真空鍍膜設備用安全閥的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于真空設備技術領域，具體涉及真空鍍膜設備用安全閥。
【背景技術】
[0002]真空鍍膜技術中，往往將材料高溫加熱，然后冷卻到基片形成薄膜，在鍍膜過程中，由于材料會形成氣體，氣體具有不穩定性，并且由于真空鍍膜的腔體的腔體較大，這樣會使薄膜形成的不均勻；另外，由于真空腔體內存在多個蒸發源，當使用其中一個蒸發源時，會對其他的蒸發源造成污染，影響鍍膜的質量，真空設備由于在鍍膜過程中工件處于密閉的真空環境中，真空室內有壓力、并通過加熱器加熱到200 - 500°C不等，同時按工藝要求充入不同含量的氣體，其中含有氧氣等易燃氣體。
【發明內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是克服現有的缺陷，提供真空鍍膜設備用安全閥，從而解決上述問題。
[0004]與此相應，本實用新型提供如下技術方案:真空鍍膜設備用安全閥，包括閥體、閥蓋、閥板、螺母壓套和閥芯且關于閥芯左右對稱，所述閥體頂部與閥蓋通過螺釘固定連接并構成腔室，所述閥蓋與螺母壓套固定連接，所述閥體底部與閥板之間設有O形密封圈，所述閥板頂部與螺母壓套底之間固定有圓柱螺旋彈簧，所述閥芯一端固定在閥體頂部，另一端置于螺母壓套之間。
[0005]進一步的，所述螺母壓套通過螺釘對閥芯施加壓力。
[0006]進一步的，所述閥體下方設有八個圓形放氣孔。
[0007]進一步的，所述螺釘為開槽平端緊定螺釘。
[0008]本實用新型的有益效果是:該真空鍍膜設備用安全閥由閥體、閥蓋、閥板和螺母壓套組成且，體積小，整體結構簡單左右對稱、外觀簡潔；當真空室內的壓強大于圓柱螺旋彈簧最大的安全工作壓力時，壓力將圓柱螺旋彈簧壓縮閥板升起，即打開閥板，壓力減小?’反之，圓柱螺旋彈簧依靠本身的彈性復位，關閉閥板，便于自動控制，通用性好，使用安全、方便和成本較低的顯著有益效果。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型結構示意圖；
[0010]圖中:1、閥體；2、閥蓋；3、閥板；4、螺母壓套；5、螺釘；6、圓柱螺旋彈簧；7、O形密封圈和8、閥芯。
【具體實施方式】
[0011 ] 下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0012]請參閱圖1，本實用新型提供了一種技術方案:真空鍍膜設備用安全閥，包括閥體
1、閥蓋2、閥板3、螺母壓套4和閥芯8且關于閥芯8左右對稱，閥體I頂部與閥蓋2通過螺釘5固定連接構成腔室，閥蓋2與螺母壓套4固定連接，閥體I底部與閥板3之間設有O形密封圈7，閥板3頂部與螺母壓套4底部固定有圓柱螺旋彈簧6，閥芯8 一端固定在閥體I頂部，另一端置于螺母壓套4之間。
[0013]該方案的優選的真空鍍膜設備用安全閥體積小，整體結構簡單對稱、外觀簡潔、便于自動控制，通用性好，使用安全、方便和成本較低的顯著有益效果。
[0014]進一步的，閥體I下方有八個圓形放氣孔，鍍膜機內部壓強過大時，氣壓從放氣孔對閥板3施加壓力，放氣孔能夠有效穩定的控制氣壓流量，螺釘5為開槽平端緊定螺釘，開槽平端緊定螺釘是固定相對位置的一種螺釘5，壓緊力小且固定相對位置較好，螺母壓套4通過螺釘5對閥芯8施加壓力，從而控制鍍膜機內膜的氣壓大小。
[0015]具體工作原理及其過程:鍍膜機在鍍膜的過程中產生較大的氣壓，此時氣壓通過閥體I下部的放氣孔對閥板3施加壓力，當壓力大于圓柱螺旋彈簧6的最大安全工作壓力時圓柱螺旋彈簧6收縮，閥板3與閥體I底部脫離，鍍膜機內部的壓力釋放，此時鍍膜機內部氣壓逐漸變小，當通過放氣孔的氣壓對閥板3的壓力小于圓柱螺旋彈簧6的彈力時，圓柱螺旋彈簧6推動閥板3復位。
[0016]螺母壓套4通過螺釘5對閥芯8施加壓力調整鍍膜機內部氣壓:旋緊螺釘5，螺母壓套4對閥芯8的壓力增大，之間的摩擦力也增大，放氣孔需要更大的氣壓對閥板3施加壓力，這樣圓柱螺旋彈簧6收縮，閥板3與閥芯8才能向上移動，將氣壓釋放到外部，即打開閥板；旋松螺釘5，螺母壓套4對閥芯8的壓力減小，之間的摩擦力也減小，放氣孔需要較小的氣壓對閥板3施加壓力，這樣圓柱螺旋彈簧6復位，閥板3與閥芯8向下移動并復位，即關閉閥板。通過這種方式，安全閥可實現自動控制鍍膜機內部的壓力。
[0017]最后應說明的是:以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不用于限制本實用新型，盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，對于本領域的技術人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.真空鍍膜設備用安全閥，包括閥體(I)、閥蓋(2)、閥板(3)、螺母壓套(4)和閥芯(8)，且關于閥芯(8)左右對稱，其特征在于:所述閥體(I)頂部與閥蓋(2)通過螺釘(5)固定連接并構成腔室，所述閥蓋(2)與螺母壓套(4)固定連接，所述閥體(I)底部與閥板(3)之間設有O形密封圈(7)，所述閥板(3)頂部與螺母壓套(4)底之間固定有圓柱螺旋彈簧(6)，所述閥芯(8 ) —端固定在閥體(I)頂部，另一端置于螺母壓套(4 )之間。
2.根據權利要求1所述的真空鍍膜設備用安全閥，其特征在于:所述螺母壓套(4)通過螺釘(5 )對閥芯(8 )施加壓力。
3.根據權利要求1所述的真空鍍膜設備用安全閥，其特征在于:所述閥體(I)下方設有八個圓形放氣孔。
4.根據權利要求1所述的真空鍍膜設備用安全閥，其特征在于:所述螺釘(5)為開槽平端緊定螺釘。
【專利摘要】本實用新型公開了真空鍍膜設備用安全閥，包括閥體、閥蓋、閥板、螺母壓套和閥芯且關于閥芯左右對稱，所述閥體頂部與閥蓋通過螺釘固定連接并構成腔室，所述閥蓋與螺母壓套固定連接，所述閥體底部與閥板之間設有O形密封圈，所述閥板頂部與螺母壓套底之間固定有圓柱螺旋彈簧，所述閥芯一端固定在閥體頂部，另一端置于螺母壓套之間，所述閥體下方有八個放氣孔，當真空室內的壓強大于圓柱螺旋彈簧最大的安全工作壓力時，壓力將圓柱螺旋彈簧壓縮閥板升起，即打開閥板，壓力減小；反之，圓柱螺旋彈簧依靠本身的彈性復位，關閉閥板，通過這樣的方式，實現自動控制壓力的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本較低的顯著有益效果。
【IPC分類】F16K17-06
【公開號】CN204284567
【申請號】CN201420755184
【發明人】劉曉華, 陳鵬
【申請人】大連維鈦克科技股份有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年12月5日