專利名稱：磁盤用懸架的偏歪角測定方法及測定裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于測定硬盤驅動器等的磁盤裝置中的懸架橫傾角(橫傾方向和縱傾方向的橫傾角)的測定方法及測定裝置。
背景技術：
在測定磁盤用懸架的橫傾方向和縱傾方向的橫傾角(以下稱為橫傾角和縱傾角)時，通常測定相對懸架基準面的滑動器懸浮面的橫傾角，或者承載滑動器的滑動器承載面的橫傾角。此時，采用使用激光測位儀的測定裝置、自動準直儀、或光干涉方法等，在基準面和滑動器承載面的兩處測定角度，并獲取其差量，由此獲得測定值。
另外，一般也使用下述方法，使前端為球面形狀的負載銷點接觸懸架，測定使懸架處于模擬懸浮狀態(模擬了磁頭對磁盤進行實際讀取時的懸浮狀態)時的橫傾角。
圖5是說明以往的懸架偏歪角測定步驟的一例流程圖。圖10表示成為測定對象的磁盤用懸架的一例。
如圖10所示，懸架1在安裝于磁盤裝置一側(圖10中的右側)的下面具有測定基準面2，在相反側(圖10中的左側)的前端部具有用于承載滑動器滑動器承載面。并且，在該懸架1上，預先確定有在測定橫傾角時與前端為球面形狀的負載銷8接觸的位置。以下，把該位置稱為負載銷的規定位置。
在圖5的偏歪角測定步驟中，測定夾具被設置成可以安裝規定數量的懸架(1批)，假定測定夾具上的各懸架的橫傾方向和縱傾方向的橫傾角被連續測定的情況。
如圖5所示，在步驟S11，把規定數量的懸架(1批)安裝在測定夾具上。在測定夾具上形成水平的基準平面，多個懸架被安裝在基準平面上。
在步驟S12，移動設在偏歪角測定裝置上的XY載物臺、Z載物臺。也移動這些載物臺上的測定夾具和多個懸架。
在步驟S13，判定測定對象的懸架向橫傾角、縱傾角的測定位置的移動是否已完成。在尚未完成移動的情況下，返回上述步驟S12的控制。
在完成向測定位置的移動時，在步驟S14，利用CCD圖像確認負載銷和懸架的相對位置。
在步驟S15，使負載銷向懸架的規定位置移動。
在步驟S16，判定負載銷是否已移動到懸架的規定位置。在負載銷的移動尚未完成的情況下，返回上述步驟S14和S15，再次向懸架的規定位置移動負載銷。
在負載銷的移動完成時，在步驟S17，使用角度測定器測定該懸架的滑動器承載面相對基準面的橫傾角θr和縱傾角θp，把該測定數據存儲在控制部(計算機)的存儲器中。
在該步驟S17，在進行固定在夾具上的懸架基準面2的角度測定的同時，進行懸架1的滑動器承載面的角度測定，算出其差分作為橫傾角。因此，在測定多個懸架的橫傾角時，需要對每個懸架進行使負載銷向規定位置移動的定位調整，并且進行上述基準面2的角度測定和滑動器承載面的角度測定。
在步驟S18，在控制部的顯示器上顯示橫傾角的測定數據θr和縱傾角的測定數據θp。
在步驟S19，判定是否已完成夾具上的所有懸架的偏歪角測定。在完成時轉入下一步驟S21的控制。在未完成時，在步驟S20，轉入測定下一懸架的橫傾角的控制，反復上述步驟S12以后的測定步驟。
在步驟S21，從測定夾具上卸下規定數量的懸架(1批)。
在步驟S22，判定是否已完成所有批次的懸架的偏歪角測定。在完成時，結束圖5的測定步驟。在未完成時，在步驟S23，轉入測定下一批懸架的橫傾角的控制，反復上述步驟S11以后的測定步驟。
近年來，硬盤驅動器的記錄密度提高，隨之對懸架加工精度的要求也更高。因此，產生了(1)測定處理能力低、(2)模擬懸浮狀態下的測定中的測定誤差大的問題。
