專利名稱：用于校正傳感器漂移的設(shè)備和方法
發(fā)明簡述本發(fā)明總的涉及傳感裝置。更具體地，本發(fā)明涉及校正傳感器中的漂移的技術(shù)。
背景技術(shù)：
壓電電阻或電容傳感器產(chǎn)生正比于施加到其上的物理力的、電阻或電容的改變量。這樣的傳感器通常被放置在硅膜片上，以測量硅膜片的偏轉(zhuǎn)。
在這樣的傳感器的組件方面，有許多問題。例如，基于硅的壓電電阻壓力傳感器通過非常軟的、可塑的粘合劑而被附著到一個組件或基片上，以使得沒有殘余的應(yīng)力或力從該組件發(fā)送到傳感器。假如有應(yīng)力發(fā)送到傳感器，傳感器的膜片被偏轉(zhuǎn)，在傳感單元處產(chǎn)生測量的電阻值，它錯誤地表示測量的壓力的改變。來自附著的處理過程的應(yīng)力根據(jù)壓力感應(yīng)的膜片偏轉(zhuǎn)的方向和大小可以加或減這個電阻改變。通常，最常被接受的校正技術(shù)適當(dāng)?shù)匮a(bǔ)償由于制造偏差和把傳感器附著到剛性基座的必要性造成的壓力傳感器的非理想特性。
當(dāng)由于附著材料的應(yīng)力消除，來自附著處理過程的應(yīng)力隨時改變時，現(xiàn)有的校正技術(shù)出現(xiàn)一個問題。這個應(yīng)力消除可以是由于傳感器的暴露，傳感器環(huán)境的改變，附著的材料的改變，和/或基座對各不相同的壓力和/或溫度的改變而造成的。假如基座、傳感器、和附著材料在熱膨脹方面沒有緊密地匹配，則任何溫度偏離額定值將產(chǎn)生正比于溫度膨脹的差值的、材料的應(yīng)力差值和溫度差值。在小片附著材料是粘彈性物質(zhì)的情形下，它將隨時流動，以便減小應(yīng)力。這顯然對壓電電阻膜片有影響，也隨時改變電阻值。
典型的校正方法不能計(jì)及上述的電阻值的改變特性。大多數(shù)傳感器的電阻是溫度和壓力的函數(shù)。對這種實(shí)際活動建立模型的一個方法是使用以下形式的多項(xiàng)式公式
P＝M0+M1*T+M2*T2+M3*T3+(M4+M5*T+M6*T2+M7*T3)*V+(M8+M9*T+M10*T2+M11*T3)*V2+(M12+M13*T+M14*T2+M15*T3)*V3(公式I)P是加到膜片上的差分壓力。每個M項(xiàng)是導(dǎo)出的系數(shù)。T是傳感器膜片的溫度。V是傳感器結(jié)構(gòu)的電阻的測量值。例如，V可以是由通過壓電電阻元件的恒定電流產(chǎn)生的電壓。
對于適配特定的壓力傳感器所需要的多項(xiàng)式的階數(shù)取決于各個制造過程、附著技術(shù)、和所需要的精度。對于壓力和溫度的二階適配通常已足夠，雖然有時需要對于壓力的二階適配和對于溫度的三階適配。
當(dāng)使用非剛性小片附著材料時，公式I的M0項(xiàng)典型地隨時間和溫度改變。這個項(xiàng)通常稱為“偏移”，這是指在大多數(shù)傳感器中，當(dāng)壓力是“零”時，膜片沒有偏轉(zhuǎn)，但仍舊有非零信號。這即使對于使用惠斯頓電橋電阻配置的傳感器也是這樣的，理想地，它可被設(shè)計(jì)為給出零信號，但由于制造公差，將產(chǎn)生小的信號。
這種老化現(xiàn)象可產(chǎn)生約0.5psi(磅/英寸2)的信號電平偏移。這種偏移或漂移在感興趣的整個壓力范圍內(nèi)是相對恒定的。在40psi的壓力水平時，這相當(dāng)于1.25％的誤差，而在5psi時，這相當(dāng)于10％的誤差。這樣的誤差在大多數(shù)應(yīng)用項(xiàng)中是不能接受的。
由顧客重新校正已漂移的壓力傳感器是不現(xiàn)實(shí)的或不可接受的。因此，特別希望提供具有校正漂移的能力的、改進(jìn)的傳感裝置。理想地，這樣的傳感器響應(yīng)于由本領(lǐng)域的顧客引用的相對較簡單的條件組，自動地自校正漂移。透徹的技術(shù)可以補(bǔ)償漂移因素，諸如傳感器老化，作為電壓和溫度條件的函數(shù)。
發(fā)明概要傳感器中校正漂移的方法包括識別校正命令的步驟。用于傳感器的標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子是通過依賴于被固定在標(biāo)稱零壓力條件下的校正電壓值和校正溫度值而被識別的。傳感器輸出隨后按照標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子被調(diào)節(jié)。
