專利名稱：高純氣體輸送設備的制作方法
技術領域：
高純氣體輸送設備技術領域[0001]本實用新型專利涉及一種氣體輸送設備，特別涉及一種氣體壓力及流量供應穩定的高純氣體輸送設備。
背景技術：
[0002]光伏、光纖、LED、IXD及半導體等行業中常用到許多高純氣體，隨著行業的不斷發展，生產規模不斷擴大，對于高純氣體的需求量也越來越大，但因為技術所限，目前高純氣體輸送設備常常存在供應能力不足的問題，氣體壓力及流量不穩定，無法保證進行正常穩定的生產。實用新型內容[0003]本實用新型專利的目的在于提供一種氣體壓力及流量供應穩定的高純氣體輸送設備。[0004]為了實現上述目的，本實用新型提出如下技術方案實現[0005]高純氣體輸送設備，由氣瓶柜、VMB組成；其特征在于氣瓶柜與VMB相連；氣瓶柜內部設有鋼瓶、主進氣管路A、排氣管路A、吹凈管路、G-N2抽氣管路、P-N2進氣管路、H-N2進氣管路、磅秤；鋼瓶設置于磅秤上，主進氣管路A與鋼瓶連接，主進氣管路A在進氣方向上依次設置有高壓側壓力傳感器、高壓側主管路氣動閥、主管路調壓閥、低壓側壓力傳感器、 主管路過濾器、低壓側主管路氣動閥、主進氣管路A手動閥，主進氣管路A在高壓側壓力傳感器與高壓側主管路氣動閥間、主管路過濾器與低壓側主管路氣動閥間分別與高壓側排氣管路、低壓側排氣管路連接，高壓側排氣管路上設有高壓側排氣管路氣動閥，低壓側排氣管路上設有低壓側排氣管路氣動閥，高壓側排氣管路、低壓側排氣管路合并為排氣管路A，排氣管路A在排氣方向上依次設有排氣管路壓力傳感器、排氣管路高壓氣動閥；排氣管路A 與G-N2抽氣管路連接，G-N2抽氣管路在G-N2進氣方向上依次設有抽氣管路氣動閥、真空產生器A，其中真空產生器A設置在排氣管路A與G-N2抽氣管路連接部位；主進氣管路A在進氣端與高壓側壓力傳感器之間的部位設置有吹凈管路，吹凈管路在進氣方向上依次設有吹凈管路壓力傳感器、吹凈管路氣動閥，吹凈管路分別與P-N2進氣管路、H-N2進氣管路相連，并分別在連接部位設有吹凈管路低壓氣動閥、吹凈管路高壓氣動閥，P-N2進氣管路上設有P-N2進氣管路氣動閥；VMB內部設有主進氣管路B、支管路、P-N2吹凈管路、排氣管路B、 EQ-N2抽氣管路；主進氣管路B與氣瓶柜內部的主進氣管路A相連，主進氣管路B在進氣方向上依次設有主管路手動閥、主管路壓力表、主管路氣動閥、管路遮斷閥，主進氣管路B與支管路連接，支管路在進氣方向上依次設有支管路手動閥、高壓側支管路氣動閥、支管路調壓閥、低壓側支管路壓力傳感器、支管路過濾器、低壓側支管路手動閥；支管路在支管路手動閥與高壓側支管路氣動閥間、低壓側支管路壓力傳感器與支管路過濾器間分別與P-N2吹凈管路、排氣管路B連接；P-N2吹凈管路在進氣方向上依次設有吹凈管路低壓手動閥、吹凈管路壓力表、吹凈管路手動閥；排氣管路B上設有排氣管路手動閥，排氣管路B與EQ-N2抽3氣管路相連，EQ-N2抽氣管路在EQ-N2進氣方向上依次設有抽氣管路手動閥、真空產生器B， 其中真空產生器B設置在排氣管路B與EQ-N2抽氣管路連接部位。[0006]本實用新型專利可解決的技術問題是[0007]在氣瓶柜內部的主進氣管路A上設置有高壓側壓力傳感器、低壓側壓力傳感器， 鋼瓶設置在磅秤上，在VMB內部的主進氣管路B上設置有主管路壓力表，支管路上設置有低壓側支管路壓力傳感器，通過這些壓力傳感器和磅秤可以隨時監控輸送通道內氣體的壓力值以及鋼瓶內的液化氣體余量，當出現氣體壓力異常時可以通過主管路調壓閥以及支管路調壓閥及時調整氣體壓力，當磅秤顯示鋼瓶內余量不足是，能及時更換鋼瓶，保證了氣體壓力及流量的穩定供應；VMB內部的多條支管路提供了充足的高純氣體供應，可以滿足生產需要，保證了生產的正常進行。