關于測定處理能力，此前采用抽樣精度檢查可以保證懸架的橫傾角度的質量，但是，現在產生了必須進行全數檢查，必須大幅提高測定裝置的處理能力的問題。
另外，關于模擬懸浮狀態下的測定中的測定精度，在懸架的偏歪角測定中，利用負載銷形成模擬懸浮狀態時，如果負載銷接觸懸架的指定位置(X、Y、Z坐標)而不固定，則懸架處于和原有的懸浮狀態不同的狀態，因此橫傾角與本應測出的值之間產生誤差。在該情況下，一般方法是在調整負載銷和懸架的相對位置關系后進行測定，但是由于該調整花費時間，所以將導致測定處理效率的惡化。
發明內容
本發明就是鑒于上述問題而提出的，其目的在于，在磁盤用懸架的偏歪角測定方法和測定裝置中，提高測定處理的效率，并且降低模擬懸浮狀態下的測定誤差。
為了解決上述問題，本發明的磁盤用懸架的偏歪角測定方法，其特征在于，包括安裝步驟，把磁盤用懸架的基準面加壓固定在夾具上，該夾具具有被設定了已知偏歪角的平滑基準平面；測定步驟，測定被固定在所述夾具上的所述懸架的滑動器承載面相對所述基準面在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角。
所述偏歪角測定方法也可以構成為包括通過使前端為球面形狀的負載銷在規定的位置點接觸被固定在所述夾具上的所述懸架，使所述懸架成為模擬懸浮狀態的步驟；計算步驟，計算出在使所述懸架和所述負載銷的相對位置變化時的、根據所述懸架在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角的變化量而得到的關系式。
所述偏歪角測定方法也可以構成為包括下述步驟，即，在所述懸架與所述負載銷的相對位置的變化量為已知的情況下，不移動所述負載銷進行所述測定步驟，根據實際得到的偏歪角的測定值和在所述計算步驟得到的所述關系式，近似計算出在所述規定位置上的偏歪角的測定值。
另外，為了解決上述問題，本發明的磁盤用懸架的偏歪角測定裝置，測定磁盤用懸架的滑動器承載面相對基準面在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角，其特征在于，包括夾具，具有被設定了已知橫傾角的平滑基準平面；安裝機構，把所述懸架的基準面加壓固定在所述夾具的所述基準平面上；測定單元，測定被固定在所述夾具上的所述懸架的滑動器承載面相對基準面在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角；前端為球面形狀的負載銷；負載銷移動單元，為了把所述懸架設定為模擬懸浮狀態，移動所述負載銷，使其在規定位置與所述懸架點接觸；計算單元，計算出在使所述懸架與所述負載銷的相對位置變化時的、根據所述懸架在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角的變化量而得到的關系式。
所述偏歪角測定裝置也可以構成為具有下述計算單元，即，在所述懸架與所述負載銷的相對位置的變化量為已知的情況下，不移動所述負載銷進行橫傾角的測定，根據實際得到的偏歪角的測定值和所述關系式，近似計算出在所述規定位置的偏歪角的測定值。
根據本發明的磁盤用懸架的偏歪角測定方法和測定裝置，使懸架的基準面抵接設有具有已知橫傾角和縱傾角的基準平面的夾具，由此懸架的基準面的橫傾角和縱傾角與夾具的基準平面的橫傾角和縱傾角一致，不需要再測定。因此，不需要以往的測定方法中進行的懸架基準面的角度測定，可以縮短每個懸架的測定數據獲取時間。