本發(fā)明的設(shè)備包括微控制器和相關(guān)的電子裝置，它被配置來響應(yīng)于被固定在標(biāo)稱零壓力條件下的校正電壓值和校正溫度值確定用于傳感器的標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子。傳感器輸出隨后由微控制器按照標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子進(jìn)行修正。
本發(fā)明提供校正壓電電阻和電容傳感器中的漂移的改進(jìn)的技術(shù)。該技術(shù)響應(yīng)于相對較簡單的條件組，自動地自校正漂移。有利地，該技術(shù)可補(bǔ)償漂移因素，諸如傳感器老化，作為在標(biāo)稱零壓力條件下測量時的電壓和溫度條件的函數(shù)。零壓力傳感器漂移校正因子然后被應(yīng)用到其它壓力條件，達(dá)到傳感器漂移的校正。
附圖簡述為了更好地了解本發(fā)明，應(yīng)當(dāng)結(jié)合附圖參考以下的詳細(xì)說明，其中
圖1示出按照本發(fā)明的實(shí)施例構(gòu)建的傳感器漂移校準(zhǔn)和校正設(shè)備。
圖2顯示可按照本發(fā)明被利用的計(jì)量傳感器。
圖3顯示按照本發(fā)明的實(shí)施例被利用的、傳感器和伴隨的電橋電路。
圖4顯示按照本發(fā)明的實(shí)施例執(zhí)行的、傳感器漂移校準(zhǔn)和校正處理步驟。
圖5顯示與圖4的第一處理步驟有關(guān)的處理步驟。
圖6顯示與圖4的、倒數(shù)第二處理步驟有關(guān)的處理步驟。
相同的標(biāo)號在所有圖上是指相應(yīng)的部件。
發(fā)明詳細(xì)描述圖1顯示按照本發(fā)明的實(shí)施例的、傳感器漂移校正設(shè)備20。設(shè)備20包括傳感器組件22。因?yàn)楸景l(fā)明建立對于傳感器漂移的校正，傳感器組件22可以是非密封的組件。
組件22包括流體可通過的導(dǎo)管24。導(dǎo)管24具有一個或多個功能性裝置，來監(jiān)視或控制所通過的流體。例如，組件22可被實(shí)施為包括比例控制器26，溫度傳感器28，第一壓力傳感器30，積分控制器32，以及第二壓力傳感器34。本發(fā)明針對壓力傳感器的運(yùn)行，諸如第一壓力傳感器30和第二壓力傳感器34。本領(lǐng)域技術(shù)人員將會看到，每個壓力傳感器可以結(jié)合圖1所示的那種功能性裝置，或結(jié)合功能性裝置的其它組合，被運(yùn)行來建立裝置，諸如質(zhì)量流控制器，壓力控制器，質(zhì)量計(jì)，或壓力計(jì)。
來自位于組件22內(nèi)的各個功能性單元的信號，通過單獨(dú)的線或總線36被分路到微控制器38(它包括相關(guān)的電子裝置，如有必要)。微控制器38執(zhí)行被存儲在內(nèi)部或外部存儲器40的一組程序。替換地，微控制器38和存儲器40可以是專用集成電路(ASIC)，場可編程邏輯器件(FPLD)，或本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的其它等價的器件。不管實(shí)施方案，按照本發(fā)明執(zhí)行一組指令。
如圖1所示，指令組總的特征為包括初始參量技術(shù)條件模塊42，標(biāo)準(zhǔn)模式控制器模塊44，校準(zhǔn)條件識別模塊46，傳感器漂移計(jì)算模塊48和傳感器漂移調(diào)節(jié)模式運(yùn)行模塊50。下面討論這些模塊的每個模塊的功能。
圖2是按照本發(fā)明利用的壓力傳感器30(或34)的放大的側(cè)視圖。傳感器30包括帶有可偏轉(zhuǎn)的膜片61的微機(jī)的計(jì)量傳感器60。計(jì)量傳感器60通過非剛性粘合劑63被附著到基片62。由導(dǎo)管24中的流體產(chǎn)生的壓力，由箭頭64表示，運(yùn)行來偏轉(zhuǎn)膜片61。外界的壓力，由箭頭65表示，抵消來自流體的壓力。對于以下的討論，假定周圍的壓力為已知的常數(shù)。理想地，不存在外界的壓力也就是在計(jì)量傳感器60的外部是真空、壓電電阻或電容單元66響應(yīng)于膜片61的偏轉(zhuǎn)改變電阻值。從單元66產(chǎn)生的信號通過引線68從計(jì)量傳感器60傳送出。