[0008]圖I為本實用新型結構圖。
具體實施方式
[0009]如圖所示，高純氣體輸送設備，由氣瓶柜1、VMB2組成；氣瓶柜I與VMB2相連；氣瓶柜I內部設有鋼瓶3、主進氣管路A4、排氣管路A5、吹凈管路6、G-N2抽氣管路7、P-N2進氣管路8、H-N2進氣管路9、磅秤10 ;鋼瓶3設置于磅秤10上，主進氣管路A4與鋼瓶3連接， 主進氣管路A4在進氣方向上依次設置有高壓側壓力傳感器11、高壓側主管路氣動閥12、主管路調壓閥13、低壓側壓力傳感器14、主管路過濾器15、低壓側主管路氣動閥16、主進氣管路A手動閥17，主進氣管路A4在高壓側壓力傳感器11與高壓側主管路氣動閥12間、主管路過濾器15與低壓側主管路氣動閥16間分別與高壓側排氣管路18、低壓側排氣管路19連接，高壓側排氣管路18上設有高壓側排氣管路氣動閥20，低壓側排氣管路19上設有低壓側排氣管路氣動閥21，高壓側排氣管路18、低壓側排氣管路19合并為排氣管路A5，排氣管路 A5在排氣方向上依次設有排氣管路壓力傳感器22、排氣管路高壓氣動閥23 ;排氣管路A5 與G-N2抽氣管路7連接，G-N2抽氣管路7在G-N2進氣方向上依次設有抽氣管路氣動閥24、 真空產生器A25，其中真空產生器A25設置在排氣管路A5與G-N2抽氣管路7連接部位；主進氣管路A4在進氣端與高壓側壓力傳感器11之間的部位設置有吹凈管路6，吹凈管路6在進氣方向上依次設有吹凈管路壓力傳感器26、吹凈管路氣動閥27，吹凈管路6分別與P-N2 進氣管路8、H-N2進氣管路9相連，并分別在連接部位設有吹凈管路低壓氣動閥28、吹凈管路高壓氣動閥29，P-N2進氣管路8上設有P-N2進氣管路氣動閥30 ；VMB2內部設有主進氣管路B31、支管路32、P-N2吹凈管路33、排氣管路B34、EQ-N2抽氣管路35 ;主進氣管路B31與氣瓶柜I內部的主進氣管路A4相連，主進氣管路B31在進氣方向上依次設有主管路手動閥 36、主管路壓力表37、主管路氣動閥38、管路遮斷閥39，主進氣管路B31與支管路32連接， 支管路32在進氣方向上依次設有支管路手動閥40、高壓側支管路氣動閥41、支管路調壓閥 42、低壓側支管路壓力傳感器43、支管路過濾器44、低壓側支管路手動閥45 ;支管路32在支管路手動閥40與高壓側支管路氣動閥41間、低壓側支管路壓力傳感器43與支管路過濾器44間分別與P-N2吹凈管路33、排氣管路B34連接；P_N2吹凈管路33在進氣方向上依次設有吹凈管路低壓手動閥46、吹凈管路壓力表47、吹凈管路手動閥48 ;排氣管路B34上設有排氣管路手動閥49，排氣管路B34與EQ-N2抽氣管路35相連，EQ-N2抽氣管路35在EQ-N2 進氣方向上依次設有抽氣管路手動閥50、真空產生器B51，其中真空產生器B51設置在排氣管路B34與EQ-N2抽氣管路35連接部位。