并且，如果已知固定在夾具上時的懸架和負載銷的相對位置關系，而且已知起因于負載銷位置偏差的懸架的橫傾角和縱傾角的變化量，則不需要在每次測定時進行懸架和負載銷的定位。通過導入基于偏歪角相對負載銷位移而變化的關系式的校正值，可以求出實際的懸架的橫傾角和縱傾角。
本發明的其他目的、特征和優點，通過參照以下的結合附圖對本發明內容的詳細說明，將更加明確。
圖1是表示本發明的磁盤用懸架的偏歪角測定方法中使用的磁盤用懸架和夾具的圖。
圖2A是表示從圖1所示箭頭A方向觀看的磁盤用懸架和夾具的圖。
圖2B是表示從圖1所示箭頭B方向觀看的磁盤用懸架和夾具的圖。
圖3是表示在圖1的測定方法中使用的負載銷和角度測定器的圖。
圖4是說明本發明涉及的磁盤用懸架的偏歪角測定方法的原理的圖。
圖5是說明以往的懸架偏歪角測定方法的一例的流程圖。
圖6A、圖6B和圖6C是說明本發明的一實施例的磁盤用懸架的偏歪角測定方法的測定步驟的流程圖。
圖7是表示本發明的一實施例涉及的磁盤用懸架的偏歪角測定裝置的結構圖。
圖8是表示本發明的一實施例涉及的磁盤用懸架的偏歪角測定裝置的立體圖。
圖9是表示圖8所示偏歪角測定裝置的夾具的結構圖。
圖10是表示成為測定對象的磁盤用懸架的一例圖。
具體實施例方式
以下，參照
本發明的實施方式。
圖1表示本發明的磁盤用懸架的偏歪角測定方法中使用的磁盤用懸架和夾具。
圖2A表示從圖1所示箭頭A方向觀看的磁盤用懸架1和夾具3。圖2B表示從圖1所示箭頭B方向觀看的磁盤用懸架13和夾具。圖3表示在圖1的測定方法中使用的負載銷8和角度測定器11。
如圖1、圖2A和圖2B所示，成為測定對象的磁盤用懸架1的測定基準面2被按壓在夾具3上，該夾具3具有被設定為已知橫傾角(θr0)和縱傾角(θp0)的平滑基準平面。通過這樣地把懸架1固定在夾具3上，使懸架1的基準面2與夾具3的基準平面的已知橫傾角和縱傾角相同。
如圖3所示，在把懸架1固定在夾具3上時，通過使用負載銷8加壓，使懸架1成為模擬懸浮狀態。在此時的負載銷8的規定位置(X0、Y0、Z0)，使用角度測定器11測定懸架1的滑動器承載面的橫傾角和縱傾角。以下，把該偏歪角測定稱為第1測定。
使負載銷8從上述規定位置在X、Y、Z坐標上分別僅移動規定的距離(ΔX、ΔY、ΔZ)，然后使用角度測定器11再次測定懸架1的滑動器承載面的橫傾角和縱傾角。以下，把該偏歪角測定稱為第2測定。
根據第1測定和第2測定的結果，可以算出成為測定對象的懸架1對應負載銷8的移動距離(ΔX、ΔY、ΔZ)的橫傾角變化量(Δθr)和縱傾角變化量(Δθp)。在本發明的偏歪角測定方法中，根據該橫傾角和縱傾角的變化量的算出值，確定關系式f和g。以下，使用圖4說明該關系式f和g。
圖4是說明本發明的一實施例的磁盤用懸架的偏歪角測定方法的原理的圖。
首先，把負載銷8的規定位置的坐標設為(X0、Y0、Z0)，一般，把使負載銷8相對懸架1從規定位置移動時的位置坐標(Xn、Yn、Zn)表示如下。
XnX0、X1、X2、…、Xp(p+1)個YnY0、Y1、Y2、…、Yq(q+1)個ZnZ0、Z1、Z2、…、Zr(r+1)個因此，需要測定橫傾角的位置坐標的數量為合計(p+1)×(q+1)×(r+1)個。
假定X、Y、Z為獨立的變量，則懸架的橫傾角θr的關系式f可以用下式表示。
θr＝f(X、Y、Z)＝a(X-α)n+b(Y-β)m+c(Z-γ)l其中，a、b、c、α、β、γ、n、m、l為任意的實數。
