專利名稱：立體空間光學式集成電路針腳檢測方法及其檢測儀器的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用光學原理來檢測集成電路針腳的好壞、彎折點及高度的方法以及檢測儀器。
隨著集成電路(IC)產業的蓬勃發展，集成電路(IC)的品管作業也日顯重要，為了提供高質量的集成電路元件，如何大量地且快速地實行集成電路元件的檢測已經成為一重要的課題。
以往檢測集成電路針腳的良否、彎折點及高度等時，是利用投影裝置并對所得的影像作視覺上的處理而實現的，但此種處理方式效能甚低，對于集成電路元件的大批量生產化不適用。
本發明的目的是提供一種檢測速度快的立體空間光學式集成電路針腳檢測方法以及檢測儀器。
為達上述目的，本發明采用如下檢測方法本發明利用自動控制移動裝置及光學定位感測裝置及光學攝像裝置，拍攝及處理被檢測集成電路的基座及針腳的影像，而判斷集成電路針腳的良否、彎折點及高度，其藉由自動化光學檢測裝置及判斷用的電腦軟件，可大幅度提高集成電路針腳檢測效率。
實現本發明方法所用的儀器包括有自動控制移動裝置、激光光源器、激光光點偵測器、分光鏡、透鏡組及定位感測偵查系統，激光光源器和激光光點偵測器分別設于自動控制移動裝置的X軸及Y軸上，在激光光源器的光路上設置分光鏡，在一側設置透鏡組與定位感測偵查系統。
下面結合附圖及實施例對本發明作進一步的描述
圖1為本發明的第一實施例的系統構成俯視圖。
圖2為圖1所示系統工作原理圖。
圖3為本發明的第二實施例的系統構成俯視圖。
圖4為圖3所示系統的工作原理圖。
圖5為圖3所示系統的另一變形例示意圖。
圖6為本發明的第三實施例的系統的工作原理圖。
圖7為本發明的系統工作流程圖。
1’、80為集成電路、11’、81為集成電路針腳、2’為分光鏡、3’、20為激光光源器、4’、30為激光光點偵測器、5’、40為透鏡組、6’、50為定位感測偵查系統、7’為微動折射掃描器、71’為鏡片、10為復合棱鏡分光器、90為兩棱鏡，8’為自動控制移動裝置，10’為分光鏡。
如圖1、圖2所示，本發明的第一實施例是在一可作X方向及Y方向移動的自動控制移動裝置8’上，在X軸及Y軸上分別設置激光光源器3’及激光光點偵測器4’，并在激光光源器3’的激光光路上設置分光鏡2’，并在一側設置透鏡組5’與定位感測偵查系統6’，其藉由透鏡組5’及定位感測偵查系統6’檢測集成電路1’，同時以激光光源器3’經分光鏡2’對集成電路針腳11’投射激光，再以激光光點偵測器4’拍攝集成電路針腳11’的狀況，再由電腦軟件分析其情況，而判斷集成電路針腳的高度和良否。
上述方法雖可判斷集成電路針腳11’有無彎折及高度的概況，但其針腳的高度判斷是相對于檢測裝置作分析，若集成電路放置不平時，則可能使針腳相對于集成電路基座及針腳與檢測裝置間的相對位置關系產生誤差而誤判，為了能便精確地判斷集成電路針腳相對于集成電路基座的高度狀況，下面提供一個第二實施例。
如圖3、圖4及圖5所示，為本發明的第二實施例，是在一可作X方向及Y方向移動的自動控制移動裝置60上，在X軸上設置激光光源器20，而在Y軸方向上設置兩組透鏡組40及兩組定位感測偵查系統50，該二組定位感測偵查系統分別偵測集成電路80基座及針腳81的高度，而激光光源器20藉由對復合棱鏡分光鏡10(如圖4所示)或兩棱鏡90及分光鏡10(圖5所示)投射激光，并在集成電路80基座及針腳81分別產生反射而由激光光點偵測器30攝入影像，如此即可正確地比較基座及針腳81的相對高度，作更精確的針腳高度判斷。此檢測是可對盛放在收容盤70上的各集成電路藉由X及Y軸方向上的驅勸一一作檢測，再配合電腦軟件的應用，可形成高速大批量的集成電路檢測系統。
