半導體制造設備框架的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于半導體設備技術領域，尤其涉及一種半導體制造設備框架。
【背景技術】
[0002]隨著半導體材料的應用越來越廣泛，制造半導體材料的設備的需求量也越來越大，此類設備通常體積龐大，造價昂貴，在設備之外通常設有框架，用于承載和防護半導體制造設備。但是，該框架在結構設計上仍舊存在一些不足，由于框架的體積較大，拆卸后零部件的體積也很大，增加了運輸和安裝的難度，另外，由于半導體制造設備的重量較大，框架的抗震性能通常較差，其牢固性和穩定性需要進一步提高。
[0003]有鑒于上述的缺陷，本設計人，積極加以研究創新，以期創設一種半導體制造設備框架，使其更具有產業上的利用價值。
【實用新型內容】
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種半導體制造設備框架，便于運輸和安裝，而且抗震性能較高。
[0005]本實用新型提出的一種半導體制造設備框架，包括橫梁、與所述橫梁連接的立柱，所述橫梁分割成第一橫梁和第二橫梁，所述第一橫梁的斷面處設有凹槽，所述第二橫梁的斷面處設有與所述凹槽形配合的凸塊，所述第二橫梁的斷面處設有向外延伸的護片，所述橫梁和立柱通過斜向設置的支撐桿相連，所述橫梁、立柱及支撐桿形成三角穩定結構。
[0006]進一步的，所述凹槽沿所述第一橫梁的斷面一周分布，呈矩形。
[0007]進一步的，所述護片呈半圓弧形。
[0008]進一步的，所述支撐桿與所述橫梁和立柱通過螺釘連接。
[0009]進一步的，所述框架的材質為不銹鋼。
[0010]借由上述方案，本實用新型至少具有以下優點:由于框架的橫梁通常較長，因此本實用新型將橫梁分割成第一橫梁和第二橫梁，便于運輸和安裝，在橫梁和立柱之間設置了支撐桿，構成三角穩定結構，提高了框架的抗震性能。
[0011]上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0013]圖2是本實用新型中橫梁的局部結構示意圖；
[0014]圖3是圖2中A向的側視圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。
[0016]參見圖1至3，本實用新型提出的一種半導體制造設備框架，包括橫梁1、與橫梁1連接的立柱2，橫梁1分割成第一橫梁3和第二橫梁4，第一橫梁3的斷面處設有凹槽5，凹槽5沿第一橫梁3的斷面一周分布，呈矩形，第二橫梁4的斷面處設有與凹槽5形配合的凸塊，第二橫梁4的斷面處設有向外延伸的護片6，護片6呈半圓弧形。
[0017]橫梁1和立柱2通過斜向設置的支撐桿7相連，橫梁1、立柱2及支撐桿7形成三角穩定結構，支撐桿7與橫梁1和立柱2通過螺釘連接，框架的材質為不銹鋼。
[0018]在安裝時，將第二橫梁4斷面處的凸塊卡入第一橫梁3的凹槽5內，外圍的護片6便于第一橫梁3和第二橫梁4迅速對準，然后通過螺釘擰緊，即完成安裝。
[0019]綜上所述，將框架的橫梁1設置成兩截后，便于運輸和安裝；在其斷面處設置凹槽5、凸塊以及護片6，便于安裝時對準，提高安裝速度；設置支撐桿7后，橫梁1、立柱2和支撐桿7構成的三角穩定結構大大增大了其抗震性能，而且結構簡單，成本低廉。
[0020]以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，并不用于限制本實用新型，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變型，這些改進和變型也應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種半導體制造設備框架，其特征在于:包括橫梁、與所述橫梁連接的立柱，所述橫梁分割成第一橫梁和第二橫梁，所述第一橫梁的斷面處設有凹槽，所述第二橫梁的斷面處設有與所述凹槽形配合的凸塊，所述第二橫梁的斷面處設有向外延伸的護片，所述橫梁和立柱通過斜向設置的支撐桿相連，所述橫梁、立柱及支撐桿形成三角穩定結構。2.根據權利要求1所述的半導體制造設備框架，其特征在于:所述凹槽沿所述第一橫梁的斷面一周分布，呈矩形。3.根據權利要求2所述的半導體制造設備框架，其特征在于:所述護片呈半圓弧形。4.根據權利要求3所述的半導體制造設備框架，其特征在于:所述支撐桿與所述橫梁和立柱通過螺釘連接。5.根據權利要求4所述的半導體制造設備框架，其特征在于:所述框架的材質為不銹鋼。
【專利摘要】本實用新型屬于半導體設備技術領域，尤其涉及一種半導體制造設備框架，包括橫梁、與所述橫梁連接的立柱，所述橫梁分割成第一橫梁和第二橫梁，所述第一橫梁的斷面處設有凹槽，所述第二橫梁的斷面處設有與所述凹槽形配合的凸塊，所述第二橫梁的斷面處設有向外延伸的護片，所述橫梁和立柱通過斜向設置的支撐桿相連，所述橫梁、立柱及支撐桿形成三角穩定結構，該框架的結構設計便于運輸和安裝，而且抗震性能較高。
【IPC分類】F16M1/00
【公開號】CN205065184
【申請號】CN201520643556
【發明人】馬志剛, 占峰, 陳偉, 錢怡, 史大金
【申請人】太倉金馬金屬構件有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年8月25日