專利名稱：半導體臭氧傳感器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及的是環境監測及險情根警器材，尤其是一種監測臭氧氣體濃度的半導體臭氧傳感器。
本實用新型的半導體臭氧傳感器，包括電連接座和設置在其上的發熱體，電連接座上設有通氣罩，其特征在于發熱體表面設有一層可檢測臭氧濃度的氣體敏感材料膜。
本實用新型半導體臭氧傳感器的性能指標如下
探測范圍O3 0~2000ppb靈敏度指標 RO/RS≥3響應時間≤2S恢復時間≤20S抗干擾能力可抗煙霧、酒精、甲醛氣體的干擾；本實用新型半導體臭氧傳感器設計科學，結構簡單、體積小，對臭氣體的檢測靈敏度高，對其它氣體的抗干擾性好，通過本傳感器可將其所感應到的臭氧濃度信息傳輸給檢測裝置，通過檢測裝置獲取準確的數據信息，其使用效果好。本半導體臭氧傳感器可廣泛用于大氣中臭氧濃度的檢測，亦可用于工業和家庭用臭氧產生器的臭氧濃度檢測。
本實用新型半導體臭氧傳感器的具體結構由以下附圖
和實施例詳細給出。
所述的發熱體2由發熱元件5和導熱體6組成，發熱元件5設置在導熱體6內。
所述的發熱元件5是電熱絲，導熱體6是實心柱狀陶瓷管。
所述電連接座1為一可與檢測裝置電路系統連接的多腳管狀插頭，由圓柱形插頭座7及其上設置的多腳接線柱8構成。發熱體2通過多腳接線柱8安裝在圓柱形插頭座7上。圓柱形插頭座7中間開有通氣孔9。
本實用新型半導體臭氧傳感器的使用方法將半導體臭氧傳感器使用時將本半導體臭氧傳感器插置在檢測裝置電路系統連接接口上，本半導體臭氧傳感器便處于工作狀態，如果空氣中含有臭氧時，履蓋在發熱體2表面的氣體敏感材料膜4即會將感應到的臭氧濃度信號通過多腳接線柱8傳輸給檢測裝置的電路系統，由檢測傳感器電路系統將獲取的臭氧濃度信息轉換成數據信息，供使用者讀取。
權利要求1.一種半導體臭氧傳感器，包括電連接座和設置在其上的發熱體，電連接座上設有通氣罩，其特征在于發熱體表面設有一層可檢測臭氧濃度的氣體敏感材料膜。
2.根據權利要求1所述的半導體臭氧傳感器，其特征在于發熱體(2)由發熱元件(5)和導熱體(6)組成，發熱元件(5)設置在導熱體(6)內。
3.根據權利要求1所述的半導體臭氧傳感器，其特征在于電連接座(1)為一多腳管狀插頭，由圓柱形插頭座(7)及其上設置的多腳接線柱(8)構成。
4.根據權利要求1或2所述的的半導體臭氧傳感器，其特征在于發熱元件(5)是電熱絲，導熱體(6)是實心柱狀陶瓷管。
5.根據權利要求1或3所述的的半導體臭氧傳感器，其特征在于圓柱形插頭座(7)中間開有通氣孔(9)。
專利摘要一種半導體臭氧傳感器，包括電連接座和設置在其上的發熱體，電連接座上設有通氣罩，其特征在于發熱體表面設有一層可檢測臭氧濃度的氣體敏感材料膜。本半導體臭氧傳感器設計科學，結構簡單、體積小，對臭氣體的檢測靈敏度高，對其它氣體的抗干擾性好，與檢測裝置配合使用效果好。其可廣泛用于大氣中臭氧濃度的檢測，亦可用于工業和家庭用臭氧產生器的臭氧濃度檢測。
文檔編號G01N27/407GK2551999SQ02271869
公開日2003年5月21日 申請日期2002年7月17日 優先權日2002年7月17日
發明者馬永樑 申請人:陳偉越, 馬永樑