在X、Y、Z的變化量為小于懸架1的外形尺寸的值時，可以利用下述的一次方程式使上述關系式f近似。
θr＝f(X、Y、Z)＝aX+bY+cZ+d(1)
上述算式(1)的系數(a、b、c、d)中，系數a可以根據(p+1)個測定數據，系數b可以根據(q+1)個測定數據，系數c可以根據(r+1)個測定數據，分別利用最小平方法求出。
同樣，可以利用下述的一次方程式使懸架1的橫傾角θp的關系式g近似。
θp＝g(X、Y、Z)＝hX+iY+jZ+k(2)上述算式(2)的系數(h、i、j、k)中，系數h可以根據(p+1)個測定數據，系數i可以根據(q+1)個測定數據，系數j可以根據(r+1)個測定數據，分別利用最小平方法求出。
因此，如上所述，根據懸架1的橫傾角和縱傾角的測定結果，可以算出對應負載銷8的移動距離(ΔX、ΔY、ΔZ)的橫傾角變化量(Δθr)和縱傾角變化量(Δθp)。根據該橫傾角和縱傾角變化量的算出值，可以使用最小平方法求出上述算式(1)和算式(2)的關系式f和g中的各個系數值，可以確定懸架1的橫傾角和縱傾角的關系式f和g。
在實際測定中，在把多個懸架并列放置在夾具上時，需要對每個部位預先測定出負載銷8前端的球面部頂點的位置坐標(X、Y、Z)，或者使用圖像識別等方法，通過獲得懸架1和負載銷8的相對位置關系，由此預先求出與負載銷原本應接觸、加載的位置坐標的偏差(ΔX、ΔY、ΔZ)。
只要確定了懸架1的橫傾角和縱傾角的關系式f和g，便可在不移動負載銷8的情況下，通過進行和上述第1測定相同的步驟，連續地自動測定出多個懸架的各個滑動器承載面的橫傾角和縱傾角。
通過對按照上述步驟測定的橫傾角和縱傾角，加上作為校正值的相當于預先求出的偏差(ΔX、ΔY、ΔZ)的橫傾角和縱傾角，算出位于負載銷原本應接觸、加載的位置坐標的橫傾角和縱傾角。從所校正的偏歪角即橫傾角和縱傾角減去夾具3的基準平面4的已知橫傾角和縱傾角(θr0、θp0)，由此求出滑動器承載面相對懸架測定基準面的橫傾角和縱傾角。
圖6A、圖6B和圖6C是說明本發明的一實施例的磁盤用懸架的偏歪角測定方法的測定步驟的流程圖。
圖6A和圖6B表示用于確定測定對象的懸架的特性值(關系式)的測定步驟，圖6C表示用于實際測定多個懸架的橫傾角、縱傾角的偏歪角測定步驟。針對測定對象的懸架的各個測定步驟，通過設在本發明的測定裝置的控制部12(在后面的圖7中敘述)來執行。
在圖6A所示的用于確定懸架特性值的測定步驟中，首先，在步驟S31，把測定對象的懸架1安裝在夾具3上。
在步驟S32，使用負載銷8加壓(安裝)，使懸架1成為模擬懸浮狀態。
在步驟S33，移動XY載物臺，調整懸架1和負載銷8的相對位置。
在步驟S34，判定負載銷8的位置是否移動到懸架1的規定位置(X0、Y0、Z0)。在負載銷8尚未完成移動時，返回上述步驟S33的控制。
在負載銷8完成移動時，在步驟S35，移動XY載物臺和Z載物臺，判定負載銷8的位置是否移動到目標位置(Xn、Yn、Zn)。在負載銷8尚未完成向目標位置的移動時，再次執行上述步驟S35。
在負載銷8完成向目標位置的移動時，在步驟S36，使用角度測定器11，測定懸架1的滑動器承載面的橫傾角θr(Xn、Yn、Zn)和縱傾角θp(Xn、Yn、Zn)，把該測定結果的數據存儲在控制部12的存儲器中。
在步驟S37，判定是否已完成預先指定的負載銷8的所有目標位置的橫傾角和縱傾角的測定數據的存儲。在尚未完成測定數據的存儲時，在步驟S38，使負載銷8向下一目標位置移動。并且，反復上述步驟S35以后的步驟。