但上述第一、第二實施例僅能作單一光點或兩光點的判斷，在判斷效率上有其限制，不能作線狀或面狀光點的掃描判斷。
如圖6所示，為本發明的第三實施例，其檢測系統包括有一定位感測系統，是由透鏡組5’及定位感測偵查系統6’所構成，一移動裝置，是將檢測系統移動至檢測位置；一激光光源器3’，用來投射激光光束；一分光鏡2’，用來處理激光的投射方向及投射量；一微動折射掃描器7’，其上設有一由步進馬達所驅動的鏡片71’，可作既定角底的微動，而將激光束作多點的微動投射；一激光光點偵測器4’，將前述多點的微動投射情形攝入；藉由前述系統對集成電路1’基座及針腳11’作線狀甚至面狀掃描，其掃描后用軟件對針腳形象著色，不同的顏色代表不同的高度，因將基座及針腳11’同時攝入，因此，可檢測針腳的良否、彎折點及相對于基座的針腳11’的高度，可作多重檢測，其效果更佳。
上述三個實施例示系統的處理流程，如圖7所示，首先起動電源，接著將激光感測器(激光光源器)歸零，接著將激光光點偵測器歸零，接著將定位感測偵查系統歸零，接著測試集成電路元件位置，接著攝入定位區域倒像，接著判斷倒像區域是否符合檢測，如不符合則調整分光鏡，如符合則由激光光點偵測器經過分光鏡攝入集成電路元件，接著判斷針腳位置及針腳好壞，如為不良品則終止程序即結束，如為良品則將激光束投射于集成電路針腳，接著判斷針腳的高度，如為良品則將檢測系統移至集成電路的未檢測邊，如為不良品則終了程序，在各側邊測完時，終了程序，并進行下一個集成電路的檢測。
其中集成電路針腳好壞的檢測及針腳高度的判斷可分開或同時進行。
權利要求
1．一種立體空間光學式集成電路針腳檢測方法，其是由設于自動控制移動裝置之X軸上的透鏡組及定位感測偵查系統偵測集成電路基座及其針腳的高度，而設置在自動控制移動裝置的X軸上的激光光源器經其光路上設置的分光鏡對集成電路針腳投射激光，集成電路基座及針腳分別產生反射而由設于Y軸上的激光光點偵測器拍攝集成電路針腳的狀況，再藉由電腦軟件分析，判斷集成電路針腳的良否、彎折點及高度情況。
2．實現權利要求1所述方法所用的檢測儀器，其特征在于其包括有自動控制移動裝置、激光光源器、激光光點偵測器、分光鏡、透鏡組及定位感測偵查系統，其中，激光光源器和激光光點偵測器分別設于自動控制移動裝置的X軸及Y軸上，在激光光源器的光路上設置分光鏡，在一側設置透鏡組與定位感測偵查系統。
3．按照權利要求2所述的檢測儀器，其特征在于所說的透鏡組及定位感測偵查系統為兩組。
4．按照權利要求2所述的檢測儀器，其特征在于所說的分光鏡為復合棱鏡分光鏡或兩棱鏡及分光鏡。
5．按照權利要求2所述的檢測儀器，其特征在于所說的激光光源器與分光鏡之間的激光投射路徑上設置一微動折射掃描器，其上設有一由步進馬達所驅動的鏡片，作既定角度的微動，而將激光束作多點的微動投射。
全文摘要
本發明公開了一種立體空間光學式集成電路針腳檢測方法,其是利用自動控制移動裝置及激光光源器、分光鏡、激光光點偵測器、定位感測系統折攝及處理被檢測集成電路的基座及針腳的影像,而判斷集成電路針腳的好壞,彎折點及高度。
文檔編號G01B11/02GK1297136SQ00121569
公開日2001年5月30日 申請日期2000年8月14日 優先權日2000年8月14日
發明者王彤宜 申請人:王彤宜