，然后在上側電極基板30上重疊墊片20(圖10A～圖10C)。接下來，在墊片20上重疊隔膜10，然后將重錘50的軸部52焊接在隔膜10的中心(圖10D)。接著，在隔膜10上重疊墊片20，然后在墊片20上重疊內表面朝下的下側電極基板40(圖10E～圖10F)。然后，與上述實施方式同樣，通過鉚釘60對隔膜10、墊片20和電極基板30、40進行定位和固定，同時進行端子連接，從而得到檢測單元1A。在該第二實施方式中，由于在固定下側電極基板40之前將重錘50接合在隔膜10上，所以不必特別在下側電極基板40上形成上述中心孔41。
(3)第三實施方式作為本發明的第三實施方式，圖11A～圖11E示出了重錘50的頭部51和軸部52分體形成的實施例，并且示出了與這樣的結構相應的檢測單元1A的組裝工序。雖然頭部51最終固定在重錘50的軸部52上，但在固定有該頭部51的一側端面(圖11A～圖11E中的下表面)中心形成有榫部52c。另一方面，在頭部51的中心形成有用于嵌合榫部52c的榫接孔51c。
為了組裝檢測單元1A，首先將隔膜10的中心焊接在榫部52c朝下的軸部52的上表面(圖11A～圖11B)。接下來，在隔膜10的兩個表面上分別重疊墊片20，然后使軸部52穿過內表面朝上的上側電極基板30的中心孔31，從而將上側電極基板30重疊在下側的墊片20上，并將內表面朝下的下側電極基板40重疊在上側的墊片20上(圖11C～圖11D)。接著，與上述實施方式同樣，通過鉚釘60對隔膜10、墊片20和電極基板30、40進行定位和固定，同時進行端子連接。然后，將圓錐部51a朝上的頭部51的榫接孔51c與軸部52的榫部52c嵌合，并將榫部52c焊接在頭部51上(圖11E)。由此，得到檢測單元1A。在該第三實施方式中，由于也是在固定下側電極基板40之前將重錘50的軸部52與隔膜10結合，所以不必特別在下側電極基板40上形成上述中心孔41。
在上述第二和第三實施方式的檢測單元1A的組裝方法中，也采用了使重錘50的軸部52穿過上側電極基板30的中心孔31，然后與隔膜10結合的方法，因此，能夠獲得與第一實施方式同樣的效果，即不必擴大中心孔31，也能確保檢測靈敏度，同時能夠降低重錘50的高度，實現小型化。
此外，特別是在如第三實施方式那樣使頭部51和軸部52分體形成的構成中，通過使頭部51比軸部52重，從而能夠增大力矩，提高檢測靈敏度。因此，在材質相同的情況下，可以使頭部51的體積比軸部52的大，或者使兩者的材質不同，使頭部51的材質的比重比軸部52的材質的比重大。例如，用金屬制造頭部51，用樹脂制造軸部52，即使都是用金屬制造，可以列舉用黃銅制造頭部51、用不銹鋼制造軸部52的手段。
發明的效果如上所述，采用本發明，通過使重錘由穿過一個電極基板的通孔而固定在隔膜上的軸部、以及配置在一個電極基板的外表面側并且直徑比通孔大的頭部構成，由此可以顯著地降低該重錘的高度即軸長，因此，能夠獲得這樣的效果，即能夠確保檢測靈敏度，同時能夠降低傳感器的高度，有效地實現小型化。
權利要求
1.一種靜電電容型加速度傳感器，靜電電容檢測用電極基板夾著墊片而分別層疊在隔膜的兩側，在隔膜的一個表面上固定有重錘，該重錘穿過在與該一個表面相向的一個電極基板上形成的通孔，其特征在于，上述重錘具有軸部，該軸部穿過上述通孔，并被固定在上述隔膜上；以及頭部，該頭部配置在上述一個電極基板的外表面側，其直徑比通孔大。