在步驟S39，根據懸架1的橫傾角θr的變化量的測定數據和負載銷8的位置坐標的數據，進行使用最小平方法的運算，確定上述算式(1)的關系式θr＝f(X、Y、Z)的系數值a、b、c、d。
在步驟S40，把在上述步驟S39確定的上述算式(1)的關系式f的系數值a、b、c、d的數據存儲在控制部12的存儲器中。
在步驟S41，根據懸架1的縱傾角θp的變化量的測定數據和負載銷8的位置坐標的數據，進行使用最小平方法的運算，確定上述算式(2)的關系式θp＝g(X、Y、Z)的系數值h、i、j、k。
在步驟S42，把在上述步驟S41確定的上述算式(2)的關系式f的系數值h、i、j、k的數據存儲在控制部12的存儲器中。
在步驟S42結束時，轉入圖6B的測定步驟S43的控制。
在圖6B的負載銷位置測定步驟中，在步驟S43，移動XY載物臺使夾具3上的負載銷8進入CCD攝像機的視場內。
在步驟S44，判定是否已完成XY載物臺的移動。在完成移動時，轉入后面的步驟S45的控制。在未完成移動時，返回上述步驟S43的控制。
在步驟S45，控制CCD攝像機，獲取負載銷8的圖像，把圖像數據存儲在控制部12的存儲器中。
在步驟S46，控制位移儀，測定負載銷8的高度，把高度測定數據存儲在控制部12的存儲器中。
在步驟S47，把負載銷8的位置偏移量(ΔX、ΔY、ΔZ)的數據存儲在控制部12的存儲器中。其中，X方向、Y方向的位置偏移量(ΔX、ΔY)根據XY載物臺的位移數據和控制部12對CCD圖像進行的圖像處理數據算出。Z方向的位置偏移量ΔZ直接利用位移儀測定。
在步驟S48，利用控制部12運算與位置偏移量(ΔX、ΔY、ΔZ)相對應的橫傾角校正量和縱傾角校正量，把該運算結果的數據存儲在控制部12的存儲器中。
在步驟S49，判定是否已完成夾具3上的所有懸架的負載銷位置測定。在完成時，轉入圖6C的步驟S51的控制。在未完成時，在步驟S50，轉入對下一懸架的負載銷位置測定的控制，反復上述步驟S43以后的測定步驟。
圖6C的偏歪角測定步驟是在下述假定情況下進行的，即，設置可以安裝規定數量的懸架(1批)的夾具3，使負載銷8相對各懸架不移動，一次進行1批的多個懸架的各個橫傾角的測定。
如圖6C所示，在步驟S51，把規定數量的懸架(1批)安裝在夾具3上。
在步驟S52，移動XY載物臺和Z載物臺。
在步驟S53，判定是否已完成測定對象的懸架向橫傾角、縱傾角測定位置的移動。在未完成移動時，返回上述步驟S52的控制。
在完成向測定位置的移動時，在步驟S54，使用角度測定器11測定該懸架的橫傾角θr和縱傾角θp，把該測定數據存儲在控制部12的存儲器中。
在步驟S55，對所測定位置的負載銷8，進行從偏歪角測定值θr減去橫傾角校正值Δθr的運算(θr-Δθr)，把橫傾角運算結果的數據θrr存儲在控制部12的存儲器中。
在步驟S56，對所測定位置的負載銷8，進行從縱傾角測定值θp減去縱傾角校正值Δθp的運算(θp-Δθp)，把縱傾角運算結果的數據θpp存儲在控制部12的存儲器中。
在步驟S57，在控制部12的顯示器上顯示橫傾角運算結果的數據θrr和縱傾角運算結果的數據θpp。
在步驟S58，判定是否已完成夾具3上的所有懸架的偏歪角測定。在完成時，轉入下一步驟S60的控制。在未完成時，在步驟S59，轉入對下一懸架的橫傾角的測定控制，反復上述步驟S52以后的測定步驟。
在步驟S60，從夾具3上卸下規定數量的懸架(1批)。
