專利名稱：氬氣雙儲罐管道連通裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體生產領域，具體為一種氬氣雙儲罐管道連通裝置。
背景技術：
目前半導體在人們的生活中運用非常廣泛，特別是在電子電力領域更是離不開半 導體。半導體生產中需要用到氬氣作為單晶、多晶生產的保護氣體，氬氣一般需要有儲存罐 保存，但現有技術的單個儲存罐在提供氬氣時往往會出現氣壓不足的問題。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種氬氣雙儲罐管道連通裝置，以解決現有技術的氬氣 儲存裝置在輸送氬氣時出現氣壓不足的問題。為了達到上述目的，本實用新型所采用的技術方案為氬氣雙儲罐管道連通裝置，包括兩個儲存有氬氣的儲罐，其特征在于還包括有兩 個分別帶進、出氣口的冷卻池，一個儲罐通過輸氣管和一個冷卻池的進氣口對應一一連通， 兩個冷卻池的出氣口上分別安裝有出氣管，兩路出氣管合為一路管道，合路管道上還安裝 有壓力閥。本實用新型結構簡單，易于安裝和日常維護，通過雙儲罐、雙冷卻池中的氬氣合為 一路交替輸出，可以有效地解決輸出的氬氣氣壓不夠的問題，同時通過在合路管道上安裝 壓力閥，可實時監測合路管道中輸出氬氣的壓力，大大提高了半導體的生產效率，降低了生 產成本。
圖1為本實用新型結構示意圖。
具體實施方式
如圖1所示。氬氣雙儲罐管道連通裝置，包括兩個儲存有氬氣的儲罐1，還包括有 兩個分別帶進、出氣口的冷卻池2，一個儲罐通過輸氣管3和一個冷卻池的進氣口對應一一 連通，兩個冷卻池2的出氣口上分別安裝有出氣管4，兩路出氣管4合為一路管道，合路管道 5上還安裝有壓力閥6。
權利要求氬氣雙儲罐管道連通裝置，包括兩個儲存有氬氣的儲罐，其特征在于還包括有兩個分別帶進、出氣口的冷卻池，一個儲罐通過輸氣管和一個冷卻池的進氣口對應一一連通，兩個冷卻池的出氣口上分別安裝有出氣管，兩路出氣管合為一路管道，合路管道上還安裝有壓力閥。
專利摘要本實用新型公開了一種氬氣雙儲罐管道連通裝置，包括兩個儲罐，兩個冷卻池，一個儲罐通過輸氣管和一個冷卻池連通，兩個冷卻池的出氣口上的出氣管合為一路管道，合路管道上還安裝有壓力閥。本實用新型結構簡單，易于安裝和日常維護，可以有效地解決輸出的氬氣氣壓不夠的問題，大大提高了半導體的生產效率，降低了生產成本。
文檔編號F17D1/02GK201715245SQ20102023174
公開日2011年1月19日 申請日期2010年6月17日 優先權日2010年6月17日
發明者朱景福, 錢新江 申請人:安徽日能中天半導體發展有限公司