空氣懸浮軸承的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種軸承,具體地涉及一種空氣懸浮軸承。
【背景技術】
[0002]目前,在平板顯示、半導體,醫藥,生物科技等行業中,在工藝制程中關于環境潔凈度的要求極其苛刻,相應對設備內部的污染物顆粒度控制的要求也極為嚴格。
[0003]目前,軸承主要功能是支撐機械旋轉體,用以降低設備在傳動過程中的機械載荷摩擦系數。根據對傳統軸承的摩擦分析與實際應用觀察,傳統軸承無法避免摩擦而產生顆粒物,在實際應用中,通過添加潤滑劑或者使用自潤滑材料以及對軸承內部進行精密加工可以一定程度上改善顆粒物的產生狀況,但仍然也無法根本性地杜絕微觀污染;而在一些特殊環境中,如酸性環境中,傳統的金屬軸承無法得到應用,只能采用特種塑料軸承,由于塑料的特性,其產塵更加無法得到根本性控制。
[0004]目前,市面上已經有一些氣體懸浮軸承,但其結構復雜,體積龐大,耗氣量巨大,使用較為繁瑣,并且不適宜在高精密的應用領域使用。
【發明內容】
[0005]本實用新型目的是為了克服現有技術的不足而一種結構簡單、耗氣量低的空氣懸浮軸承。
[0006]為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案是:一種空氣懸浮軸承,它包括帶有安裝孔的固定座以及安裝所述安裝孔中的套環,所述套環由多孔陶瓷制成,所述固定座在與所述套環接觸的一面上設有圍繞所述套環一周的氣體分布流道,所述固定座頂部設有與所述氣體分布流道相連通的進氣口。
[0007]優化地,所述套環的厚度為5~8毫米。
[0008]優化地,所述氣體分布流道呈環形,其寬度比所述套環的寬度小。
[0009]優化地,所述固定座包括固定基板以及安裝在所述固定基板上且與其一體成型的固定立塊,所述安裝孔設置在所述固定立塊上。
[0010]進一步地,所述固定基板上設置有至少兩個固定孔。
[0011]由于上述技術方案運用,本實用新型與現有技術相比具有下列優點:本實用新型空氣懸浮軸承,一方面在固定座的安裝孔內設置多孔陶瓷制成的套環,使得套環具有高耐熱性、耐化學腐蝕性、耐磨耗性、輕量、絕緣性能高、內部不發塵等優點;另一方面在固定座上設有圍繞套環一周的氣體分布流道并設有與氣體分布流道相連通的進氣口,利用多孔陶瓷本身具有的多孔性質,使得整個套環均布氣體,使得氣流在軸與軸承之間形成分子級的空氣膜,有效降低耗氣量的同時避免軸承與軸直接的摩擦,從而完全避免了顆粒物的產生。
【附圖說明】
[0012]附圖1為本實用新型空氣懸浮軸承的結構示意圖;
[0013]附圖2為本實用新型空氣懸浮軸承的截面圖;
[0014]其中,1、固定座;11、固定基板;111、固定孔;12、固定立塊;121、進氣口 ;122、安裝孔;123、氣體分布流道;2、套環。
【具體實施方式】
[0015]下面將結合附圖對本實用新型優選實施方案進行詳細說明:
[0016]如圖1和圖2所示的空氣懸浮軸承,主要包括固定座I和套環2。
[0017]其中,固定座I上設置有安裝孔122,用于安裝套環2 ;套環2由多孔陶瓷(多孔質陶瓷材料是以高硅質硅酸鹽、鋁硅酸鹽等為主劑,添加一定的輔助劑,通過一定工藝使主劑與輔助劑產生共晶反應,并在高溫燒結而成)制成,用于套接在轉軸或旋轉體的外表面上,這使得套環2具有高耐熱性、耐化學腐蝕性、耐磨耗性、輕量、絕緣性能高、內部不發塵等優點,并且它的內部具有分布均勻,孔徑規則,透氣率高的氣孔結構。固定座I與套環2接觸的一面上向內凹陷形成氣體分布流道123,該氣體分布流道123圍成一圈設置在套環2的外表面。固定座I的頂部設有與氣體分布流道123相連通的進氣口 121。當壓縮空氣經由進氣口 121導入氣體分布流道123中,從而均勻分布于套環2的圓周面上,并經由氣孔結構使得整個套環2均布氣體,使得氣流在轉軸與套環2之間形成分子級的空氣膜,有效降低耗氣量的同時避免套環2與轉軸直接的摩擦,從而完全避免了顆粒物的產生。
[0018]在本實施例中,套環2的厚度優選為5~8毫米。氣體分布流道123呈環形,其寬度比套環2的寬度小。固定座I包括固定基板11以及安裝在固定基板11上且與其一體成型的固定立塊12,安裝孔122設置在固定立塊12上。固定基板11上設置有至少兩個固定孔111,方便對其進行固定。
[0019]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點,其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施,并不能以此限制本實用新型的保護范圍,凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種空氣懸浮軸承,它包括帶有安裝孔(122)的固定座(I)以及安裝所述安裝孔(122)中的套環(2),其特征在于:所述套環(2)由多孔陶瓷制成,所述固定座(I)在與所述套環(2)接觸的一面上設有圍繞所述套環(2)—周的氣體分布流道(123),所述固定座(I)頂部設有與所述氣體分布流道(123)相連通的進氣口(121)。
2.根據權利要求1所述的空氣懸浮軸承,其特征在于:所述套環(2)的厚度為5~8毫米。
3.根據權利要求1所述的空氣懸浮軸承,其特征在于:所述氣體分布流道(123)呈環形,其寬度比所述套環(2)的寬度小。
4.根據權利要求1所述的空氣懸浮軸承,其特征在于:所述固定座(I)包括固定基板(11)以及安裝在所述固定基板(11)上且與其一體成型的固定立塊(12),所述安裝孔(122)設置在所述固定立塊(12)上。
5.根據權利要求4所述的空氣懸浮軸承,其特征在于:所述固定基板(11)上設置有至少兩個固定孔(111)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種空氣懸浮軸承,它包括帶有安裝孔的固定座以及安裝安裝孔中的套環,套環由多孔陶瓷制成,固定座在與所述套環接觸的一面上設有圍繞所述套環一周的氣體分布流道,固定座頂部設有與所述氣體分布流道相連通的進氣口。一方面在固定座的安裝孔內設置多孔陶瓷制成的套環,使得套環具有高耐熱性、耐化學腐蝕性、耐磨耗性、輕量、絕緣性能高、內部不發塵等優點;另一方面在固定座上設有圍繞套環一周的氣體分布流道并設有與氣體分布流道相連通的進氣口,利用多孔陶瓷本身具有的多孔性質,使得整個套環均布氣體,使得氣流在軸與軸承之間形成分子級的空氣膜,有效降低耗氣量的同時避免軸承與軸直接的摩擦,從而完全避免了顆粒物的產生。
【IPC分類】F16C32-06
【公開號】CN204344681
【申請號】CN201420847339
【發明人】施利君, 徐鴿
【申請人】蘇州晶洲裝備科技有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2014年12月26日