2.根據權利要求1所述的靜電電容型加速度傳感器，其特征在于，上述重錘的上述頭部上與上述隔膜相向的部分，形成為圓錐狀，該圓錐狀隨著從上述軸部側的內周部向外周部，逐漸遠離隔膜。
3.根據權利要求1或2所述的靜電電容型加速度傳感器，其特征在于，上述重錘的上述軸部和上述頭部分體形成，并且兩者被固定在一起。
4.一種靜電電容型加速度傳感器的制造方法，該靜電電容型加速度傳感器的靜電電容檢測用電極基板夾著墊片而分別層疊在隔膜的兩側，在隔膜的一個表面上固定有重錘，該重錘穿過在與該一個表面相向的一個電極基板上形成的通孔，其特征在于，上述重錘具有軸部，該軸部穿過上述通孔，并被固定在上述隔膜上；以及頭部，該頭部配置在上述一個電極基板的外表面側，其直徑比通孔大，在將該重錘固定在上述隔膜上時，使上述軸部穿過上述一個電極基板的上述通孔，然后將該軸部固定在隔膜上。
5.根據權利要求4所述的靜電電容型加速度傳感器的制造方法，其特征在于，在使上述軸部穿過上述一個電極基板的上述通孔之后，將上述墊片、上述隔膜、上述墊片、另一個電極基板按照該順序層疊在一個電極基板上。
6.根據權利要求4所述的靜電電容型加速度傳感器的制造方法，其特征在于，在上述電極基板夾著上述墊片而分別層疊在上述隔膜兩側之后，使上述重錘的上述軸部穿過上述一個電極基板的上述通孔，然后將該軸部固定在隔膜上。
7.根據權利要求6所述的靜電電容型加速度傳感器的制造方法，其特征在于，在與上述隔膜的沒有固定上述重錘的表面相向的另一個電極基板的與隔膜對應的部分上，形成重錘固定用的作業用孔，利用該作業用孔，將上述軸部固定在隔膜上。
8.一種靜電電容型加速度傳感器的制造方法，該靜電電容型加速度傳感器的靜電電容檢測用電極基板夾著墊片而分別層疊在隔膜的兩側，在隔膜的一個表面上固定有重錘，該重錘穿過在與該一個表面相向的一個電極基板上形成的通孔，其特征在于，上述重錘具有軸部，該軸部穿過上述通孔，并被固定在上述隔膜上；以及頭部，該頭部配置在上述一個電極基板的外表面側，其直徑比通孔大，在將上述重錘固定在上述隔膜上時，首先將上述軸部固定在隔膜上，接下來使上述電極基板夾著上述墊片而分別層疊在隔膜的兩側，然后將上述頭部固定在軸部上。
9.根據權利要求4至8任意一項所述的靜電電容型加速度傳感器的制造方法，其特征在于，在對著上述隔膜的上述軸部的固定部分上形成凸部，另一方面，在隔膜上形成使該凸部嵌合的定位用嵌合孔，在使軸部固定在隔膜上時，使凸部嵌合在嵌合孔中。
全文摘要
使重錘(50)形成為蘑菇狀，該重錘(50)由穿過上側電極基板(30)的中心孔(31)并固定在隔膜(10)上的軸部(52)、以及配置在上側電極基板外表面側、其直徑比中心孔(31)大的頭部一體化形成。上下電極基板(30、40)夾著墊片(20)而分別層疊在隔膜(10)的兩側之后，使重錘(50)的軸部(52)穿過上側電極基板(30)的中心孔(31)，然后將軸部(52)焊接在隔膜(10)上。由此，能夠確保靜電電容型加速度傳感器的檢測靈敏度，同時能夠降低傳感器的高度，有效地實現小型化。
文檔編號G01P15/125GK1675556SQ0381962
公開日2005年9月28日 申請日期2003年7月3日 優先權日2002年8月22日
發明者鈴木和詞, 藤浪直宏, 深田直孝 申請人:星精密株式會社