圖3是傳感器30的頂視圖。圖上顯示計(jì)量傳感器60和放置在其上的壓電電阻或電容單元66的頂部。壓電電阻單元66作為電阻運(yùn)行，形成熟知的電橋電路69的一部分。電橋電路69包括電阻R1，R2，R3和R4。電橋電路69可以被形成在被放置在傳感器60上的膜片中。輸出信號+Vout和-Vout被分路到微控制器38。使用電橋電路69和相關(guān)的計(jì)量傳感器60以得到表示電阻的改變的信號，在技術(shù)上是熟知的。在技術(shù)上也知道如何把電阻的改變映射到相應(yīng)于在管道64中的流體的壓力的壓力值。本發(fā)明并不針對這些已知的技術(shù)，而是本發(fā)明針對處理這樣的信號，以便補(bǔ)償和校正與諸如計(jì)量傳感器60那樣的傳感器有關(guān)的漂移。
與本發(fā)明有關(guān)的處理步驟是結(jié)合圖4描述的。圖4所示的初始處理步驟是根據(jù)標(biāo)稱零壓力條件確定初始參量(步驟70)。這個操作步驟可以由初始參量技術(shù)條件模塊42協(xié)調(diào)。這個操作步驟的特征在于圖5。
轉(zhuǎn)到圖5，在確定初始參量時的第一步驟是在監(jiān)視的管道中創(chuàng)建標(biāo)稱零壓力條件(步驟72)。也就是，低的或零壓力條件被加到組件22的管道24。然后，測量的電壓和溫度值被固定在標(biāo)稱零壓力條件(步驟74)。也就是，電橋電路69被使用來得出測量的電壓信號，以及溫度傳感器28被使用來得出溫度值。每個這些信號通過總線36被加到微控制器38。
零壓力值，測量的電壓值，和測量的溫度值然后被插入到壓力規(guī)定的多項(xiàng)式，諸如公式I(步驟76)。在多項(xiàng)式中需要的系數(shù)的數(shù)目規(guī)定所需要的壓力和溫度組合的數(shù)目。例如，V3XT3需要16個數(shù)據(jù)點(diǎn)。這典型地通過測量在四個溫度的每個溫度時的四個壓力而得到的。優(yōu)選地，四個溫度跨越和稍微超過運(yùn)行的溫度范圍。同樣地，四個壓力跨越和稍微超過運(yùn)行的壓力范圍。壓力點(diǎn)之一應(yīng)當(dāng)是“零”，它在這里被定義為低于約10乇(torr)的壓力(小于0.2psia)。因此，步驟76打算插入零壓力項(xiàng)，在零壓力時的測量的電壓值，以及在零壓力時的溫度值，加上附加的非零壓力電壓和溫度值，正如對于達(dá)到多項(xiàng)式的適當(dāng)?shù)呐浜纤枰?。對于測量的壓力和電壓值的以后的參考值包括多個測量的壓力和電壓值，正如可能需要的。
微控制器38，在初始參量技術(shù)條件模塊42的控制下，隨后根據(jù)零壓力值，一個或多個測量的電壓值和一個或多個測量的溫度值，計(jì)算對于壓力規(guī)定的多項(xiàng)式的系數(shù)(步驟78)。這導(dǎo)致完全表示的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式，它被存儲在存儲器40中。替換地，分開的計(jì)算機(jī)被使用來執(zhí)行這個計(jì)算，完全表示的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式的系數(shù)被下載到存儲器40中。
帶有系數(shù)M0-M15的、公式I的多項(xiàng)式借助于例子被提供。其它的多項(xiàng)式可被使用，以及任何數(shù)目的技術(shù)可被使用來適配對于測量數(shù)值的多項(xiàng)式系數(shù)。
再次轉(zhuǎn)到圖4，下一個處理步驟是在標(biāo)準(zhǔn)模式下運(yùn)行傳感器(步驟80)。在標(biāo)準(zhǔn)模式下，正如由標(biāo)準(zhǔn)模式控制模塊44控制的，測量電壓和溫度值被插入到壓力規(guī)定的多項(xiàng)式中，例如公式I中，以及壓力(P)由微控制器38計(jì)算。
壓力傳感器30在擴(kuò)展的時間間隔內(nèi)可以運(yùn)行在這個模式。然而，實(shí)際上，傳感器30的精度將開始漂移。因此，必須進(jìn)行校正。按照本發(fā)明，微控制器38被配置來識別校準(zhǔn)命令(步驟82)。例如，微控制器38的校準(zhǔn)條件識別模塊可被配置來在大于30秒的時間間隔內(nèi)識別以小于10乇的壓力信號的形式的校準(zhǔn)命令和被給予比例控制器26和積分控制器36的5伏滿量程的命令。加到與傳感器有關(guān)的功能性元件的其它外部條件也可被使用，正如本領(lǐng)域技術(shù)人員將會看到的。響應(yīng)于這樣的條件，確定標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子。與這個操作有關(guān)的處理是在圖6上公開的。
