滾珠絲杠裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及用于半導體制造裝置或液晶顯示面板制造裝置等的清潔環境下的滾珠絲杠裝置。
【背景技術】
[0002]以往的滾珠絲杠裝置中，密封部件由彈性材料制成，其與絲杠軸緊密接觸來提高密封性。
[0003]在以往的提高了密封性的密封部件中，具有無法充分抑制高速運轉時的在密封部件內產生的微顆粒的課題。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的在于，提供一種滾珠絲杠裝置，其能夠將在滾動體滾動路與滾動體之間產生的微顆粒密封在移動部件內，極力抑制在滾動體滾動路與滾動體之間產生的微顆粒向裝置外漏出的量。
[0005]本實用新型為了實現上述目的，提供一種滾珠絲杠裝置，其特征在于，具有:沿軸向延伸的滾道部件，其在外周面上具有滾動體滾動部；能夠相對于所述滾道部件相對移動的移動部件，其在內周面上具有與所述滾動體滾動部相對的荷載滾動體滾動部；多個滾動體，其滾動自如地裝填在由所述滾動體滾動部和所述荷載滾動體滾動部形成的滾動體滾動路內；滾動體循環路，其使所述滾動體滾動路的起點和終點連通而形成無限循環狀的滾動體通路；和1對密封部件，其安裝在所述移動部件的軸向兩端，所述密封部件由固定環固定。
[0006]在上述滾珠絲杠裝置中，所述1對密封部件在分別安裝于所述移動部件上的狀態下，沿著相對于所述滾道部件的軸向正交的方向截斷時，形成為相對于所述滾道部件具有
0.15mm的范圍內的間隙的形狀。
[0007]本實用新型的密封部件形成為，相對于滾道部件具有0.15mm的范圍內的間隙的形狀，在滾道部件與密封部件之間形成硬的潤滑脂層(密封膜)。與由密封部件單體相對于滾道部件設置間隙的情況相比，能夠極力縮小密封部件與滾道部件之間的間隙，能夠將在滾動體滾動路與滾動體之間產生的微顆粒密封在移動部件內，極力抑制在滾動體滾動路與滾動體之間產生的微顆粒向裝置外漏出的量。
【附圖說明】
[0008]圖1是滾珠絲杠裝置的剖視圖。
[0009]附圖標記說明
[0010]1滾珠絲杠裝置
[0011]2滾道部件
[0012]3移動部件
[0013]4滾動體
[0014]5密封部件
[0015]6固定環
【具體實施方式】
[0016]作為本實施方式的滾珠絲杠裝置1的構成，具有:沿軸向延伸的滾道部件(絲杠軸)2，其在外周面上具有滾動體滾動部；能夠相對于滾道部件2相對移動的移動部件(螺母)3，其在內周面上具有與滾動體滾動部相對的荷載滾動體滾動部；多個滾動體(滾珠)4，其滾動自如地裝填在由滾動體滾動部和荷載滾動體滾動部形成的滾動體滾動路內；滾動體循環路，其使滾動體滾動路的起點和終點連通而形成無限循環狀的滾動體通路；和1對密封部件5，其安裝在移動部件3的軸向兩端，各密封部件5由固定環6固定在移動部件3的軸向端部。
[0017]1對密封部件5在分別安裝于移動部件3上的狀態下，沿著相對于滾道部件2的軸向正交的方向截斷時，形成為相對于滾道部件2具有0.15mm的范圍內的間隙的形狀。
[0018]本實用新型的密封部件形成為，相對于滾道部件具有0.15mm的范圍內的間隙的形狀，在滾道部件與密封部件之間形成硬的潤滑脂層(密封膜)。與由密封部件單體相對于滾道部件設置間隙的情況相比，能夠極力縮小密封部件與滾道部件之間的間隙，能夠將在滾動體滾動路與滾動體之間產生的微顆粒密封在移動部件內，極力抑制在滾動體滾動路與滾動體之間產生的微顆粒向裝置外漏出的量。
【主權項】
1.一種滾珠絲杠裝置，其特征在于，具有: 沿軸向延伸的滾道部件，其在外周面上具有滾動體滾動部； 能夠相對于所述滾道部件相對移動的移動部件，其在內周面上具有與所述滾動體滾動部相對的荷載滾動體滾動部； 多個滾動體，其滾動自如地裝填在由所述滾動體滾動部和所述荷載滾動體滾動部形成的滾動體滾動路內； 滾動體循環路，其使所述滾動體滾動路的起點和終點連通而形成無限循環狀的滾動體通路；和 1對密封部件，其安裝在所述移動部件的軸向兩端， 所述密封部件由固定環固定。2.如權利要求1所述的滾珠絲杠裝置，其特征在于， 所述1對密封部件在分別安裝于所述移動部件上的狀態下，沿著相對于所述滾道部件的軸向正交的方向截斷時，形成為相對于所述滾道部件具有0.15mm的范圍內的間隙的形狀。
【專利摘要】本實用新型提供一種滾珠絲杠裝置，能夠將在滾動體滾動路與滾動體之間產生的微顆粒密封在移動部件內，極力抑制在滾動體滾動路與滾動體之間產生的微顆粒向裝置外漏出的量。作為滾珠絲杠裝置1的構成，具有滾道部件(絲杠軸)(2)、移動部件(螺母)(3)和多個滾動體(滾珠)(4)。1對密封部件(5)安裝在移動部件(3)的軸向兩端部，各密封部件(5)由固定環(6)固定在移動部件(3)的軸向端部。
【IPC分類】F16H25/22
【公開號】CN205013624
【申請號】CN201520793454
【發明人】小笠原基泰
【申請人】日本精工株式會社
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年10月14日