在步驟S61，判定是否已完成所有批次的懸架的偏歪角測定。在完成時，結束圖6C的測定步驟。在未完成時，在步驟S62，轉入對下一批次懸架的橫傾角的測定控制，反復上述步驟S51以后的測定步驟。
根據上述實施例的偏歪角測定方法，使懸架1的基準面2抵接設有具有已知橫傾角和縱傾角的基準平面的夾具3，由此基準面2的橫傾角和縱傾角與夾具3的基準平面的橫傾角和縱傾角一致，不需要再測定。因此，不需要以往的測定方法中進行的懸架基準面2的角度測定，可以縮短每個懸架1的測定數據獲取時間。
并且，如果已知固定在夾具3上時的懸架1和負載銷8的相對位置關系，而且已知起因于負載銷位置偏差的懸架的橫傾角和縱傾角的變化量，則不需要在每次測定時進行懸架1和負載銷8的定位。通過導入基于關系式f和g的校正值，可以求出實際的懸架的橫傾角和縱傾角。
根據本發明的磁盤用懸架的偏歪角測定方法，在把多個懸架并列在同一夾具上進行一起測定的情況下，不需要相對夾具3分別獨立移動負載銷8的機構，可以省略移動負載銷的步驟，大幅度縮短橫傾角的測定時間，并且可以簡化測定裝置的結構。
圖7是表示本發明的一實施例涉及的磁盤用懸架的偏歪角測定裝置的結構圖。圖8是表示本發明的一實施例涉及的磁盤用懸架的偏歪角測定裝置的立體圖。圖9是表示圖8所示偏歪角測定裝置的夾具的結構圖。
如圖7～圖9所示，該實施例的偏歪角測定裝置由以下部分構成夾具3；定位銷5；壓縮彈簧6；安裝部件7；負載銷8；三軸方向的微驅動器9；XY載物臺10；角度測定器11；用于執行圖6A～圖6C所示的偏歪角測定步驟的控制部12(個人計算機(PC)等)；Z載物臺13；CCD攝像機和位移儀14。
成為測定對象的懸架1被放置成使其測定基準面2對準設在夾具3上的平滑基準平面4。此時，懸架1被設置成利用兩個定位銷5來約束在X、Y、θ方向上的移動。夾具3被分成上下兩部分。懸架1通過內置于夾具3上部的壓縮彈簧6，并利用安裝部件7以一定壓力加壓。測定基準面2抵接基準平面4，懸架1被固定在夾具3上。另外，夾具3的上部和下部利用卡具被固定成一體。
在懸架1被固定在夾具3上時，負載銷8接觸懸架1的規定位置，懸架1被設定為模擬懸浮狀態。負載銷8可以使用三軸方向的微驅動器9僅移動微小距離，該移動距離由控制部12控制。
該驅動器9僅在求出各個懸架固有的、與負載銷位移相對應的橫傾角、縱傾角的變化量的關系式時，使負載銷8移動。并且，利用控制部12控制CCD攝像機和位移儀14，可以獲取負載銷8和懸架1的圖像，進行高度測定。
在該實施例中，多個負載銷8按照各懸架1的設置間隔被配置在一個塊體上。并且，在求出各個懸架1固有的、與負載銷位移相對應的橫傾角、縱傾角的變化量的關系式時，控制驅動器9，使各負載銷8分別在X、Y、Z方向移動，由此可以在相同條件下連續獲取所承載的所有懸架的多個測定數據。
用于固定多個懸架1的夾具3安裝在XY載物臺10上。通過移動XY載物臺10，各懸架1在角度測定器11的測定區域移動，分別測定各個懸架的橫傾角、縱傾角。另外，角度測定器11安裝在用于調整與懸架1的距離的Z載物臺13上。XY載物臺10和Z載物臺13的移動由控制部12控制。
控制部12從角度測定器11獲取測定數據，根據表示預先測定的某懸架1和負載銷8的相對位置的位置數據，算出對各個懸架進行校正的橫傾角和縱傾角。控制部12進行向測定數據(實測值)加算校正值的運算，在對該結果進行了減去夾具3的基準平面4的橫傾角和縱傾角的運算后，使顯示器等輸出裝置顯示真正的橫傾角和縱傾角(即，負載銷8點接觸規定位置時的懸架1的實際橫傾角)。