圖6所示的第一步驟是在監(jiān)視的管道中創(chuàng)建標(biāo)稱零壓力條件(步驟72)。這是在圖5上描述的相同的步驟。測量的電壓和溫度值然后被固定在標(biāo)稱零壓力條件(步驟74)。這個步驟類似于在圖5上描述的步驟，但在本事例中，測量的電壓值將可能是不同于初始的讀數(shù)，反映傳感器60的漂移。微控制器38，結(jié)合傳感器漂移計(jì)算模塊48運(yùn)行，然后輸出標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子，諸如電壓項(xiàng)V(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)，表示在零壓力條件(P＝0)在時間j(t＝j(luò))溫度(T＝k)下的電壓值V。替換地，壓力項(xiàng)可被用作為輸出，諸如壓力項(xiàng)P(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)，表示在零壓力條件(P＝0)在時間j(t＝j(luò))和溫度(T＝k)下的壓力值P。
轉(zhuǎn)到圖4，圖上所示的最后處理步驟是鑒于標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子調(diào)節(jié)傳感器輸出(步驟88)。這個步驟可以用傳感器漂移調(diào)節(jié)模式操作模塊50來實(shí)施。如上所述，標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子可以是電壓項(xiàng)V(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)，或壓力項(xiàng)P(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)。在電壓項(xiàng)的情況下，新的變量V*被插入到特定的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式。新的變量V*被表示為V*(P＝x，t＝j(luò)，T＝k)＝V(P＝x，t＝j(luò)，T＝k)。V(P＝0，t＝j(luò)，T＝k) (公式II)因此，標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子V(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)從現(xiàn)在測量的電壓信號V(P＝x，t＝j(luò)，T＝k)中被減去，差值被插入到特定的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式的電壓項(xiàng)。而且，壓力規(guī)定的多項(xiàng)式的第一系數(shù)M0在公式I中被設(shè)置為零。可以看到，在初始校準(zhǔn)點(diǎn)(t＝0)，V*(P＝0，t＝0，T＝k)＝0。
為了考慮在零壓力時電阻的溫度依賴性，求解以下的多項(xiàng)式V(P＝0，t＝0，T＝k)＝N(P＝0，t＝0)+N1*Tk+N2Tk2(公式III)在某個以后的時間，t＝j(luò)，測量V(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)。然后通過使用V(P＝0，t＝0，T＝k)代替方程III中的V(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)，解出N(P＝0，t＝j(luò))。則V*(P＝x，t＝j(luò)，T＝k)＝V(P＝x，t＝j(luò)，T＝k)-(N(P＝0，t＝j(luò))+N1*Tk+N2*Tk2) (公式IV)來自公式IV的V*現(xiàn)在結(jié)合來自公式I的原先的系數(shù)被使用來求解在時間j(t＝j(luò))和溫度k(T＝j(luò))下的壓力(P)。
回想到特定的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式具有由原先的零壓力條件規(guī)定的系數(shù)。在這時處理的壓力項(xiàng)(V*)考慮到在特定的溫度下的傳感器漂移，正如在項(xiàng)V(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)中反映的。