[0010]實施時，打開鋼瓶3閥門，可稱量0-300磅的磅秤10將鋼瓶的重量實時顯示，保證高純氣體穩定供應,高純氣體進入2條主進氣管路A4，分別打開高壓側主管路氣動閥12、主管路調壓閥13、低壓側主管路氣動閥16、主進氣管路A手動閥17，高純氣體經高壓側主管路氣動閥12進入主管路調壓閥13，主管路調壓閥13可以調整低壓側高純氣體壓力，此時高壓側壓力傳感器11、低壓側壓力傳感器14可以監測并實時顯示主管路調壓閥13兩側的氣壓， 保證主進氣管路A4內部氣壓的穩定，高純氣體經過調壓后由主管路過濾器15將微粒子雜質過濾，過濾后的高純氣體經過低壓側主管路氣動閥16、主進氣管路A手動閥17進入VMB 內部的主進氣管路B31，打開主管路手動閥36、主管路氣動閥38，高純氣體可由主進氣管路 B31進入4條支管路32，主進氣管路B31上的主管路壓力表37可檢測管內氣體是否足夠， 分別打開支管路32上的支管路手動閥40、高壓側支管路氣動閥41、支管路調壓閥42、低壓側支管路手動閥45，高純氣體經支管路調壓閥42再次調壓，低壓側支管路壓力傳感器43可實時顯示出低壓側支管路的氣壓，保證管內氣壓的穩定，高純氣體經由支管路過濾器44再次過濾微粒子雜質，最后經由低壓側支管路手動閥45到達工作區域。[0011]工作完畢后，關閉氣瓶柜I內鋼瓶3閥門和主進氣管路A4手動閥17，打開高壓側排氣管路氣動閥20、低壓側排氣管路氣動閥21、排氣管路高壓氣動閥23、抽氣管路氣動閥 24、真空產生器A25，利用真空產生器24抽取氣體，使排氣管路A5保持負壓狀態，排氣管路壓力傳感器22可檢測排氣管路是否保持抽真空狀態，廢氣經由高壓側排氣管路氣動閥20、 低壓側排氣管路氣動閥21進入排氣管路A5，由于排氣管路A5的負壓狀態，使得廢氣經排氣管路高壓氣動閥23進入G-N2抽氣管路7，G-N2氣體經抽氣管路氣動閥24進入G-N2抽氣管路7，將廢氣攜帶排出；再打開吹凈管路氣動閥27、吹凈管路低壓氣動閥28、吹凈管路高壓氣動閥29、P-N2進氣管路氣動閥30，P-N2, H-N2氣體進入吹凈管路6，吹凈管路壓力傳感器 26可檢測吹凈管路工作狀態，經吹凈管路氣動閥27進入主進氣管路A4，再由高壓側排氣管路氣動閥20、低壓側排氣管路氣動閥21進入排氣管路A5，因為排氣管路A5內部為負壓被排入G-N2抽氣管路7排出，保證了管道能夠被洗凈，不殘留有害廢氣。[0012]在VMB內，關閉支管路手動閥40、低壓側支管路手動閥45，打開排氣管路手動閥 49、抽氣管路手動閥50、真空產生器B51，真空產生器B51抽取排氣管路B34內氣體，在EQ-N2 抽氣管路35內EQ-N2氣體的帶動下，在排氣管路B34內形成負壓，廢氣經由排氣管路手動閥49進入排氣管路B34，再進入EQ-N2抽氣管路35由EQ-N2氣體攜帶排出；打開吹凈管路低壓手動閥46、吹凈管路手動閥48，P-N2氣體進入P-N2吹凈管路33，吹凈管路壓力表47可實時監測P-N2吹凈管路33工作狀態，P-N2氣體經吹凈管路手動閥48進入支管路32，因為排氣管路B34內的負壓，P-N2氣體吹入排氣管路B34，再進入EQ-N2抽氣管路35并被排除， 保證了支管路32能被洗凈，不殘留有害氣體。
