專利名稱：改進的瓶裝高純氣體充裝系統的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及瓶裝高純氣體充裝系統。
背景技術：
高純氣體系指純度彡99.999%的氣體，包括高純N2、Ar、H2、He等，其中以高純N2、Ar在工業上用途最為廣泛。高純氣體充裝時，要求灌裝瓶中的雜質02、H20和THC等雜質的總含量低于lOppm。為了保證灌裝氣的質量，傳統的方法是，先檢查待灌裝瓶底氣中氧和水等雜質含量，將底氣雜質含量合格的灌裝瓶與充裝排連接，接著至少需要加入3次高純原料氣l_2MPa進行置換。充裝前的一些操作存在以下問題:1、空瓶底氣檢驗耗時較長，影響充裝效率，以充裝24瓶/組為例，24個空瓶檢驗合格需時40min ;2、充裝過程中置換放空的大量高純氣體，嚴重浪費原料氣，增加了生產成本。
實用新型內容針對現有技術中的上述不足，本實用新型提供了一種改進的瓶裝高純氣體充裝系統，其設置的真空泵和雜質分析裝置解決了充裝前空瓶底氣檢驗耗時長、充裝中置換浪費大量的高純氣及成本投入高的問題。為了達到上述發明目的，本實用新型采用的技術方案為:提供一種改進的瓶裝高純氣體充裝系統，其包括一種改進的瓶裝高純氣體充裝系統，包括灌裝瓶、充裝排和安裝在充氣排入口處的充裝閥；其特征在于:還包括與設置在充裝閥和第一個灌裝瓶之間的充裝排上的采樣點連接的雜質分析裝置及設置在采樣點和充裝閥之間的真空泵。
按照本實用新型所述的改進的瓶裝高純氣體充裝系統，其特征在于:所述雜質分析裝置包括分別與采樣點連接的水分分析儀和微量氧分析儀。本實用新型的有益效果為:該充裝系統設置的真空泵對灌裝瓶進行抽真空處理后，經充裝排加入一定量的高純氣體，用雜質分析裝置對灌裝瓶內的氧和水雜質含量進行測量，省去了充裝前空瓶底氣雜質檢驗工序、減少了置換耗用的高純氣用量，有效地節約了高純氣體資源、提高了生產效率、降低了生產成本。
圖1為改進的瓶裝高純氣體充裝系統的結構示意圖。其中，1、灌裝瓶；2、充裝排；21、充裝閥；3、真空泵；4、雜質分析裝置；41、水分分析儀；42、微量氧分析儀。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型做進一步地說明:如圖1所示，該改進的瓶裝高純氣體充裝系統包括灌裝瓶1、充裝排2和安裝在充氣排2入口處的充裝閥21 ;其特征在于:還包括與設置在充裝閥21和第一個灌裝瓶I之間的充裝排2上的采樣點連接的雜質分析裝置4及設置在采樣點和充裝閥21之間的真空泵3 ;所述雜質分析裝置4包括水分分析儀41和微量氧分析儀42 ;所述水分分析儀41和微量氧分析儀42分別與充裝排2上的采樣點連接。灌裝瓶I進行高純氣體充裝前，不需進行空瓶底氣雜質檢驗，將待灌裝瓶I與充裝排2連接，關閉充裝閥21 ;接著啟動真空泵3，對灌裝瓶I抽將近5分鐘的真空；接著打開充裝閥21，加入一定量的約0.5-lMPa高純氣體，關閉充裝閥21，啟動雜質檢測裝置對灌裝瓶I內的成分進行分析；最后，當氧和水份雜質的含量達到控制值后，將灌裝瓶I內余壓放空，再打開充裝閥21對灌裝瓶I進行充裝到滿瓶；若氧和水份的含量未達到控制值，將灌裝瓶I中的0.5-lMPa高純氣體放空后，再次加入一定量的約0.5-lMPa高純氣體后進行檢測，待氧和水份的含量達到 控制值后，放空后進行高純氣體充裝到滿瓶。
權利要求1.一種改進的瓶裝高純氣體充裝系統，包括灌裝瓶(I)、充裝排(2)和安裝在充氣排(2)入口處的充裝閥(21);其特征在于:還包括與設置在充裝閥(21)和第一個灌裝瓶(I)之間的充裝排(2)上的采樣點連接的雜質分析裝置(4)以及設置在采樣點和充裝閥(21)之間的真空泵(3)。
2.根據權利要求1所述的改進的瓶裝高純氣體充裝系統，其特征在于:所述雜質分析裝置(4)包括分別與采樣點 連接的水分分析儀(41)和微量氧分析儀(42)。
專利摘要本實用新型公開了一種改進的瓶裝高純氣體充裝系統，包括灌裝瓶、充裝排、安裝在充氣排入口處的充裝閥、與設置在充裝閥和第一個灌裝瓶之間的充裝排上的采樣點連接的雜質分析裝置及設置在采樣點和成分分析裝置之間的真空泵。該充裝系統設置的真空泵對灌裝瓶進行抽真空處理后，經充裝排加入一定量的高純氣體，用雜質分析裝置對灌裝瓶內的氧和水含量進行測量，省去了充裝前的空瓶底氣檢驗工序，減少了置換灌裝瓶內的高純氣體用量，有效地節約了高純氣體資源、提高了生產效率、降低了生產成本。
文檔編號F17C5/00GK203099312SQ201220725818
公開日2013年7月31日 申請日期2012年12月26日 優先權日2012年12月26日
發明者朱剛 申請人:成都成鋼梅塞爾氣體產品有限公司