實(shí)驗(yàn)證明，對于標(biāo)稱零壓力條件(P＝0)，應(yīng)當(dāng)使用低于10乇的壓力。如果使用較高的“零”壓力，則校準(zhǔn)的精度降低。對于以后的校準(zhǔn)，“零”壓力應(yīng)當(dāng)?shù)扔诨虻陀谠鹊闹担駝t精度會降低。
以上說明了使用電壓項(xiàng)作為傳感器漂移校正因子，本領(lǐng)域技術(shù)人員將會看到，壓力規(guī)定的多項(xiàng)式的初始系數(shù)組可以通過使用V*項(xiàng)被計(jì)算。具體地，在初始校準(zhǔn)點(diǎn)(V*＝0)時的V*的數(shù)值可被插入到公式I。M0項(xiàng)被設(shè)置為零，以及根據(jù)零壓力項(xiàng)、在零壓力時的測量的溫度、和附加的溫度與壓力值，計(jì)算系數(shù)值，正如確定適配所需要的。
現(xiàn)在已全面描述了使用電壓項(xiàng)作為傳感器漂移校正因子。如上所述。壓力項(xiàng)也可被使用作為傳感器漂移校正因子。具體地，在校準(zhǔn)后的某個時間，原先的系數(shù)被使用來根據(jù)在該時間的“零”壓力信號計(jì)算壓力讀數(shù)。這個壓力，P(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)，然后從以后計(jì)算的所有的壓力中減去。數(shù)學(xué)上，對于其中X＞0的所有的數(shù)值，調(diào)整的壓力被計(jì)算為如下
P*(P＝x，t＝j(luò)，T＝k)＝P(P＝x，t＝j(luò)，T＝k)-P(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)(公式V)P(P＝x，t＝j(luò)，T＝k)以及P(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)通過使用特定的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式(例如，公式I中的多項(xiàng)式)被計(jì)算。P*由微控制器38使用公式V被計(jì)算。然后P*被用作為實(shí)際的傳感的壓力。周期地，這個程序過程重復(fù)進(jìn)行。也就是，得到了P(P＝0，t＝j(luò)，T＝k)，因此，算法被更新。如果使用按照公式IV的處理，則處理過程以同樣的方式重復(fù)進(jìn)行。
為了說明起見，以上的說明使用特定的專門術(shù)語來給出對本發(fā)明的透徹的了解。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員將會看到，為了實(shí)施本發(fā)明并不需要特定的細(xì)節(jié)。在其它事例中，熟知的電路和裝置以方框圖的形式來表示，以避免對于基本的發(fā)明的不必要的分心。因此，本發(fā)明的特定的實(shí)施例的上述的說明是為了說明和描述的目的給出的。這些說明不打算是窮舉的，或限制本發(fā)明為所公開的精確的形式，顯然，對于以上的教導(dǎo)，可能有許多修改方案和變例。為了最好地說明本發(fā)明的原理和它的實(shí)際應(yīng)用，選擇和描述了實(shí)施例，由此使得本領(lǐng)域其它技術(shù)人員最好地利用本發(fā)明和帶有適合于打算的特定的使用的各種修改的各種實(shí)施例。本發(fā)明的范圍意于由以下的權(quán)利要求和它們的等同替換來限定。
權(quán)利要求
1.一種校正傳感器中的漂移的方法，所述方法包括以下步驟識別校準(zhǔn)命令；根據(jù)被固定在標(biāo)稱零壓力條件下的校正電壓值和校正溫度值，確定用于所述傳感器的標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子；以及按照標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子調(diào)節(jié)傳感器輸出。
2.權(quán)利要求1的方法，還包括在所述識別步驟以前執(zhí)行的以下的步驟在與所述傳感器有關(guān)的管道中創(chuàng)建標(biāo)稱零壓力條件；把測量的電壓值和測量的溫度值固定在所述標(biāo)稱零壓力條件；把零壓力項(xiàng)、所述測量的電壓值和所述測量的溫度值插入到壓力規(guī)定的多項(xiàng)式；以及計(jì)算所述壓力規(guī)定的多項(xiàng)式的系數(shù)，以便確定特定的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式。