如上所述，在以往的測定方法中，每次進行各個懸架的偏歪角測定時，進行負載銷的定位，并進行基準面測定，與此相比，根據本發明的磁盤用懸架的偏歪角測定方法和測定裝置，可以大幅度縮短測定時間，而且可以降低模擬懸浮狀態下的測定誤差。
以上，根據實施例說明了本發明，但本發明不限于上述實施例，可以在權利要求書記載的范圍內進行各種變形。
權利要求
1.一種磁盤用懸架的偏歪角測定方法，其特征在于，包括安裝步驟，把磁盤用懸架的基準面加壓固定在夾具上，該夾具具有被設定了已知偏歪角的平滑基準平面；測定步驟，測定被固定在所述夾具上的所述懸架的滑動器承載面相對所述基準面在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角。
2.根據權利要求1所述的磁盤用懸架的偏歪角測定方法，其特征在于，包括通過使前端為球面形狀的負載銷在規定的位置點接觸被固定在所述夾具上的所述懸架，使所述懸架成為模擬懸浮狀態的步驟；計算步驟，計算出在使所述懸架和所述負載銷的相對位置變化時的、根據所述懸架在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角的變化量而得到的關系式。
3.根據權利要求2所述的磁盤用懸架的偏歪角測定方法，其特征在于，包括下述步驟，即，在所述懸架與所述負載銷的相對位置的變化量為已知的情況下，不移動所述負載銷進行所述測定步驟，根據實際得到的偏歪角的測定值和在所述計算步驟得到的所述關系式，近似計算出在所述規定位置上的偏歪角的測定值。
4.一種磁盤用懸架的偏歪角測定裝置，測定磁盤用懸架的滑動器承載面相對基準面在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角，其特征在于，包括夾具，具有被設定了已知橫傾角的平滑基準平面；安裝機構，把所述懸架的基準面加壓固定在所述夾具的所述基準平面上；測定單元，測定被固定在所述夾具上的所述懸架的滑動器承載面相對基準面在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角；前端為球面形狀的負載銷；負載銷移動單元，為了把所述懸架設定為模擬懸浮狀態，移動所述負載銷，使其在規定位置與所述懸架點接觸；計算單元，計算出在使所述懸架與所述負載銷的相對位置變化時的、根據所述懸架在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角的變化量而得到的關系式。
5.根據權利要求4所述的磁盤用懸架的偏歪角測定裝置，其特征在于，具有下述計算單元，即，在所述懸架與所述負載銷的相對位置的變化量為已知的情況下，不移動所述負載銷進行橫傾角的測定，根據實際得到的偏歪角的測定值和所述關系式，近似計算出在所述規定位置的偏歪角的測定值。
全文摘要
一種磁盤用懸架的偏歪角測定方法，包括安裝步驟，把磁盤用懸架的基準面加壓固定在夾具上，該夾具具有被設定了已知偏歪角的平滑基準平面；和測定步驟，測定被固定在所述夾具上的所述懸架的滑動器承載面相對所述基準面在橫傾方向和縱傾方向上的偏歪角。
文檔編號G01N3/22GK1675711SQ0381961
公開日2005年9月28日 申請日期2003年1月30日 優先權日2003年1月30日
發明者古井壽一 申請人:富士通株式會社