權利要求1.高純氣體輸送設備，由氣瓶柜、VMB組成；其特征在于氣瓶柜與VMB相連；氣瓶柜內部設有鋼瓶、主進氣管路A、排氣管路A、吹凈管路、G-N2抽氣管路、P-N2進氣管路、H-N2進氣管路、磅秤；鋼瓶設置于磅秤上，主進氣管路A與鋼瓶連接，主進氣管路A在進氣方向上依次設置有高壓側壓力傳感器、高壓側主管路氣動閥、主管路調壓閥、低壓側壓力傳感器、 主管路過濾器、低壓側主管路氣動閥、主進氣管路A手動閥，主進氣管路A在高壓側壓力傳感器與高壓側主管路氣動閥間、主管路過濾器與低壓側主管路氣動閥間分別與高壓側排氣管路、低壓側排氣管路連接，高壓側排氣管路上設有高壓側排氣管路氣動閥，低壓側排氣管路上設有低壓側排氣管路氣動閥，高壓側排氣管路、低壓側排氣管路合并為排氣管路A，排氣管路A在排氣方向上依次設有排氣管路壓力傳感器、排氣管路高壓氣動閥；排氣管路A 與G-N2抽氣管路連接，G-N2抽氣管路在G-N2進氣方向上依次設有抽氣管路氣動閥、真空產生器A，其中真空產生器A設置在排氣管路A與G-N2抽氣管路連接部位；主進氣管路A在進氣端與高壓側壓力傳感器之間的部位設置有吹凈管路，吹凈管路在進氣方向上依次設有吹凈管路壓力傳感器、吹凈管路氣動閥，吹凈管路分別與P-N2進氣管路、H-N2進氣管路相連，并分別在連接部位設有吹凈管路低壓氣動閥、吹凈管路高壓氣動閥，P-N2進氣管路上設有P-N2進氣管路氣動閥；VMB內部設有主進氣管路B、支管路、P-N2吹凈管路、排氣管路B、 EQ-N2抽氣管路；主進氣管路B與氣瓶柜內部的主進氣管路A相連，主進氣管路B在進氣方向上依次設有主管路手動閥、主管路壓力表、主管路氣動閥、管路遮斷閥，主進氣管路B與支管路連接，支管路在進氣方向上依次設有支管路手動閥、高壓側支管路氣動閥、支管路調壓閥、低壓側支管路壓力傳感器、支管路過濾器、低壓側支管路手動閥；支管路在支管路手動閥與高壓側支管路氣動閥間、低壓側支管路壓力傳感器與支管路過濾器間分別與P-N2吹凈管路、排氣管路B連接；P-N2吹凈管路在進氣方向上依次設有吹凈管路低壓手動閥、吹凈管路壓力表、吹凈管路手動閥；排氣管路B上設有排氣管路手動閥，排氣管路B與EQ-N2抽氣管路相連，EQ-N2抽氣管路在EQ-N2進氣方向上依次設有抽氣管路手動閥、真空產生器B， 其中真空產生器B設置在排氣管路B與EQ-N2抽氣管路連接部位。
專利摘要本實用新型涉及一種高純氣體輸送設備，由氣瓶柜、VMB組成；主進氣管路A與鋼瓶連接，主進氣管路A在進氣方向上依次設置有高壓側壓力傳感器、高壓側主管路氣動閥、主管路調壓閥、低壓側壓力傳感器、主管路過濾器、低壓側主管路氣動閥、主進氣管路A手動閥；主進氣管路B與氣瓶柜內部的主進氣管路A相連，主進氣管路B在進氣方向上依次設有主管路手動閥、主管路壓力表、主管路氣動閥、管路遮斷閥，主進氣管路B與支管路連接，支管路在進氣方向上依次設有支管路手動閥、高壓側支管路氣動閥、支管路調壓閥、低壓側支管路壓力傳感器、支管路過濾器、低壓側支管路手動閥；本實用新型具有氣體壓力及流量供應穩定的優點。
文檔編號F17D1/04GK202746942SQ20122037843
公開日2013年2月20日 申請日期2012年7月31日 優先權日2012年7月31日
發明者馬全合, 張磊, 石志強 申請人:無錫奧維特電子科技有限公司