3.權(quán)利要求2的方法，其中所述調(diào)節(jié)步驟包括用所述標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子調(diào)節(jié)新的測量的電壓信號的步驟，以便確定補(bǔ)償?shù)碾妷盒盘枴?br>
4.權(quán)利要求3的方法，還包括把所述補(bǔ)償電壓信號插入到所述特定的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式的步驟。
5.權(quán)利要求1的方法，其中所述調(diào)節(jié)步驟包括用所述標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子調(diào)節(jié)測量的壓力信號的步驟。
6.權(quán)利要求1的方法，其中所述識別步驟響應(yīng)于被加到與所述壓電電阻傳感器有關(guān)的功能性元件的預(yù)定的條件組。
7.一種校正傳感器中的漂移的設(shè)備，包括微控制器，被配置來響應(yīng)于被固定在標(biāo)稱零壓力條件下的校正電壓值和校正溫度值，確定用于傳感器的標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子；以及按照標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子調(diào)節(jié)傳感器輸出。
8.權(quán)利要求7的設(shè)備，其中所述微控制器被配置來把零壓力項(xiàng)、所述測量的電壓值和所述測量的溫度值插入到壓力規(guī)定的多項(xiàng)式；以及計(jì)算所述壓力規(guī)定的多項(xiàng)式的系數(shù)，以便確定特定的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式。
9.權(quán)利要求8的設(shè)備，其中所述微控制器用所述標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子調(diào)節(jié)傳感器輸出，以便確定補(bǔ)償?shù)碾妷盒盘枴?br>
10.權(quán)利要求9的設(shè)備，其中所述微控制器把所述補(bǔ)償電壓信號插入到所述特定的壓力規(guī)定的多項(xiàng)式。
11.權(quán)利要求9的設(shè)備，其中所述微控制器通過用所述標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子調(diào)節(jié)測量的壓力信號來調(diào)節(jié)傳感器輸出。
12.權(quán)利要求7的設(shè)備，其中所述微控制器被配置來響應(yīng)于預(yù)定的測量條件組確定所述標(biāo)稱零壓力傳感器漂移校正因子。
13.權(quán)利要求7的設(shè)備，其中所述微控制器被連接到從包含下列單元的組中選擇的功能性單元質(zhì)量流控制器，壓力控制器，質(zhì)量計(jì)，和壓力計(jì)。
14.權(quán)利要求7的設(shè)備，其中傳感器包括計(jì)量傳感器。
15.權(quán)利要求14的設(shè)備，還包括包含有所述計(jì)量傳感器的非密封的組件。
全文摘要
傳感器漂移校正設(shè)備(20)包括傳感器組件(22),它包括流體導(dǎo)管(24),比例控制器(26),溫度傳感器(28),第一壓力傳感器(30),積分控制器(32)以及第二壓力傳感器(34)?？偩€(36)把第一壓力傳感器(30)等連接到具有相關(guān)的內(nèi)部或外部存儲器(40)的微控制器(38)。在存儲器(40)中包括有初始參量技術(shù)條件模塊(42),標(biāo)準(zhǔn)模式控制器模塊(44),校準(zhǔn)條件識別模塊(46),傳感器漂移校準(zhǔn)模塊(48)和傳感器漂移調(diào)節(jié)模式運(yùn)行模塊(50),它們一起用來識別校準(zhǔn)命令,通過依賴于被固定在標(biāo)稱零電壓條件的校準(zhǔn)電壓值和以后隨之調(diào)節(jié)傳感器輸出而識別用于傳感器(30,34)的標(biāo)稱零壓力漂移校正因子。
文檔編號G01D3/028GK1348541SQ00806722
公開日2002年5月8日 申請日期2000年2月15日 優(yōu)先權(quán)日1999年2月25日
發(fā)明者J·M·哈里斯, B·塔赫里, E·阿基利克 申請人:紅木微系統(tǒng)公司